JP2009005022A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 第１面を有し、３以上の奇数本が配列された腕部と、
   前記腕部の各々の前記第１面上に設けられた圧電体素子と、
   前記腕部の一端を互いに連結した基部と、を含み、
   前記圧電体素子は、第１電極膜と、第２電極膜と、前記第１電極膜と前記第２電極膜との間に配置された圧電体膜と、を含んだ積層構造体であり、且つ、前記第１電極膜は前記第１面と前記圧電体膜との間に配置され、
   前記腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された前記腕部を第１腕部とし、偶数番目に配置された前記腕部を第２腕部としたときに、前記第１腕部の前記第１電極膜と、前記第２腕部の前記第２電極膜と、が相互に電気的に接続され、
   かつ、前記第１腕部の前記第２電極膜と、前記第２腕部の前記第１電極膜と、が相互に電気的に接続されたことを特徴とする音叉型振動子。
2. 前記腕部及び前記基部が水晶で構成されたことを特徴とする、
   請求項１に記載の音叉型振動子。
3. 前記水晶がＸカット板であることを特徴とする、
   請求項２に記載の音叉型振動子。
4. 前記圧電体膜がＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ₃ およびＫＮｂＯ₃の何れかを含む膜であることを特徴とする、
   請求項１乃至３の何れか１項に記載の音叉型振動子。
5. 前記第１電極膜と前記第２電極膜との間に配置された絶縁膜を更に含むことを特徴とする、
   請求項１乃至４の何れか１項に記載の音叉型振動子。
6. 前記腕部は３本であることを特徴とする、
   請求項１乃至５の何れか一項に記載の音叉型振動子。
7. 請求項１乃至請求項６の何れか１項に記載の音叉型振動子と、
   前記音叉型振動子と接続されたインバータと、
   を含む、発振器。