JP2009000731A - リッドの仮止め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 封止すべきパッケージの小型化に対応するリッドの仮止め装置を提供する。
【解決手段】 パッケージ開口部の所定の位置にリッドを載置し、このリッドをパッケージにスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置において、一対のローラ電極6とその間隙に配置された吸着ノズル7とを備え、この吸着ノズル7は、リッド11を吸着する吸着作用端にかけて大径部からテーパ状に小径となるように形成し、一対のローラ電極6を、回転軸方向の吸着ノズル7側の一端面が前記テーパの角度と略平行になるように回転軸を傾斜させて回動自由に支持するようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】 パッケージ開口部の所定の位置にリッドを載置し、このリッドをパッケージにスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置において、一対のローラ電極6とその間隙に配置された吸着ノズル7とを備え、この吸着ノズル7は、リッド11を吸着する吸着作用端にかけて大径部からテーパ状に小径となるように形成し、一対のローラ電極6を、回転軸方向の吸着ノズル7側の一端面が前記テーパの角度と略平行になるように回転軸を傾斜させて回動自由に支持するようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を収納したパッケージの開口部に、リッドをシーム溶接することで該パッケージを気密封止する封止作業の際、事前に該パッケージと該リッドをスポット接合で仮止めする装置に関する。
従来から、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品をパッケージに気密封止する方法として、マイクロパラレルシーム接合法が広く用いられている。図3は従来からあるシールリング付きパッケージの断面図であり、まずセラミック基板51に金属製シールリング52をろう接してなるパッケージ53の内部に水晶振動子等の電子部品54を収納し、この電子部品54をワイヤ55によって外リード56に電気的に接続したものを準備する。そしてこのパッケージ53の開口部にはコバール等からなるリッド57が位置決めされて載置される。
このとき、位置決めされたリッド57がシーム接合されるまでに何らかの外力で位置ずれしてしまったり、シーム接合を開始するためにローラ電極が接触することで位置ずれしてしまうことを避けるために、リッドは通常スポット接合によってパッケージ開口部に仮止めされる。このようにリッドをパッケージに載置しスポット接合を行なう仮止め装置が特許文献1で開示されている。
特許文献1で開示されたリッドの仮止め装置を図4に基づいて説明する。図4において、58は吸着ノズルであり図示しない排気手段と接続され、その負圧により先端にリッド57を吸着保持している。また59は一対の電極であり吸着ノズル58と連動して下降し、一対の電極59がパッケージ53上に載置されたリッド57に接触して通電することでそのジュール熱を利用して仮止めを行なう。このとき電極59がリッド57に接触するより先に、リッド57がパッケージ53に当接することで下降動作が停止した吸着ノズル58は、仮止め接合が終了するまでその先端でリッド57を下方に押圧し続ける。
ここで一対の電極59の形状は単なる棒状のものでも一応の目的は果たすが、常に同じ部分がリッド57と接することで、異物の付着や磨耗がその作用部に集中し、電極としての寿命が短いものになる。そこで従来から、図5で示すように電極としてテーパ付きのローラ電極60を一対設け、その間隙に吸着ノズル61を配置する構造が採用されてきた。このような電極を使用すれば、ある一定のスポット接合回数の度にローラを微小角度回転させることでローラ部分の全周がリッドと接触する作用部として使用できるので、電極交換の頻度が激減する。この微小角度の回転はローラ電極の移動中に適当な他の固定部材に接触するようにすれば容易に自動化も可能である。
そして更に近年では高密度実装の要求からパッケージの小型化が進み、そのサイズは上面視で2.5×2.0mm程度にまで縮小してきている。このようなことから、一対のローラ電極の間隙に吸着ノズルを配置しつつローラ電極の間隔を縮小することに工夫が必要となり、特許文献2では図6のように吸着ノズル62が一方の電極を兼ねるように構成し、他方の電極をローラ電極63とし、吸着ノズル62とローラ電極63との間に通電することで、ローラ電極63とリッド57との接触点のみをスポット接合する技術が開示されている。
また特許文献3では、吸着ノズルと一対のローラ電極の構成は図5で示したものと同様だが、矩形のリッドの対向する辺の略中央部ではなく対角をスポット接合し、少しでも小型のパッケージに対応しようとする技術が開示されている。さらに特許文献4では図7で示すように、吸着ノズル64と一対のローラ電極65との意図せぬ通電を防ぐためにそれぞれのローラ電極の先端部に絶縁部材65Aを備えるようにした技術が開示されている。
しかしながら、図6のような方法では、スポット接合箇所はローラ電極63がリッド57に接触した1ヶ所のみとなり、その接合箇所の対辺側あるいは対角側にリッド57の浮きが生じる可能性が高くなる。その結果不均一なシーム接合が行なわれ封止の信頼性が低下すると言う問題が生じる。また、矩形のリッドの対角をスポット接合する技術では、その差が最大となる正方形のリッドに使用した場合でも一辺の長さが約1/1.4のリッドに対応できるのが限界で、一般に広く用いられている長方形のパッケージ(リッド)に適用した場合は、その効果は更に小さくなる。
さらに図7のように吸着ノズル64と一対のローラ電極65との間隙に絶縁部材65Aを設けることは、接合のための電流が意図せず短絡することを防ぐ効果はあるが、小型のパッケージの仮止めを行なうという課題の根本的な解決には結びつかない。そこで直接的に考えられるのは、吸着ノズルを注射器やディスペンサのニードルのように細くすることであるが、この場合吸着ノズル全体の剛性が低下し、また吸着ノズルを装置へ精度良く取付けることが困難になるので数μmオーダーの繰り返し精度が要求される小型パッケージへのリッド搭載には到底採用し難い。また小径の空気流路が長くなる分空気抵抗が増加し、リッドの吸着動作の信頼性も低下する。また、スポット接合のためにリッドを押圧するための剛性も持ち合わせない。
そこで本発明はこのような課題を解決すべく、吸着ノズルの機械的強度や吸着の信頼性を維持しつつ一対のローラ電極の間隔を更に小さくすることを目的とした仮止め装置を提供するものである。
本発明は第1の態様として、電子部品を収納するパッケージの開口部にリッドを載置し、一対のローラ電極を転接させつつ両電極間に通電し、前記リッドの縁辺とパッケージの開口部縁辺とをシーム接合するパッケージの封止作業に先立って、パッケージ開口部の所定の位置にリッドを載置し、このリッドをパッケージにスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置において、一対のローラ電極とその間隙に配置された吸着ノズルとを備え、この吸着ノズルは、前記リッドを吸着する吸着作用端にかけて大径部からテーパ状に小径となるように形成されており、前記一対のローラ電極は、回転軸方向の前記吸着ノズル側の一端面が前記テーパの角度と略平行になるように回転軸を傾斜させて回動自由に支持されたものあるとことを特徴とするリッドの仮止め装置を提供する。
また本発明は第2の態様として、前記吸着ノズルは内部に軸方向に貫通する空間を有し、この空間は吸着ノズルの外形が大径の部分では大径であり、外形が小径になるに従って連続的あるいは段階的に小径に形成されていることを特徴とする前記第1の態様として記載のリッドの仮止め装置を提供する。
本発明の第1の態様によれば、一対のローラ電極の間隔を狭めても吸着ノズルの剛性を高く保てるので、リッドを吸着搬送し仮止め作業中リッドがずれないように位置決めして押圧する動作を精度良く行なえ高い耐久性も得られる。また、吸着ノズルの大径部を装置に固定するので取付け作業が容易になり、高い取付け精度を得ることができる。
本発明の第2の態様によれば、空気流露の小径部を短くすることができ、吸引のための空気抵抗を低減できる。また、大径部には大径部側端から大径の有底穴を加工し、その後吸着作用端(小径部側端)から小径の穴を加工し前記大径の有底穴に連通させることで、加工が容易になりその分加工精度も向上する。
次に、添付図面を参照して本発明に係るリッドの仮止め装置の実施形態を詳細に説明する。
図1はリッドの仮止め装置の正面図であり、符号1は図示しないガイド機構と駆動機構により紙面を見て左右の方向に移動可能であると共に、吸着ノズルおよびローラ電極を支持するベースである。2はカムプレート、3はカムプレート2に連動するカムフォロア、4はアーム、5はカムフォロア3をカムプレート2の半径の変化に追従させるためにベース1とアーム左端4Aとの間に装架された引っ張りコイルばね、6は一対のローラ電極、7は一対のローラ電極の間隙に配置された吸着ノズルである。
7Aはベース1に上下動自在に支持された吸着ノズル本体部であり、排気孔7Bから図示しない排気装置に接続され排気が行なわれることにより吸着ノズルの下端である吸着作用端に負圧を生じさせる。8は吸着ノズル本体の上端7Cとアーム4の右端4B間に装架された引っ張りコイルばね、9はベース1に上下動自在に支持された一対の絶縁ブロック、10は絶縁ブロック9にそれぞれ固定され、図示しない電源と給電ケーブルで接続されている給電ブロック、11は吸着ノズル7に吸着されたリッド、12は図示しないステージ上に位置決めして載置されたパッケージである。
次に、スポット接合によるリッドの仮止め動作を図1および図2に基づいて説明する。図1は、図示しないリッド供給部から吸着ノズル7によりリッド11を吸着し、仮止めステージまで移動した状態を示す。ここで、図示しないモータの駆動に伴いその回転軸2Aを中心にカムプレート2が回転する。カムプレート2はモータのシャフトの回転軸2Aに対して偏心しており、その回転により半径の小さい部分が回転軸2Aの下方に来ると、アーム4に軸着され、引っ張りコイルばね6によりカムプレート2側に付勢されているカムフォロア3は上方に移動する。
カムフォロア3の上昇に伴い、アームの左端4Aは支点4Cを中心に上昇し、同時にアームの右端4Bが下降する。ここでアームの右端4Bは、吸着ノズル本体の上端7Cと一対の絶縁ブロック9を下方から支持しており、アームの右端4Bが下降するのに伴い吸着ノズル7と一対のローラ電極6も同時に下降する。吸着ノズル7が下降することにより、その吸着作用端に吸着保持されたリッド11はパッケージ12の上面に当接する。これより吸着ノズル7は下降せず静止するが、カムプレート2は回転を続け、アームの右端4Bは更に下降し続ける。
ここで、下降するアームの右端4Bと下降が停止した状態の吸着ノズル本体の上端7Cとの相対的変位は、引っ張りコイルばね8の伸びが吸収するとともに所定の押圧力で吸着ノズル7がリッド11を押圧するようにしている。また、一方吸着ノズル7が静止した後も一対のローラ電極6はアームの右端4Bの下降に伴って下降を続け、リッド11の2箇所に当接し所定の押圧力を加える。この状態で一対のローラ電極6間に電流が流されリッド11はパッケージ12の仮止めされる。
図2は図1の要部拡大図であり、図2(a)はリッド11がパッケージ12に載置される前の状態、図2(b)はリッド11がパッケージ12上に載置され、その後一対のローラ電極6がリッドに当接した状態を示している。ここで吸着ノズル7の形状は上部が大径で下部はテーパ形状をなして下端である吸着作用端に至り、この吸着作用端が最も小径となっている。微小なリッド11を仮止めするにはローラ電極の間隔を小さくしなければならないが、実際スポット接合でリッド11に接触するのはローラ電極6の下端であるため、この下端のみの間隔が小さくなるようにしたものである。したがって吸着ノズル7も吸着作用端方向のみを小径にすればよく、これに伴い吸着ノズル7全体の剛性を高く保つことが可能になる。
また図2(a)の吸着ノズル7には破線で内部の空気流路の様子が示してあるが、この空気流路である空間は吸着ノズルの大径の部分では大径の穴が形成され、テーパ状に外形が縮小している部分で小径の穴に変化して下端の吸着作用端まで貫通するようになっている。これは、まず大径の穴を吸着ノズル7の上部側からテーパ部に達するまで加工し、次に下端の吸着作用端側から小径の穴を加工することで貫通穴を形成したものである。このようにすることで、加工が困難な小径の穴も加工開始部である吸着作用端の位置だけを精度良くすれば良く、大径の穴と連通する部分の位置精度は高く要求されない。さらに小径の穴の長さを極力短くすることでその分加工難易度も低下する。
また、一対のローラ電極6の回転軸がこれらの間隙に配置された吸着ノズル7の方向に向かって上向きに傾斜していることから、これらローラの接合作用面も同様に傾斜し、回転軸を水平方向にして軸着された従来のローラ電極のように接合作用面をテーパ状に形成する必要がない。さらに、吸着ノズル7はセラミック等の絶縁体を加工して作成することや、金属等の導電体を加工したのちに絶縁体でコーティングすることで、意図せぬ外力で通電中のローラ電極6から吸着ノズル7に電流が短絡する事故を防ぐこともできる。
1 ベース
2 カムプレート
3 カムフォロア
4 アーム
5、8 引っ張りコイルバネ
6 ローラ電極
7 吸着ノズル
9 絶縁ブロック
10 給電ブロック
11 リッド
12 パッケージ
2 カムプレート
3 カムフォロア
4 アーム
5、8 引っ張りコイルバネ
6 ローラ電極
7 吸着ノズル
9 絶縁ブロック
10 給電ブロック
11 リッド
12 パッケージ
Claims (2)
- 電子部品を収納するパッケージの開口部にリッドを載置し、一対のローラ電極を転接させつつ両電極間に通電し、前記リッドの縁辺とパッケージの開口部縁辺とをシーム接合するパッケージの封止作業に先立って、パッケージ開口部の所定の位置にリッドを載置し、このリッドをパッケージにスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置において、一対のローラ電極とその間隙に配置された吸着ノズルとを備え、この吸着ノズルは、前記リッドを吸着する吸着作用端にかけて大径部からテーパ状に小径となるように形成されており、前記一対のローラ電極は、回転軸方向の前記吸着ノズル側の一端面が前記テーパの角度と略平行になるように回転軸を傾斜させて回動自由に支持されたものであるとことを特徴とするリッドの仮止め装置。
- 前記吸着ノズルは内部に軸方向に貫通する空間を有し、この空間は吸着ノズルの外形が大径の部分では大径であり、外形が小径になるに従って連続的あるいは段階的に小径に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のリッドの仮止め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007165755A JP2009000731A (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | リッドの仮止め装置 |
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JP2007165755A JP2009000731A (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | リッドの仮止め装置 |
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- 2007-06-25 JP JP2007165755A patent/JP2009000731A/ja active Pending
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