JP2019171452A - シーム溶接装置 - Google Patents
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Description
気密封止法は、金属又はセラミックスのパッケージの中に素子を収納固定し、不活性ガス雰囲気中あるいは真空中でリッド(蓋)をかぶせて素子を完全に密封する方法である。この気密封止法によれば、水分などの不純物の侵入がなく、また局所加熱による封止なので、熱応力の影響も少なく樹脂封止に比べて高い封止信頼性を得ることができる。
また、本発明のシーム溶接装置の1構成例において、前記吸着ノズルは、少なくとも前記リッドおよび前記1対のローラ電極と接触する先端部が絶縁体で成形されたものである。
また、本発明のシーム溶接装置の1構成例において、前記1対の付勢部は、弾性力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する弾性体からなる。
また、本発明のシーム溶接装置の1構成例において、前記1対の付勢部は、流体の圧力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する押圧機構からなる。
また、本発明のシーム溶接装置の1構成例において、前記1対の付勢部は、磁石の反発力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する押圧機構からなる。
従来と同様に、溶接対象のワークは、内部にチップを収納するセラミック製のパッケージ30と、平面視四角形のリッド31とからなる。
吸着ノズル14には、内部に空気の流路140が設けられており、この流路140は吸着ノズル14の先端部141の下面に設けられた吸引穴142と連通している。
このため、電極ホルダ12a,12bを電極支持アーム13a,13bに取り付けると、図2(B)に示すように、ローラ電極10a,10bは、付勢部18a,18bの弾性力によって吸着ノズル14の2つの側面143,144に押し付けられるように常に付勢される。
本実施例の例では、吸着ノズル14の先端部141のX方向の幅をW、吸着ノズル14の母材の表面にコーティングされる絶縁体の膜厚をtとすれば、ローラ電極10aと10bの間隔は、W+2tとなる。
吸着ノズル14は、排気装置105に接続され、内部の流路140が排気されることにより、先端部141の下端にリッド31を吸着できるようになっている。
そして、制御部102のノズル側駆動機構制御部102cは、ノズル側駆動機構17を制御して吸着ノズル14を下降させ、吸着ノズル14によりリッド31を吸着させる(図4ステップS101)。そして、ノズル側駆動機構制御部102cは、吸着ノズル14を上昇させる(図4ステップS102)。
制御部102のXYステージ駆動機構制御部102dは、XYステージ駆動機構100を制御して、パッケージが所定の仮付け開始位置に来るようにXYステージ33を移動させる(図4ステップS103)。
制御部102のノズル側駆動機構制御部102cは、ノズル側駆動機構17を制御して、図5(E)、図5(F)に示すように吸着ノズル14を上昇させる(図4ステップS110)。
以上で、仮付けが終了する。仮付けでは、リッド31のY方向の2辺をそれぞれ1点ずつスポット溶接しただけなので、仮付け後にY方向の2辺とX方向の2辺をシーム溶接する。
以上のようなXY方向のシーム溶接は周知の技術である。また、シームヘッド1を仮付け専用とし、別のシームヘッドでXY方向のシーム溶接を行ってもよいことは言うまでもない。
Claims (6)
- 1対のローラ電極と、
パッケージ上に載置されたリッドを仮付けするときに前記1対のローラ電極の間隙に配置され、先端部の下面に設けられた吸引穴によって前記リッドを吸着しつつ上から押さえる吸着ノズルと、
前記仮付け時に前記1対のローラ電極が前記リッドの2辺と接触した状態で前記1対のローラ電極に溶接電流を供給する電源と、
前記1対のローラ電極の軸方向に沿って前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する1対の付勢部とを備え、
前記吸着ノズルは、少なくとも前記1対のローラ電極と接触する表面部分が絶縁体からなることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1記載のシーム溶接装置において、
前記吸着ノズルは、導電材料からなる母材の表面を絶縁体でコーティングしたものであることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1記載のシーム溶接装置において、
前記吸着ノズルは、少なくとも前記リッドおよび前記1対のローラ電極と接触する先端部が絶縁体で成形されたものであることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシーム溶接装置において、
前記1対の付勢部は、弾性力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する弾性体からなることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシーム溶接装置において、
前記1対の付勢部は、流体の圧力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する押圧機構からなることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシーム溶接装置において、
前記1対の付勢部は、磁石の反発力で前記1対のローラ電極をそれぞれ前記吸着ノズルに押し当てる方向に付勢する押圧機構からなることを特徴とするシーム溶接装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113695725A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-26 | 江苏天元激光科技有限公司 | 应用于半导体激光器制备的平行焊接设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311425A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-11-05 | Daishinku Corp | シーム溶接装置及びシーム溶接方法 |
JP2006086463A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Epson Toyocom Corp | リッド仮付け装置と仮付け電極 |
JP2007053192A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Nippon Avionics Co Ltd | マイクロパラレルシーム接合装置 |
JP2009000731A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Nippon Avionics Co Ltd | リッドの仮止め装置 |
JP2013081975A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Akim Kk | 溶接装置 |
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2018
- 2018-03-29 JP JP2018064723A patent/JP7011964B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311425A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-11-05 | Daishinku Corp | シーム溶接装置及びシーム溶接方法 |
JP2006086463A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Epson Toyocom Corp | リッド仮付け装置と仮付け電極 |
JP2007053192A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Nippon Avionics Co Ltd | マイクロパラレルシーム接合装置 |
JP2009000731A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Nippon Avionics Co Ltd | リッドの仮止め装置 |
JP2013081975A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Akim Kk | 溶接装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113695725A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-26 | 江苏天元激光科技有限公司 | 应用于半导体激光器制备的平行焊接设备 |
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