JP2019179834A - 実装装置ならびに実装方法およびこれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記基板を前記電極が存在する面の反対面から保持し、前記基板を面方向に移動させることが出来るステージと、前記電子部品を前記バンプが存在する面の反対面から保持して前記基板に向けて駆動する機能を有するとともに、ヒータを内蔵したボンディングヘッドと、前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写するペースト転写部と、前記ステージ、前記ボンディングヘッドの動作を制御する制御部を備えた実装装置である。
前記ペースト転写部を前記ステージとともに移動するように設けた実装装置である。
前記ボンディングヘッドに前記半導体チップを搬送する搬送手段を更に備え、
前記ペースト転写部を前記搬送手段に設けた実装装置である。
前記ステージを覆う形状で、前記ボンディングヘッドと対向する位置に開口部を有するステージカバーと、前記ステージカバー内に気体を放出するノズルとを更に備え、
前記制御部が前記ノズルの動作も制御する実装装置である。
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備えた実装方法である。
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備え、
少なくとも前記焼結工程において、前記ノズルが不活性気体を放出して、前記ステージカバー内の酸素濃度を低下させる実装方法である。
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備え
少なくとも前記焼結工程において、前記ノズルが還元性元素を含む気体を放出して、前記ステージカバー内を還元性雰囲気とする実装方法である。
前記焼結工程において、前記電子部品を前記基板に向けて加圧する実装方法である。
図1は本発明の実施形態に係る実装装置1を示すもので、図2は実装装置1の主要部分の断面図、図3は実装装置1の制御構成を示すブロック図である。実装装置1は、電子部品である半導体チップCを基板Wに実装するものであり、基台2、支持フレーム3、ステージ4、加圧ユニット5、ボンディングヘッド6、画像認識手段7、真空ポンプ8、ペースト転写部9、制御部10を備えている。なお、半導体チップCは図13(a)のようにピラーバンプPBを有し、基板Wは図14(a)のように電極Eを有している。半導体チップCを基板Wに実装する際は、ピラーバンプPBと電極Eを電気的に接合しつつ基板W上に半導体チップCを機械的に固定する。
この実装装置101を用いた実装方法は、実装装置1を用いた場合と同様に、転写工程、位置合わせ工程、接近工程、焼結工程からなるが、少なくとも焼結工程においてノズル41が不活性ガスを放出することで、ステージカバー40内の酸素濃度が低下して、金属粒子ペーストNP(の金属粒子)の酸化を一層抑制することが出来、導電性と機械的強度の向上により接合信頼性を高めることが出来る。ここで、不活性ガスとしてはアルゴンやキセノンのような希ガスも有効であるが、比較的安価な窒素ガスを用いることが望ましい。なお、ノズル41による不活性ガスの放出は焼結工程に限定されず、転写工程、位置合わせ工程、接近工程の各工程において実施してもよい。
2 基台
3 フレーム
4 ステージ
4a Y方向駆動ユニット
4b X方向駆動ユニット
4c 吸着テーブル
4E 排気流路
4H 基板吸着穴
5 加圧ユニット
6 ボンディングヘッド
6H 電子部品吸着穴
7 画像認識手段
8 真空ポンプ
9、19 ペースト転写部
10 制御部
11、12 搬送手段
16 搬送レール
17 チップスライダ
18 供給部スライダ
40 ステージカバー
40H 開口部
41 ノズル
61 アタッチメントツール
62 ヒータ
200 加熱炉
C 半導体チップ(電子部品)
E 電極
NP 金属粒子ペースト
PB ピラーバンプ
W 基板
Claims (9)
- 電子部品の有するバンプと基板が有する電極の間に介した金属粒子ペーストを焼結させて、基板上に電子部品を実装する実装装置であって、
前記基板を前記電極が存在する面の反対面から保持し、前記基板を面方向に移動させることが出来るステージと、
前記電子部品を前記バンプが存在する面の反対面から保持して前記基板に向けて駆動する機能を有するとともに、ヒータを内蔵したボンディングヘッドと、
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写するペースト転写部と、
前記ステージ、前記ボンディングヘッドの動作を制御する制御部を備えた実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記ペースト転写部を前記ステージとともに移動するように設けた実装装置。 - 請求項1に記載の実装装置であって、
前記ボンディングヘッドに前記半導体チップを搬送する搬送手段を更に備え、
前記ペースト転写部を前記搬送手段に設けた実装装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の実装装置であって、
前記ステージを覆う形状で、前記ボンディングヘッドと対向する位置に開口部を有するステージカバーと、
前記ステージカバー内に気体を放出するノズルとを更に備え、
前記制御部が前記ノズルの動作も制御する実装装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の実装装置を用いて、基板上に電子部品を実装する実装方法であって、
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、
前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、
前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、
前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備えた実装方法。 - 請求項4に記載の実装装置を用いて、基板上に電子部品を実装する実装方法であって、
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、
前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、
前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、
前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備え、
少なくとも前記焼結工程において、前記ノズルが不活性気体を放出して、前記ステージカバー内の酸素濃度を低下させる実装方法。 - 請求項4に記載の実装装置を用いて、基板上に電子部品を実装する実装方法であって、
前記バンプに前記金属粒子ペーストを転写する転写工程と、
前記バンプが前記電極に対向配置されるよう、前記電子部品と前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程と、
前記バンプに転写された金属粒子ペーストが前記電極に接触し前記バンプと前記電極の距離が所定の範囲に入るまで、前記電子部品を前記基板に接近させる接近工程と、
前記金属粒子ペーストを加熱する焼結工程とを備え
少なくとも前記焼結工程において、前記ノズルが還元性元素を含む気体を放出して、前記ステージカバー内を還元性雰囲気とする実装方法。 - 請求項5から請求項7のいずれかに記載の実装方法であって、
前記焼結工程において、前記電子部品を前記基板に向けて加圧する実装方法。 - 前記電子部品として半導体チップを用い、請求項5から請求項8のいずれかの実装方法で前記半導体チップを基板に実装する、半導体装置の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023153163A1 (ja) * | 2022-02-09 | 2023-08-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | フリップチップ実装構造およびフリップチップ実装方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000068331A (ja) * | 1998-08-21 | 2000-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品のボンディング装置およびボンディング方法 |
JP2004146731A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Mitsubishi Electric Corp | 多層配線基体の製造方法 |
JP2013057561A (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-28 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品認識装置における照明の設定値設定方法および物品認識装置 |
JP2014007329A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ボンディング装置 |
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WO2023153163A1 (ja) * | 2022-02-09 | 2023-08-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | フリップチップ実装構造およびフリップチップ実装方法 |
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