JP2005254385A - 真空ピンセット装置 - Google Patents
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Abstract
吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源とを1台のエアポンプに内蔵させて切換え分配器を不要にし、小型化とコストの削減及び配管作業の簡素化などを容易に達成できる真空ピンセット装置の提供を主たる目的とする。
【解決手段】
ピンセット本体3に、配管部5を介して吸引用の空気圧源に接続される吸着保持用の吸引流路11及び、吐出用の空気圧源に接続される離脱用の吐出流路12を形成すると共に、吸引流路11と吐出流路12を切換える切換え弁6を設け、切換え弁6の選択流路がピンセット本体3から吸引導管20を介して吸着具19に連通され、被吸着物の吸着保持と離脱を行う真空ピンセット装置3であって、吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源はダイアフラム式のポンプユニット27を装着した1台のエアポンプ4に内蔵させている。
【選択図】 図8
Description
2 吸着アタッチメント
3 ピンセット本体
3A 弁取付け部
3B 把持操作部
3C 先端側連結部
3D 後端側連結部
4 エアポンプ
5 配管部
6 切換え弁
7 弁体
8 付勢ばね
9 操作ボタン
10 空気室
11 吸引流路
12 吐出流路
13 内筒
14 外筒
15 二重管
16 雌コネクタ
17,18 雄コネクタ
19 吸着部
20 吸着導管
21 自在球
22 押さえキャップ
23 ケーシング
24 隔壁
25 呼吸孔
26 ポンプ室
27 ポンプユニット
27A 電磁石
27B 永久磁石
27C 振動板
27D ポンプ基板
27E ダイアフラム
28 弁口
29 シート状弁体
30 吐出空気量調整機構
31 吸引導入管
32,33 フィルター
34,35 吐出案内管
36 吐出導出管
37 吐出調整ねじ軸
38 大気連通孔
39 シール部材
D1,D2 ダイアフラム室
IN−1 第1吸気口
IN−2 第2吸気口
OUT−1 第1排気口
OUT−2 第2排気口
L1〜4,R1〜4 弁室
V1〜4 チェック弁
Claims (3)
- 把持操作するピンセット本体に、配管部を介して吸引用の空気圧源に接続される吸着保持用の吸引流路及び、吐出用の空気圧源に接続される離脱用の吐出流路を形成すると共に、吸引流路と吐出流路を切換える切換え弁を設け、切換え弁による選択流路がピンセット本体から吸引導管を介して吸着具に連通され、被吸着物の吸着保持と離脱を行う真空ピンセット装置であって、前記吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源はダイアフラム式のポンプユニットを装着した1台のエアポンプに内蔵させていることを特徴とした真空ピンセット装置。
- 前記エアポンプは、ケーシング内を隔壁で区分してポンプ室を形成し、このポンプ室内には外部の空気をダイアフラム室に吸気する第1吸気口と、ダイアフラム室の空気をポンプ室に排気する第1排気口と、ポンプ室の空気をダイアフラム室に吸気する第2吸気口と、ダイアフラム室の空気を外部に排気する第2排気口とを備えたダイアフラム式のポンプユニットであって、第1吸気口は内部配管及び前記配管部を介してピンセット本体の吸引流路に接続し、第2排気口は内部配管及び前記配管部を介してピンセット本体の吐出流路に接続すると共に、ポンプ室の内外を連通する呼吸孔を設けてポンプ室内に外気を吸入し、吐出用空気を補充するようにした請求項1に記載した真空ピンセット装置。
- 前記エアポンプには、第2排気口を前記配管部の吐出流路に接続する内部配管の途中に、リーク弁を可変させて吐出空気量の一部を大気に放出させ、吐出空気量を所望に設定するための吐出空気量調整機構を設けた請求項2に記載した真空ピンセット装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2009000731A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Nippon Avionics Co Ltd | リッドの仮止め装置 |
JP2010194217A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 洗濯機 |
DE202015001891U1 (de) * | 2015-03-11 | 2016-06-14 | Thomas Hahn | Vakuumpinzette zum händischen Aufnehmen, Bewegen und Ablegen von Wafern |
KR102297564B1 (ko) * | 2020-06-09 | 2021-09-03 | 주식회사 피에스텍 | 마그네틱 포고 핀 핸들러 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6282384U (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-26 | ||
JPH03154793A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Fujitsu Miyagi Electron:Kk | 圧気を利用した吸着装置 |
JPH04367606A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-18 | Meiyo Chin | 工作台 |
JPH05131375A (ja) * | 1991-11-06 | 1993-05-28 | Kiyoshi Takahashi | 真空ピンセツト装置 |
JP2001003873A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Masahiro Hase | エアポンプ装置 |
-
2004
- 2004-03-11 JP JP2004069202A patent/JP4512387B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6282384U (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-26 | ||
JPH03154793A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Fujitsu Miyagi Electron:Kk | 圧気を利用した吸着装置 |
JPH04367606A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-18 | Meiyo Chin | 工作台 |
JPH05131375A (ja) * | 1991-11-06 | 1993-05-28 | Kiyoshi Takahashi | 真空ピンセツト装置 |
JP2001003873A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Masahiro Hase | エアポンプ装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009000731A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Nippon Avionics Co Ltd | リッドの仮止め装置 |
JP2010194217A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 洗濯機 |
DE202015001891U1 (de) * | 2015-03-11 | 2016-06-14 | Thomas Hahn | Vakuumpinzette zum händischen Aufnehmen, Bewegen und Ablegen von Wafern |
KR102297564B1 (ko) * | 2020-06-09 | 2021-09-03 | 주식회사 피에스텍 | 마그네틱 포고 핀 핸들러 |
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