KR102297564B1 - 마그네틱 포고 핀 핸들러 - Google Patents

Abstract

마그네틱 포고 핀 핸들러이 게시된다. 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 중심축 방향으로 길게 확장되는 지지대; 상기 지지대의 한쪽 끝 부분에 부착되어 형성되며, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터로서, 금속성 물질로 형성되는 상기 핀 컨텍터; 상기 핀 컨텍터에 감겨져 형성되는 전자 코일; 및 상기 전자 코일에 전류를 흐르게 하여, 상기 핀 컨텍터에 전자기력을 발생하도록 구동되는 제어부를 구비한다. 상기와 같은 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에서는, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터에 전자 코일이 감겨져 형성된다. 그리고, 전자 코일에 전류가 흐르면, 상기 핀 컨텍터에 전자기력이 발생된다. 이에 따라, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 포고 핀을 외압을 가하지 않고 용이하게 집을 수 있게 된다. 그 결과, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에 의하면, 포고 핀의 마모와 손상의 우려가 완화되면서, 작업 능률이 크게 향상된다.

Description

마그네틱 포고 핀 핸들러{MAGNETIC POGO PIN HANDLER}

본 발명은 포고 핀 핸들러에 관한 것으로서, 특히, 프로브 카드에 포고 핀을 용이하게 설치할 수 있는 마그네틱 포고 핀 핸들러(magnetic pogo pin tweezer)에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에 있어서, FAB(fabrication) 공정에 의해 웨이퍼(wafer) 상에 복수개의 반도체 칩이 형성되며, 복수개의 반도체 칩은 전기적 특성 검사(Electrical Die Sorting; EDS)를 통하여 양, 불량을 선별하게 된다.

이와 같은 전기적 특성 검사 공정에 사용되는 장비는 테스터(tester)와, 프루브 시스템(probe system)으로 이루어져 있으며, 프루브 시스템에 웨이퍼 상의 반도체 칩의 전극 패드와 기계적으로 접촉되는 프루브 카드(probe card)가 설치되어 있다.

그리고, 프루브 카드는 아주 가는 포고 핀(pogo-pin)을 인쇄회로기판에 고정시켜 놓은 것으로 테스터에서 발생한 신호가 프루브 시스템을 통해서 프루브 카드에 설치된 각각의 포고 핀에 전달되고, 포고 핀에 전달된 신호는 포고 핀이 접촉된 웨이퍼 상의 반도체 칩의 전극 패드에 전달되어 반도체 칩이 양품인지 불량품인지를 검사하게 된다. 이때, 포고 핀의 수는 적어도 웨이퍼 상에 형성된 반도체 칩의 전극 패드 수에 대응하는 수로서, 매우 많은 수이다.

현재, 프루브 카드에 포고 핀을 설치하기 위해, 롱로즈 플레이어(longnose plier)나 니퍼(nipper)와 같은 집게 형태의 포고 핀 핸들러가 사용되고 있다.

그런데, 이러한 집게 형태의 포고핀 핸들러는 포고 핀을 집기 위해서 힘을 가해야 하므로 작업자의 높은 피로도를 유발하여 작업능률이 저하된다.

그리고, 집게 형태의 포고핀 핸들러는 포고 핀의 고장 및 마모를 발생시킬 수 있다. 즉, 작은 포고 핀을 집게 형태의 포고 핀 핸들러를 사용할 경우에, 포고 핀을 집는 과정에서 외압이 직접 포고 핀에 작용하기 때문에, 포고 핀의 마모와 손상의 우려가 있다.

본 발명의 목적은 포고 핀의 마모와 손상의 우려를 완화하면서, 포고 핀을 용이하게 집을 수 있어 작업 능률을 향상시킬 수 있는 포고 핀 핸들러를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면은 마그네틱 포고 핀 핸들러에 관한 것이다. 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 중심축 방향으로 길게 확장되는 지지대; 상기 지지대의 한쪽 끝 부분에 부착되어 형성되며, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터로서, 금속성 물질로 형성되는 상기 핀 컨텍터; 상기 핀 컨텍터에 감겨져 형성되는 전자 코일; 및 상기 전자 코일에 전류를 흐르게 하여, 상기 핀 컨텍터에 전자기력을 발생하도록 구동되는 제어부를 구비한다. 상기 제어부는 외부에서 온(on)/오프(off)의 제어가 가능한 스위치; 전력을 공급하는 밧데리; 및 일정한 저항값을 가지는 조절 저항을 구비하며, 상기 스위치, 상기 밧데리 및 상기 조절 저항은 상기 전자 코일과 함께 폐회로를 형성한다. 상기 제어부는 상기 조절 저항의 저항값을 조절하는 저항 조절기를 더 구비한다. 상기 핀 컨텍터의 단부면은 상기 지지대의 중심축에 대하여 형성각을 가지도록 형성되되, 상기 형성각은 30°내지 60°이다.

상기와 같은 구성의 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에서는, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터에 전자 코일이 감겨져 형성된다. 그리고, 전자 코일에 전류가 흐르면, 상기 핀 컨텍터에 전자기력이 발생된다. 이에 따라, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 포고 핀을 외압을 가하지 않고 용이하게 집을 수 있게 된다.

그 결과, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에 의하면, 포고 핀의 마모와 손상의 우려가 완화되면서, 작업 능률이 크게 향상된다.

본 발명에서 사용되는 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마그네틱 포고 핀 핸들러를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 제어부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 마그네틱 포고 핀 핸들러에 하우징이 더 구비된 상태를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 잇점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.

그리고, 각 도면을 이해함에 있어서, 동일한 부재는 가능한 한 동일한 참조부호로 도시하고자 함에 유의해야 한다. 또한, 하기의 설명에서, 구체적인 처리흐름과 같은 많은 특정 상세들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 기술된다. 그러나, 이들 특정 상세들 없이도, 본 발명의 실시될 수 있다는 것은 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다. 그리고, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.

한편, 각 구성요소에 대한 복수의 표현도 생략될 수도 있다. 예컨대 복수 개의 스위치나 복수개의 신호선으로 이루어진 구성일지라도 '스위치들', '신호선들'과 같이 표현할 수도 있고, '스위치', '신호선'과 같이 단수로 표현할 수도 있다. 이는 스위치들이 서로 상보적으로 동작하는 경우도 있고, 때에 따라서는 단독으로 동작하는 경우도 있기 때문이며, 신호선 또한 동일한 속성을 가지는 여러 신호선들, 예컨대 데이터 신호들과 같이 다발로 이루어진 경우에 이를 굳이 단수와 복수로 구분할 필요가 없기 때문이기도 하다. 이런 점에서 이러한 기재는 타당하다. 따라서 이와 유사한 표현들 역시 명세서 전반에 걸쳐 모두 이와 같은 의미로 해석되어야 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마그네틱 포고 핀 핸들러를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 지지대(100), 핀 컨텍터(200), 전자 코일(300) 및 제어부(400)를 구비한다.

상기 지지대(100)는 중심축 방향(A 방향)으로 길게 확장된다. 바람직하기로는 상기 지지대(100)는 비도전성 물질로 형성된다.

상기 핀 컨텍터(200)는 상기 지지대(100)의 한쪽 끝 부분에 부착되어 형성된다. 바람직하기로는 상기 핀 컨텍터(200)는 도전성 물질로 형성된다.

상기 전자 코일(300)은 상기 핀 컨텍터(200)에 감겨져 형성된다.

상기 제어부(400)는 상기 전자 코일(300)에 전류를 흐르게 할 수 있다.

도 2는 도 1의 제어부(400)의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 2를 참조하면, 상기 제어부(400)는 스위치(410), 밧데리(420) 및 조절 저항(430)을 구비한다.

상기 스위치(410)는 외부에서 온(on)/오프(off)의 제어가 가능하다.

상기 밧데리(420)는 전력의 공급이 가능하다.

상기 조절 저항(430)은 일정한 저항값을 가진다.

이때, 상기 스위치(410), 상기 밧데리(420) 및 상기 조절 저항(430)은 상기 전자 코일(300)과 함께 폐회로를 형성할 수 있다.

즉, 상기 스위치(410)가 온(on) 상태이면, 상기 전자 코일(300)에 전류를 흐르게 되고, 이때, 상기 핀 컨텍터(200)에 전자기력(magnetic force)이 형성된다. 그리고, 상기 핀 컨텍터(200)에 전자기력이 발생되면, 상기 핀 컨텍터(200)는 자성(磁性)이 형성된다.

그 결과, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에 의하면, 포고 핀(PIN)의 마모와 손상의 우려가 완화되서, 포고 핀(PIN)이 용이하게 접착될 수 있다.

그리고, 상기 스위치(410)가 오프(off) 상태이면, 상기 전자 코일(300)에는 전류가 흐르지 않게 되고, 이때, 상기 핀 컨텍터(200)에 형성된 전자기력(magnetic force)은 소멸된다.

바람직하기로는, 상기 스위치(410)는 버턴(411)을 구비한다. 이 경우, 상기 버턴(411)의 누름 등을 통하여, 상기 스위치(410)의 온(on)/오프(off)가 제어될 수 있다.

한편, 상기 제어부(400)는 저항 조절기(440)를 더 구비하는 것이 바람직하다. 상기 저항 조절기(440)는 상기 조절 저항(430)의 저항값을 조절한다. 이러한 상기 저항 조절기(440) 및 상기 조절 저항(430)의 구현은 당업자에게는 자명하므로, 본 명세서에서는, 설명의 간략화를 위하여, 이에 대한 구체적인 기술은 생략된다.

상기 조절 저항(430)의 저항값이 조절됨으로써, 상기 핀 컨텍터(200)에 형성되는 전자기력(FMA)의 세기가 조절된다.

이에 따라, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 다양한 중량을 가지는 포고 핀(PIN)을 손상을 최소화하면서 집을 수 있게 되며, 또한, 사용에 따라 약해질 수 있는 상기 밧데이(420)의 전력의 감소에 대응할 수 있게 된다.

한편, 바람직하기로는, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 하우징(HS)를 더 구비한다.

이때, 상기 하우징(HS)에는, 적어도 상기 지지대(100), 상기 전자 코일(300) 및 상기 조절 저항(430)이 내부에 포함된다. 이와 같은 상기 하우징(HS)에 의하여, 상기 지지대(100), 상기 전자 코일(300) 및 상기 조절 저항(430) 등의 구성요소들이 보호될 수 있다.

그리고, 상기 버턴(411)과 상기 저항 조절기(440)는 상기 하우징(HS)의 외부에 노출되도록 형성된다.

이와 같이, 상기 버턴(411)이 상기 하우징(HS)의 외부에 노출되도록 형성됨으로써, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러의 사용자는, 포고 핀(PIN)을 용이하게 집거나 놓을 수 있게 된다. 프루브 카드(PCARD)에 용이하게 설치할 수 있게 된다.

그리고, 상기 저항 조절기(440)도 상기 하우징(HS)의 외부에 형성될 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 상기 핀 컨텍터(200)의 단부면(B 방향으로 형성됨)은 상기 지지대의 중심축(A 방향)에 대하여 형성각(ANG)을 가지도록 형성된다. 이때, 상기 형성각(ANG)은 예각이다.

이때, 상기 형성각(ANG)은 30°내지 60°인 것이 바람직하다. 이 경우, 포고 핀(PIN)은 프로브 카드(PD)의 홀(PCARD)에 설치될 때, 수직에 가깝도록 새워진 상태를 유지할 수 있게 된다.

이에 따라, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러의 사용자는, 포고 핀(PIN)을 프루브 카드(PCARD)에 용이하게 설치할 수 있게 된다.

상기와 같은 구성의 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에서는, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터에 전자 코일이 감겨져 형성된다. 그리고, 전자 코일에 전류가 흐르면, 상기 핀 컨텍터에 전자기력이 발생된다. 이에 따라, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러는 포고 핀을 외압을 가하지 않고 용이하게 집을 수 있게 된다.

그 결과, 본 발명의 마그네틱 포고 핀 핸들러에 의하면, 포고 핀의 마모와 손상의 우려가 완화되면서, 작업 능률이 크게 향상된다.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

1. 마그네틱 포고 핀 핸들러에 있어서,
   중심축 방향으로 길게 확장되는 지지대;
   상기 지지대의 한쪽 끝 부분에 부착되어 형성되며, 포고 핀과 접촉될 수 있는 핀 컨텍터로서, 금속성 물질로 형성되는 상기 핀 컨텍터;
   상기 핀 컨텍터에 감겨져 형성되는 전자 코일; 및
   상기 전자 코일에 전류를 흐르게 하여, 상기 핀 컨텍터에 전자기력을 발생하도록 구동되는 제어부를 구비하며,
   상기 제어부는
   외부에서 온(on)/오프(off)의 제어가 가능한 스위치;
   전력을 공급하는 밧데리; 및
   일정한 저항값을 가지는 조절 저항을 구비하며,
   상기 스위치, 상기 밧데리 및 상기 조절 저항은
   상기 전자 코일과 함께 폐회로를 형성하며,
   상기 제어부는
   상기 조절 저항의 저항값을 조절하는 저항 조절기를 더 구비하며,
   상기 핀 컨텍터의 단부면은
   상기 지지대의 중심축에 대하여 형성각을 가지도록 형성되되,
   상기 형성각은
   30°내지 60°인 것을 특징으로 하는 마그네틱 포고 핀 핸들러.
   
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3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 마그네틱 포고 핀 핸들러는
   상기 지지대, 상기 전자 코일 및 상기 조절 저항을 내부에 포함하는 하우징을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 마그네틱 포고 핀 핸들러.
   
5. 제4항에 있어서, 상기 스위치는
   상기 스위치의 온/오프를 제어하는 버턴을 가지며,
   상기 버턴은
   상기 하우징의 외부에 노출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 포고 핀 핸들러.
   
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7. 삭제

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