JP4512387B2

JP4512387B2 - 真空ピンセット装置

Info

Publication number: JP4512387B2
Application number: JP2004069202A
Authority: JP
Inventors: 高橋　　清; 和夫高橋
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2010-07-28
Anticipated expiration: 2024-03-11
Also published as: JP2005254385A

Description

本発明は、ピンセット本体の先端に装着した吸着具に対して、ピンセット本体に接続したエアポンプ装置で空気の吸引又は吐出を行い、被吸着物を吸着保持または離脱させて移送する真空ピンセット装置に係り、半導体ウェハその他各種の被吸着物のハンドリングに適用できるが、例えば被吸着物が微小な種子や非常に薄い半導体チップあるいは微小なボールベアリングなどのような球状物でも、容易で且つ確実に吸着保持および離脱を高能率で行なうことが可能である。

この種の真空ピンセット装置には、本件出願人が先に提案して特許された特許文献１の真空ピンセット装置などがあり、特許文献１の真空ピンセット装置では、吸着保持と離脱の切換え操作ボタンを備えたピンセット本体の内部に、外部に設けた吸引用の空気圧源に接続される吸着保持用の吸引流路及び、吐出用の空気圧源に接続される離脱用の吐出流路を形成すると共に、切換え操作ボタンに連動して吸引流路と吐出流路とを切換える切換え弁を設け、この切換え弁による選択流路が導管を介して吸着具に連通され、特に吸着保持した被吸着物を離脱させる際には、吸着具からエアを吐出させるようにしている。

また、この種の真空ピンセット装置などに好適なエアポンプ装置として、同じく本件出願人が先に提案して特許された特許文献２のエアポンプ装置及び、特願２００２−３０２９５１号で提案した先願発明のエアポンプ装置などがあり、これらはいずれも複数のダイアフラム式エアポンプを使用しているが、特許文献２の場合には各エアポンプを多段状に直列接続できるようにしたものであり、先願発明の場合には各エアポンプを多段状に並列接続できるようにしたものである。

特公平８−１５７０９号公報特許第３４１５４８９号公報

特許文献１の真空ピンセット装置では、吸着保持した被吸着物を離脱させる際に吸着具からエアを吐出させるようにしているので、静電気や空気中の水分などによって影響を受けることなく被吸着物を確実に離脱できること、瞬時に離脱されるために作業能率を向上させることができること、また吸着保持する吸引流路と離脱する吐出流路の切換えは、切換え操作ボタンを手元でオンオフする簡単な操作で容易に行うことができること、などの効果を奏する。

しかしながら、特許文献１の真空ピンセット装置では吸着保持用の吸引流路と離脱用の吐出流路を必要とするので、外部に吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源及び切換え分配器を設けなければならず、特許文献２や先願発明などのように、吸引又は吐出のいずれか一方の機能を持つエアポンプ装置を使用する場合には、切換え分配器を介して吸引専用のエアポンプ装置と吐出専用のエアポンプ装置の２台に接続して流路の切り換えを行わなければならないので、真空ピンセット装置が大型化したり、コストアップになること、配管作業が複雑になることなど、解決を必要とする課題が残されていた。

そこで本発明は、これら従来技術の課題を解決し得る真空ピンセット装置を提供するものであって、特に吸着保持を行う吸引用の空気圧源と離脱を行う吐出用の空気圧源とを１台のエアポンプに内蔵させて切換え分配器を不要にすることによって、真空ピンセット装置を小型化すると共に、コストの削減及び配管作業の簡素化などを容易に達成できるようにすることを主たる目的としている。

本発明は、把持操作に供されるピンセット本体に、配管部材の吸引用流路を介して吸引用の空気圧源に接続される吸着保持用の吸引流路及び、前記配管部材の吐出用流路を介して吐出用の空気圧源に接続される離脱用の吐出流路を形成すると共に、前記吸引流路と前記吐出流とのどちらか一方を連通させると共にどちらか他方を遮断する切換え弁を設け、切換え弁により連通された選択流路がピンセット本体に取り付けられた吸着具に連通して被吸着物の吸着保持と離脱を行う真空ピンセット装置であって、前記吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源は、ダイアフラム式のポンプユニットを装着した１台のエアポンプであり、当該エアポンプは、前記ポンプユニットのダイアフラム室と前記配管部材の吸引用流路と連通させる第１吸気口と、前記ダイアフラム室と前記配管部材の吐出用流路とを連通させる第２排気口と、外部の空気を吐出用空気として前記ダイアフラム室へ補充するための呼吸孔と、前記第２排気口から吐出された吐出空気の一部を外部へ放出するリーク弁と
を備えている。

前記エアポンプは、前記ポンプユニットを内蔵するポンプ室を画成し、前記呼吸孔が形成された隔壁を有し、前記ポンプユニットのダイアフラム室は、前記第１吸気口によって前記吸引用流路と連通する第１ダイアフラム室と、前記第１ダイアフラム室と直列接続され、前記第２排気口によって前記吐出用流路と連通する第２ダイアフラム室とからなり、前記ポンプユニットは、前記第１ダイアフラム室と前記ポンプ室とを連通させる第１排気口と、前記ポンプ室と前記第２ダイアフラム室とを連通させる第２吸気口とを有するようにしている。

また、この真空ピンセット装置では、前記リーク弁が、外部へ放出させる吐出空気量を調整可能な吐出空気量調整機構を備えた形態を採ることができる。

この真空ピンセット装置では、従来技術の場合に大気中に放出していた排気側を、吸着保持した被吸着物を離脱させる吐出用の空気圧源として活用するようにし、１台のエアポンプに吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源とをコンパクトに内蔵することができると共に、配管作業も容易で且つ安価に提供することが可能となり、使い勝手の良い真空ピンセット装置にすることができる。

また、呼吸孔を介してポンプ室内に所望量の外気を吸入し、吐出用空気を補充することによって吸引側と吐出側の圧力バランスを採りながら、吐出用の空気圧を高め且つ安定化させることができるので、静電気や空気中の水分の付着によって離脱し難い被吸着物でも容易且つ確実に離脱させることができると共に、粉塵などが付着した物品に対するクリーニングにも活用することも可能であり、さらに被吸着物に適合させて吐出空気量調整機構で吐出空気量を所望に設定する際に、吐出空気量の可変幅を大きく採ることができる。

本発明の真空ピンセット装置について、本発明を適用した好適な実施形態を示す添付図面に基づいて詳細に説明するが、真空ピンセット装置１は図１で示す全体の外観斜視図のように、空気の吸引又は吐出作用で被吸着物の吸着保持又は離脱を行う吸着アタッチメント２と、手で把持して吸引又は吐出に流路の切り換え操作を行うピンセット本体３と、吸着保持を行う吸引用の空気圧源と離脱を行う吐出用の空気圧源とを備えたエアポンプ４と、ピンセット本体３とエアポンプ４を接続する配管部５とで構成されている。

ピンセット本体３は、図２の縦断面図で示すように、切換え弁６を装着した弁取付け部３Ａと、手で把持して切換え弁６の操作を行う把持操作部３Ｂと、吸着アタッチメント２を接続する先端側連結部３Ｃと、配管部５を接続する後端側連結部３Ｄとを備え、切換え弁６は吸引又は吐出に流路を切り換える弁体７と、弁体７を押し上げる付勢ばね８及び、弁体７を押し下げる操作ボタン９とで構成されている。

ピンセット本体３には、空気室１０及び空気室１０に連通する吸引流路１１と吐出流路１２を弁取付け部３Ａに設け、吸引流路１１と吐出流路１２の途中に弁体７を装着させ、把持操作部３Ｂは軸心に設けた内筒１３によって吸引流路１１を形成し、内筒１３の外周に設けた外筒１４によって吐出流路１２を形成する同心状の二重筒状体で構成され、弁取付け部３Ａと把持操作部３Ｂに形成した各吸引流路１１及び各吐出流路１２が連通する態様で、弁取付け部３Ａの後端側に把持操作部３Ｂの先端側を螺着させる。

配管部５は、内側チューブ１５ａと外側チューブ１５ｂとで同心状に形成した可撓性を有する二重管１５と、二重管１５の先端側に装着された雌コネクタ１６と、二重管１５の後端側に装着された雄コネクタ１７で構成され、雄コネクタ１７を介してエアポンプ４に接続すると共に、雌コネクタ１６を後端側連結部３Ｄに設けた雄コネクタ１８に連結してピンセット本体３に接続している。

吸着アタッチメント２は、吸着対象となる被吸着物の形状に適合させたノズルやパッドなどによる吸着部１９と、吸着部１９を支持し且つ吸引又は吐出する空気を流動させる吸着導管２０とで構成されており、吸着導管２０は先端側連結部３Ｃに設けた自在球２１に連結され、自在球２１を介して空気室１０に流路が連通されると共に、自在球２１を支持する押さえキャップ２２の螺合を緩めることによって、吸着導管２０の向きを自在に可変調整できるようにピンセット本体３に接続されている。

切換え弁６による流路の切り換え操作は、図３（ａ）で示すように吸着保持操作を行う際には、操作ボタン９を押圧しないで弁体７は付勢ばね８で上方へ押し上げられており、吸引流路１１は弁体７の外周に設けた環状溝７ａを介して、弁体７の上流側と下流側とが連通されていると共に、吐出流路１２は弁体７の外周によって、弁体７の上流側と下流側とが遮断されているので、エアポンプ４の吸引用の空気圧源によって吸着部１９には吸引空気圧が作用し、被吸着物を吸着保持することができる。

また、図３（ｂ）で示すように離脱操作を行う際には操作ボタン９を指で押圧し、付勢ばね８を圧縮させて弁体７を下方へ押し下げると、吸引流路１１は弁体７の外周によって、弁体７の上流側と下流側とが遮断されると共に、吐出流路１２は弁体７の外周に設けた環状溝７ｂを介して、弁体７の上流側と下流側とが連通されるので、エアポンプ４の吐出用の空気圧源によって吸着部１９には吐出空気圧が作用し、吸着保持していた被吸着物を離脱させることができる。

次に、エアポンプ４の構造について図４〜８で説明するが、基本的な構造は前記した特許文献２及び先願発明のエアポンプ装置に内蔵されている１台のエアポンプとほぼ同様であって、これらのエアポンプと相違点は、吐出流路を介して外部に排気していた空気を被吸着物の離脱を行う吐出用の空気圧源として活用すると共に、不足する吐出用の空気は呼吸孔を介して外部からポンプ室内に補充するようにしていることであるから、共通する構造については特許文献２を参照することにして詳細な説明は省略し、相違点を中心に以下の説明を行う。

エアポンプ４は、ケーシング２３（２３Ａ，２３Ｂ）内を隔壁２４（２４Ａ，２４Ｂ）で仕切り、内外を連通する呼吸孔２５を除いて隔壁２４内を密封状態にしてポンプ室２６を形成し、ポンプ室２６にはダイアフラム式のポンプユニット２７を内蔵させており、ポンプユニット２７は、交流電源で励磁して交互に磁極を切り換える電磁石２７Ａを作動させると、応動した永久磁石２７Ｂが振動板２７Ｃを振動させ、ポンプ基板２７Ｄの両側に装着したダイアフラム２７Ｅが振動板２７Ｃによって拡縮作動を行うことにより、内部に形成したダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２に対して給排気作動が行われる。

２７Ｅは、図５で示すようにポンプ基板２７Ｄの両側にダイアフラム２７Ｅ１とダイアフラム２７Ｅ２とが対向状に配置されており、一方のダイアフラム２７Ｅ１のダイアフラム室Ｄ１には弁室Ｌ１〜Ｌ４が形成されると共に、他方のダイアフラム２７Ｅ２のダイアフラム室Ｄ２には弁室Ｒ１〜Ｒ４が表裏に形成され、表裏で隣接する各ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の各弁室の間を弁口２８で連通させてシート状弁体２９を装着し、これによって第１〜４のチェック弁Ｖ１〜４が形成されている。

ダイアフラム２７Ｅには、弁室Ｌ１に連通する第１吸気口ＩＮ−１と弁室Ｒ２に連通する第２吸気口ＩＮ−２及び、弁室Ｌ３に連通する第１排気口ＯＵＴ−１と弁室Ｒ４に連通する第２排気口ＯＵＴ−２とを設け、第１吸気口ＩＮ−１からダイアフラム室Ｄ１側の弁室Ｌ１に空気が流入されると、第１チェック弁Ｖ１を開いてダイアフラム室Ｄ２側の弁室Ｒ１に流出された後に、ダイアフラム室Ｄ２内で連通する対角位置の弁室Ｒ３に流動し、第３チェック弁Ｖ３を開いてダイアフラム室Ｄ１側の弁室Ｌ３に戻り、第１排気口ＯＵＴ−１を介して外部へ流出する第一給排気流路が形成される。

また、第２吸気口ＩＮ−２からダイアフラム室Ｄ２側の弁室Ｒ２に空気が流入されると、第２チェック弁Ｖ２を開いてダイアフラム室Ｄ１側の弁室Ｌ２に流出された後に、ダイアフラム室Ｄ１内で連通する対角位置の弁室Ｌ４に流動し、第４チェック弁Ｖ４を開いてダイアフラム室Ｄ２側の弁室Ｒ４に戻り、第２排気口ＯＵＴ−２を介して外部へ流出する第二給排気流路が形成される。

ポンプユニット２７は、図８で示すように第１吸気口ＩＮ−１が実線矢印の吸引流路側Ｘに接続され、第２排気口ＯＵＴ−２が破線矢印の吐出流路側Ｙに接続されると共に、第２吸気口ＩＮ−２及び第１排気口ＯＵＴ−１がポンプ室２６内に開口されており、ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２に対して外部の空気が第１吸気口ＩＮ−１を介して吸引され、ポンプ室２６内の空気が第２吸気口ＩＮ−２を介して吸引されると共に、第２排気口ＯＵＴ−２を介して外部へ空気が排出されると共に、第１排気口ＯＵＴ−１を介してポンプ室２６内へ空気が排出されるようにしている。

ポンプユニット２７における吸排気作動は、図６で示すようにダイアフラム２７Ｅを外側へ拡張して、ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の容積が増加する膨張方向に付勢すると、ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の内部が減圧状態になって吸気作動が行われ、第１吸気口ＩＮ−１及び第２吸気口ＩＮ−２から内部に空気が補充されて増圧状態になり、この吸気中は第３チェック弁Ｖ３及び第４チェック弁Ｖ４は閉じた状態で、第１排気口ＯＵＴ−１側及び第２排気口ＯＵＴ−２側への排気は停止される。

また、図７で示すようにダイアフラム２７Ｅを内側へ縮小して、ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の容積が減少する圧縮方向に付勢すると、ダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の内部が増圧状態になった排気作動が行われ、ダイアフラム室Ｄ２の空気は第３チェック弁Ｖ３を通過して第１排気口ＯＵＴ−１側へ流出されると共に、同時に圧縮で更に増圧されたダイアフラム室Ｄ１の空気は、第４チェック弁Ｖ４を通過して第２排気口ＯＵＴ−２側へ流出されるので、次に膨張した際にダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２は再び減圧状態になるが、排気作用中は第１チェック弁Ｖ１及び第２チェック弁Ｖ２は閉じた状態で、第１吸気口ＩＮ−１側及び第２吸気口ＩＮ−２側からの吸気は停止される。

このように、ダイアフラム２７Ｅの拡縮作動による吸気作動と排気作動とが交互に繰り返されることにより、第１排気口ＯＵＴ−１が開口されているポンプ室２６内は次第に増圧され、この増圧された空気が同じくポンプ室２６内に開口している第２吸気口ＩＮ−２から吸引されて増圧されるので、やがてポンプ室２６内は一定の高圧状態に維持されると共に、これに伴って第１吸気口ＩＮ−１側からの吸引力及び第２排気口ＯＵＴ−２側への吐出力も増大される。

そして、二重管による配管部５を介して第１吸気口ＩＮ−１をピンセット本体３の吸引流路１１に接続して、被吸着物に対する吸着保持に利用すると共に、第２排気口ＯＵＴ−２をピンセット本体３の吐出流路１２に接続して、被吸着物に対する離脱に利用するが、ポンプ室２６内を気密状態にしておくと空気が次第に希薄になって吐出空気が不足してくるので、呼吸孔２５から外部の空気を順次導入して吐出空気の補充を行うようにしており、またエアポンプ４内には吐出空気の空気量を可変して調整する吐出空気量調整機構３０が設けられている。

図示の実施形態によるエアポンプ４では、ポンプ室２６内を完全に気密状態にした場合に、吸引側は−４０ＫＰａ（パスカル）の吸引能力があるところを、呼吸孔２５を設けて−７ＫＰａ分だけ吸引能力を下げて−３３ＫＰａに設定すると共に、吐出側は最大を１３ＫＰａにして０〜１３ＫＰａの範囲内で可変調整できるようにし、吸引側の空気圧と吐出側の空気圧とのバランスを設定しているが、呼吸孔２５による導入空気量を変えて両者の圧力バランスを所望に設定することが可能である。

すなわち、用途や被吸着物などに適合させて上記設定値より吸引側の空気圧を増加させて吐出側の空気圧を減少させたり、吸引側の空気圧を減少させて吐出側の空気圧を増加させる必要がある場合があり、呼吸孔２５の口径（図示では、０．８¢）を小さくして補充する空気量を減少させると、最大の吐出空気量を減少して吸引側の空気圧を増加させることができ、呼吸孔２５の口径を大きくして補充する空気量を増加させると、最大の吐出空気量を増加して吸引側の空気圧を減少させることができる。

次に、エアポンプ４内における吸引流路Ｘ及び吐出流路Ｙについて図４及び図８で説明すると、吸引側は配管部５の雄コネクタ１７と嵌合して吸引流路１１に連通する吸引導入管３１から、フイルター３２を介してポンプユニット２７の第１吸気口ＩＮ−１に達する吸引流路Ｘを有すると共に、吐出側はポンプユニット２７の第２排気口ＯＵＴ−２から、フイルター３３を介して吐出空気量調整機構３０に達する第１の吐出案内管３４と、吐出空気量調整機構３０から雄コネクタ１７と嵌合して吐出流路１２に連通する吐出導出管３６に達する第２の吐出案内管３５によって、吐出流路Ｙが形成されている。

吐出空気量調整機構３０は、第１の吐出案内管３４と第２の吐出案内管３５を接続する流路の途中に、公知の各種リーク弁などを設けて構成することが可能であり、図示の実施形態では先端をテーパ面で形成した吐出調整ねじ軸３７を、側面に大気連通孔３８を設けたねじ孔に螺合させると共に、ねじ孔の上端側は吐出調整ねじ軸３７との間をＯリングなどのシール部材３９で密封し、吐出調整ねじ軸３７を締め付けたり緩めることによって、先端のテーパ面が大気連通孔３８の開口量が可変調整され、リーク量を増減させて吐出空気量の調整を行うことができる。

なお、本発明は図示の実施形態に限定されることなく、要旨の範囲内において各種の変形を採り得るものであり、例えば図示の実施形態では配管部１５に内側チューブ１５ａと外側チューブ１５ｂとを同心状にした二重管を用いているが、２本のチューブを平行状にして用いる形態を採ることも可能であり、いずれの場合でも吸引側と吐出側とをワンタッチで同時接続する形態を採ることが望ましく、また切換え弁６は同様に機能する構造ならば、公知による他の切換え弁構造を用いることができる。

またエアポンプ４側に設けた吐出空気量調整機構３０を、ピンセット本体３側の吐出流路１２に設ける形態を採り、より手元で調整の操作ができる様な形態を採ることも可能であり、さらに呼吸孔２５を図示の実施形態では口径を一定にしているが、呼吸孔２５の口径を可変できるように、例えばカメラの絞り羽根その他による絞り機構を設け、吸引側と吐出側との圧力バランスを所望に調整できる形態を採ることも可能である。

以上のように、この真空ピンセット装置１では従来技術の場合に大気中に放出していた排気を、吸着保持した被吸着物を離脱させるための吐出用空気として活用するようにし、１台のエアポンプ４に吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源とをコンパクトに内蔵することができると共に、配管作業も容易で且つ安価に提供することが可能となり、使い勝手の良い真空ピンセット装置にすることができる。

本発明を適用した実施形態による真空ピンセット装置の全体外観斜視図を示す。図１の真空ピンセット装置におけるピンセット本体と吸着アタッチメントの縦断面図を示す。図２のピンセット本体における切換え弁６の動作説明図であって、（ａ）は吸着操作時の縦断面図を示し、（ｂ）は離脱操作時の縦断面図を示す。図１におけるエアポンプの内部構造を斜視図で示す。図４のエアポンプで使用するポンプユニットのダイアフラム内における吸排気流路の説明図であって、断面図で示す。図４のエアポンプで使用するポンプユニットにおけるダイアフラムの吸気作動の説明図であって、断面図で示す。図４のエアポンプで使用するポンプユニットにおけるダイアフラムの排気作動の説明図であって、断面図で示す。図１におけるエアポンプ内の吸引流路Ｘ及び吐出流路Ｙの説明図を示す。

符号の説明

１真空ピンセット装置
２吸着アタッチメント
３ピンセット本体
３Ａ弁取付け部
３Ｂ把持操作部
３Ｃ先端側連結部
３Ｄ後端側連結部
４エアポンプ
５配管部
６切換え弁
７弁体
８付勢ばね
９操作ボタン
１０空気室
１１吸引流路
１２吐出流路
１３内筒
１４外筒
１５二重管
１６雌コネクタ
１７，１８雄コネクタ
１９吸着部
２０吸着導管
２１自在球
２２押さえキャップ
２３ケーシング
２４隔壁
２５呼吸孔
２６ポンプ室
２７ポンプユニット
２７Ａ電磁石
２７Ｂ永久磁石
２７Ｃ振動板
２７Ｄポンプ基板
２７Ｅダイアフラム
２８弁口
２９シート状弁体
３０吐出空気量調整機構
３１吸引導入管
３２，３３フィルター
３４，３５吐出案内管
３６吐出導出管
３７吐出調整ねじ軸
３８大気連通孔
３９シール部材
Ｄ１，Ｄ２ダイアフラム室
ＩＮ−１第１吸気口
ＩＮ−２第２吸気口
ＯＵＴ−１第１排気口
ＯＵＴ−２第２排気口
Ｌ１〜４，Ｒ１〜４弁室
Ｖ１〜４チェック弁

Claims

把持操作に供されるピンセット本体に、配管部材の吸引用流路を介して吸引用の空気圧源に接続される吸着保持用の吸引流路及び、前記配管部材の吐出用流路を介して吐出用の空気圧源に接続される離脱用の吐出流路を形成すると共に、前記吸引流路と前記吐出流路とのどちらか一方を連通させると共にどちらか他方を遮断する切換え弁を設け、当該切換え弁により連通された選択流路がピンセット本体に取り付けられた吸着具に連通して被吸着物の吸着保持と離脱を行う真空ピンセット装置であって、
前記吸引用の空気圧源と吐出用の空気圧源は、ダイアフラム式のポンプユニットを装着した１台のエアポンプであり、
当該エアポンプは、
前記配管部材の吸引用流路と前記ポンプユニットのダイアフラム室とを連通させる第１吸気口と、
前記ダイアフラム室と前記配管部材の吐出用流路とを連通させる第２排気口と、
外部の空気を吐出用空気として前記ダイアフラム室へ補充するための呼吸孔と、
前記第２排気口から吐出された吐出空気の一部を外部へ放出するリーク弁と
を備えたことを特徴とする真空ピンセット装置。
前記エアポンプは、前記ポンプユニットを内蔵するポンプ室を画成し、前記呼吸孔が形成された隔壁を有し、
前記ポンプユニットのダイアフラム室は、
前記第１吸気口によって前記吸引用流路と連通する第１ダイアフラム室と、
前記第１ダイアフラム室と直列接続され、前記第２排気口によって前記吐出用流路と連通する第２ダイアフラム室とからなり、
前記ポンプユニットは、
前記第１ダイアフラム室と前記ポンプ室とを連通させる第１排気口と、
前記ポンプ室と前記第２ダイアフラム室とを連通させる第２吸気口と
を有することを特徴とする、請求項１に記載の真空ピンセット装置。
前記リーク弁が、外部へ放出させる吐出空気量を調整可能な吐出空気量調整機構を備えたことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の真空ピンセット装置。