CN211491592U - 集成式真空发生装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于自动化配件技术领域，主要涉及一种集成式真空发生装置。该集成式真空发生装置包括主体，主体包括用于产生真空的真空发生组件和用于控制工作气体通断的气路控制组件；真空发生组件包括壳体、喷管单元和导流管，该真空发生组件还包括Y型密封圈，其套设于导流管或外管外，整体设置于出气管路内并与壳体内壁相配合；Y型密封圈以Y口朝向通孔的方式设置。该集成式真空发生装置通过高度集成且模块化的部件，解决了传统真空发生器在体积和安装上的问题，并通过Y型密封圈实现了在断电、断气、意外停车等情况下的真空保持，确保被吸附的产品安全；并且Y型密封圈通气量大，能满足快速吸附/脱离的要求。

Description

集成式真空发生装置

技术领域

本实用新型属于自动化配件技术领域，具体涉及一种集成式真空发生装置。

背景技术

真空发生器就是利用正压气源产生负压的一种新型、高效、清洁、经济、小型的真空元器件，这使得在有压缩空气的地方，或在一个气动系统中同时需要正负压的地方获得负压变得十分容易和方便。真空发生器广泛应用在工业自动化中机械，电子，包装，印刷，塑料及机器人等领域。

真空发生器的传统用途是吸盘配合，进行各种物料的吸附、搬运等作业过程中，尤其适合于吸附易碎、柔软、薄的非金属材料或球型物体；其是流水线机器人操作的一个主要功能部件。

现有的真空发生器一般结构复杂、体型较大，在某些应用场景中会存在安装问题，因而往往被集中安装后通过较长的管路实现吸附操作；但这样一方面使得吸附效果受限，另一方面也使得吸附与脱离的操作用时较长，不能实现快速切换。

此外，在实际生产中，由于意外的断电、断气或是紧急停车时，传统的真空发生装置会以较快速度失去真空，从而导致被吸附的物品意外脱落或损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于集成度高、体积小，并且具有断电、断气真空保持功能的集成式真空发生装置。

为达到上述目的，本实用新型所采用的方案为：

一种集成式真空发生装置，包括主体，主体上设有进气接口、出气接口和真空接口；主体包括真空发生组件和气路控制组件。所述真空发生组件包括壳体、喷管单元和导流管，壳体内设有前进气管路、后进气管路和出气管路，并于壳体上形成有内出气口和内进气口；前进气管路连通进气接口与内出气口，后进气管路连通内进气口和出气管路；壳体上还设有与连通出气管路的吸气口，吸气口与真空接口相连通。

所述喷管单元设置于出气管路内，喷管单元包括喷管和外管，喷管内设有贯通的管路，外管内设有腔室以供喷管的前端设置，外管的侧壁上设有若干通孔；喷管一端与后进气管路而另一端配合于外管内；导流管内亦设有贯通的管路，其一端与外管相连而另一端经由出气管路与出气接口相连通。

所述真空发生组件还包括Y型密封圈，其套设于导流管或外管外，整体设置于出气管路内并与壳体内壁相配合；Y型密封圈以Y口朝向通孔的方式设置，使得真空接口的气体可以自由穿过流向出气接口而反向的由出气接口流向真空接口的过程被其阻止，即使得气体仅能单向流通(仅能穿过其流向出气接口)。

该集成式真空发生装置结构紧凑，便于安装，可以模块化集成装配，并且其真空发生组件还包括Y型密封圈，其一方面可以使得该装置整体上可以实现真空保持功能，另一方面在真空产生时，Y型密封圈还具有环形的流道、截面积大，因而可以实现快速真空产生。

作为优选，所述气路控制组件包括第一控制组件和第二控制组件。

作为优选，所述第一控制组件内设有阀腔室，阀腔室包括第一阀腔室和第二阀腔室；第一控制组件内还设有引气管路和排气管路，引气管路连通第一阀腔室与内出气口，排气管路连通第二阀腔室与内进气口。

作为优选，所述气路控制组件还包括气路控制单元，气路控制单元配合于阀腔室内；气路控制单元包括阀管、阀杆、后阀盖和前阀块。

阀管内部形成有贯通的空腔，所述空腔包括第一腔室和第二腔室，第一腔室内径大于第二腔室，第一腔室和第二腔室之间形成有斜面部，阀杆配合于阀管中空的空腔内，阀杆上还设有第一密封圈；阀杆于阀管内以能沿其轴向进行平移活动地设置，当其平移后，第一密封圈与斜面部配合以密封，或分离以打开，阀杆其他部位与阀管内壁具有间隙以形成气路。

所述后阀盖与阀管的后端相配合，配合后阀盖内还形成有后腔室，阀管前端形成有前腔室，前腔室的侧壁上设有第二通孔，前阀块平移地活动设置于前腔室内，前阀块上还设有密封圈，该密封圈的形式是不限定的。

作为优选，所述后阀盖上设有第二密封圈，阀管上设有第三密封圈和第四密封圈，第一密封圈和第二密封圈分设于第一腔室两侧以使其两侧密封，第二密封圈和第三密封圈分设于第二腔室两侧以使其两侧密封。

所述阀管在第一腔室和第二腔室处的侧壁上还分别设有第三通孔和第四通孔，第三通孔和第四通孔分别与第一控制组件的第一阀腔室和第二阀腔室相配合以形成气路。

作为优选，所述集成式真空发生装置还包括真空阀；真空阀为三通阀，其分别连接进气接口、后腔室和外界，其通电打开时可以使得前腔室与进气接口相连通以对其充气，或使得前腔室与外界相通以排气；前一状态对应于真空发生器工作状态，而后一状态对应于关闭。

前阀块直径大于阀杆后端直径，后腔室经由辅助与进气接口连通，前腔室连接至真空阀；真空阀工作以从进气接口抽气使前腔室充气，阀杆位移使气路控制单元就打开。

作为优选，所述集成式真空发生装置还包括破空组件；破空组件包括破空阀，破空阀为电磁阀，其通过相关的辅助气路连通进气接口与真空接口，以在破空时向真空接口补充气体以消除真空。

作为优选，所述破空组件还包括破空节流阀；第二控制组件内设有用于供破空组件与第二控制组件配合的破空腔，破空腔前端设有破空管路；破空节流阀前端设有阀尖，阀尖相对于破空管路位移以对其开度进行调节以对破空气体流量进行调节。

作为优选，所述真空接口还包括用于过滤的滤芯。

作为优选，所述导流管和外管是相互配合的独立部件，或是一体成型的整体部件；从实际来说，后者更佳。

本实用新型通过运用气流量较大的Y型圈密封件结构于抽真空气道内，充分发挥了Y型圈密封件的单向锁止功能和反向大流量功能，从而极大地缩短了抽真空时间，使得真空发生电磁阀工作时间降低，节省了能耗；压缩空气流通时间降低，节省了气源消耗；提升整体工作效率。此外，该集成式真空发生装置还具有结构紧凑、便于安装、可以模块化集成装配等优点。

附图说明

图1是本实用新型某一实施例的集成式真空发生装置的立体结构示意图；

图2是图1实施例的剖视图；

图3a是图1实施例中真空发生组件的结构示意图；

图3b是图3a的剖视图；

图3c是图3a中真空发生组件的壳体与进、出气接口配合剖视图，从中可以看出真空发生组件的主要气路结构；

图4是图3b中Y型密封圈的立体结构示意图；

图5a是图1实施例中气路控制组件与破空组件和真空接口的配合剖视图；

图5b是破空组件与第二控制组件的配合剖视图；

图6a是图1实施例的气路控制组件立体结构示意图，该气路控制组件主体由第一控制组件和第二控制组件两部分配合形成；

图6b是图6a的剖视图；

图6c是图6a的剖视分解示意图；

图7a是图6a实施例中第一控制组件与气路控制单元的配合剖视图；

图7b是图6a实施例中第一控制组件与阀管的配合剖视图；

图7c是图6a实施例中第一控制组件的剖视图；

图7d是图6a实施例中气路控制单元的结构剖视图；

图7e是图6a实施例中气路控制单元的阀管与阀杆的分解剖视图；

图8a是图1实施例气路原理图；

图8b是图1实施例的主要气路连接示意图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型，从而对本实用新型要求保护的范围作出更清楚地限定，下面就本实用新型的某些具体实施例对本实用新型进行详细描述。需要说明的是，以下仅是本实用新型构思的某些具体实施方式仅是本实用新型的一部分实施例，其中对于相关结构的具体的直接的描述仅是为方便理解本实用新型，各具体特征并不当然、直接地限定本实用新型的实施范围。本领域技术人员在本实用新型构思的指导下所作的常规选择和替换，均应视为在本实用新型要求保护的范围内。

一种集成式真空发生装置，包括主体，主体上设有进气接口101、出气接口102、真空接口103；其中，进气接口101用于连接气源，例如气泵或空压机或气体压力管道等，出气接口102用于排空或连接至专门的排空管路以排空，真空接口103用于连接待吸附部件，例如吸盘等。更佳地，真空接口103还包括滤芯1031，其设置于真空接口103与真空接口腔2021之间，以对真空接口103吸入的气体进行过滤。

主体主要包括真空发生组件100和气路控制组件200，真空发生组件100用于通过进气接口101输入的压力气体的作用使得出气接口102产生真空，而气路控制组件200则用于控制气路的通断以实现该集成式真空发生装置开/闭的控制。该集成式真空发生装置通过在进气接口101引入具有一定压力或流速的气体作为工作气体，并利用伯努利原理在真空接口103 产生真空，从而实现真空发生操作。

真空发生组件100包括壳体110、喷管单元120和导流管130，所述壳体110内设有前进气管路1111、后进气管路1112和出气管路112，壳体110上形成有用于供气路控制组件200连接的内出气口1113和内进气口1114，前进气管路1111连通进气接口101与内出气口1113，后进气管路1112连通内进气口1114和出气管路112，从而形成了壳体110内的气路。

当气路控制组件200打开时，气体由进气接口101进入后经由内出气口1113和内进气口 1114而被气路控制组件200控制开闭，再由出气接口102排出。壳体110上还设有与连通出气管路112的吸气口113，吸气口113用于供真空接口103与其相连通而将真空接口103的气体吸入出气管路112中。

如图3b所示，喷管单元120设置于出气管路112内，喷管单元120包括喷管121和外管 122，喷管121内设有贯通的管路中，并且其管路具有渐变的内径，例如内径逐渐缩小或先缩小后扩大；外管122内设有腔室1221以供喷管121前端设置，外管122侧壁上设有若干通孔 1222；喷管121一端与后进气管路1112而另一端配合于外管122内，以使气体由进气接口101进入后经由进气管路和气路控制组件200后至喷管121喷出，根据伯努利原理，会使得腔室1221产生负压而将真空接口103处的气体吸入并一同排出。

导流管130内亦设有贯通的管路以供混合气体流过，其一端与外管122相连而另一端经由出气管路112与出气接口102相连通；导流管130和外管122可以是独立部件而配合在一起，例如通过螺纹或卡接等方式，也可以是一体成型的整体，后者更佳。

真空发生组件100还包括Y型密封圈140，其套设于导流管130或外管122外，并整体设置于出气管路112内而与壳体110内壁相配合；并且，所述Y型密封圈140还以Y口朝向通孔1222的方式设置，以使得真空接口103的气体可以自由穿过流向出气接口102而反向的由出气接口102流向真空接口103的过程被阻止。从而实现在真空发生时其正常打开而当主气路关闭后反向的气体流动被其阻止；打开时，Y型密封圈140的外周壁与壳体110内壁分离，其具有更大的截面积，从而使整体流量较大，符合快速抽真空的要求。

为使该真空发生组件100配合严密，如图3a-3c所示，喷管121前端设有密封圈以使其与进气管路的配合严密；同时，导流管130上亦设有密封圈，并且该密封圈设置于吸气口113 后端，从而使其与出气管路112隔离。以上两处密封圈在图3b中虽然未予以数字标识，但从该图中可以直接明显其位置和作用，即使喷管组件与进、出气管路密封隔离。

气路控制组件200主要用于控制工作气体的开闭，从而对该集成式真空发生装置整体的开/闭进行控制。工作气体依次流经内出气口1113、气路控制组件200和内进气口1114。如图6a所示，气路控制组件200进一步由第一控制组件201和第二控制组件202这两部分配合形成，以便于制造和组装。

如图7c所示，第一控制组件201内设有阀腔室2011，阀腔室2011整体上呈贯通的杆状；并且，阀腔室2011进一步包括第一阀腔室2011a和第二阀腔室2011b。第一控制组件201内还设有引气管路1115和排气管路1116，引气管路1115连通第一阀腔室2011a与内出气口1113，排气管路1116连通第二阀腔室2011b与内进气口1114。

如图6b所示，气路控制组件200还包括气路控制单元210；该气路控制单元210主要由阀管2111、阀杆2112、后阀盖2113和前阀块2114组成。其中，阀管2111为中空的杆状形状，其内部形成为贯通的空腔，该空腔包括第一腔室2111a和第二腔室2111c，第一腔室2111a内径大于第二腔室2111c，第一腔室2111a和第二腔室2111c之间形成有斜面部2111b；阀杆2112为实心部件，整体上为杆状形状，其以可配合于阀管2111中空的空腔地设置，阀杆2112上还设有第一密封圈2110，并且，阀杆2112于阀管2111内可沿其轴向平移地设置，当其平移后，第一密封圈2110与斜面部2111b配合以密封，或分离以打开。同时，阀杆2112其他部位与阀管2111内壁具有间隙以形成气路；也就是说，通过阀杆2112于阀管2111内的平移使得设置于其上的第一密封圈2110与斜面部2111b配合，可使得进气管路被切断。

后阀盖2113与阀管2111的后端相配合，配合后阀盖2113内还形成有后腔室2119；而阀管2111形成有前腔室2115以供前阀块2114设置于其中；前腔室2115侧壁上设有第二通孔211a，第二通孔211a连通至外界以使前阀块2114能在真空阀104的控制下作位移活动；前阀块2114可平移地设置于前腔室2115内，其一端与阀杆2112的前端相配合，前阀块2114 上还设有密封圈，该密封圈可以是如图7d等附图所示的第二Y型密封圈2114a，也可以是一般O型密封圈，该密封圈的作用是使得大活塞腔与外界密封，因此图中的第二Y型密封圈2114a即可实现。

如图6b、7a所示，气路控制单元210配合于阀腔室2011内，后阀盖2113上设有第二密封圈2116，阀管2111上设有第三密封圈2117和第四密封圈2118，第三密封圈2117配合于第一腔室2111a和第二腔室2111c之间的内壁上，第四密封圈2118配合于第二腔室2111c外侧；第二密封圈2116和第三密封圈2117分设于第一腔室2111a两侧以使其两侧密封，第三密封圈2117和第四密封圈2118分设于第二腔室2111c两侧以使其两侧密封。同时，阀管2111在第一腔室2111a和第二腔室2111c处的侧壁上还分别设有第三通孔2111d和第四通孔2111e，第三通孔2111d和第四通孔2111e分别与第一控制组件201的第一阀腔室2011a和第二阀腔室2011b相配合以形成气路。

从而，工作气体由进气接口101进入后依次流经前进气管路1111、内出气口1113、引气管路1115、第一阀腔室2011a、第三通孔2111d、斜面部2111b、第四通孔2111e、第二阀腔室2011b、排气管路1116、内进气口1114和后进气管路1112，达到喷管单元120处，工作气体在进气接口101至后进气管路1112之间的所有管路的总和，可以认为是进气管路，该进气管路通过斜面部2111b处的通断而实现气路的开闭。

如图6b所示，第二控制组件202内设有真空接口腔2021，真空接口腔2021用于供真空接口103配合于第二控制组件202上，真空接口腔2021与真空管路114相连通以使真空接口 103与出气管路112相连通。同时，第二控制组件202内设有破空腔2022，破空腔2022用于供破空组件与第二控制组件202配合，破空腔2022前端设有破空管路2023。

除上述的进气接口101、出气接口102、真空接口103、真空发生组件100以及气路控制组件200等主要功能部件外，该集成式真空发生装置还包括连接各主要功能部件的辅助气路，总体气路原理如图8a所示。即在上述的功能部件结构的基础上，还按图8a所示的气路原理设置若干辅助气路，以使其发挥应有作用；对于辅助气路的形式的位置，是不限定的，可以在符合气路原理的情况下按需设置，例如在相关部件内不干涉地设置，或通过外接管路实现，具体形式在此不作限制。

工作气体在喷管121内受其作用而喷出，使外管122的腔室1221内产生一定的真空，并经由设置于外管122上的通孔1222使真空接口103处产生真空；同时，设置于导流管130或外管122外的Y型密封圈140在真空产生过程中可以允许气体通过，而当工作气体被关闭后气体的反向流动则不被允许，从而使得该集成式真空发生装置在关闭或意外停电、停气时可以保持真空度，产品不会因此脱落或损伤。

为对气路控制单元210进行控制，该集成式真空发生装置还包括真空阀104，可以采用 10mm微型电磁阀，其按图8a所示的气路原理进行设置，并通过相关辅助气路而连入系统中。真空阀104为三通阀，其分别连接进气接口101、后腔室2119和外界，其通电可以使得前腔室2115与进气接口101相连通以对其充气，或使得前腔室2115与外界相通以排气；前一状态对应于真空发生器工作状态，而后一状态对应于其关闭。

气路控制单元210的两头是两个不同大小的活塞(即阀杆2112后端和前阀块2114的直径相比后者更大)，前端的小活塞腔(即后腔室2119)直接连气源，大活塞腔(即前腔室2115) 连着至真空阀104，真空阀104是用于抽真空的小阀，其打开以允许气源(即进气接口101) 处的高压工作气体流通至前腔室2115内，于是大活塞腔一侧的作用力就大于小活塞端了(两侧压力相等但右侧接触面积更大因而压力更大)，阀杆2112向左位移(即朝向后腔室2119位移)，第一密封圈2110与斜面部2111b分离，于是气路控制单元210就打开了。

即，通过较小的真空阀104即可实现对于更大规格、作为主阀的气路控制单元210的控制，进而实现对于该集成式真空发生装置的整体开闭控制。真空阀104得电，前腔室2115进气，极短时间便达到和气源压力相同气压，于是不再充气，阀杆2112向左位移至最大位置，气路控制单元210一直处于打开的工作状态，一直有气压作用在大活塞(即前阀块2114)上，不再会有气体流动，这便是真空发生阶段；该真空阀104断电后关闭，气路断开，排气口打开，活塞腔的高压气体从真空阀104的排气口排出到大气中，小活塞端(阀杆2112后端)的力迫使阀杆2112和前阀块2114一同回位，第一密封圈2110与斜面部2111b配合使气路控制单元210关闭，真空发生停止。

如图5a、5b所示，在较佳情况下，该集成式真空发生装置还包括破空组件以用于快速破除真空接口103处的真空状态(简称“破空”)，破空组件用于在需要破空时向真空接口103 补充气体以快速消除真空，从而使得该集成式真空发生装置能快速消除真空状态，配合其本身具有的快速真空制造能力，可以使得其整体的工作效率更为高效。

破空组件在一般情况下是关闭的，不影响该集成式真空发生装置的正常工作，当需要使真空接口103的真空迅速消除时，操作打开破空组件，其向真空管路中通入气体以消除其真空度，使得真空接口103的真空迅速消除。为此，破空组件主要由破空阀310、破空节流阀 320以及相关辅助气路组成，其工作原理如图8a所示；破空组件打开后，破空阀310自进气接口101引气后经破空节流阀320调节流量，至真空端向其补充气体以快速消除其真空。

所述破空阀310采用电磁阀，例如10mm微型电磁阀，通电打开使破空管路整体贯通；破空节流阀320前端设有阀尖321，破空腔2022设有两管路并分别连通破空阀310和真空接口 103，两管路之一为破空管路2023，两管路与破空腔2022串连地设置，从而通过阀尖321于破空腔2022内的活动而对破空管路2023的开度进行调节对气体流量进行调节。相关辅助的管路除上述的两管路外，还包括破空阀310设置所需的其他管路，具体的管路形状和位置可以根据图8a所示的气路原理进行设置。当然，在不考虑对其进行流量调节时，破空节流阀 320及其相关辅助的管路亦可以省略。

Claims (10)

1.一种集成式真空发生装置，包括主体，主体上设有进气接口(101)、出气接口(102)和真空接口(103)；主体包括真空发生组件(100)和气路控制组件(200)；其特征在于，

所述真空发生组件(100)包括壳体(110)、喷管单元(120)和导流管(130)，壳体(110)内设有前进气管路(1111)、后进气管路(1112)和出气管路(112)，并于壳体(110)上形成有内出气口(1113)和内进气口(1114)；前进气管路(1111)连通进气接口(101)与内出气口(1113)，后进气管路(1112)连通内进气口(1114)和出气管路(112)；壳体(110)上还设有与连通出气管路(112)的吸气口(113)，吸气口(113)与真空接口(103)相连通；

所述喷管单元(120)设置于出气管路(112)内，喷管单元(120)包括喷管(121)和外管(122)，喷管(121)内设有贯通的管路，外管(122)内设有腔室(1221)以供喷管(121)的前端设置，外管(122)的侧壁上设有若干通孔(1222)；喷管(121)一端与后进气管路(1112)而另一端配合于外管(122)内；导流管(130)内亦设有贯通的管路，其一端与外管(122)相连而另一端经由出气管路(112)与出气接口(102)相连通；

所述真空发生组件(100)还包括Y型密封圈(140)，其套设于导流管(130)或外管(122)外，整体设置于出气管路(112)内并与壳体(110)内壁相配合；Y型密封圈(140)以Y口朝向通孔(1222)的方式设置，使得真空接口(103)的气体仅能穿过其流向出气接口(102)。

2.根据权利要求1所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述气路控制组件(200)包括第一控制组件(201)和第二控制组件(202)。

3.根据权利要求2所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述第一控制组件(201)内设有阀腔室(2011)，阀腔室(2011)包括第一阀腔室(2011a)和第二阀腔室(2011b)；第一控制组件(201)内还设有引气管路(1115)和排气管路(1116)，引气管路(1115)连通第一阀腔室(2011a)与内出气口(1113)，排气管路(1116)连通第二阀腔室(2011b)与内进气口(1114)。

4.根据权利要求3所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述气路控制组件(200)还包括气路控制单元(210)，气路控制单元(210)配合于阀腔室(2011)内；气路控制单元(210)包括阀管(2111)、阀杆(2112)、后阀盖(2113)和前阀块(2114)；

阀管(2111)内部形成有贯通的空腔，所述空腔包括第一腔室(2111a)和第二腔室(2111c)，第一腔室(2111a)内径大于第二腔室(2111c)，第一腔室(2111a)和第二腔室(2111c)之间形成有斜面部(2111b)，阀杆(2112)配合于阀管(2111)中空的空腔内，阀杆(2112)上还设有第一密封圈(2110)；阀杆(2112)于阀管(2111)内以能沿其轴向进行平移活动地设置，当其平移后，第一密封圈(2110)与斜面部(2111b)配合以密封，或分离以打开，阀杆(2112)其他部位与阀管(2111)内壁具有间隙以形成气路；

所述后阀盖(2113)与阀管(2111)的后端相配合，配合后阀盖(2113)内还形成有后腔室(2119)，阀管(2111)前端形成有前腔室(2115)，前腔室(2115)的侧壁上设有第二通孔(211a)，前阀块(2114)平移地活动设置于前腔室(2115)内，前阀块(2114)上还设有密封圈。

5.根据权利要求4所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述后阀盖(2113)上设有第二密封圈(2116)，阀管(2111)上设有第三密封圈(2117)和第四密封圈(2118)，第二密封圈(2116)和第三密封圈(2117)分设于第一腔室(2111a)两侧以使其两侧密封，第三密封圈(2117)和第四密封圈(2118)分设于第二腔室(2111c)两侧以使其两侧密封；

所述阀管(2111)在第一腔室(2111a)和第二腔室(2111c)处的侧壁上还分别设有第三通孔(2111d)和第四通孔(2111e)，第三通孔(2111d)和第四通孔(2111e)分别与第一控制组件(201)的第一阀腔室(2011a)和第二阀腔室(2011b)相配合以形成气路。

6.根据权利要求4所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述集成式真空发生装置还包括真空阀(104)，真空阀(104)为三通阀，其分别连接进气接口(101)、后腔室(2119)和外界；

前阀块(2114)直径大于阀杆(2112)后端直径，后腔室(2119)与进气接口(101)连通，前腔室(2115)连接至真空阀(104)；真空阀(104)打开以使进气接口(101)的气体进入前腔室(2115)，阀杆(2112)位移使气路控制单元(210)打开。

7.根据权利要求2所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述集成式真空发生装置还包括破空组件；破空组件包括破空阀(310)，破空阀(310)为电磁阀，其通过辅助管路连通进气接口(101)与真空接口(103)，以在破空时向真空接口(103)补充气体以消除真空。

8.根据权利要求7所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述破空组件还包括破空节流阀(320)；第二控制组件(202)内设有用于供破空组件与第二控制组件(202)配合的破空腔(2022)，破空腔(2022)前端设有破空管路(2023)；

破空节流阀(320)前端设有阀尖(321)，阀尖(321)相对于破空管路(2023)位移以对其开度进行调节以对破空气体流量进行调节。

9.根据权利要求1所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述真空接口(103)还包括滤芯(1031)。

10.根据权利要求1所述的集成式真空发生装置，其特征在于，所述导流管(130)和外管(122)是相互配合的独立部件，或是一体成型的整体部件。

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