JP2001003873A - エアポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のポンプ本体をケーシングを介して相互
に連結させ、ポンプ能力を容易に増減できる小型で比較
的安価なエアポンプ装置を提供する。 【解決手段】 ポンプ機構４（４Ａ，４Ｂ）には、ダイ
アフラム室の膨張時に、ポンプ室６２（６２Ａ，６２
Ｂ）外の空気を一方のダイアフラム室に流入させる第１
吸気口ＩＮ−１及びポンプ室の空気を他方のダイアフラ
ム室に流入させる第２吸気口と、ダイアフラム室の圧縮
時に、一方のダイアフラム室の空気をポンプ室に流出さ
せる第１排気口及び他方のダイアフラム室の空気をポン
プ室６２（６２Ａ，６２Ｂ）外に流出させる第２排気口
ＯＵＴ−２とを備え、一方のポンプ機構４Ａの出力側
（第２排気口ＯＵＴ−２）が他方のポンプ機構４Ｂの入
力側（第１吸気口ＩＮ−１）に整合して連通されるよう
に、各ポンプ機構の前記第１吸気口と前記第２排気口を
同一軸線上に配置させた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気の吸引及び吐
出を行うエアポンプ装置に係り、例えば物を吸着したり
飛散させたりする場合や、観賞魚その他の水棲動物飼育
用の水槽に対するエアレーションその他、各種の分野で
の使用が可能であるが、特にクリーンルーム内における
半導体ウエハの真空吸着などには好適なエアポンプ装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のエアポンプ装置としては、例え
ば実公昭５６−９１０３号公報、実公昭６３−４６７０
４号公報、実用新案登録第２５６５６２６号公報に開示
されたものなどがあり、これらではポンプ室内に設けた
ダイアフラムを電磁石と永久磁石を併用した電磁式駆動
手段で駆動させて吸気（空気の吸引）又は排気（空気の
吐出）を行っている。

【０００３】上記公報によるものを含む従来のダイアフ
ラム式エアポンプ装置は、オイルレスなので使用される
周囲の環境を汚染しないこと、低振動で騒音の発生が少
ないこと、構成部材の劣化が少なくて長寿命であること
からメンテナンスの点で有利であること、など他の方式
によるエアポンプ装置と比較して利点があり、例えば水
槽のエアレーションを行う吐出ポンプや半導体ウエハの
真空吸着を行う吸引ポンプなどのように、特に環境を損
なうことを嫌い且つ長期間に亘って安定した性能を維持
する用途には好適である。

【０００４】しかし、必要なポンプ能力が可変調整では
不可能な大幅な増加を伴う変更が必要になった場合に、
例えばエアレーションを目的としたエアポンプにおいて
容積の大きな水槽に変更する際や、ウエハの吸着を目的
としたエアポンプにおいて口径及び重量の大きなウエハ
吸着用に転用する際には、必要なポンプ能力が充足でき
る能力の高い別のエアポンプに取り替えて使用したり、
今までのものと同程度の能力のエアポンプをもう１台追
加し、２台の流路を外部配管で直列に連結した状態で同
時に使用することになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このために、前者の場
合には需用者は能力の高い高価なエアポンプを新たな購
入したり、今まで使用していたエアポンプが不要になる
などの経済的負担と損失を負うことになり、後者の場合
にはポンプ本体だけではなく電源ユニットや外部配管も
含めて２台分が必要であって、経済的負担と装置全体が
大型化すること及び個別のものを同時に運転させる操作
上の煩わしさなどがあり、これらのエアポンプを供給す
るメーカー側でも、ポンプ能力の異なる各種のエアポン
プを個別に生産する必要があり、コストの低減や在庫管
理の簡素化を図る上での支障になるなど、改善を必要と
する課題があった。

【０００６】そこで本発明では、上記したような従来技
術の課題を改善し得るエアポンプ装置を提供するもので
あり、その主な目的は、複数のポンプ本体をケーシング
を介して相互に連結させ、ポンプ能力を容易に増減させ
ることができると共に、小型で比較的安価なエアポンプ
装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、ケーシング内
に設けた密閉されたポンプ室へポンプ機構を収容させ、
左右一対のダイアフラム室を形成する各ダイアフラムを
支持して対向する各振動板を、電磁石と永久磁石を併用
した電磁式駆動手段で可動させ、各ダイアフラム室を膨
張又は圧縮作動して吸気又は排気を行うエアポンプ装置
を実施対象とするものである。

【０００８】本発明によるエアポンプ装置では、前記ポ
ンプ機構には、ダイアフラム室の膨張時にポンプ室外の
空気を一方のダイアフラム室に流入させる第１吸気口
と、ダイアフラム室の膨張時にポンプ室の空気を他方の
ダイアフラム室に流入させる第２吸気口と、ダイアフラ
ム室の圧縮時に一方のダイアフラム室の空気をポンプ室
に流出させる第１排気口と、ダイアフラム室の圧縮時に
他方のダイアフラム室の空気をポンプ室外に流出させる
第２排気口とを備え、同様の構成による複数の各ポンプ
機構をケーシングを介して連設した際に、一方のポンプ
機構の出力側が他方のポンプ機構の入力側に整合して連
通されるように、各ポンプ機構の前記第１吸気口と前記
第２排気口を同一軸線上に配置させた。（請求項１）

【０００９】請求項１のエアポンプ装置によると、空気
圧の増減を目的として複数のポンプ機構を接続する際に
外部配管を用いないで直接的に連結できるので、接続が
容易で且つ装置を小型化することが可能であると共に、
既存のエアポンプ装置を活用してポンプ能力の増大を計
ることが可能であり、ユーザーにとってもメーカーにと
っても経済的である。

【００１０】請求項１のエアポンプ装置において、上下
に連通させる連通筒を設けた第１のポンプ取付け基板を
備えたポンプケースの上部側に、空洞部を備えた上部端
末ケースが着脱可能に装着され、前記空洞部によって形
成される第１ポンプ室に収容する態様で第１のポンプ機
構を取り付け、第１のポンプ機構の第１吸気口を上部端
末ケースに設けた連通筒を介して第１のポンプ室外に連
通させると共に、第１のポンプ機構の第２排気口を第１
のポンプ取付け基板に設けた連通筒を介して第１のポン
プ室外に連通させて基本形となる一連形ポンプを構成し
ている。

【００１１】この一連形ポンプに対し、前記ポンプケー
スの下部側には空洞部を備えた下部端末ケースが着脱可
能に装着され、当該空洞部によって形成される第２ポン
プ室に収容する態様で第２のポンプ機構を第１のポンプ
取付け基板の下部側に取り付け、第１のポンプ機構の第
２排気口と第２のポンプ機構の第１吸気口を、前記第１
のポンプ取付け基板の連通筒を介して連通させ、第２の
ポンプ機構の第２排気口を下部端末ケースに設けた連通
筒を介して第２のポンプ室外に連通させて二連形ポンプ
を構成することができる。（請求項２）

【００１２】請求項２のエアポンプ装置によると、請求
項１の効果に加え、基本形となる一連形ポンプの第１の
ポンプ取付け基板の下部側に対し、下部端末ケースの空
洞部に収容される態様で第２のポンプ機構を取り付ける
と、小型化された二連形ポンプに容易で且つ経済的に変
更することができる。

【００１３】請求項２のエアポンプ装置に対し、前記下
部端末ケースに代え、上部側及び下部側の双方に空洞部
を備えた中間ケースを設けると共に、中間ケースの下部
側に第２のポンプ取付け基板を備えたポンプケースを取
付け、前記中間ケースの上部側の空洞部によって形成さ
れる第２のポンプ室には、第１のポンプ取付け基板の下
部側に取り付けた第２のポンプ機構を収容させ、下部側
の空洞部によって形成される第３のポンプ室には、第２
のポンプ取付け基板の上部側に装着した第３のポンプ機
構を収容させ、第２のポンプ機構の第２排気口と第３の
ポンプ機構の第１吸気口が、前記中間ケースに設けた連
通筒を介して連通された三連形ポンプを構成することが
できる。（請求項３）

【００１４】請求項３のエアポンプ装置によると、二連
形ポンプの下部端末ケースを取り外して中間ケースを取
り付けると共に、中間ケースの下部側に一連形ポンプと
同様の構成による第３のポンプ機構を取り付けた第２の
ポンプケースを追加することで、小型化された三連形ポ
ンプに容易で且つ経済的に変更することができる。

【００１５】請求項２のエアポンプ装置に対し、前記第
１のポンプ取付け基板と下部端末ケースとの間に、上部
側及び下部側の双方に空洞部を備えた中間ケースを設け
ると共に、中間ケースの下部側に第２のポンプ取付け基
板を備えたポンプケースを取付け、前記中間ケースの上
部側の空洞部によって形成される第２のポンプ室には、
第１のポンプ取付け基板の下部側に取り付けた第２のポ
ンプ機構を収容させ、下部側の空洞部によって形成され
る第３のポンプ室には、第２のポンプ取付け基板の上部
側に装着した第３のポンプ機構を収容させ、前記下部端
末ケースの空洞部によって形成される第４のポンプ室に
は、第２のポンプ取付け基板の下部側に装着した第４の
ポンプ機構を収容させ、第２のポンプ機構の第２排気口
と第３のポンプ機構の第１吸気口が、前記中間ケースに
設けた連通筒を介して連通され、第３のポンプ機構の第
２排気口と第４のポンプ機構の第１吸気口が、前記下部
端末ケースに設けた連通筒を介して連通された四連形ポ
ンプを構成することことができる。（請求項４）

【００１６】請求項４のエアポンプ装置によると、二連
形ポンプの第１のポンプ取付け基板と下部端末ケースと
の間に、三連形ポンプと同様の中間ケースと、第３及び
第４のポンプ機構を上下に取り付けたポンプケースを追
加することで、小型化された四連形ポンプに容易で且つ
経済的に変更することができる。

【００１７】請求項２〜４のエアポンプ装置において、
前記上部端末ケースの上部側には上蓋を取付け、この上
蓋には一端側を吸気用の外部配管と接続される吸引口と
して他端側を吸気室に連通させた吸引管路を設け、この
吸気室は前記上部端末ケースに収容された上部側のポン
プ機構の第１吸気口と連通させると共に、当該吸気室内
に吸気側フィルターを装着させた形態を採ることができ
る。（請求項５）

【００１８】請求項５のエアポンプ装置によると、吸気
側フィルターが内蔵されるので、外部配管の途中に別途
にフィルターを装着させる必要が無く、取り扱い操作が
容易になる。

【００１９】請求項２〜５のエアポンプ装置において、
前記下部端末ケース又は最下端に設けたポンプケースの
下部側には下蓋を取付け、この下蓋には一端側を排気口
として他端側を排気室に連通させた排気管路を設け、こ
の排気室は前記下部端末ケースに収容された下部側のポ
ンプ機構の第２排気口と連通させると共に、当該排気室
内に排気側フィルターを装着させた形態を採ることがで
きる。（請求項６）

【００２０】請求項６のエアポンプ装置によると、排気
側フィルターが内蔵されるので、外部配管の途中に別途
にフィルターを装着させる必要が無く、取り扱い操作が
容易になる。

【００２１】請求項６のエアポンプ装置において、前記
排気管路は前記下蓋に沿って水平状態に設けると共に、
当該排気管路の排気口を下蓋の側面に開口させた形態を
採ることができる。（請求項７）

【００２２】請求項７のエアポンプ装置によると、下蓋
の側面から水平方向に排気されるので、鉛直方向に排気
させた場合のように設置面に堆積した塵埃を飛散させた
り衝突音を発生することが無く、しかも排気管路を長く
することで消音効果も得られることから、作業環境を損
ねることがない。

【００２３】請求項２〜６のエアポンプ装置において、
前記各ポンプ機構の電磁石への電源供給手段は、ポンプ
取付け基板に対して上下連通状に設けた導電性部材を介
して各ポンプ機構の電磁石にそれぞれ通電する配線が行
われると共に、各ポンプ機構を収容するケーシングには
当該導電性部材が圧接されて隣接するポンプ室又はポン
プ室外に配線を引き出し可能な電極板を設け、上部端末
ケースの上部側から電源回路に接続されている。（請求
項８）

【００２４】請求項８のエアポンプ装置によると、二連
形又は三連以上の多連形ポンプの各ポンプ機構の電磁石
に対する通電は、各ポンプ機構を装着したポンプ取付け
基板にポンプ室を形成するケーシング（上下の端末ケー
ス或いは中間ケース）を取り付けると、格別に中継用の
配線をしなくても導電性部材及び電極板を介して相互に
電気接続されるので、配線が容易で且つ小型化にも寄与
することができ、この導電性部材は各ポンプ機構をポン
プ取付け基板に取り付けるねじ連結手段で兼用させるこ
とも可能である。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明のエアポンプ装置
に付いて好適な実施形態を示す添付図面を参照して詳細
に説明するが、図１は基本形となる一連形ポンプＡ１の
分解斜視図を示し、図２は二連形ポンプＡ２の分解斜視
図を示し、図３は一連形ポンプＡ１の組立状態での縦断
面図を示し、図４は図３のポンプＡ１からポンプ機構４
（４Ａ）を取り外して上半部と下半部を分離状態にした
縦断面図を示し、図５は二連形ポンプＡ２の組立状態で
の縦断面図を示し、図６は電気結線図を示す。

【００２６】一連形ポンプＡ１は、図１で示すように上
蓋部１と、端末ケース部２と、上部側にポンプ機構４
（４Ａ）を装着したポンプユニット部３（３Ａ）と、下
蓋部５で主要部分が構成され、二連形ポンプＡ２は、図
２で示すようにポンプユニット部３（３Ｂ）の上部側と
下部側にそれぞれポンプ機構４（４Ａ，４Ｂ）を装着す
ると共に、ポンプユニット部３（３Ｂ）と下蓋部５の間
に端末ケース部６を装着し、その他の構成は一連形ポン
プＡ１の場合と同様である。

【００２７】上蓋部１は、一端側を吸気用の外部配管と
接続（吐出ポンプの場合は大気側に開口）される吸引口
１３とした吸引管路１２と、押すと電源が投入されるノ
ンロックタイプの起動スイッチ１６と、上蓋取付用のね
じ取付け孔１７とを上蓋板１１に設け、吸引管路１２の
他端側は後述する吸気側フィルター２０を装着した吸気
室２１に連通され、上蓋板１１の上面側に吸気側フィル
ター２０の汚染状態を目視する透明な監視用窓蓋１４が
吸気室２１の上面を密封する状態で被着され、上蓋板１
１の下面側には監視用窓蓋１４と同心状に環状突起１５
が設けられている。

【００２８】端末ケース部２は、内部が仕切り板１８に
よって区分された上部端末ケース１９を備え、一連形の
場合は端末ケース部２とポンプユニット部３の間を、二
連形の場合は端末ケース部２とポンプユニット部３及び
端末ケース部６の間を、連結する取付けねじ用のねじ取
付け孔２２及び、ねじ取付け孔１７を介して上蓋部１を
取り付けるねじ穴２３と、導入口（図示を省略）から引
き込んだ電源ケーブルを起動スイッチ１６を介してポン
プ機構４側に電気接続する電極端子板用の取付け孔２
４，２５を設け、仕切り板１８の内方にはポンプ機構４
（４Ａ）を収容する空洞部２６が形成されている。

【００２９】また端末ケース部２には、仕切り板１８か
ら上方へ突出する環状突起２７を設け、吸気側フィルタ
ー２０を収容させたゴム製の接続リング２８に設けた上
下の接合溝面に対して、環状突起２７と上蓋部１側の環
状突起１５を圧接して密封状態で装着させ、接続リング
２８の内部に吸気側フィルター２０を収容した吸気室２
１を形成し、この吸気側フィルター２０は仕切り板１８
から上方へ突出する多数の間隔保持用小突起２９に支持
されると共に、環状突起２７の中央には仕切り板１８か
ら下方に突出する連通筒３０を設け、吸気室２１をポン
プユニット部３側へ連通させている。

【００３０】ポンプユニット部３には、ポンプケース３
１内を上下に区分する態様でポンプ取付け基板３２を設
け、このポンプ取付け基板３２に対して、一連形の場合
は端末ケース部２の空洞部２６側に収容される態様で上
部側のみにポンプ機構４（４Ａ）を取付け、二連形の場
合はこれに加えて端末ケース部６の空洞部３３側に収容
される態様でポンプ機構４（４Ｂ）を下部側にも取付け
るが、このポンプユニット部３は一連形及び二連形に
（三連形以上にも）共用できる構成を採ることが望まし
い。

【００３１】そのために、一連形の場合は取付け基板３
２の下部側へ直接に下蓋部５が装着され、二連形の場合
は取付け基板３２の下部側に取り付けた端末ケース６を
介して下蓋部５が装着される構成とし、取付け基板３２
には、一連形の場合にはポンプ機構４（４Ａ）からの空
気を下蓋部５側へ吐出させる管路を、二連形の場合には
ポンプ機構４（４Ａ）からの空気を端末ケース６側へ吐
出させてポンプ機構４（４Ｂ）へ吸気する管路を設ける
必要があり、二連形の場合には更にポンプ機構４（４
Ｂ）からの空気を下蓋部５側へ吐出させる管路も必要で
ある。

【００３２】従って、ポンプユニット部３の取付け基板
３２には、上部側に突出して開口する上筒部と下部側に
突出して開口する下筒部とを軸心で連通させた連通筒３
４を設け、端末ケース６を構成する下部端末ケース３５
内を区分して空洞部３３を形成するために設けた仕切り
板３６には、内底部から上部側に突出して開口する連通
筒３７を設けて空洞部３３を下蓋部５側へ連通させ、こ
れらの各連通筒３０，３４，３７は同一軸線上に配置さ
せている。

【００３３】下蓋部５は、一端側を大気側に開口（吐出
ポンプの場合は排気用の外部配管と接続）される排気口
３８とした排気管路３９と、下蓋取付用のねじ取付け孔
４０及びゴム脚４１を下蓋板４２に設け、排気管路３９
の他端側は後述する排気側フィルター４３を装着した排
気室４４に連通され、下蓋板４２の下面側には排気側フ
ィルター４３の汚染状態を目視する透明な監視用窓蓋４
５が排気室４４の下面を密封する状態で被着され、下蓋
板４２の上面側には監視用窓蓋４５と同心状に環状突起
４６が設けられている。

【００３４】下蓋部５をポンプユニット部３の下側に直
接取り付ける一連形の場合には、取付け基板３２から下
方へ突出する環状突起５１を連通筒３４の外周へ同心状
に設け、排気側フィルター４３を収容させたゴム製の接
続リング５２を連通筒３４の外周へ嵌合させると共に、
当該接続リング５２に設けた上下の接合溝面に対して環
状突起５１と下蓋部５側の環状突起４６を圧接して密封
状態で装着させ、接続リング５２の内部に排気側フィル
ター４３を収容した排気室４４を形成し、この排気側フ
ィルター４３は接続リング５２の内周と下方へ突出する
多数の間隔保持用環状突起５３に支持される。

【００３５】また、二連形の場合に追加される端末ケー
ス部６は端末ケース部２と対称構造であり、仕切り板３
６から下方へ突出する環状突起４７を設け、排気側フィ
ルター４３を収容させたゴム製の接続リング４９に設け
た上下の接合面に対して、環状突起４７と下蓋部５側の
環状突起４６を圧接して密封状態で装着させ、接続リン
グ４９の内部に排気側フィルター４３を収容した排気室
４４を形成し、この排気側フィルター４３は、仕切り板
３６から下方へ突出する多数の間隔保持用小突起５０に
支持される。

【００３６】ポンプ機構４は、交流電源で励磁して交互
に磁極を切り換える電磁石５４による制御部分と、基端
側を基台５５側に枢着した対向する振動板５８，５９の
先端側に、電磁石５４の磁極変化で吸引方向又は反発方
向に駆動制御される一対の永久磁石５６，５７を装着し
た駆動部分と、振動板５８，５９の中間に支持された状
態で基台５５側に被着されて後述するダイアフラム室を
形成し、電磁石５４の駆動制御で振動板５８，５９と連
動して圧縮又は膨張させて給排気を行う一対のダイアフ
ラム６０，６１を備えたポンプ本体とで構成される。

【００３７】ポンプ機構４は、ポンプ機構４Ａが端末ケ
ース部２の空洞部２６とポンプユニット部３とで形成す
る密閉されたポンプ室６２（６２Ａ）内に収容され、ポ
ンプ機構４Ｂが端末ケース部６の空洞部３３とポンプユ
ニット部３とで形成する密閉されたポンプ室６２（６２
Ｂ）内に収容されるが、ポンプ室６２（６２Ａ，６２
Ｂ）内を気密にするために、ポンプケース３１に対して
上部端末ケース１９又は及び下部端末ケース３５を、溝
穴６３，６４内に挿入したねじ手段によって連結する際
にその接合端部の全周にシールパッキン６５，６６を介
在させる。

【００３８】ポンプ本体は、基台５５の両端に設けた中
空の支持ロッド６７，６８に挿通させた長尺の連結ねじ
とナットなどの組合せによる連結手段６９，７０でポン
プケース３１に取り付けられ、特に二連形の場合はポン
プケース３１を挟んで各ポンプ機構４Ａ，４Ｂを同時に
連結させるが、図示の実施形態ではこのポンプ本体に対
する連結手段６９，７０を導電部材として各ポンプ機構
４Ａ，４Ｂの電磁石５４に対する通電を行っている。

【００３９】図６で示すように、導入口から上部端末ケ
ース１９の上部側に引き込んだ電源コード７１の端末
は、一方は直接に接続端子７２に配線されると共に、他
方は中継端子７３から上蓋板１１に取り付けた起動スイ
ッチ１６を経由して接続端子７４に接続されるように配
線され、上部端末ケース１９の下部側には各接続端子７
２，７４とねじで共締めされたりん青銅などによる電極
板７５，７６を設け、この電極板７５，７６を介して連
結手段６９，７０に導通させて給電している。

【００４０】即ち、ポンプユニット部３に端末ケース部
２を取り付けると、電極板７５，７６が前記連結手段６
９，７０の上端部に圧接して導通され、この連結手段６
９，７０に共締めした各接続端子７７，７８と電磁石５
４の励磁コイル端末７９，８０との間を予め電線で接続
しておけば、起動スイッチ１６を押した際に電磁石５４
に通電され、二連形の場合には連結手段６９，７０の下
端側で電磁石５４の励磁コイル端末との間を予め電線で
接続しておけば同時に通電される。

【００４１】この電源供給手段によると、格別に中継用
のコネクタを使用いないでポンプユニット部３に端末ケ
ース部２，６を取り付けるだけで簡便に接続される利点
があり、この電源供給手段の変形として、ポンプ本体の
基台５５に対する連結手段６９，７０とは別に導電性部
材を上下連通状態でポンプケース３１に取り付ける形態
を採ることもできる。

【００４２】ポンプ機構４の詳細に付いて図７〜１２で
説明するが、図７はポンプ機構４を左前方から見た分解
斜視図で示し、図８は同じく右前方から見た分解斜視図
で示し、図９はダイアフラム内の給排気構造を断面図で
示し、図１０はダイアフラムの吸気作動を断面図で示
し、図１１はダイアフラムの排気作動を断面図で示し、
図１２はダイアフラムの過負荷に対する制動手段を模式
図で示す。

【００４３】ポンプ機構４（４Ａ，４Ｂ）は、基台５５
の両側面にそれぞれ四つの弁室を形成する隔壁部材８
０，８１を設け、選択された各二つの弁室内には内底側
に形成した弁口を開閉するシート状弁体８２，８３を収
容させ、隔壁部材８０，８１の開口側には連通孔８４，
８５と弁体押さえ８６，８７を設けたパッキン８８，８
９を被着させ、このパッキン８８，８９は隔壁部材８
０，８１にねじ止めするポンプ基板９０，９１によって
支持されている。

【００４４】ポンプ基板９０，９１は、ダイアフラム６
０，６１が被着される筒状のダイアフラム受け９２，９
３と、連通孔８４，８５に連通する連通孔９４，９５と
を備え、当該ダイアフラム受け９２，９３にダイアフラ
ム６０，６１が被着された際には、その内部で後述する
ダイアフラム室が形成され、このダイアフラム６０，６
１を中間部で支持した振動板５８，５９は、基端側に設
けた弾性支軸９４，９５を基台５５側に取り付けた支持
ブロック９６，９７の円弧状溝に収容させると共に、支
持板９８，９９のねじ止めによって回動可能に枢着され
る。

【００４５】基台５５の構造は、表裏両面に背中合わせ
に設けた隔壁部材８０，８１内を十文字状の仕切り板１
００，１０１で区分して、隔壁部材８０側には弁室Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を隔壁部材８１側には弁室Ｒ１，
Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を形成させ、隔壁部材８０側の弁室Ｌ
と隔壁部材８１側の弁室Ｒは４個所へ花弁状に配置して
当該弁室の内底部に穿設した弁口１０２（１０２ａ，１
０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄ）を介して相互に連通させ
ている。

【００４６】また基台５５には、第１吸気口ＩＮ−１を
形成する第１吸気管１０３と、第２吸気口ＩＮ−２を形
成する第２吸気管１０４と上部側に並設されると共に、
第１排気口ＯＵＴ−１を形成する第１排気管１０５と、
第２排気口ＯＵＴ−２を形成する第２排気管１０６が下
部側に並設され、吸気管１０３と排気管１０６とが同一
軸線上に配置され、吸気管１０４と排気管１０５とが同
一軸線上に配置され、吸気側は吸気管１０３が弁室１０
２ａに吸気管１０４が弁室１０２ｂにそれぞれ連通さ
れ、排気側は排気管１０５が弁室１０２ｃと排気管１０
６が弁室１０２ｄにそれぞれ連通されている。

【００４７】シート状弁体は、弁体８２が隔壁部材８０
側の弁室Ｌ２，Ｌ３に弁口１０２ｂ又は弁口１０２ｃを
開閉し得る態様で、弁体８３が隔壁部材８１側の弁室Ｒ
１，Ｒ４に弁口１０２ａ又は弁口１０２ｄを開閉し得る
態様で、当該弁室の内底面を弁座面として中央に突設さ
れた支持ピン１０７，１０８に軸心孔を挿通させて装着
されるが、この支持ピン１０７，１０８に対してパッキ
ン８８，８９から突設した小径筒状の弁体押さえ８６，
８７を嵌合させると、当該弁体押さえ８６，８７がシー
ト状弁体８２，８３の軸心穴の外周囲を圧接状態で支持
する。

【００４８】さらに、パッキン８８，８９を被着させて
閉塞した隔壁部材８０，８１の開口側にポンプ基板９
０，９１を取付け、このポンプ基板９０，９１のダイア
フラム受け９２，９３にダイアフラム６０，６１を被着
すると、ポンプ基板９０とダイアフラム６０との間で第
１のダイアフラム室Ｄ１が形成され、ポンプ基板９１と
ダイアフラム６１との間で第２のダイアフラム室Ｄ２が
形成される。

【００４９】これによって、隔壁部材８０側の弁室Ｌ２
と弁室Ｌ４は、パッキン８８に設けた連通孔８４，８４
とポンプ基板９０に設けた連通孔９４，９４及びダイア
フラム室Ｄ１を介して連通され、隔壁部材８１側の弁室
Ｒ１と弁室Ｒ３は、パッキン８９に設けた連通孔８５，
８５とポンプ基板９１に設けた連通孔９５，９５及びダ
イアフラム室Ｄ２を介して連通されることになる。

【００５０】また、第１吸気口ＩＮ−１から弁室Ｌ１に
空気が流入されると、この空気は弁口１０２ａを開閉す
る弁体８３による第１チェック弁Ｖ１を開いて弁室Ｒ１
に流出され、その後にダイアフラム室Ｄ２を介して弁室
Ｒ３に戻り、弁口１０２ｃを開閉する弁体８２による第
３チェック弁Ｖ３を開いて弁室Ｌ３に流出され、この空
気は弁室Ｌ３から第１排気口ＯＵＴ−１を介して外部へ
流出する第一給排気流路が形成される。

【００５１】また、第２吸気口ＩＮ−２から弁室Ｒ２に
空気が流入されると、この空気は弁口１０２ｂを開閉す
る弁体８２による第２チェック弁Ｖ２を開いて弁室Ｌ２
に流出され、その後にダイアフラム室Ｄ１を介して弁室
Ｌ４に戻り、弁口１０２ｄを開閉する弁体８３による第
４チェック弁Ｖ４を開いて弁室Ｒ４に流出され、この弁
室Ｒ４から第２排気口ＯＵＴ−２を介して外部へ流出す
る第二給排気流路が形成される。

【００５２】そこで、一連形ポンプＡ１の場合には、第
１吸気口ＩＮ−１を形成する第１の吸気管１０３を連通
筒３０に嵌合させて吸気室２１に連通させ、第１排気口
ＯＵＴ−１を形成する第１排気管１０５と、第２吸気口
ＩＮ−２を形成する第２吸気管１０４を、ポンプ室６２
Ａにそれぞれ連通させると共に、第２排気口ＯＵＴ−２
を形成する第２排気管１０６を、連通筒３４に嵌合させ
て排気室４４に連通させた状態で、ポンプ機構４Ａをポ
ンプユニット部３の上部側に組付けする。

【００５３】また、二連形ポンプＡ２の場合には、ポン
プ機構４Ａにおける第２排気管１０６とポンプ機構４Ｂ
における第１吸気管１０３を、連通筒３４に対して上下
にそれぞれ嵌合させて連通させ、ポンプ機構４Ｂにおけ
る第１排気管１０５と第２吸気管１０４を、ポンプ室６
２Ｂにそれぞれ連通させると共に、第２排気管１０６を
連通筒３７に嵌合させて排気室４４に連通させた状態
で、ポンプ機構４Ａ，４Ｂをポンプユニット部３の上部
側と下部側にそれぞれ組付けする。

【００５４】特に、ポンプ機構４における第一給排気流
路と第二給排気流路とを交差状に形成して、吸気管１０
３と排気管１０６を同一軸線上に配置させると共に、吸
気管１０４と排気管１０５を同一軸線上に配置させるこ
とにより、ポンプユニット部３に組付けたポンプ機構４
Ａの出力側とポンプ機構４Ｂの入力側とが整合した状態
で連通可能となり、先に述べた電磁石５４，５４に対す
る電源供給構造と相俟って組立が容易で小型化を可能と
し、これらの構成は三連形以上の多連形ポンプの場合に
も有効である。

【００５５】ポンプ機構４の作動は、５０Ｈｚ又は６０
Ｈｚの交流を通電して電磁石５４を励磁すると、例えば
Ｅ形積層鉄心による磁極がＳ−Ｎ−Ｓに磁化され場合に
は対向するＮ極の永久磁石５６，５７が外向きに移動さ
れ、振動板５８，５９に支持されたダイアフラム６０，
６１はダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の容積を拡大する膨張
方向に付勢して吸気作用が行われ、磁極がＮ−Ｓ−Ｎに
磁化され場合には対向するＮ極の永久磁石５６，５７が
内向きに移動され、振動板５８，５９に支持されたダイ
アフラム６０，６１はダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２の容積
を縮小する圧縮方向に付勢して排気作用が行われる。

【００５６】吸気作用は、膨張で減圧したダイアフラム
室Ｄ２に対して、第１吸気口ＩＮ−１側から第１チェッ
ク弁Ｖ１を通過した空気が連通孔８５，９５を介して流
入されると共に、同時に膨張で減圧したダイアフラム室
Ｄ１に対して、第２吸気口ＩＮ−２側から第２チェック
弁Ｖ２を通過した空気が連通孔８４，９４を介して流入
されるので、膨張したダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２は再び
増圧状態になるが、吸気作用中は第３チェック弁Ｖ３及
び第４チェック弁Ｖ４は閉じた状態で、第１排気口ＯＵ
Ｔ−１側及び第２排気口ＯＵＴ−２側への排気は停止さ
れる。

【００５７】排気作用は、圧縮で更に増圧されたダイア
フラム室Ｄ２の空気は、連通孔８５，９５から第４チェ
ック弁Ｖ４を通過して第１排気口ＯＵＴ−１側へ流出さ
れると共に、同時に圧縮で更に増圧されたダイアフラム
室Ｄ１の空気は、連通孔８４，９４から第３チェック弁
Ｖ３を通過して第２排気口ＯＵＴ−２側へ流出されるの
で、次に膨張した際にダイアフラム室Ｄ１，Ｄ２は再び
減圧状態になるが、排気作用中は第１チェック弁Ｖ１及
び第２チェック弁Ｖ２は閉じた状態で、第１吸気口ＩＮ
−１側及び第２吸気口ＩＮ−２側からの吸気は停止され
る。

【００５８】この吸気作用と排気作用が交互に繰り返さ
れ、第１排気口ＯＵＴ−１が開口されているポンプ室６
２内は次第に増圧され、この増圧された空気が同じくポ
ンプ室６２内に開口している第２吸気口ＩＮ−２から吸
気されて増圧されるので、やがてポンプ室６２内は一定
の高圧状態に維持されると共に、これに伴って第１吸気
口ＩＮ−１側からの吸引力及び第２排気口ＯＵＴ−２側
への吐出力も増大される。

【００５９】そして、このポンプ機構４を二段重ねにし
た二連形ポンプＡ２の場合には４倍に増強され、三連形
以上の多段形ポンプにするとポンプ能力は更に増強され
るので、最上段のポンプ機構４の第１吸気口ＩＮ−１側
を吸気室２１に連通させると共に、上蓋部１の吸引口１
３に接続した吸引ノズルを介して真空吸着を行う吸引ポ
ンプ装置を構成すると、きわめて吸着能力の高い装置が
比較的安価で容易且つ小型化した状態で達成することが
できる。

【００６０】また、最下段のポンプ機構４の第２排気口
ＯＵＴ−２側を排気室４４に連通させると共に、下蓋部
５の排気口３８に接続した吐出ノズルを介して高圧吐出
を行う吐出ポンプ装置を構成すると、きわめて吐能力の
高い装置が比較的安価で容易且つ小型化した状態で達成
することができる。

【００６１】なお、ポンプ機構４の作動において、吐出
側に対して徐々に負荷を掛けていくと、ダイアフラム室
Ｄ１，Ｄ２内の圧力が高まって振動板５８，５９の可動
する範囲が、正常な状態では図１２（ａ）で示すように
外側Ｐ１と内側Ｐ２へ均等に移動することが望ましいと
ころを、図１２（ｂ）で示すように外側Ｐ１に大きく内
側Ｐ２に小さい偏った円弧運動になる恐れがある。

【００６２】これにより、ダイアフラム６０，６１を効
率良く膨張又は圧縮作動させるのに必要な、電磁石５４
に対する永久磁石５６，５７の相対位置が適正位置から
外れてポンプの吸引能力を低下させると共に、この状態
で長時間使用した際にはダイアフラム６０，６１が加熱
によって軟化したり劣化することにも成りかねない。

【００６３】そこで、振動板５８，５９が適正位置から
外れるような過大な可動を規制するために、図１２
（ｃ）で示すように一端を振動板５８，５９の外側に繋
着させて他側は取付け基板３２に設けた係止板１０７に
繋着させる態様で制動用のコイルバネ１０８を装着さ
せ、このダイアフラムに対する過負荷制動手段によって
安定した吸引能力が長期間維持できる吸引ポンプが得ら
れる。

【００６４】また吐出ポンプの場合には、外側Ｐ１に小
さく内側Ｐ２に大きく偏った円弧運動になる恐れがあ
り、この場合には図１２（ｄ）で示すように、一端を振
動板５８，５９の内側に繋着させて他側は取付け基板３
２に設けた係止板１０７に繋着させる態様で制動用のコ
イルバネ１０８を装着させる構成にする。

【００６５】次に、二連形以上の多連形ポンプについて
説明すると、図１３で示す三連形ポンプＡ３は、上蓋部
１と、下部側にポンプ機構４（４Ａ）が収容される端末
ケース部２と、上部側と下部側にそれぞれポンプ機構４
（４Ａ，４Ｂ）を装着したポンプユニット部３（３Ｂ）
と、上部側にポンプ機構４（４Ｂ）が下部側にポンプ機
構４（４Ａ）がそれぞれ収容される端末ケース部７と、
上部側にポンプ機構４（４Ａ）を装着したポンプユニッ
ト部３（３Ａ）と、下蓋部５で主要部分が構成されてい
る。

【００６６】この三連形ポンプＡ３では、ポンプ機構４
が装着されるポンプユニット部３として、一連形ポンプ
Ａ１で用いた上部側にのみポンプ機構４（４Ａ）が装着
されるポンプユニット部３（３Ａ）と、二連形ポンプＡ
２で用いた上部側と下部側にそれぞれポンプ機構４（４
Ａ，４Ｂ）を装着したポンプユニット部３（３Ｂ）の双
方を用いると共に、二連形ポンプＡ２における端末ケー
ス部６に代え、上部側と下部側とにポンプ機構４が収容
できる中間ケース部７を用いたものである。

【００６７】中間ケース部７は、端末ケース部６の上部
側と同様の空洞部を下部側にも設けた上下対称形状で構
成され、この下部側の空洞部に対してポンプ機構４（４
Ａ）を装着したポンプユニット部３（３Ａ）を収容させ
る構成を追加させたものであり、その他の構成は二連形
ポンプＡ２の場合と同様である。

【００６８】また図１４で示す四連形ポンプＡ４は、上
蓋部１と、下部側にポンプ機構４（４Ａ）が収容される
端末ケース部２と、上部側と下部側にそれぞれポンプ機
構４（４Ａ，４Ｂ）を装着したポンプユニット部３（３
Ｂ）と、上部側にポンプ機構４（４Ｂ）が下部側にポン
プ機構４（４Ａ）がそれぞれ収容される中間ケース部７
と、上部側と下部側にそれぞれポンプ機構４（４Ａ，４
Ｂ）を装着したポンプユニット部３（３Ｂ）と、上部側
にポンプ機構４（４Ｂ）が収容される端末ケース部６
と、下蓋部５で主要部分が構成されている。

【００６９】この四連形ポンプＡ４では、ポンプ機構４
が装着されるポンプユニット部３として、二連形ポンプ
Ａ２で用いた上部側と下部側にそれぞれポンプ機構４
（４Ａ，４Ｂ）を装着したポンプユニット部３（３Ｂ）
を２組用いると共に、二連形ポンプＡ２における端末ケ
ース部６に代え、上部側と下部側とにポンプ機構４が収
容できる三連形ポンプＡ３でも使用する中間ケース部７
を用いたものである。

【００７０】このように、三連形以上の多連形ポンプの
場合にも、中間ケース部７を除いては一連形又は二連形
ポンプに用いている共通のユニットを使用して構成する
ことができるので、容易且つ安価にポンプ能力を増強さ
せることが可能であり、以上の実施形態では主として吸
引ポンプを中心に説明したが、吐出ポンプの場合には入
出力が逆になる程度で吸引ポンプの場合と同様に実施さ
れて効果を発揮するものである。

【００７１】なお、以上の実施形態では吸気側及び排気
側のフィルターを内蔵させたり、吸気口及び排気口を側
部に設けるようにするために、ケーシングの上下に上蓋
部１及び下蓋部５を装着させたが、主たる発明の要旨と
してはこれらを省略した形態を採ることができる。

【００７２】例えば二連形ポンプＡ２の場合、吸気側に
は第１吸気口１０３が嵌合する連通筒３０に整合させて
上部端末ケース１９の上面側に吸気筒を設け、この吸気
筒に対して途中に吸気側フィルターを装着した外部配管
を接続して真空吸着する吸気ノズルに連結させ、排気側
には第２排気口１０６が嵌合する連通筒３７に整合させ
て下部端末ケース３５の下面側に排気筒を設け、この排
気筒に排気側フィルターを装着した構成も可能である。

【００７３】また、各ポンプ機構４の第１吸気管１０３
の外周に環状のシールパッキン１０９を、第２排気管１
０６の外周に環状のシールパッキン１１０をそれぞれ嵌
合させ、当該第１吸気管１０３又は第２排気管１０６が
挿通される連通管との間を密封にして各ポンプ室６２の
気密性を保持させると共に、各ポンプ室６２の気密性を
損なう恐れのあるその他の個所にも、同様な気密保持手
段を設ける。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるエアポンプ装置の実施形態であっ
て、基本形となる一連形ポンプＡ１を分解斜視図で示
す。

【図２】同じく、二連形ポンプＡ２を分解斜視図で示
す。

【図３】図１の一連形ポンプＡ１の組立状態を縦断面図
で示す。

【図４】図３の一連形ポンプＡ１からポンプ機構４（４
Ａ）を取り外して上半部と下半部を分離状態にした縦断
面図を示す。

【図５】図２の二連形ポンプＡ２の組立状態を縦断面図
で示す。

【図６】ポンプ機構４に対して電源供給する電気結線図
を示す。

【図７】ポンプ機構４を左前方から見た分解斜視図を示
す。

【図８】ポンプ機構４を右前方から見た分解斜視図を示
す。

【図９】ポンプ機構４におけるダイアフラム内の給排気
構造を断面図で示す。

【図１０】ポンプ機構４におけるダイアフラムの吸気作
動を断面図で示す。

【図１１】ポンプ機構４におけるダイアフラムの排気作
動を断面図で示す。

【図１２】ポンプ機構４におけるダイアフラムの過負荷
制動手段を模式図で示す。

【図１３】本発明によるエアポンプ装置の実施形態であ
って、三連形ポンプの構成を分解斜視図で示す。

【図１４】本発明によるエアポンプ装置の実施形態であ
って、四連形ポンプの構成を分解斜視図で示す。

【符号の説明】

Ａ１ 一連形ポンプ Ａ２ 二連形ポンプ Ａ３ 三連形ポンプ Ａ４ 四連形ポンプ Ｄ１，Ｄ２ ダイアフラム室 ＩＮ−１ 第１吸気口 ＩＮ−２ 第２吸気口 ＯＵＴ−１ 第１排気口 ＯＵＴ−２ 第２排気口 Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４ 弁室 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４ 弁室 Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４ チェック弁 １ 上蓋部 ２，６ 端末ケース部 ３ ポンプユニット部 ４ ポンプ機構 ５ 下蓋部 ７ 中間ケース部 １１ 上蓋板 １３ 吸引口 １４，４５ 監視用窓蓋 １６ 起動スイッチ １８，３６ 仕切板 １９ 上部端末ケース ２０ 吸気側フィルター ２１ 吸気室 ２６，３３ 空洞部 ２８，４９，５２ 接続リング ３０，３４，３７ 連通筒 ３１ ポンプケース ３２ ポンプ取付け基板 ３５ 下部端末ケース ３８ 排気口 ４２ 下蓋板 ４３ 排気側フィルター ４４ 排気室 ５４ 電磁石 ５５ 基台 ５６，５７ 永久磁石 ５８，５９ 振動板 ６０，６１ ダイアフラム ６２ ポンプ室 ８０，８１ 隔壁部材 ８２，８３ シート状弁体 ８８，８９ パッキン ９０，９１ ポンプ基板 ８４，８５，９４，９５ 連通孔 １０２ 弁口 １０３ 第１吸気管 １０４ 第２吸気管 １０５ 第１排気管 １０６ 第２排気管 １０８ （制動用の）コイルバネ １０９，１１０ シールパッキン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽瀬 昌廣 東京都八王子市堀の内３−22−９ 有限会 社アデックス内 (72)発明者 高橋 清 東京都江戸川区平井７丁目17番25号 (72)発明者 高橋 和夫 東京都江戸川区東葛西２丁目17番３号 Ｆターム(参考） 3H077 AA12 BB05 BB10 CC02 CC09 CC17 CC18 DD05 DD17 EE35 EE36 EE37 FF02 FF06 FF12 FF14 FF32

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシング内に設けた密閉されたポンプ
   室へポンプ機構を収容させ、左右一対のダイアフラム室
   を形成する各ダイアフラムを支持して対向する各振動板
   を、電磁石と永久磁石を併用した電磁式駆動手段で可動
   させ、各ダイアフラム室を膨張又は圧縮作動して吸気又
   は排気を行うエアポンプ装置であり、 前記ポンプ機構には、ダイアフラム室の膨張時にポンプ
   室外の空気を一方のダイアフラム室に流入させる第１吸
   気口と、ダイアフラム室の膨張時にポンプ室の空気を他
   方のダイアフラム室に流入させる第２吸気口と、ダイア
   フラム室の圧縮時に一方のダイアフラム室の空気をポン
   プ室に流出させる第１排気口と、ダイアフラム室の圧縮
   時に他方のダイアフラム室の空気をポンプ室外に流出さ
   せる第２排気口とを備え、同様の構成による複数の各ポ
   ンプ機構をケーシングを介して連設した際に、一方のポ
   ンプ機構の出力側が他方のポンプ機構の入力側に整合し
   て連通されるように、各ポンプ機構の前記第１吸気口と
   前記第２排気口を同一軸線上に配置させたことを特徴と
   するエアポンプ装置。
2. 【請求項２】 上下に連通させる連通筒を設けた第１の
   ポンプ取付け基板を備えたポンプケースの上部側に、空
   洞部を備えた上部端末ケースが着脱可能に装着され、前
   記空洞部によって形成される第１ポンプ室に収容する態
   様で第１のポンプ機構を取り付け、第１のポンプ機構の
   第１吸気口を上部端末ケースに設けた連通筒を介して第
   １のポンプ室外に連通させると共に、第１のポンプ機構
   の第２排気口を第１のポンプ取付け基板に設けた連通筒
   を介して第１のポンプ室外に連通させて基本形となる一
   連形ポンプを構成し、前記ポンプケースの下部側には空
   洞部を備えた下部端末ケースが着脱可能に装着され、当
   該空洞部によって形成される第２ポンプ室に収容する態
   様で第２のポンプ機構を第１のポンプ取付け基板の下部
   側に取り付け、第１のポンプ機構の第２排気口と第２の
   ポンプ機構の第１吸気口を、前記第１のポンプ取付け基
   板の連通筒を介して連通させ、第２のポンプ機構の第２
   排気口を下部端末ケースに設けた連通筒を介して第２の
   ポンプ室外に連通させて二連形ポンプを構成する請求項
   １に記載したエアポンプ装置。
3. 【請求項３】 請求項２のエアポンプ装置に対し、前記
   下部端末ケースに代え、上部側及び下部側の双方に空洞
   部を備えた中間ケースを設けると共に、中間ケースの下
   部側に第２のポンプ取付け基板を備えたポンプケースを
   取付け、前記中間ケースの上部側の空洞部によって形成
   される第２のポンプ室には、第１のポンプ取付け基板の
   下部側に取り付けた第２のポンプ機構を収容させ、下部
   側の空洞部によって形成される第３のポンプ室には、第
   ２のポンプ取付け基板の上部側に装着した第３のポンプ
   機構を収容させ、第２のポンプ機構の第２排気口と第３
   のポンプ機構の第１吸気口が、前記中間ケースに設けた
   連通筒を介して連通された三連形ポンプを構成すること
   を特徴としたエアポンプ装置。
4. 【請求項４】 請求項２のエアポンプ装置に対し、前記
   第１のポンプ取付け基板と下部端末ケースとの間に、上
   部側及び下部側の双方に空洞部を備えた中間ケースを設
   けると共に、中間ケースの下部側に第２のポンプ取付け
   基板を備えたポンプケースを取付け、前記中間ケースの
   上部側の空洞部によって形成される第２のポンプ室に
   は、第１のポンプ取付け基板の下部側に取り付けた第２
   のポンプ機構を収容させ、下部側の空洞部によって形成
   される第３のポンプ室には、第２のポンプ取付け基板の
   上部側に装着した第３のポンプ機構を収容させ、前記下
   部端末ケースの空洞部によって形成される第４のポンプ
   室には、第２のポンプ取付け基板の下部側に装着した第
   ４のポンプ機構を収容させ、第２のポンプ機構の第２排
   気口と第３のポンプ機構の第１吸気口が、前記中間ケー
   スに設けた連通筒を介して連通され、第３のポンプ機構
   の第２排気口と第４のポンプ機構の第１吸気口が、前記
   下部端末ケースに設けた連通筒を介して連通された四連
   形ポンプを構成することを特徴としたエアポンプ装置。
5. 【請求項５】 前記上部端末ケースの上部側には上蓋を
   取付け、この上蓋には一端側を吸気用の外部配管と接続
   される吸引口として他端側を吸気室に連通させた吸引管
   路を設け、この吸気室は前記上部端末ケースに収容され
   た上部側のポンプ機構の第１吸気口と連通させると共
   に、当該吸気室内に吸気側フィルターを装着させた請求
   項２〜４の何れかに記載したエアポンプ装置。
6. 【請求項６】 前記下部端末ケース又は最下端に設けた
   ポンプケースの下部側には下蓋を取付け、この下蓋には
   一端側を排気口として他端側を排気室に連通させた排気
   管路を設け、この排気室は前記下部端末ケースに収容さ
   れた下部側のポンプ機構の第２排気口と連通させると共
   に、当該排気室内に排気側フィルターを装着させた請求
   項２〜５の何れかに記載したエアの排気口はポンプ装
   置。
7. 【請求項７】 前記排気管路は前記下蓋に沿って水平状
   態に設けると共に、当該排気管路の排気口を下蓋の側面
   に開口させた請求項６に記載したエアポンプ装置。
8. 【請求項８】 前記各ポンプ機構の電磁石への電源供給
   手段は、ポンプ取付け基板に対して上下連通状に設けた
   導電性部材を介して各ポンプ機構の電磁石にそれぞれ通
   電する配線が行われると共に、各ポンプ機構を収容する
   ケーシングには当該導電性部材が圧接されて隣接するポ
   ンプ室又はポンプ室外に配線を引き出し可能な電極板を
   設け、上部端末ケースの上部側から電源回路に接続され
   ている請求項１〜７の何れかに記載したエアポンプ装
   置。