JP2008539145A

JP2008539145A - 材料保存および分配パッケージおよび方法

Info

Publication number: JP2008539145A
Application number: JP2008509038A
Authority: JP
Inventors: トム，グレン，エム．; キンガリー，ジョン，アール．; オドウアティ，ケビン，ティー．; ミッケルセン，カーク; アルバーグ，ミシェル; メニング，ジョセフ; ヤン，ホンウェイ
Original assignee: アドバンスドテクノロジーマテリアルズ，インコーポレイテッド
Priority date: 2005-04-25
Filing date: 2006-04-25
Publication date: 2008-11-13
Anticipated expiration: 2026-04-25
Also published as: WO2006116389A2; CN103010595B; WO2006116389A3; KR20080005290A; US20150078685A1; TW200710000A; EP1877310A2; CN101208255A; CN101208255B; CN103010595A; JP4920678B2; TW201326001A; TWI391301B; MY146226A; US20130301959A1; KR101211458B1; US20090212071A1; TWI486292B

Abstract

【課題】化学試薬などの保存および分配に有用な材料収容パッケージを提供する。
【解決手段】例えば超小型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬および化学機械的研磨組成物などの材料を保存し、分配するパッケージおよび方法は、高純度液体を圧力で分配するような構成である収容構造および方法を含む。ゼロまたはほぼゼロ頭隙構造を使用して、粒子発生、気泡の形成および収容されている材料の劣化の悪影響を最小限に抑える、液体または液体を含む媒体のライナパッケージングについて説明する。
【選択図】図１

Description

[0001] 本出願の主題は、「ZERO HEAD SPACE/MINIMAL HEAD SPACE LINER-BASED LIQUID STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS ADAPTED FOR PRESSURE DISPENSING」についてGlenn M. Tom、John Kingery、Kevin O'Dougherty、Kirk MikkelsonおよびMichelle Albergの名前で２００５年４月２５日に出願された米国仮特許出願第６０／６７４，５７８号、および「MATERIAL STORAGE AND DISPENSING PACKAGES AND METHODS」についてGlenn M. Tomその他の名前で２００６年１月２４日に出願された米国仮特許出願第６０／７６１，６０８号の開示に関連し、それを含む、米国仮特許出願第６０／６７４，５７８号は、「LINER-BASED LIQUID STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS WITH EMPTY DETECTION CAPABILITY」についてMinna Hovinen、John Kingery、Glenn M. Tom、Kevin O'Dougherty、Kirk Mikkelsen、Donald WareおよびPeter Van Buskirkの名前で２００５年４月２５日に出願された米国仮特許出願第６０／６７４，５７９号、および「APPARATUS AND PROCESS FOR STORAGE AND DISPENSING OF CHEMICAL REAGENTS AND COMPOSITIONS」についてWeigua Wang、David Bernhard、Thomas H. Baum、Greg MlynarおよびMinna Hovinenの名前で２００５年４月２５日に出願された米国仮特許出願第６０／６７４，５７７号に関連して２００５年４月２５日に同時出願された。このような仮特許出願全部の開示は、参照により個々の全体が本明細書に組み込まれる。

[0002] 本発明は、概ね超小型電子デバイスの製造に、および液体または他の流体を圧力で分配するように様々な実施形態で使用される高純度液体試薬および化学機械的研磨組成物などの化学試薬および組成物を保存して、分配するのに有用な材料収容システムに関する。

[0003] 多くの産業用途では、化学試薬および組成物は高純度状態で供給される必要があり、パッケージ充填、保存、輸送、および最終の分配作業を通して供給材料が純粋で適切な形態で維持されることを保証するために、専用のパッケージングが開発されている。

[0004] 超小型電子デバイス製造の分野では、パッケージング材料の汚染および／またはパッケージ内に含まれる材料への環境汚染の侵入が、多種多様な液体および液体を含む組成物で製造した超小型電子デバイス製品に悪影響を及ぼして、超小型電子デバイス製品を欠陥品にするか、所期の用途には無用になることさえあるので、このような液体および液体を含む組成物のために、適切なパッケージングの必要性が特に強い。

[0005] このような考慮事項の結果、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツール洗浄製剤、化学機械的研磨組成物など、超小型電子デバイスの製造に使用される液体および液体を含む組成物のために、多くのタイプの高純度パッケージングが開発されている。

[0006] このように使用されている１タイプの高純度パッケージングは、剛性外部パックを含んでおり、蓋またはカバーなどの保持構造によって剛性外部パック内の所定の位置に固定された可撓性ライナまたは袋内に液体または液体系組成物または他の材料を収容する。このようなパッケージングは一般に、剛性外部パックの特定の形態に応じて、「箱に袋を入れる」、「コンテナに袋を入れる」または「ドラムに袋を入れる」パッケージングと呼ばれる。パッケージングの剛性外部パックは、例えば高密度ポリエチレンまたは他のポリマまたは金属で形成することができ、ライナは、ライナに含まれる液体または液体系材料に対して不活性であるように選択されたポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、低密度ポリエチレン、ＰＴＦＥ系多積層、ＰＴＦＥ系多層積層、ポリウレタンなどのポリマフィルム材料の、前洗浄した無菌の折りたたみ式袋として提供される。このようなタイプのパッケージングは、ATMI, Inc.（米国コネチカット州Danbury）からNOWPAKという商標で販売されている。

[0007] 液体および液体系組成物のこのようなライナパッケージングを含む分配作業では、液体は、収容された液体に液浸管を液浸した状態で、液浸管を含む分配アセンブリを、ライナの口に接続することによってライナから分配される。このように分配アセンブリがライナに結合された後、ライナの外面に流体圧力が加えられ、したがってこれが漸進的に潰れて、液体を強制的に分配アセンブリに通し、最終使用場所に流すために関連する流れ回路に放出する。あるいは、液体をパッケージから引き出すために、ライナの出口に、またはそれに接続された分配アセンブリに負圧を加えることができる。

[0008] このようなタイプのライナ式パッケージに入れて液体材料を出荷する場合、通常は、コンテナに過度の機械的歪みを与えずに、液体の熱膨張および収縮に対応する頭隙ガスとして、液体の上にガス空間が維持される。

[0009] しかしその結果、輸送およびパッケージのその他の動作中に液体が攪拌されるにつれ、パッケージ内の液体に気泡が混入されることがある。液体材料が高い粘度を有する場合、このような気泡、特に小さい気泡が非常に長時間にわたって液体材料内に残ることがある。混入した気泡は、品質保証のサンプリングで、および実際の分配作業で通常使用される粒子分析器によって粒子として処理されるので、このような気泡は液体の使用時に極めて有害である。このような粒子分析器は、所期の目的のために液体の純度を監視するという意図で使用される。混入した微小気泡の存在による誤った粒子のカウントは、実際には望ましい純度特性である液体材料を不合格にするか、再加工する結果になり得る。

[0010] また、液体媒体中に微小な気泡が存在することは、その中にガスが存在するという見地からも問題になり得る。混入したガスは、液体材料のその後の処理を妨げるか、液体材料で製造した製品に悪影響を及ぼし、それを欠陥品にするか、所期の用途には無用なものにすることさえある。したがって、材料に関して判断される粒子カウントの正確さおよび信頼性に対して、さらに液体材料を使用した最終製品の効率的な処理、さらに製造のために、ライナでパッケージされた液体材料中の気泡形成を解消することは重要である。

[0011] 次にライナ自体を考察してみると、ライナは、周囲ガスがライナを通ってその中の液体へと連通するのを制限するために、低い透過性を特徴とすることが望ましい。高い透過性のライナは、ガスが連通するための接触面積を増加させ、ライナに収容された液体材料と接触させる結果になる。したがって、ライナの周囲環境にあるガスに対する優れたバリア特性を有するライナフィルム材料が、このような周囲ガスから悪影響を受ける液体材料を収容するためのライナ式パッケージングの利用には重大であるか、重大になることがある。

[0012] 多くの用途で第一に重要なライナの別の特徴は、例えばライナの膨張および収縮、ライナの屈曲および平行移動運動などの状態で、ライナが粒子を生成する特性、つまりライナが自身に収容された液体材料に粒子を発散する発生度である。ライナ内の液体材料の品質および純度を維持するために、ライナによるこのような粒子の発散を最小限に抑え、好ましくは解消することが望ましい。その結果、微粒子発散性であるライナフィルム材料の開発に、努力の焦点が絞られてきた。

[0013] 多種多様な材料のライナ式パッケージング用に、幾つかのライナが市販されている。そのようなライナの１つが、ＵＬＴＲＡという商標でATMI, Inc.（コネチカット州Danbury）から市販されており、これはフィルム材料としてポリテトラフルオロエチレンを含む。このようなライナは、粒子カウントが極めて低く、したがって微粒子発散性に優れることを特徴とし、さらにそのポリテトラフルオロエチレンフィルム材料の結果、優れた化学的不活性を有する。

[0014] 別のライナ製品が、Ｎ４００（以前はＦＸ）という商標でATMI, Inc.（コネチカット州Danbury）から販売されており、これは多層積層から製作され、積層内の特別に処方されたポリエチレン系フィルム材料を使用した結果、極めて低いガス透過率、さらに優れた不活性を特徴とする。

[0015] 前述したポリテトラフルオロエチレンフィルムを含むライナは、広範にわたる商業的成功を収めている。しかし、多くの用途では、以上で検討したように、ライナの外面に圧力を加えて、ライナを漸進的に圧迫して圧縮し、それによってライナから液体材料を放出させることによって分配作業を実行することが望ましい。このように加えた圧力で分配する作業では、ポリテトラフルオロエチレン本来の透過性によって、加圧ガスがポリテトラフルオロエチレンフィルムを通過し、それによってライナに収容された液体材料中に微小な気泡を形成する可能性が高くなってしまう。

[0016] 概して、ライナの製作に使用されてきたフィルム材料は、その透過性および他の物理的および化学的特性が多種多様である。当技術分野では、ライナの全体的特性を最適化しようとして、ライナの製作において多様な多層フィルムを実現してきた。上述したように、ポリテトラフルオロエチレンは、例えば前述したＵＬＴＲＡライナでは化学的不活性という理由で使用されている。エチレンビニルアルコール（ＥＶＯＨ）およびナイロンも、例えばこのような材料、さらにポリエチレンを含む前述したＮ４００（以前はＦＸ）多層積層などでは、非常に低い透過係数のせいで使用されている。Ｎ４００積層は、多くの液体収容用途で良好な性能特性を提供するが、他の用途では好ましくないことがある。というのは、（ｉ）このような積層の内層はポリエチレンであり、これはポリテトラフルオロエチレンなどの他の材料ほど化学的不活性ではなく、（ｉｉ）ポリエチレンは、ポリテトラフルオロエチレンに溶着することができず、（ｉｉｉ）ライナの層間の捕捉された空気が見かけの漏れを呈し、（ｉｖ）このような積層のＥＶＯＨフィルムは、窒素に対する良好なバリアを提供するが、優れた防湿層は提供しないからである。

[0017] ライナフィルムの透過バリア特性という以上の事項に関連する問題は、液体材料に透過したガスが溶解することである。ライナを通る加圧ガスの透過の発生は、ガスの可溶性および頭隙ガス中のその粒子圧力および濃度に応じて、必然的に液体材料にガスが多少溶解する結果になる。このようなガスの溶解は、ライナから液体を圧力で分配する間に、特に発生しやすい。その結果として溶解したガスは、その後、液体材料が分配され、下流の流れ回路およびプロセス機器において、最初の事象でガスを溶解させた圧力分配状態よりも圧力が低下した状態に遭遇すると、液体材料中に気泡を形成することがある。このような気泡は、液体材料の処理、およびこのような液体材料を使用して製造した製品に悪影響を及ぼすことがある。

[0018] 例えば、フォトレジスト、トップ反射防止膜（ＴＡＲＣ）およびボトム反射防止膜（ＢＡＲＣ）などの材料を圧力で分配する際に、０．１から２０μｍの範囲のサイズを有する微小な気泡の形成は、これらの材料をウェーハに付着させる場合に、潜在的欠陥の発生源になる。これらの材料は通常、（例えば空気で飽和した）ガス飽和状態でコンテナに充填される。次にコンテナに加圧すると、より多くのガスが溶液に入ることになる。液体材料を覆う頭隙ガスを有するライナ式パッケージでは、ライナとそれに関連する剛性コンテナとの間の環状空間が加圧されると、頭隙からのガスも液体材料中に溶解する。溶解したガスは、ライナから液体を分配する間に、その充填サイクルで分配ポンプ内にある場合など、加える圧力が減少すると、液体材料から非常に離脱しやすい。

[0019] 当技術分野では、低い透過性および優れた化学的不活性を有する加療型ライナの開発に焦点を絞ることを含め、例えば固体、液体および液体を含む組成物などの材料のパッケージ、特にライナ式パッケージを改良し、ライナを充填するか、材料を分配するために、ライナをパッケージクロージャおよび／または流れ回路に接続する結合構成および構造を含め、ライナ式パッケージ構造を改良することを目指し続けている。

[0020] 本発明は概ね、超小型電子デバイスの製造に使用される化学機械的研磨組成物などの高純度液体試薬および組成物のような化学試薬および組成物などの材料の保存および分配に有用である材料収容システムに関する。

[0021] １つの態様では、本発明は、
内容積を有する容器と、
液体媒体を収容するように構成された前記内容積内のライナと、
ライナが液体媒体を収容している場合に、ライナと接触して、これを所定の位置に保持するために流体媒体で膨張可能である可撓性の膨張式嚢体と、
前記容器の前記内容積と制限された流体連通状態で構成され、ライナが液体媒体を収容し、嚢体が膨張した場合に、容器の内容積からガスを除去するような構成であるガス除去区画と、を備える
流体保存および分配パッケージに関する。

[0022] さらなる態様では、本発明は、例えば液体などの流体を保持するように構成された容器と、（ｉ）分配中に、容器内の流体と他の流体との有害な流体／流体相互作用がない状態で、容器からの流体の圧力分配を実行するために容器内の流体に圧力を加え、（ｉｉ）容器内の流体を分配せずに保存している間は、容器内の流体の頭隙を制限するような構成である可動性および／または可撓性バリアと、を備える流体保存および分配パッケージに関する。

[0023] 本発明の別の態様は、液体媒体を保存かつ／または送出するためのライナと、ライナに剛性を与えるか、そこから液体媒体を分配するように構成された膨張式部材とを含むコンテナに関する。

[0024] 本発明のさらなる態様は、例えば液体などの流体を保持するように構成された容器と、容器内で流体と接触して、膨張媒体によって膨張し、容器内の流体の体積変化を補償するように、容器内の流体の個々の収縮または膨張に対して膨張または収縮するように構成された嚢体と、を備える流体保存および分配パッケージに関する。

[0025] 本発明の別の態様は、第１可撓性拡張性材料の内袋と、第２可撓性拡張性材料の外袋とを備え、内袋と外袋とが相互に接合されて、その間の膨張性空間を形成し、さらに膨張性空間に膨張流体を導入する膨張通路を備え、それによって内袋と外袋の一方に圧縮力を加えて、パッケージを剛化する、かつ／またはそこからの流体の圧力分配を実行する、袋に袋を入れる式のパッケージに関する。

[0026] 本発明のさらなる態様は、選択的に膨張可能および／または充填可能である膨張式区画を含み、１つまたは複数の区画が、分配して使用するような構成である流体媒体を収容するように構成され、他の１つまたは複数の区画は、膨張してパッケージを剛化するように構成され、膨張した区画は、流体媒体を収容している区画からそれを圧力で分配するために、使用ポイントでさらに膨張するような構成である、袋に袋を入れる式のパッケージに関する。

[0027] 本発明の別の態様は、液体媒体を保持する内容積を有し、液体媒体を保持するために使用可能な前記内容積のサイズを変更するために形状シフト可能な半可撓性部分を含むコンテナを備え、それによって内容積は、前記液体媒体により多くの頭隙を提供する拡張容積状態と、前記液体媒体により小さい頭隙を提供する収縮容積状態との間で選択的に変化可能である、液体媒体保存および分配パッケージに関する。

[0028] 本発明のさらなる態様は、上に頭隙がある液体媒体を保持する内容積を有し、（ｉ）前記液体媒体の拡張／収縮効果に対応するために内容積に十分な空間を提供し、（ｉｉ）混合および分配時に液体媒体が３ｐｓｉｇ以上の圧力まで飽和しないように、頭隙内での３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力の生成を回避するように構築され、構成されたコンテナを備える、液体媒体保存および分配パッケージに関する。

[0029] 本発明は、１つの態様で、内容積を有する容器内に配置されたライナ内で高純度液体媒体を保存し、流体媒体で膨張した可撓性膨張式嚢体で、ライナを前記内容積内の固定位置に保持し、高純度液体媒体を容器内の固定位置のライナ内に保存している間、前記液体媒体の高純度を維持するために、容器の内容積からガスを除去することを含む、高純度液体媒体を保存し、分配する方法にも関する。

[0030] 本発明の追加の態様は、流体を容器に導入し、可動性および／または可撓性バリアを配備して、（ｉ）容器内の流体と他の流体との有害な流体／流体相互作用がない状態で、容器からの流体の圧力分配を実行するために容器内の流体に圧力を加え、（ｉｉ）容器内の流体を分配せずに保存している間は、容器内の流体の頭隙を制限することを含む、流体を保存し、分配する方法に関する。

[0031] 本発明の別の態様は、流体を容器に導入し、流体と接触した状態で嚢体を容器内に配置することを含み、嚢体が、膨張媒体によって膨張し、容器内の流体の体積変化を補償するように、容器内の流体の個々の収縮または膨張に対して膨張または収縮するように構成される、流体を保存し、分配する方法に関する。

[0032] 本発明のさらなる態様は、第１可撓性拡張性材料の内袋と、第２可撓性拡張性材料の外袋とを備え、内袋と外袋とが相互に接合されて、その間の膨張性空間を形成する袋の袋を入れる式のパッケージを提供し、その後の分配のために内袋に材料を導入し、内袋に圧縮力を加えてパッケージを剛化させるために、膨張性空間を膨張させることを含む、その後の分配のために材料をパッケージングする方法に関する。

[0033] 本発明のさらなる態様は、（ｉ）液体媒体を保持する内容積を有し、液体媒体を保持するために使用可能な前記内容積のサイズを変更するために形状シフト可能な半可撓性部分を含むコンテナに液体媒体をパッケージングし、それによって内容積は、前記液体媒体により多くの頭隙を提供する拡張容積状態と、前記液体媒体により小さい頭隙を提供する収縮容積状態との間で選択的に変化可能であり、さらに（ｉｉ）液体媒体を保存するために収縮容積状態を提供するように半可撓性部分を配置し、（ｉｉｉ）収縮容積状態で保存した後、液体媒体を分配するために拡張容積状態を提供するように半可撓性部分を再配置し、（ｉｖ）コンテナの内容積が拡張容積状態にある間に、コンテナから液体媒体を分配することを含む、液体媒体を保存し、分配する方法に関する。

[0034] 本発明のさらに別の態様は、液体媒体の上に頭隙があるコンテナに液体媒体をパッケージングすることを含み、前記パッケージングが、（ｉ）前記液体媒体の拡張／収縮効果に対応するために内容積に十分な空間を提供し、（ｉｉ）混合および分配時に液体媒体が３ｐｓｉｇ以上の圧力まで飽和しないように、頭隙内での３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力の生成を回避する、液体媒体の保存方法に関する。

[0035] 別の態様では、本発明は、内容積を封入し、自身内に配置されて第２袋を囲む第１袋を有する剛性オーバパックを備え、袋の一方は液体媒体を保持するような構成であり、袋の他方は、外部から供給されるガスを自身内に導入することによって膨張可能であり、それによって分配する前に一方の袋を固定するために、それに圧縮力を加え、分配作業中は、一方の袋からの圧力分配を実行するためにさらに膨張可能である、液体媒体を保存し、分配する袋に袋を入れる式のパッケージに関する。

[0036] 本発明のさらなる態様は、自身内に液体媒体を収容するような構成であり、自身から液体媒体を分配するための出口、および自身の中心領域に配置された膨張式袋を有する容器を備え、容器から出口を通して液体媒体を圧力分配するために、袋を膨張させる外部ガス供給部と結合するような構成である、液体媒体を保存し、分配する圧力分配パッケージに関する。

[0037] 本発明の別の態様は、高純度中密度ポリエチレンで形成された内部プライと、連続的に、内部プライに隣接し、粘着防止剤を含む線状中密度ポリエチレンおよび中密度ポリエチレンの第１層、第１層に隣接する無水物改質ポリエチレンの第１結束層、無水物改質ポリエチレン結束層に隣接する第１ポリアミド層、第１ポリアミド層に隣接するＥＶＯＨ層、第１ポリアミド層に隣接する側とは反対の側でＥＶＯＨ層に隣接するポリアミドの第２層、第２ポリアミド層に隣接する無水物改質ポリエチレンの第２結束層、および粘着防止剤を含む線状低密度ポリエチレンおよび高密度ポリエチレンの層を備える、７つのフィルム層を含む外部プライとを備えるポリマフィルム積層に関する。

[0038] 本発明のさらに別の態様は、
液体媒体を使用するように構成された製造ツールと、
液体媒体を分配するために、製造ツールと流体連通状態で接合された液体媒体分配源と、を備え、
液体媒体源が本明細書で説明するような源を備える、液体媒体が供給される製造システムに関する。

[0039] 本発明のさらなる態様は、内容積を封入して、自身内に配置されて第２袋を囲む第１袋を有する剛性オーバパックを提供し、分配する前に、一方の袋を固定するようそれに圧縮力を加えるために、袋の一方を液体媒体で充填して、袋の他方を膨張させ、分配作業中は、一方の袋からの圧力分配を実行するために袋の他方をさらに膨張させることを含む、液体媒体を保存し、分配する方法に関する。

[0040] 別の態様では、本発明は、自身内に液体媒体を収容するような構成であり、自身から液体媒体を分配するための出口、および自身の中心領域に配置された膨張式袋がある容器を提供し、容器から出口を通して液体媒体を圧力分配するために、袋を膨張させることを含む、液体媒体を保存し、分配する方法に関する。

[0041] 本発明のさらなる態様は、液体媒体の使用を含むプロセスによって製品を製造する方法に関し、このような方法は、前記液体媒体をライナ式源からプロセスに供給することを含む。

[0042] １つの態様では、本発明は、潜在的に自身内で気泡を形成しやすい材料を収容するような構成であり、自身に関連する頭隙を有する材料収容容器と、材料の気泡形成発生度を低下させるのに十分な真空を頭隙に与えるような構成である真空アプリケータとを備える、材料収容パッケージに関する。

[0043] 本発明の別の態様は、自身内に材料を収容するような構成である内容積、口、および自身の内容積内に配置されて、内容積に収容された材料の拡張および収縮による内圧変化に対応するために少なくとも部分的に膨張するような構成であるバルーンを含む材料収容容器を備える、材料収容パッケージに関する。

[0044] 本発明のさらなる態様は、自身内に第１材料を密封状態で保持するような構成である内容積を有する第１ライナと、自身内に第１ライナを保持するような構成である内容積を有する第２ライナとを含み、第１および第２ライナがそれぞれ、その内容積との流体連通を可能にする取付具を有し、パッケージの取付具アセンブリを形成するために、第１ライナの取付具が第２ライナの取付具と結合可能である、材料収容パッケージに関する。

[0045] 別の態様では、本発明は、ライナに固定するような構成であり、全体的に円筒形の上部主本体部分、およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える取付具に関する。

[0046] 本発明のさらなる態様は、全体的に円筒形の上部主本体、およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が第１取付具のカラーとロック状態で係合可能である取付具アセンブリに関する。

[0047] 別の態様では、本発明は、全体的に円筒形の上部主本体およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が第１取付具のカラーとロック状態で係合可能であり、さらに第１取付具の前記外側に朝顔状に広がる下部スカート部分の前記フランジに固定された第１ライナ、および前記第２取付具の前記朝顔状に開いた下部フランジ部分に固定された第２ライナがある、取付具アセンブリを備える、ライナ入れ子式の材料収容パッケージに関する。

[0048] 複合ライナは、本発明の別の態様を構成し、自身の内容積との材料の導入および除去連通を提供する取付具に上端が取り付けられた１次ライナと、１次ライナに部分的に連通し、固定され、自身の連通部分が１次ライナの内容積内に配置された２次ライナとを含み、前記２次ライナは、１次ライナの外側に非連通部分を含み、２次ライナの前記連通部分はガス透過性であるが液体不透過性である。

[0049] 本発明のさらに別の態様は、自身の内容積にライナを収容する容器を含み、ライナは、第１ガス種を含むガスを溶解かつ／または混入しやすい液体または液体を含む材料を収容するような構成であり、ライナの外側にある容器の内容積は、前記第１ガス種とは異なる第２ガス種を収容する、材料収容パッケージに関する。

[0050] 別の態様では、本発明は、最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を備える多層積層に関する。

[0051] 上述した多層積層を備えるライナが、本発明の別の態様を構成し、このようなライナを備える材料収容パッケージが、本発明のさらに別の態様を構成する。

[0052] 本発明のさらなる態様は、試薬を供給する関係で半導体製造ツールと結合され、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから選択されたパッケージを備える試薬源を備える半導体製造設備に関する。

[0053] １つの方法態様では、本発明は、自身内に気泡を形成しやすい材料を供給する方法で、材料の気泡形成発生度を低下させるのに十分な真空で前記材料を収容することを含む方法に関する。

[0054] 本発明のさらなる方法態様は、自身内に材料を収容するような構成である内容積、および口を有する材料収容容器を含む材料収容パッケージを提供し、容器の内容積にバルーンを配置し、内容積に収容された材料の拡張および収縮による内圧の変化に対応するために、バルーンを少なくとも部分的に膨張させることを含む、材料収容方法に関する。

[0055] 材料収容方法が、本発明の別の態様を構成し、自身内に密封状態で第１材料を保持するような構成である内容積を有する第１ライナ、および自身内に第１ライナを保持するような構成である内容積を有する第２ライナを含む材料収容パッケージを提供することを含み、第１ライナの取付具が、パッケージの取付具アセンブリを形成するために第２ライナの取付具と結合可能であり、さらに、第１ライナの取付具を通して第１ライナの内容積に第１材料を導入し、第１ライナの外側にある第２ライナの内容積に第２材料を導入することを含む。

[0056] さらに別の態様では、本発明は、全体的に円筒形の上部主本体およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が第１取付具のカラーとロック状態で係合可能であり、さらに第１取付具の前記外側に朝顔状に広がる下部スカート部分の前記フランジに固定された第１ライナ、および前記第２取付具の前記朝顔状に開いた下部フランジ部分に固定された第２ライナがあり、第１ライナが第２ライナの内側にある取付具アセンブリを備える、ライナ入れ子式の材料収容パッケージを提供し、第２材料を第１ライナの外側の第２ライナに導入することを含む、材料収容方法に関する。

[0057] 複合ライナの作成方法が、本発明のさらに別の態様を構成し、１次ライナの内容積との材料の導入および除去連通を提供する取付具に、１次ライナの上端を取り付け、２次ライナの連通部分が１次ライナの内容積に配置された状態で、１次ライナに部分的に連通した２次ライナを１次ライナに取り付けることを含み、前記２次ライナは、１次ライナの外側に非連通部分を含み、２次ライナの前記連通部分はガス透過性であるが液体不透過性である。

[0058] 本発明のさらなる態様は、液体を１次ライナに導入し、前記液体から溶解し、混入したガスを抽出するために、２次ライナの非連通部分を真空源に結合することを含む、以上の方法によって作成した複合ライナの使用方法に関する。

[0059] さらなる態様では、本発明は、自身の内容積にライナを収容している容器を含むパッケージを提供し、第１ガス種を含むガスを溶解かつ／または混入しやすい液体または液体を含む材料を、ライナに導入し、ライナの外側にある容器の内容積に、前記第１ガス種とは異なる第２ガス種を導入することを含む、材料収容方法に関する。

[0060] 本発明の別の態様は、最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を含む多層積層からライナを形成することを含む、材料の容器を製作する方法に関する。

[0061] 材料を保存し、分配する方法が、本発明の別の態様で想定され、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから選択されたパッケージで構成されたグループから選択されたパッケージを使用することを含む。

[0062] 本発明のさらなる態様は、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから構成されたグループから選択された化学試薬パッケージから半導体製造ツールへと半導体製造試薬を供給することを含む、半導体デバイス製造方法に関する。

[0063] 本発明の別の態様は、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから構成されたグループから選択されたパッケージから半導体製造ツールへと試薬を供給することを含む、半導体製造設備の運転方法に関する。

[0064] 本発明のさらなる態様は、半導体製造用の材料を半導体製造設備に供給する方法で、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから構成されたグループから選択されたパッケージ内で、前記半導体製造設備に前記材料を移送することを含む方法に関する。

[0065] 本発明の別の態様は、前述した本発明の材料収容パッケージおよび本発明のライナ入れ子式の収容パッケージから構成されたグループから選択されたパッケージに前記材料を導入することを含む、材料パッケージング方法に関する。

[0066] 本発明のさらに別の方法では、材料パッケージング方法は、最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を含む多層積層を使用して、収容容積内に材料を収容することを含む。

[0067] 本発明の別の態様は、内容積を封入し、自身から材料を分配するような構成である容器と、内容積内に配置され、このような分配中にパッケージから分配される材料を保持するように構成された第１ライナと、内容積内に配置され、パッケージからの材料のこのような分配を実行するために、第１ライナに圧力を加えるよう膨張するような構成である第２ライナとを備える、材料保存および分配パッケージに関する。

[0068] 本発明のさらなる態様は、このようなパッケージを使用することを含む材料供給方法に関する。

[0069] 本発明のさらに別の態様は、内容積を有する容器を提供し、容器から材料を分配するような構成である内容積内の第１ライナに材料を配置し、容器内に第２ライナを提供し、第１ライナ内の材料が容器から分配されるように、第２ライナに第１ライナを圧縮させるために第２ライナを膨張させることを含む、材料を保存し、分配する方法に関する。

[0070] 本発明の他の態様、特徴および実施形態は、以下の開示および請求の範囲からさらに十分に明白になる。

[0086] 本発明は、多種多様な特性の化学試薬および組成物を保存し、分配するライナ式液体収容システムに関する。以降では、本発明を主に超小型電子デバイス製品の製造に使用する液体または液体を含む組成物の保存および分配に関して説明するが、本発明の有用性はそれに制限されず、本発明は多種多様な他の用途および収容される材料にも拡大され、それを含むことが認識される。

[0087] 以降では、本発明を様々なライナ式パッケージおよびコンテナを含む特定の実施形態に関して検討するが、例えば本発明の圧力分配構成または他の形体など、様々なこのような実施形態は、ライナがないパッケージおよびコンテナシステムでも実践できることが認識される。

[0088] 本明細書では、「超小型電子デバイス」という用語は、レジストコート半導体基板、フラットパネルディスプレイ、薄膜記録ヘッド、超小型電子機械式デバイス（ＭＥＭＳ）、および他の先進の超小型電子コンポーネントを指す。超小型電子デバイスは、パターン化および／またはブランケット化したシリコンウェーハ、フラットパネルディスプレイの基板またはポリマ、例えばフルオロポリマ基板を含んでよい。さらに、超小型電子デバイスは、メソ細孔性または微孔性無機固体を含んでよい。

[0089] 液体および液体を含む組成物（以降では液体媒体と呼ぶ）のライナパッケージングでは、ライナ内の液体媒体の頭隙を最小限に抑えることが望ましい。頭隙とは、ライナの液体媒体を覆うガスの体積である。

[0090] 本発明のライナ式液体媒体収容システムは、超小型電子デバイス製品の製造に使用される液体媒体の用途に、特に有用である。また、このようなシステムは、医療および製薬業の製品、建築および建設材料、食品製品など、液体媒体または液体材料が包装を必要とする多くの他の用途で有用である。

[0091] 本明細書では、ライナ内の流体に関して「ゼロ頭隙」という用語は、ライナが全体的に液体媒体で充填され、ライナ内の液体媒体を覆うガスの体積がないことを意味する。

[0092] 同様に、本明細書でライナ内の流体に関して使用する「ほぼゼロ頭隙」という用語は、ライナ内の液体媒体を覆う非常に小さい体積のガスを除き、ライナが液体媒体で実質的に完全に充填されていることを意味し、例えばガスの体積はライナ内の流体の総体積の５％未満、好ましくは流体の総体積の３％未満、さらに好ましくは流体の総体積の２％未満、最も好ましくは流体の総体積の１％未満である（または別の表現方法では、ライナ内の液体の体積が、ライナの総容積の９５％を超える、好ましくはこのような総容積の９７％を超える、さらに好ましくは、このような総容積の９８％を超える、最も好ましくは、このような総容積の９９％を超える）。

[0093] 頭隙の容積が大きいほど、覆うガスが液体媒体に混入および／または可溶化する可能性が高くなる。というのは、液体媒体は、ライナ内で飛び散り、跳ね散らされ、平行移動し、さらにパッケージの輸送中にコンテナを囲む剛体に対してライナが衝突するからである。この状況の結果、液体媒体中に気泡、微小な泡、および微粒子が形成され、液体媒体を劣化させ、潜在的に所期の目的に合わなくなる。この理由から、頭隙は、ライナの内容積を液体媒体で完全に充填して、最小限に抑えることが望ましく、解消する（つまりゼロまたはほぼゼロ頭隙構造である）ことが好ましい。

[0094] 次に図面を参照すると、図１は、本発明の１つの実施形態によるライナ式流体保存および分配パッケージ１０の縦断面図である。

[0095] 図１の流体保存および分配パッケージ１０は、円筒形側壁１２、床１４、先細の円錐台形肩部１６、および円筒形首部１８があり、内容積２０を封入する容器を含む。内容積２０には、液体または液体を含む組成物（以降では、このような液体または液体を含む組成物を「液体媒体」と呼ぶ）で充填されたライナ２２が配置される。

[0096] 液体媒体は、任意の適切なタイプ、例えばフォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハまたはツール洗浄製剤、化学機械的研磨組成物などの半導体製造液媒体、でよい。

[0097] 内容積２０内には、ガスまたは液体などの適切な流体媒体で膨張している可撓性膨張式嚢体２４も配置されている。好ましい流体媒体は、ヘリウム、クリプトン、アルゴンなどのような不活性ガス、またはこのような流体媒体が嚢体を通過し、内容積の自由空間に入った場合に、内容積２０内の材料に曝露しても反応しないガスである。嚢体は任意の適切なタイプでよい。例えば、軟質、あるいは半剛性ライナでよい。１つの特定の実施形態では、嚢体は、折り畳まれるか巻き上げられ、膨張した場合には広がるか、繰り出し、それによって液体を分配するための力を加える比較的剛性のライナで構成される。

[0098] 適切な体積の流体媒体で嚢体２４を充填することにより、嚢体はライナ２２にもたれかかり、嚢体を位置的に内容積２０内の所定の位置に保持する。ライナ２２をこのように固定位置で保持すると、輸送、設置などの間にライナ内の液体媒体が容器の内面に衝突するという状況が回避される。というのは、その結果として液体媒体にかかる力、およびその平行移動は、液体媒体に悪影響を引き起こし得るからである。例えば、液体媒体中に粒子が発生して、その純度および最終使用に対する適切性を低下させる。

[0099] 容器の首部１８の上端には、キャップ２６が固定され、これは例えば溶着、ろう付け、機械的締結、またはキャップを所定の位置に固定するために効果的な任意の他の手段または方法などによって、任意の適切な方法で容器に漏れない状態で固定することができる。

[00100] 図示のようなキャップには、嚢体２４の内容積と流体連通する内通路３２を設ける。キャップには、ライナ２２の口２８を受ける空隙も設ける。口は空隙に配置され、したがってライナ２２内の流体媒体にはキャップの通路３０を通ってアクセスすることができる。そのために、口は通路３０に対して開放しているか、口に膜要素または他のシールのようなクロージャを設けて、ライナ内の液体媒体を隔離状態に維持する働きをさせることができる。

[00101] キャップ２６は、その上面がガスケットまたはシールのようなクロージャ３４で覆われる。クロージャは、例えば適切な低粘着性の接着剤でキャップの上面に接着固定することができ、それによって使用するために容器を配備した場合に、クロージャを引き剥がして除去することができ、これは、容器内のライナから分配するために、液体媒体にアクセスするのに適切である。

[00102] 図１の構成では、キャップ２６の上部分は外側面にねじが切られ、キャップを、図示のように下部分の内面に相補的なねじを切られたオーバキャップ３６とねじで係合できるようにする。オーバキャップは、容器の内容物の密封を保証するために使用することができるが、幾つかの実施形態では省略してもよい。あるいは、キャップ２６の通路３０および３２はそれぞれ、栓または他のクロージャ要素（図１には図示せず）で個々に密封することができる。

[00103] 容器の内容積２０には、ガス除去区画４０があり、これは図示のように容器の円筒形側壁１２の内面に固定したエンクロージャ構造で形成し、閉じた内容積４２を画成することができる。区画４０の内容積４２は、区画４０の外側にある容器の内容積２０と限定された流体連通状態にある。つまり容器の内容積２０中の流体は、区画の内容積４２に連通できるが、このような連通は、区画の壁または他の適切な方法によって限定される。

[00104] 例えば、区画４０の壁は、自身を通るガス流束に対して透過性である材料で形成することができ、したがって区画４０の内容積４２内の圧力が区画４０の外側にある容器の内容積２０内の圧力より低い場合、圧力および濃度の差が、区画の壁を通るガスの流束を仲介する。

[00105] あるいは、区画４０の壁には、自身にまたがる膜を有する開口を形成することができ、膜はガス拡散に対して透過性であり、ガスがエンクロージャに入れるようにする。

[00106] 別の代替物として、区画４０の内壁表面にはゲッタ４４を配置することができ、ゲッタは酸素、窒素、微量の炭化水素のように容器の内容積２０に存在するような大気ガスを化学吸着する。ゲッタは、例えば元素のバリウム、ストロンチウム、または容器の内容積に存在するような対象となるガス種について化学吸着反応を有し、除去されない場合は、ライナを通って中に保持された液体媒体に拡散することがある他の適切な材料など、任意の適切な組成でよい。

[00107] さらなる代替物として、区画４０の内容積４２は排気することができる。そのために、側壁１２などの容器の壁は、エンクロージャ４０の内容積４２からガスを選択的に抜き取るために、排気オリフィス４６を有してよい。図示の構成のオリフィス４６は、内部通路（図１には図示せず）を有して結合フランジ５０で終了する放出口４８と連通し、それによって口を真空ポンプ、または他の真空抜き取り装置、例えばエダクタ、エゼクタ、タービン、ファン、クライオポンプなどと接続することができる。図１の口４８は、口４８のフランジ５０がエンクロージャキャップ５２によって蓋をするように図示されている。このような構成では、区画４０を排気することによって、容器の内容積２０に存在する異質なガスが区画４０の内容積４２に連通することができ、それによって区画の外側にある内容積２０のガスの圧力および存在を最小限に抑えることができる。

[00108] 別の代替構成では、２つのライナ層の間に真空状態にすることができる空間を設けることによって、コンテナに排気された空間を設けることもできる。

[00109] 図１に示した構成は、ライナのゼロ頭隙構造を達成することができ、ライナ内の液体の上に空気、液体蒸気、または他のガスのボイド容量がないように、ライナの口２８まで液体を充填することができる。これは重要な特徴である。というのは、分配作業中に、あるいはライナが充填された後にパッケージを輸送中に、パッケージの輸送または移動中に起こりやすい飛び散り、飛び跳ねなどが、液体中の頭隙ガスを可溶化し、混入させるガスと液体の界面を生成する場合に、ライナの外面に圧力が加えられる場合など、ライナ内の液体上にガスのボイド容量が存在すると、気泡を発生することが判明している。

[00110] （ライナ内にガスを含む頭隙がある場合の液体の飛び散り、飛び跳ねという）この現象は、液体中の粒子の発生を増加させることも判明し、これは例えば、液体媒体の飛び散り、飛び跳ね、および他の変位中に、ライナの内面から粒子が離脱した結果として、または液体中の懸濁物質の合体または析出および凝集によって生じることがある。

[00111] このような気泡および粒子の形成は、多くの場合に非常に有害であり、最終的に液体媒体パッケージから分配される液体媒体に望ましい高純度とは相反する。さらに、液体媒体に溶解しているガスは全て、充填作業中にライナに液体媒体を導入するために使用されるポンプの充填サイクル中など、システム内の圧力が低下した場合に、気泡を形成することになる。

[00112] 液体媒体で十分に充填されるように、ライナにゼロ頭隙構造を設けると、上記で検討した気泡および粒子の形成の問題を最小限に抑えるのに役立つが、パッケージから全部の気泡を除去することは、依然として困難である。

[00113] 図１のパッケージは、この残留気泡の問題に対応している。ライナ２２が液体媒体で充填され、嚢体が適切な加圧ガスで、パッケージの分配圧力より高い圧力まで拡張される。例示的な実施例として、ライナは、ライナを圧縮し、そこから液体媒体を放出するために、ライナの外面に加えられる７ｐｓｉｇの分配圧力を受けることができる。このような実施形態では、嚢体は、このような分配圧力レベルよりわずかに高い１０ｐｓｉｇの圧力で加圧することができる。この加圧中に、容器の内容積２０と同様に、ライナパッケージが通気され、ライナから、さらに内容積２０からの流体の変位に対応する。

[00114] ライナおよび嚢体にはそれぞれ、これを大気または他のパッケージの周囲環境から隔離するための弁（図１には図示せず）を設けてよいことが認識される。

[00115] 特定の例示的実施形態では、液体媒体をライナに導入して、ライナのゼロ頭隙構造を提供し、適切な加圧ガスで嚢体を拡張した後、充填したパッケージを密封する。その後、パッケージは、パッケージを開封して分配を実行するまで、例えば３０日から４５日などの長期間にわたって密封状態で維持される。分配作業では、分配ヘッドに接続された液浸管を含む分配アセンブリにパッケージを結合し、ライナの外面に圧力を加えて、パッケージから液体媒体を分配する。このような構成では、パッケージを充填した後、パッケージを分配アセンブリに結合する前に、ゼロ頭隙ライナ内の圧力は、膨張式嚢体内の圧力であり、ライナおよび嚢体の外側にある内容積２０内の圧力より高い。このような構成により、液体媒体に捕捉されたか、可溶化しているようなライナ内の残留ガスが、保存、輸送、および他のパッケージの分配以外の使用中に、ライナを通してライナの外側の内容積２０へと透過する。

[00116] さらに、嚢体およびライナのこのような構成は、ライナ内の流体の熱膨張および収縮に対応するように、液体媒体でライナを完全には充填していない状態で充填作業を実行する状況に、悪影響を及ぼさずに対処する。ライナ内の流体の分配圧力より高い圧力を有する加圧嚢体を提供することにより、ライナ内の液体媒体を覆う頭隙ガスが、ライナを透過して、ライナの外部にある容器の内容積に入る。このような方法で、非ゼロ頭隙パッケージは、その後の分配前の状況で真のゼロ頭隙パッケージへと進行する傾向がある。

[00117] 容器の内容積２０過剰圧力状態が発生するのを防止するために、２つの路を使用して、このような過剰圧力を除去することができる。パッケージの周囲環境へのキャップ２６の漏れ率が十分である場合、ゼロ頭隙ライナからの過剰なガス圧力は、パッケージから周囲環境へと漏れ出す。あるいは、パッケージが非常に漏れない場合は、区画４０のような内部区画を使用することができ、これは区画内に漏れるガスが、区画の外側にある外部容積２０内の過剰圧力状態を緩和するように構築および構成される。

[00118] 上記で検討したように、区画は、液体媒体がライナを充填した後、パッケージを密封する時に真空であってよい。区画は、ゼロ頭隙ライナ内の気泡が内容積２０へと蒸散するにつれて、容器の内容積２０内の圧力が上昇するのを防止するために、拡張容積を提供する。

[00119] 容器の内壁表面に固定された区画の代わりに、場合によっては区画品を、単に容器の内容積に配置された別個の取り付けていない品として配備するか、適切な方法で容器内に位置的に保持することが望ましい。例えば、区画品は、例えば漏入ガスに対して透過性の壁または他の表面などがあるカプセルまたはキャニスタを備えるか、容器の内容積の圧力が、このようなカプセルまたはキャニスタに設けられた流入弁の設定点を越える場合は、ガス流入用の弁を付けることが望ましいことが認識される。

[00120] 以上の構成の嚢体は、嚢体から容器の内容積への漏出を防止する高度に不透過性の材料である材料で適切に作成される。嚢体はライナに収容された液体媒体と接触しないので、嚢体を構築する材料の材料選択には適合性の問題がない。

[00121] 図１で説明した構成のライナは、ライナの内容積からガスを除去するために、除去することが望ましいガス種に対して小さい程度ではあるが多少の透過性を有する材料で作成しなければならない。可能性がある構築材料は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン、およびそのモノマの適合性があるコポリマ、およびこのようなポリマまたはコポリマの少なくとも１つの層を含む積層を含むが、それに制限されない。ライナは、同時押し出し、容液流延、または他の適切な技術で形成することができる。

[00122] 嚢体は同様に、嚢体を適切な圧力で膨張させるために可撓性、弾性および拡張可能な任意の適切な構築材料で形成することができる。嚢体は、天然ゴム、合成エラストマ、形状記憶合金の箔などの適切なエラストマ材料で形成することができる。加圧ガスは任意の適切なガスでよく、パッケージまたはそれに収容される液体媒体にとって有害でないガスであることが好ましい。

[00123] 嚢体は、ゼロ頭隙ライナを機械的に加圧し、したがって容器の内容積２０内の圧力が上昇しない場合、ガス拡散がほとんど、または全く生じない。

[00124] 図２は、有害なガスと液体の相互作用がない状態で、可動性および／または可撓性バリアによって容器に頭隙を与える、本発明の別の実施形態による液体保存および分配パッケージの略斜視図である。

[00125] 上記で検討したように、多くの用途で使用される液体媒体は、保存、輸送、および最終的に液体媒体を分配するためにパッケージングされる液体媒体と頭隙ガスとの相互作用に関連する要因によって劣化しやすい。このような劣化に関連する状況は、ガスの混入、気泡および微小な気泡の形成、粒子の発生、粒子の凝集、溶剤の蒸発、および濃度の変化を含むが、それに制限されない。

[00126] 現在、様々な液体媒体容器が、容器に伸縮間隙を設けることを要求する法律に準拠する。つまり頭隙ガスが液体を覆っている。

[00127] 図２に示す液体保存および分配パッケージ８０は、このようなパッケージの容器８２の内容積９０内に嚢体９２の形態の可撓性および可動性のバリアを使用する。容器８２は、このような内容積９０を囲む円筒形側壁８４、上端壁８７および底端壁８８を含む。

[00128] 内容積９０は液体媒体を収容し、これは例えばフォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハまたはツール洗浄製剤、化学機械的研磨組成物などの超小型電子デバイス製造液体媒体を含んでよい。容器８２は分配アセンブリ９４に結合され、これは容器の内容積へと垂直下方向に延在し、上端が分配ヘッド９６に接合される液浸管９８を含む。分配アセンブリは、容器から液体媒体を分配することが望ましい場合、またはこのような今後の作業のためにパッケージを準備するために、パッケージ８０に結合される。液浸管は、図２の実施形態では例示的に使用されているが、分配作業にとっては必要不可欠ではなく、システムは、圧力分配がコンテナの頂部にある穴を通して実行される状態で、このような液浸管なしで代替的に構成することができる。

[00129] 分配アセンブリ９４は、図２の矢印Ｂで概略的に示す適切な流れ分配回路に結合され、これによって液体媒体を、液体媒体を使用する装置のような使用場所に搬送する。

[00130] 有害な液体媒体の接触がない状態で、容器８２内の液体媒体に頭隙を与えるために、図２に示す装置は、容器内の液体媒体の塊に圧力を加えるために使用する可撓性および／または可動性バリアを使用し、したがってこのような圧力の作用で、容器から分配される。図２のシステムの可撓性および／または可動性バリアは、図の矢印Ａで概略的に示した膨張アセンブリに結合される嚢体９２である。

[00131] 膨張アセンブリは、嚢体９２の内容積を拡張するために、それに導入され、液体を限定し、例えばパッケージの輸送および保存中にゼロ頭隙を提供する任意の加圧流体源でよく、容器から液体媒体を分配するために設置すると、嚢体９２を膨張源に結合して、嚢体をさらに拡張させ、液体媒体を分配アセンブリに通して、矢印Ｂで概略的に示す流れ回路へと圧力で分配することができる。

[00132] 嚢体は、加圧するために、液体媒体パッケージが搭載された膨張アセンブリを付随するか、パッケージを伴う別個のモジュールを設けることができる。嚢体は、天然ゴム、合成エラストマ、天然／合成エラストマ混合物などの任意の適切な材料で形成することができ、空気、窒素、ヘリウム、二酸化炭素などの任意の適切な加圧ガスで加圧することができる。

[00133] あるいは、図２の実施形態の嚢体は、自身内を通る液浸液の通路に対応するために、例えば中心開口を有する円板形バリアなどの他のバリア構造で置換することができ、円板形バリアは、その主な上下面が容器の上端壁８６および底端壁８８に平行な状態で、容器の内容積に位置合わせされる。このような構成のバリアは、内容積９０内で垂直方向上下に平行移動するような構成であり、このようなバリアの外端は、流体が漏れない状態で円筒形側壁８４の内面と接触し、バリアの中心開口は、流体が漏れない状態で液浸管と接触し、したがってバリアが動作しても液体媒体と加圧ガスを混合しない。これによって加圧ガスを容器８２に導入して、バリアの上面に圧力を加え、それによってこのような圧力を液体に伝達し、前述したように液浸管９８および分配ヘッド９６を通して液体媒体を圧力で分配する。

[00134] 可撓性および／または可動性バリアのこのような構成を、例えば瓶、袋、箱、箱に袋を入れたコンテナ、キャニスタなどを含む任意の容器、流体パッケージに適用することができる。バリアによって、液体媒体を加圧流体から分離したまま、該当する法律によって必要とされる伸縮間隙を容器内に設けることができる。

[00135] 図２の実施形態の嚢体では加圧流体として加圧ガスを使用することについて説明してきたが、図２の液体媒体の圧力分配を実行するために、液体を加圧流体として使用できることが認識される。

[00136] 同様に、図２の実施形態では、このような実施形態で分配される材料として液体媒体について説明してきたが、代替的にガスまたは蒸気が、容器８２に収容され、流体で充填されている拡張嚢体の刺激でそこから分配される媒体になってもよいことが認識される。

[00137] 図３は、本発明のさらなる実施形態による流体保存および分配パッケージの略斜視図であり、全ての部品および形体は、図２に関して図示し、説明した実施形態の同じ部品および形体に関して、対応する番号が付けられている。

[00138] 図３の実施形態は、嚢体９２内で流体を捕捉する栓１００を設ける点で、図２に示す実施形態と異なり、したがって容器８２の内容積内の流体が、温度変化、化学反応などにより拡張または収縮することができ、嚢体９２内の流体は、このような流体の圧力変動中に、相応して収縮または拡張する。

[00139] 嚢体内の流体は、任意の適切な液体または気体状媒体でよく、容器８２の内容積９０内の流体は、同様に任意の適切な液体または気体状媒体でよい。嚢体９２内および容器８２の内容積９０内の流体は、それによって相互に動的に平衡し、流体の状態および周囲温度などの容器の環境状態に対応する。

[00140] 栓１００は、嚢体９２の内容積に流体を加える、容器８２の内容積９０内の流体を圧力で分配するために、流体源の結合に対応する弁、開放可能な口などの形態で設けることができ、あるいは栓は、嚢体９２から流体を除去することによって容器８２内に過剰圧力状態が生じることに対応することができる圧力逃がし弁を備えることができ、これによって容器内の流体が拡張して、流体パッケージ８０の安全性または構造的完全性を損なうような過剰圧力の増加を緩和することができる。

[00141] 図４は、本発明のさらに別の実施形態による流体保存および分配パッケージの略斜視図である。

[00142] 図４のパッケージ１１０は、内袋１１６の周囲に外接して配置された外袋１１２を含む複合パッケージ構造である。図示の実施形態の内袋および外袋は、カットフィルム原料で形成され、シートの縁部で溶着され、したがって各袋が内容積を封入し、液体媒体、または他の流体または固体材料、または何らかの他の形態の材料で膨張または充填可能である。加圧可能な個々の袋の間には空間がある。図示のような内袋１１６には、取付具１１８が設けられ、これは内袋の内容積との間で材料が出入りできるように端部開口１２０を含む。取付具開口１２０は、キャップまたは他のクロージャ品または材料などの適切なクロージャ部材で閉じることができる。

[00143] 袋アセンブリは、図示の複合パッケージ品で使用された４枚のフィルムの接合部を表す溶着区域１２２を有する。

[00144] 図示の図４の実施形態では、外袋１１２に、個々の袋１１２と１１６の間の空間と連通する加圧空気入口１１４を設ける。この方法で、空気または他の加圧ガスを加圧空気入口に通して導入し、袋の間の空間に加圧することができ、したがって例えば内袋に圧力を加えて、加えた圧力による液体媒体または他の流体材料の分配を補助することができる。

[00145] したがって、内袋１１６は液体媒体または他の材料で充填することができ、このように充填した後、加圧ガスを加圧入口１１４に導入して、外袋を拡張し、全体的にこの品を位置的に固定して剛化するように、内袋に対して圧縮支承関係にすることができる。

[00146] 加圧空気入口１１４の膨張通路が自動閉鎖弁を含むか、空気入口がキャップを付けるか、適切な形態のクロージャで閉鎖可能にすることができる。

[00147] 内袋に収容された材料を使用するポイントで、加圧空気入口を加圧した空気または他の加圧ガスの源と結合し、個々の袋の間の空間にさらに加圧して、外袋を拡張し、収容された材料を内袋から圧力で放出するために、袋に加えられる圧力を増加させることができる。

[00148] 内袋および外袋は、１つまたは複数の区画を流体媒体または他の材料で充填し、他の１つまたは複数の区画に加圧して、保存または輸送のために全体を剛化できるようにするために、使用するポイントで区画にさらに加圧し、収容された流体または他の材料を保存区画から圧力で補助して分配することができる状態で、選択的に膨張または拡張可能な協働する区画または容積を提供するように、任意の他の適切な方法で構築することができる。

[00149] このような多容積品は、超小型電子デバイスおよび製品の製造に使用される化学試薬のような高純度および超高純度液体媒体にとって便利で効果的な保存および分配品を提供する。

[00150] 多区画保存および分配品の個々の区画は、例えば天然および合成ゴム、ゴム以外のエラストマ、ポリマとエラストマの混合物、拡張可能な形状記憶合金フィルムなどの任意の適切な構築材料で形成することができる。

[00151] 図４のパッケージでは、分配される液体は、（ｉ）内部ライナの中、（ｉｉ）内部ライナと外部ライナの間、または（ｉｉｉ）４つの溶着ライナの場合は、ライナ間の外部区画の１つに収容することができる。

[00152] 図５は、本発明の別の実施形態による袋に袋を入れる式の液体媒体パッケージ２００の略縦断面図である。パッケージ２００は、容器２０２を含み、これは例えばポリマ、金属または他の適切な構築材料で形成することができ、これはオーバパック構造を形成し、その中に内容積２０５を封入する第１袋２０４が配置される。第１袋２０４は、内部に配置されて内容積２０７を封入する第２袋２０６を囲む。第２袋２０６は、第２袋によって画成されたライナのゼロ頭隙構造で、その内容積２０７内に化学試薬などの液体媒体を封じ込める。

[00153] 第２袋を囲む第１袋は、その内容積２０５が空気、窒素、アルゴンなどの膨張ガスで充填される。容器２０２はキャップ２０８で蓋をされ、これにはパッケージを適切な分配装置に、さらに膨張ガスのガス源に接合するための口または結合要素を構成することができ、したがって第１袋２０４を所望の程度まで膨張させ、第２袋２０６から液体媒体を圧力で分配することができる。

[00154] 第１袋２０４は、このような構成によって第２袋に外接し、それに圧縮力を加える。圧縮力の大きさは、第１袋２０４の膨張圧力の程度に依存し、このような圧力は、漸進的に増加して、第１袋を拡張するように調整することができ、したがって漸進的に増加する圧力を加えて、液体媒体を第２内袋２０６から絞り出す。

[00155] この方法で、液体媒体をパッケージから外部の使用ポイントに分配する。

[00156] したがって、図５の実施形態は、本質的に内袋の圧力カフ（cuff）として働き、圧力分配作業を実行する、環状に外接するバット（bat）の使用を示す。

[00157] 図５のパッケージは、袋を拡張して、外袋に対して圧縮方向の圧力を加えるために膨張ガスで加圧されるのは、内袋２０６であるように構成し、操作することができる。このような構成では、外袋が液体媒体を収容し、これはキャップの流れ通路構造を通して外袋から外部の使用場所へと分配される。

[00158] 図６は、本発明のさらなる実施形態による液体媒体パッケージ２５０の略縦断面図であり、これも容器２５２内の中心袋２５６を使用するが、図５の実施形態に示すような外袋がない。図６の構成では、中心袋が、分配するためのパッケージの動作において膨張ガスで充填される袋である。袋２５６は、コンテナ２５２内の液体媒体２５４に囲まれ、ガス供給ライン２６４内でガス源２６６から導入された膨張ガスによって袋２５６が拡張すると、袋はこれを囲む液体媒体に圧力を加える。液体媒体は、非圧縮性媒体なので、これに応答してコンテナからキャップ２６０の放出ライン２６２にて分配される。

[00159] 図７は、本発明の１つの態様によるフィルム積層３００の略断面図であり、積層の成分層を示す。積層は、液体媒体パッケージと組み合わせて使用するライナの構築材料として、液体媒体を収容するために有利な構造である。したがって、積層は、本明細書で開示されたような液体媒体保存および分配パッケージとの組合せで都合よく使用することができ、低い透過性および高い強度特性のせいで、ゼロ頭隙ライナの用途で都合がよい。

[00160] 図示のような積層３００は、高純度中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）の内部層と、押し出し成形された７つの成分層がダイを通過し、次にインフレートフィルムとして処理され、切り開かれて、シートフィルム原料として内部層の高純度ＭＤＰＥ層と統合されるプロセスによって同時押し出し成形される７つの成分層３０４〜３３１６を含む外部層とを含む２層積層である。このような押し出し成形およびフィルム処理作業は、本質的にポリマ処理の当業者に知られている従来通りの特性であるが、このような作業で、これまでは図７に例示的に示すタイプの積層は形成されていなかった。

[00161] 図７の積層は、ライナ式液体媒体圧力分配パッケージで使用するライナの製作に使用する場合、予想外に優れたライナ性能を提供する。外面層は、非常に優れた「スリップ」特性を提供し、したがってこのようなフィルムで形成されたライナは、ライナおよびその中の液体の粒子および微小粒子の形成発生度を増加させるような過度のしわ、結合、または表面滞留がない状態で、このような表面と接触している隣接の構造に対して移動することができる。このような積層は、追加的に優れた曲げ特徴、強度および変形特性を有し、これによって非常に大きいサイズでもライナに使用するのに適切なものになる。さらに、積層は、ライナフィルムを通過してライナの内容積に入り、ライナがゼロ頭隙構造で配備された場合にゼロ頭隙特徴を劣化させるようなガスへの優れた耐透過性を有する。

[00162] 外部層の積層３００は、中密度ポリエチレン（ｍＰＥ）と混合され、粘着防止剤が処方された線状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）で形成された第１内層３０４を含む。この層は、外部層の全厚の３０％である厚さで提供される。外部層は、内側から進んで内層３０４、外部層の全厚の８％の厚さの結束層３０６、外部層の全厚の８％であるナイロン層３０８、外部層の全厚の８％であるエチレンビニルアルコール（ＥＶＯＨ）層３１０、外部層の全厚の８％であるナイロン層３１２、外部層の全厚の８％である結束層３１４、および７０重量％の高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）と混合され、４重量％の粘着防止剤が処方された３０重量％の線状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）で形成された外層３１６を含む。外層３１６は外部層の全厚の３０％を構成する。

[00163] 積層内の層は、積層の特定の最終用途に適合する任意の適切な厚さを有してよい。

[00164] 積層内では、ナイロン層３０８および３１２は、ＥＶＯＨ層と接着する必要がない。というのはこのような層は相互に自然に接着するからである。にもかかわらず、ナイロン層３０８および３１２は、ポリエチレンの外層３０４および３１６に接着しなければならず、結束層３０６および３１４がこのために使用される。結束層３０６および３１４は、無水物改質高密度ポリエチレンまたは無水物改質線状低密度ポリエチレンで形成され、このような改質ポリエチレンは、ナイロン層とポリエチレン層を相互に接着するのに非常に効果的である。このようなタイプの適切な改質ポリエチレンは、シリーズ４０００、シリーズ４１００およびシリーズ４２００の無水物改質ポリエチレンとしてE.I. du Pont de Nemours and Company（デラウェア州Wilmington）から販売されている。

[00165] 積層３００の全厚は、積層の任意の用途で必要に応じて、または所望に応じて任意の適切な厚さでよい。液体媒体のライナへの用途では、外部層の厚さは、例えば２〜４ミル（０．０５０８〜０．１０１６ｍｍ）でよく、積層の全厚は、高純度中密度ポリエチレンの内部層を含めて、５〜６ミル（０．１２７〜０．１５２４ｍｍ）でよい。

[00166] 外部層の内層３０４および外層３１６に使用される粘着防止剤は、任意の適切なタイプでよい。以上の積層フィルムを製作する際に都合がよいように使用されている例示的な粘着防止剤は珪藻土である。

[00167] このような積層は、例えば対応するシートを重ね合わせ、超音波溶着または他の適切なフィルム処理技術などでその縁部を溶着して、漏れない特性の縁部継ぎ目を形成することによって、ライナの製作にシート形態で使用することができる。

[00168] 図８は、本発明のさらなる態様による液体媒体が供給される製造システム４００の略図である。

[00169] 図８のシステム４００は、液体媒体を保持するコンテナ４０２を含む。コンテナ４０２は、剛性オーバパックまたは容器内で液体媒体を保持するライナを含むライナ式コンテナでよいか、あるいは液体が容器の内面と接触した状態で容器内に保持されるライナなしコンテナでよい。

[00170] コンテナ４０２は、キャップ４０４で蓋をされ、これは図示の実施形態では分配ヘッド４０６と対合し、液体に液浸する液浸管を含むことができ、あるいは容器は代替的に、何らかの他の方法で分配するように構成することができる。コンテナには、コンテナから液体媒体を圧力で仲介して分配するために、ガス源と接続する通路または結合構造が装備することができる。分配ヘッド４０６は分配ライン４１０に接続され、これは液体分配作業を開始するために選択的に起動可能なアクチュエータを含む弁アセンブリ４０８へと流れることができる。

[00171] 液体媒体は、弁アセンブリ４０８から、４１６で概略的に図示された流量監視および制御装置を任意選択で有する放出ライン４１４内を流れる。流量監視および制御装置は、任意の適切なタイプでよく、例えば質量流量制御装置、温度センサ、圧力変換器、流量モニタ、不純物検出器、成分分析器、制限された流れ絞り、流体圧力調整器などを含んでよい。流体媒体は、流体媒体放出ライン４１４から流体媒体を使用するツール４２０へと流入する。

[00172] ツールは、例えばフォトレジスト塗布ツール、化学蒸着室、イオン注入ユニット、エッチング室、プラズマ発生器、または製造ツールに適切な他の装置のような超小型電子デバイス製造ツールなど、任意の適切なタイプでよい。

[00173] 製造システム４００には、任意選択で液体分配およびツール作業プロセスを制御する自動制御サブシステムを装備することができる。したがって、システムはＣＰＵ４２２を使用することができ、これは信号伝送ラインによってシステム構成要素へ、例えば信号送信ライン４２８によって弁アセンブリ４０８へ、信号伝送ライン４２６によって流量監視および制御装置４１６へ、および信号伝送ライン４２４によってツール４２０に連結される。信号伝送ラインは、感知または生成された信号をシステム構成要素からＣＰＵ４２２へ伝送する、かつ／または制御信号をＣＰＵ４２２から制御下のシステム構成要素へ送信するように構築し、構成することができる。ＣＰＵは、例えばマイクロコントローラ、プログラマブル論理制御装置、マイクロプロセッサ、プログラマブル汎用コンピュータのＣＰＵなど、任意の適切なタイプでよい。

[00174] 図８に例示的に図示された製造システムは、分配された液体媒体を使用する製造システムで実行されるプロセスの製品を製造するために、本明細書に、または本明細書と同時出願されて以上で識別された関連出願に記載された様々な液体媒体パッケージおよび分配システムのいずれを使用することもできる。

[00175] 高純度液体媒体（例えば純度が＞９９．９９９５％）を収容したパッケージを充填、保存、輸送および設置するためのゼロ頭隙構造は、高純度液体媒体中の粒子の凝集、および流体減圧後の気泡および微小な気泡の形成のような気泡および粒子の効果を抑制する上で非常に望ましい。

[00176] 本発明は、別の態様で、ゼロ頭隙構造のコンテナ内の液体媒体のために伸縮間隙を設けることの必要性に対応し、したがって液体媒体が高温でも、出荷、輸送および設置のために、ゼロ頭隙構造、またはほぼゼロまたは低くなった頭隙構造内にある液体の体積を圧縮するために、コンテナの拡張または通常の形状から延長または変形可能な半可撓性部分を有するが、液体の分配または液体へのアクセスのためにパッケージを開封するポイントで、コンテナの半可撓性部分が拡張または延長可能である液体媒体コンテナによって、液体媒体が溢れない。

[00177] 例えば、コンテナの半可撓性部分は、コンテナを絞って圧縮するなどの機械的技術によって起動することができ、したがって液体は頭隙が小さい、またはないという望ましい構造である。あるいは、頭隙が小さい、またはない構造を達成するように、頭隙ガスの抽出が、コンテナの半可撓性部分を潰すか、曲げるように、パッケージを真空または圧力差に曝すことができる。頭隙がなくなった後、コンテナにキャップを被せるか、他の方法で頭隙が小さい、またはない構造を維持する。その結果、コンテナの圧力がわずかに低下する。コンテナの半可撓性部分は、コンテナ内の絶対圧力が、収容されている液体媒体の蒸気圧に近づかないように構築しなければならない。通常、これはコンテナの半可撓性部分が、コンテナ内の圧力を５ｐｓｉ（０．３５ｋｇ／ｃｍ²）より大きく減少させてはならないという意味である。

[00178] コンテナの上、底または側壁またはパネルが、コンテナの半可撓性部分を構成するか、コンテナの何らかの他の部分が、このような部分を含むか、そのように機能することができる。半可撓性部分は、任意の適切な方法でコンテナの構造に組み込み、自身内の液体媒体に対してコンテナの低い、またはゼロ頭隙構造を生みやすい圧縮または変形をもたらすことができる。

[00179] コンテナのゼロまたは他の低い頭隙構造には、最初にコンテナの通常の圧縮形状から延長または他の方法で拡張可能であるコンテナの半可撓性部分を設けて、液体の分配または液体へのアクセスのためにパッケージを開封する時に、液体の体積を拡張することができる。これは、コンテナが通常は拡張状態であるが、低い、またはゼロの頭隙構造に対応するために低い輪郭または小さい構造へと圧縮されるという上記で検討した状況とは逆である。例えば、コンテナは、コンテナ内の液体媒体にとって使用可能な内容積を増加させる拡張可能な蛇腹または展開式通路のような引き出し延長部を有してよい。

[00180] したがって、本発明のこのようなアプローチは、コンテナの液体媒体が使用できる内部容積を変更するように形状をシフト可能なコンテナを設けることによって、容易に適用され、これによって内容積は、前記液体媒体により多くの頭隙を提供する拡張容積状態と、前記液体媒体により小さい頭隙を提供する収縮容積状態との間で選択的に変化可能である。

[00181] 本発明は、さらなる態様にて、高純度（例えば純度が＞９９．９９９５％）液体媒体の最小頭隙システムに関し、ここでライナまたは他のコンテナ内で液体を覆う頭隙は、（ｉ）拡張／収縮効果に対応するために十分な空間を提供し、（ｉｉ）混合および分配時に液体媒体が３ｐｓｉｇ以上の圧力まで飽和しないように、頭隙内での３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力の生成を回避するように選択される。

[00182] 第１の基準は、液体コンテナに伸縮間隙の要件を加える法規上の制約によって必要とされ、第２の基準は、液体の減圧時に、例えばライナまたは他の容器から高純度液体媒体を分配するポイントで、３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力は、気泡の形成を引き起こすと判明したことに基づく。第２の基準によって達成される目的は、混合および分配中に全てのガスが溶液内に入るものであっても、溶液内の平衡蒸気圧が３ｐｓｉｇ未満のままであるように、ガスの体積を十分に少なく維持することである。

[00183] したがって、以上は任意の高純度液体媒体について頭隙容積を求めることができる基準を提供し、これによって超小型電子デバイス製造プロセスでの使用に適切であるために、気泡、微小な気泡および粒子があってはならない超小型電子デバイス製造試薬の場合などで、液体の適切な性能が保証される。

[00184] 以上の基準、およびライナまたは他のパッケージの液体媒体に最小限の頭隙を提供するために、特定の用途でそれを決定することについて、以下の非制限的な実施例で例示する。

[00185] 実施例

[00186] プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）は、超小型電子デバイス製造作業で広範囲に使用されている一般的な試薬である。体積４リットルのＰＧＭＥＡでは、溶液の飽和圧力Ｐ_satが３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）未満である場合、減圧しても溶解ガスは測定できるほどの量の気泡を形成しないことが検証されている。４リットルのＰＧＭＥＡを、（米国コネチカット州DanburyのATMI, Inc.から市販されている）NOWPAKライナパッケージのライナに充填し、頭隙容積の関数として飽和圧力を求め、そこから頭隙容積が実質的にゼロ頭隙の状態から１０ミリリットルの頭隙へと増加した場合、液体の減圧中に、液体の飽和圧力は３ｐｓｉｇに維持され、有意な程度の気泡形成は生じなかったことが判明した。

[00187] 本発明は、示されているように、概ね多種多様な材料の保存、輸送および分配用の材料収容システムに関する。様々な実施形態および態様で、本発明は、材料収容パッケージに使用されるライナ、およびこのようなライナを含むパッケージに関する。さらに、本発明は、ライナ式材料パッケージで使用するライナの製造に有用な、他のタイプの多層フィルム積層に関する。

[00188] 本発明の以降の検討は、主に液体材料の保存および分配に使用されるライナ式材料収容パッケージを指向しているが、本発明のライナ式パッケージは、このような実用における液体材料に制限されず、固体、固体と液体の懸濁物、液体および／またはガスを含む材料などの多種多様な材料の保存および収容にも有用であることが認識される。

[00189] 本発明のライナ式パッケージのライナ内に収容される材料は、わずかだけ挙げると、半導体製造試薬、医療用成分、高純度産業用溶剤、食品、飲料、法医学的サンプル、水の品質サンプル、燃料、血液と血漿の生成物、および植物栄養素溶液を含むが、それに制限されない。１つの好ましい実施形態では、材料は、フォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハまたはツール洗浄製剤、化学機械的平坦化組成物など、超小型電子デバイス製品の製造に使用される液体または液体を含む組成物を含む。

[00190] 本明細書では、「超小型電子デバイス」という用語は、レジストコート半導体基板、フラットパネルディスプレイ、薄膜記録ヘッド、超小型電子機械式システム（ＭＥＭＳ）、および他の先進の超小型電子コンポーネントを指す。超小型電子デバイスは、パターン化および／またはブランケット化したシリコンウェーハ、フラットパネルディスプレイの基板またはポリマ、例えばフルオロポリマ基板を含んでよい。さらに、超小型電子デバイスは、メソ細孔性または微孔性無機固体を含んでよい。

[00191] 本明細書では、ライナ内の流体に関して「ゼロ頭隙」という用語は、ライナが全体的に液体媒体で充填され、ライナ内の液体媒体を覆うガスの体積がないことを意味する。

[00192] 同様に、本明細書でライナ内の流体に関して使用する「ほぼゼロ頭隙」という用語は、ライナ内の液体媒体を覆う非常に小さい体積のガスを除き、ライナが液体媒体で実質的に完全に充填されていることを意味し、例えばガスの体積はライナ内の流体の総体積の５％未満、好ましくは流体の総体積の３％未満、さらに好ましくは流体の総体積の２％未満、最も好ましくは流体の総体積の１％未満である（または別の表現方法では、ライナ内の液体の体積が、ライナの総容積の９５％を超える、好ましくはこのような総容積の９７％を超える、さらに好ましくは、このような総容積の９８％を超える、最も好ましくは、このような総容積の９９％を超える）。

[00193] 頭隙の容積が大きいほど、覆うガスが液体媒体に混入および／または可溶化する可能性が高くなる。というのは、液体媒体は、ライナ内で飛び散り、跳ね散らされ、平行移動し、さらにパッケージの輸送中にコンテナを囲む剛体に対してライナが衝突するからである。この状況の結果、液体媒体中に気泡、微小な泡、および微粒子が形成され、液体媒体を劣化させ、潜在的に所期の目的に不適切にしてしまう。この理由から、頭隙は、ライナの内容積を液体媒体で完全に充填して、最小限に抑えることが望ましく、解消する（つまりゼロまたはほぼゼロ頭隙構造である）ことが好ましい。

[00194] １つの態様では、本発明は概ね、潜在的に気泡を形成しやすい材料が収容され、関連する頭隙を有し、頭隙が真空状態である材料収容パッケージに関する。このような状況で、気泡は材料中に長く残らない。液体または液体を含む材料などの材料の静水圧で潰れてしまうからである。収容パッケージを密封する前の充填作業中に、頭隙の真空圧を、収容される材料の大部分の揮発種の蒸気圧まで低下させ、溶解したガスを除去する。このように密封された状態の収容パッケージは、潰れたり、構造的完全性に悪影響を受けずに、真空に伴う機械的力に対応可能でなければならない。

[00195] 収容パッケージは、収容パッケージの外側の圧力が、収容された材料中に気泡を形成させるような程度まで変化する状況を回避するために、収容パッケージの周囲環境にある大気ガスまたは他のガス種に対して実質的に不透過性であることが望ましい。

[00196] 収容パッケージがコンテナ内に配置されたライナを含む場合は、連通バリアの少なくとも一部をライナで構成することができる。

[00197] 本発明の別の態様では、口を有する容器を含む材料収容パッケージが提供される。バルーンを容器に挿入して、膨張させ、それによって流体が容器の内容積から口を通って変位し、その後に口が閉じられ、容器の内容積が膨張したバルーンを収容する。このような構成では、バルーンがパッケージの圧力平衡部品として働き、液体などの収容された材料の拡張および収縮による内圧変化に対応する。

[00198] 液体収容システムに適用した状態で、この構成はガス／液体の界面がないことを特徴とする（というのは、コンテナの内容積内のガスが、コンテナの内容積からガスが完全に排除されたことを保証する程度まで、バルーンの膨張によって口を通して押しのけられるからである）。ガス／液体の界面がないので、液体中の気泡の形成および混入が回避される。

[00199] 上述した液体収容システムの１つの実施形態では、コンテナ内での膨張したバルーンの可動性は、コンテナの頭隙ガスが内容積から排除された後にバルーンを位置的に固定して剛化するために使用され、膨張／拡張媒体としてバルーンに導入される連続気泡発泡体材料の使用によって抑制される。

[00200] 図９は、本発明の１つの実施形態による材料コンテナの略図である。

[00201] 図示のように、材料コンテナ１０は、一緒になってコンテナの内容積２０を封入する上壁１４、床１６および外接する側壁１８を含む。コンテナはその上壁１４にて、出入口４０を画成する口４２、および出入口４８を画成する口４６を含む。

[00202] 容器１２は液体２４を収容するものとして図示されており、これは以前の充填作業にて口４２または４６を通して内容積２０に導入されている。液体２４は、空気または他のガスを含む頭隙２２に覆われる。

[00203] 内容積２０には、口４２に固定された状態で、封入された容積３２を画成する膨張式バルーン３０が配置される。口には、供給ライン３４によって窒素などの膨張ガスの源３６が結合される。膨張ガスは、バルーンを設置するために、供給ライン３４内の源３６からバルーン３０の封入容積３２に流入する。バルーンが膨張すると、これは頭隙２２から口４６の開口４８を通って矢印Ａで示す方向にガスを押しのける。

[00204] 膨張作業は、バルーンが図１０に示すように膨張して、容器から頭隙ガスを完全に排除するまで継続し、その後、口４６は栓５０で塞がれ、口４２はキャップ６０で閉じられる。これで、容器は、バルーン３０が封入容積３２内に膨張ガスを収容した状態で、ゼロ頭隙状態（液体を覆うガスがない）またはほぼゼロ頭隙状態になり、それにより温度または他の周囲の変動の結果として液体が拡張または収縮すると、バルーンが相応して収縮または拡張し、したがって液体による容器の内壁への応力が回避される。

[00205] キャップ６０および栓５０は、相補的にねじを切って、それぞれ口４２および４６の外面にある協働のねじ山と対合することができる。あるいは、キャップ６０および栓５０は、任意の他の適切な方法で個々の口にロック状態で結合し、個々の出入口に漏れないクロージャを提供することができる。

[00206] 別の実施形態では、膨張ガスを使用する代わりに、固体、半固体ゲル、または他の媒体などの気体以外の媒体をバルーンの封入容積３２に注入することによって、バルーンを拡張することができる。このように導入した材料を、例えば架橋、熱硬化または他の硬化様式で硬化し、容器の内容積２０内で位置的に固定されるが、それでも悪影響を与えずに、容器に収容された液体の圧力変化に対応できる拡大容積を確立することができる。

[00207] 別の実施形態では、図９に示すコンテナ１０は、出入口４０が適切なクロージャで塞がれていながら、矢印Ａで示す方向で頭隙ガスを抽出するために、バルーン３０がない状態で、真空ポンプによって頭隙２２に加えられた真空圧で構築することができる。このような構成により、液体を保存し、輸送するために、容器１２内の液体２４を真空状態にすることができる。

[00208] 本発明の別の態様は、材料を収容するライナ式パッケージに使用する多層ライナに関する。多層ライナでは、ガス透過性が高い内層をガス透過性が低い外層に取り付ける。内外層は、特定の透過性特徴を有し、ライナ式パッケージに保存され、そこから分配される材料を収容するために適切な任意の適切な材料で作成することができる。例えば、内層をポリテトラフルオロエチレンのフィルムで形成し、外層をポリエチレンで形成することができる。

[00209] 以降でさらに詳細に説明するように、個々のライナ間の空間に適切なガスを導入するために、特殊な取付具が必要である。このような構成によって、収容された材料にとって有益な特定のガスまたは他の適切な化学物質をライナ間の空間に導入することができる。したがって、有益な化学物質は、内部ライナに保存された化学組成の有効寿命を延長させる働きをするガス、内部ライナに保存された未熟な果物を熟成させるガス、または内部ライナを通って内部ライナの内容積内に拡散し、このような内部ライナ内に保持された材料のためになることが望ましい他の気体状媒体または化学物質を含んでよい。

[00210] 使用ポイントで、ライナ間の容積にある残留ガスは全て、それぞれ内部ライナと外部ライナが相互に接触するように、分配作業の前にこのような容積から排気される。そのポイントで、ドライブガスをコンテナ内の外部ライナとコンテナの内壁との間の空間に導入して、内部ライナから材料を圧力で分配することができる。したがって、外部ライナとコンテナの内壁との間のドライブガスは、分配作業でライナアセンブリを漸進的に潰して圧縮し、そこから収容された材料を強制的に出す。

[00211] 別の実施形態では、ライナ間空間を、このような空間を限定しているいずれのフィルムに対しても透過性が低いガスで充填することができる。このような実施形態では、間に「バリアガス層」を提供するために、導入されたガスは内部ライナと外部ライナの間の空間に配置される。

[00212] 図１１から図２０は、このような二重ライナ式コンテナの製作、および製作の様々な組立ステップにおける構成要素および構造を示す。

[00213] 図１１は、個々の縁部が相互に位置合わせされた状態で重ね合わされた２枚のポリマフィルムのアセンブリ１０１を備える内部ライナ１００の前面図である。シートはポリテトラフルオロエチレンなどの適切なポリマフィルム材料で形成され、縁部領域で相互にシートシールされている。これは上部ヒートシール１０５、底部ヒートシール１０６、および側部ヒートシール１０３および１０４を含む。内部ライナの前板には取付具１０２が接合され、それによって液体または他の材料を内部区画に導入し、収容することができる。取付具１０２は、パーフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）樹脂または他の適切な材料で形成してよい。

[00214] 図１２は、個々の縁部が相互に位置合わせされた状態で重ね合わされた２枚のポリマフィルムのアセンブリ１１１を備える外部ライナ１１０の前面図である。シートはポリエチレンまたは他のポリオレフィン材料などの適切なポリマフィルム材料で形成され、縁部領域で相互にシートシールされている。これは底部ヒートシール１１５および側部ヒートシール１１３および１１４を含む。外部ライナの前板は、内部ライナ（図１１）の取付具１０２と協働状態で対合するように構成された取付具１１２を有する。取付具１１２は、高密度ポリエチレンまたは他の適切な構築材料で形成してよい。

[00215] 図１３は、（図１２の）外部ライナアセンブリ１１１の内側に配置された（図１１の）内部ライナアセンブリを含み、内部ライナの取付具１０２が外部ライナの取付具１１２と協働状態で対合している二重ライナ構造の前面図である。

[00216] 図１４は、外部ライナアセンブリのポリマフィルムの前板と背板が上部ヒートシール１２２に沿って相互にヒートシールされ、内部ライナと外部ライナの間の空間から空気が除去されている完成品の二重ライナアセンブリ１２０の前面図である。内部ライナと外部ライナの間の空間は、その後に、以上で検討したように内部ライナの内容物にとって有益なガス、またはこのような空間で望ましいバリアガスを構成するガスで充填することができる。

[00217] 図１５は、図１６に示したように強化することができるタイプの標準的な取付具１４０の前面図である。図１６は、内部のＯリング溝１４６を特徴とするカラー１５０、およびカラーと一体形成された半球形ロックタブ１４８を設けることによって強化した取付具１４２を構成するように改造されている標準的な取付具本体１４４を示す。

[00218] カラー１５０は、別個の部片として形成し、その後に例えば超音波溶着、溶剤溶着、接着剤接続、または他の取り付け方式などで標準的取付具１４４に接続または他の方法で固定し、強化取付具１４２を形成することができる。あるいは、カラー１５０の取付具１４２の一部として一体鋳造または成形することができる。

[00219] カラーには、カラーの周囲に３つの半球形ロックタブ１４８（図１６には１つしか見えない）が形成され、これは以降でさらに十分に説明する外部ライナ取付具と協働状態で対合する。

[00220] 図１７は、Ｏリング溝１４６（図１６参照）にＯリング１５２が配置された図８の強化取付具１４２の立面図である。Ｏリングは、取付具１４２が内部ライナ（図１７には図示せず。図１１参照）に溶着されてから追加される。

[00221] 図１８は、中心軸区間１６１と、軸区間１６１の下部分から半径方向外側に延在する周囲フランジ１６２を含む外部ライナ取付具１６０の立面図である。

[00222] 図１９は、図１８の外部ライナ取付具１６０の縦断面図であり、中心内腔１６４に外接して境界をつけている中心軸区間１６１、および軸区間１６１の下部分から半径方向外側に延在する周囲フランジ１６２を示す。

[00223] 図２０は、図１６および図１７に関して説明したようにカラーが装着されている標準的取付具１４４を含んだ状態の完成した取付具１４２の部分切り取り縦断面図である。したがって、標準的取付具１４４は、内部ライナが溶着される下部フランジ部分、および材料を内部ライナに導入するか、材料をこのような内部ライナから分配する中心内腔に外接する主円筒部分を構成する。

[00224] 外部ライナ取付具の周囲フランジ１６２が、外部ライナ（図２０には図示せず）に溶着され、次に外部ライナ取付具が内部ライナ取付具１４２にスナップ嵌めされ、したがってＯリング１５２が漏れないシールを提供し、半球形ロックタブ１４８が軸区間１６１を密封位置で外部ライナ取付具１６０に固定する。

[00225] 個々の内部ライナと外部ライナの取付具部材のこのような協働的構成によって、ライナ入れ子式の収容構造に取付具アセンブリが設けられ、これは、内部ライナに収容される材料を保護し、その有効寿命を延長させるために、内部ライナと外部ライナの間の空間を密封し、個々の取付具を相互にスナップ嵌め密封する前にこのような空間に導入されたガスを、例えばバリアまたは安定化媒体として、このような空間内に密封状態で保持できるようにする。

[00226] その後、使用するポイントで、内部ライナと外部ライナの間の空間にある流体は、例えば外部ライナ取付具を内部ライナ取付具から結合解除することによって適切に排除し、外部ライナの外面に圧力を加えて、内部ライナに当てて外部ライナを潰し、これによってライナアセンブリは、圧力をさらに加えると、収容された材料が内部ライナの内容積から内部ライナ取付具１４２を通って圧力分配されるような状態になる。

[00227] 上述したライナアセンブリは、剛性外部コンテナとして構成可能なオーバパックの中に配置することができ、オーバパックとライナアセンブリの外部ライナとの間の空間にガスを導入することにより、圧力分配作業を実行することができる。

[00228] したがって、図１１から図２０に関して説明した二重ライナおよび二重取付具構造は、保存、輸送および分配のために材料の非常に効率的な収容を可能にし、外部収容容器の内容積にライナアセンブリが配置されたパッケージの一部として、内部ライナと外部ライナの間の空間に、バリアまたは保護媒体を挟めるようになる。

[00229] 本発明の別の態様は、図２１に概略的に示すような複合ライナ２２０に関連し、これは上端で取付具２２８に取り付けられた１次ライナ２２２を備え、この取付具は、流体をライナ内から、このような流体を使用する半導体製造ツールを備える下流の半導体製造設備２５０へと矢印Ａに示す方向で分配するために、遠位端にフランジ２３０を有する。１次ライナ２２０は図示のように２次ライナ２２４が１次ライナ２２２の壁を貫通する状態で構成され、それによって２次ライナ２２４の一部は、１次ライナ２２２内のその内容積に配置される。

[00230] ２次ライナ２２４は、その一部でガス透過性スリーブを構成し、これは１次ライナ２２２の内部に配置され、このようなスリーブはガス透過性であるが液体不透過性であり、それによって１次ライナ２２２内の液体または頭隙内のガスは、２次ライナ２２４が適切な真空源（図２１には図示せず）に結合されている場合、真空吸引ライン２２６によって２次ライナ２２４のガス透過性部分を通して抽出することができる。

[00231] ２次ライナ２２４の内部スリーブ部分に真空吸引力を加えることにより、溶解し、混入したガスが１次ライナ２２２内の液体から抽出されて、分配路に沿った分配液体の圧力低下による液体中の、さらに下流の流れ回路および構成要素中の微小な気泡の形成を抑制する。２次ライナ２２４のガス透過性スリーブ部分は、大気ガスに、さらに１次ライナ２２２から液体を圧力分配するために使用される加圧ガスに対して透過性であることが好ましい。

[00232] 本発明の別の態様は、図２２に概略的に示すようなライナ式パッケージに関し、これは内容積３１２を封入する剛性外部コンテナ３１０を備え、この内容積の中には、容器の首部３１６から吊り下げられたライナ３１４が配置される。

[00233] 典型的な実践では、ライナは周囲窒素または周囲空気環境内で液体が充填され、その結果、広範囲の飽和状態で、対応する窒素飽和または空気飽和した液体になる。この液体が高度に飽和している場合は、温度または圧力に微小な変動さえ、液体中の気泡の形成につながることがある。このような気泡形成発生度は、剛性外部コンテナ内のライナ間の環状空間を加圧するために窒素または清浄な乾燥空気を使用すると増加する。というのは、環状空間から袋に入るガスの正味流束が、液体中に溶解するガスの量を増加させるからである。

[00234] 本発明は、ライナを液体で充填する時に周囲環境にあるガスとは異なるガスを環状空間内に使用することによって、この欠陥に対応する。環状空間に異なるガスを使用することによって、濃度勾配が確立され、その結果、液体中に溶解し、混入しているガスが、ライナを通してコンテナのライナ間の環状空間に拡散する。このように液体中のガスがライナを通して環状空間に入る一方向の透過が、液体中の元のガス種の濃度を低下させ、それによって液体の微小気泡形成発生度が低下する。

[00235] したがって例示により、ライナは第一に窒素雰囲気において液体で充填することができ、その結果、液体は窒素で少なくとも部分的に飽和する。次にコンテナのライナ間の環状空間にヘリウムガスを導入すると、液体中の窒素がライナを通って拡散し、ヘリウムを含む環状空間に入る。環状空間内のヘリウムに対応する濃度勾配が確立され、その結果、ライナを通してそれに収容されている液体中に拡散する一方、このような拡散の速度は低く、ヘリウムがライナ中の液体の飽和状態に到達するには、非常に長い期間が必要である。

[00236] 液体をライナに充填させる場合の周囲環境を構成し、液体充填作業が終了した後、ライナ式パッケージの環状空間を充填する別のガスを構成するために、特定のガスを選択できることが認識される。

[00237] したがって図２２は、１４．７ｐｓｉｇのヘリウムがライナ式パッケージの環状空間３１２に充填され、ライナ内の液体が、ゼロ頭隙（「ＺＨＳ」）またはほぼゼロ頭隙の構造であり、不活性窒素環境で実行される液体充填作業の結果、０ｐｓｉｇの窒素で飽和していることを示す。図２２は、液体がライナから流出していること（「液体流出」）も示し、これはゼロ頭隙またはほぼゼロ頭隙構造を確立するためにヘリウムガスが内容積３１２の環状空間に導入される時、またはその後の使用ポイントでヘリウムガスを液体の圧力分配のためにドライバガスとして導入できる時に生じる。したがって、環状空間内の異なるガス種を、液体パッケージの準備時に「パッキング」または「充填」ガスとして使用することができ、同じガスまたは別の異なるガスを圧力分配のドライブガスとして使用することができる。

[00238] 以上の検討は、ライナ式パッケージ内の液体および環状空間に１つの成分ガスを使用することを指向しているが、元々、パッケージされた液体は液体に溶解かつ／または混入した成分として複数のガス種を含むことができ、同様に液体収容パッケージの環状空間に使用されるガスも多成分ガスでよいことが認識される。

[00239] したがって本発明は、ライナを通して液体から溶解し、混入したガスを拡散抽出するライナとコンテナの間の環状空間中のガス媒体を使用して、分配作業中に流れ回路およびそれに伴う構成要素（例えばポンプ、絞られた流れオリフィス要素など）内で液体圧力が低下するにつれて生じる微小気泡の形成および／または液体の泡立ちを、最小限に抑えることを想定する。

[00240] ライナ式パッケージの環状空間内のガス媒体は、ガス混合物であることが望ましい。というのは、ライナ内の液体中のガス濃度は、環状空間のガスと濃度と等しい最大濃度までしか上昇できず、したがって環状空間から液体中へと透過するガスが飽和圧力より低くなるからである。

[00241] 微小気泡が形成され、液体に含まれることを抑制する別の方法として、ライナを液体で充填する間の周囲環境は、全てが周囲ガス混合物中に低いモル分率で存在するガスの混合物によって構成することができる。個々のガスはそれぞれ、使用（分配）状態で飽和圧力より低いレベルで周囲ガス混合物中に存在することが望ましい。

[00242] 図２３は、ライナ式材料収容パッケージに使用するような構成であるライナを構築する本発明の一般的実践で有用な多層積層の縦断面図である。

[00243] 図示のように、多層積層は、最内ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）層を含み、これはその外面に、最内ＰＴＦＥ層と次に隣接するＰＴＦＥ外層との中間の結束層を有する。外層は、ＰＴＦＥではなく他のフルオロポリマまたはポリマフィルムで構築してもよい。

[00244] ＰＴＦＥの外層の外面には、ＰＴＦＥ外層と次に隣接するバリア層との中間に第２結束層がある。バリア層は、その外面でバリア層と最外磨耗フィルム層の中間に第３結束層を有する。

[00245] したがって、多層積層は順番に（最内層から最外層へと）ＰＴＦＥ層、第１結束層、ＰＴＦＥ層、第２結束層、バリア層、第３結束層および磨耗フィルム層を含む７つの連続する層を含む。

[00246] 第１結束層は、連続するＰＴＦＥ層を相互に密封するように機能し、したがってこれらの２つの連続層間のシールを通って液体が移動できる路はない。薄膜形態のＰＴＦＥは、図２３の図で示すようにピンホールが存在しやすいので、第１結束層の各側に２つのＰＴＦＥ層を使用すると、個々のＰＴＦＥ層内にあるピンホールが行き止まりになる働きをする。というのは、第１、第２ＰＴＦＥ層のピンホールが相互に位置合わせする可能性は低いからである。

[00247] 多層積層では、最内ＰＴＦＥ層は、積層のうち液体を含む層であり、したがってこのような素は、非常に不活性の特性であることが望ましい。結束層が非常に不活性な材料で形成されている場合、結束層がＰＴＦＥ内層に取って代わることができる。

[00248] 液体をライナ内に十分に収容し続けるために、液体が積層のバリア層に到達するのを防止することが非常に重要である。バリア層の製作材料は、このような層の望ましい特性に基づいて選択される。バリア層の構築材料は任意の適切な材料を含むが、好ましい実践例では、このような材料は通常、３つのクラスに入る。つまり、アルミなどの金属、ガラスなどのセラミック、およびＥＶＯＨ、ポリアミド（ナイロン）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ポリクロロフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）および液晶ポリマ（ＬＣＰ）などのバリア特性が高いポリマである。

[00249] バリア層の材料選択に関わる考慮事項は、以下のような要素を含む。つまり、製造の容易さ、ライナ内容物の汚染の可能性、形成の容易さ、溶着性、特に屈曲時のピンホール発生度、およびガス、水およびライナ内で保持される材料に対する透過性などである。第２結束層は、ＰＴＦＥ外層とバリア層の間に配置される。

[00250] 追加のバリア層は、特定の種の拡散を個別に阻止するために積層内で使用することができる。

[00251] 多層積層の最外層は磨耗フィルムである。第３結束層がバリア層と磨耗フィルムの間に配置される。磨耗フィルム層の目的は、バリア層を損傷から保護し、さらに例えばバリア層がアルミなどの潜在的に汚染する材料である場合に、バリア層から生じる汚染を防止することである。

[00252] 磨耗フィルムは、積層内の他の層を保護するのに効果的な任意の適切な材料で形成することができる。本発明の広範な実践において磨耗フィルムの形成に使用できる例示的材料の例は、フルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などを含むが、それに制限されない。

[00253] 図２３に示す多層積層の層の厚さは、積層によって良好な性能を提供するのに効果的な任意の適切な厚さでよい。特定の実施形態では、ＰＴＦＥ内層は約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、第１結束層は約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、ＰＴＦＥ外層は約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、第２結束層は約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、バリア層は約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、第３結束層は約０．１から約０．４ミルの範囲の厚さを有し、磨耗フィルム層は約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有する。このような実施形態のバリア層は、アルミ、セラミック、ＥＶＯＨ、ポリアミド（ナイロン）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＥ）、ポリクロロフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマ（ＬＣＰ）、または他の適切な材料で形成することができる。

[00254] このような実施形態の磨耗フィルムは、フルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、または他の適切な材料で形成することができる。

[00255] 本発明のライナ式パッケージは、ライナ内に配置され、プラスチック、ポリマ、セラミック、金属、複合材料などの任意の適切な材料で形成された容器を含むことができる。ライナに収容された材料を圧力で分配するために、加圧ガスを容積の内容積内で、その中に配置されたライナの外側に導入する用途では、容器は、材料を強制的にライナからパッケージの分配通路に通すためのライナの漸進的収縮に関する圧力の応力に対応する材料で構築される。

[00256] ライナ内容物を圧力で分配する加圧ガスの圧力が有意である、例えば約１０ｐｓｉｇ以上である用途では、通常、金属で構築された容器を使用することが好ましい。このような目的には、鋼または他の合金鉄材料、チタン、真鍮、銅など、任意の適切な金属を使用することができる。容器のために特に好ましい金属材料は、重量および費用の考察に基づいて、アルミである。

[00257] 本発明は、別の態様では、ライナが配置された容器が、分配される材料を収容する第１ライナ、および第１ライナから材料を圧力で分配する間に、第１ライナに圧力を加えるために選択的に膨張可能な加圧流体用の第２ライナを使用するライナ式パッケージに関する。このような構成では、第１および第２ライナを収容するオーバパックとしての容器は、通気して周囲圧力状態にするか、あるいは第１ライナの内容物を脱ガスできるようにする大気圧未満の圧力でよく、したがって第１ライナ内の材料の混入したガス内容物は全て、第１ライナの材料から抽出される。

[00258] このような材料を収容したライナ／加圧ライナの構成の利点は、化学試薬またはパッケージの他の内容物を、微小気泡を形成せず、中に溶解ガスが存在しない状態で保存し、その後に高純度で分配するように、ライナの構築材料を最適化する能力を含む。

[00259] これに関して、ポリテトラフルオロエチレンおよび他のフルオロポリマなどのライナ材料は、ゼロまたはほぼゼロの汚染物質濃度で供給しなければならない化学試薬および他の物質を保存する際に、高純度を維持するのに望ましいが、このようなポリマは低いガスバリア挙動を呈する。このような低いガスバリアの特徴は、例えば良好なガスバリアの特徴を有する材料の層との組合せでポリテトラフルオロエチレンを使用して、許容可能なガスバリアの品質を有する多層ライナを提供するなど、多層積層ライナを使用することで克服されるが、このような多層ライナには、積層のライナ間にガスが捕捉され、積層の連続する層を接着または結束するために使用される接着剤から汚染しやすく、積層が、ライナを形成するために必要な処理ステップに対応する能力が低下する、例えば、良好なガスバリア特徴を提供する材料の層が低い融点を有し、ライナ品の形成に必要な接着または他の処理作業などを制限する、という問題がある。

[00260] 保存され、その後にパッケージから分配される材料を含む１つのライナと、分配中に保存ライナに圧力を加えるような構成である１つまたは複数の他の圧力分配ライナという別個のライナを使用すると、多層積層ライナのこのような問題が解決される。分配される化学試薬または他の材料を収容する「内容物」ライナは、通常の方法で圧力分配するために膨張し、充填され、接続される。したがって、「加圧」ライナは内容物ライナの外側にあり、そこから機能的に分離され、安価な単層ポリエチレンフィルムなどの安価な構築材料で形成することができ、このようなライナに必要なのはこのような厳密でないバリア、である。

[00261] 使用ポイントでは、例えば加圧された空気または他の適切なガスまたは液体によって、第２（加圧）ライナを膨張させることができる。加圧ライナが膨張するにつれ、これは第１（内容物）ライナの外面に力を加えて、内容物を強制的に第１ライナから分配させる。したがって、第２ライナ内の加圧媒体の圧力は、第１ライナから所望の量および所望の速度で内容物を分配するために、必要に応じて調整することができる。

[00262] このような分配作業を通じて、２つのライナの外側にある容器内の空気は、大気圧に維持される。というのは、例えば通気ライン、弁または口を通して大気に通気されているからである。したがって、圧力ガスは第１ライナを流通せず、第１ライナの内容物は、高純度で気泡がない状態に維持される。あるいは、第１および第２ライナの外側の容器内のガスは、大気圧または大気圧未満の圧力でよい。例えば、容器の内容積は、真空にさせ、第１ライナを通して連通させることにより、第１ライナ内の混入ガスを全てガス放出することができる。あるいは、容器の内容積は、分配作業中に、特定のガス媒体で加圧し、例えば不活性ガスまたは保護ガスなど、このようなガスを第１ライナの内容物に注入することができる。

[00263] したがって、第１および第２ライナはそれぞれ、個々の機能を個別に最適化することができ、したがって個々のライナは、設計に費用と性能の折り合いを付ける必要がある多層ライナを使用することより低い費用で、用途にとって適切な構築材料で構築することができる。

[00264] 図２４は、分配された材料の流れの矢印４１２によって全体的に示すように、自身に結合された分配コネクタアセンブリ４１０を有し、パッケージから材料を分配するように構成された容器４００を含む、瓶に袋を入れるタイプのライナ式パッケージの斜視図である。このパッケージの容器４００は、分配される材料を保持する第１ライナ４０４、および圧力ガス流入の矢印４０８で全体的に示された流れを有する加圧ガスで膨張する第２ライナ４０６が配置された内容積４０２を封入する。

[00265] 作業時には、圧力ガスが、第２ライナを膨張させて第１ライナ４０４に圧力を加えさせるのに十分な程度まで第２ライナ４０６に流入し、したがって第１ライナは、加えられた圧力により漸進的に収縮し、第１ライナ内の材料は、例えば外部の流れ回路または分配された材料を使用する他の装置、例えば半導体デバイス、フラットパネルディスプレイなどの超小型電子製品を製造するための超高純度フォトレジストへと、コネクタを通して分配される。容器４００は、第２ライナ４０６の膨張が進行するにつれて、内容積のガスが容器から分配されるように、通気することができる（通気部は図２４には図示せず）。

[00266] パッケージは、図２４では２つのライナしか備えていないように図示されているが、本発明の特定の実施形態では複数の加圧ライナを使用することができ、ライナはその使用状況に応じて適宜、様々な形状および構成でよいことが理解される。例えば、加圧ライナには環状構造を形成することができ、したがってスリーブとして第１内容物ライナに外接し、したがって分配作業では第１ライナの周囲に半径方向内側に均一な状態で圧力が加えられる。

[00267] 第２加圧ライナは、分配前の膨張していない状態で容器の内容積に保持されるのではなく、代替的に、パッケージを輸送中、および分配作業前に、内容積内で第１ライナが移動するのを回避するように、部分的または全体的に膨張して、第１ライナを内容積の所定の位置に位置的に固定することができる。したがって、第２ライナは、パッケージ内で第１ライナを位置的に安定させる圧力で密封することができ、使用ポイントでは、第１ライナの内容物を圧力分配するのに適切な程度まで、および適切な速度で第２ライナを追加的に膨張させることができる。

[00268] 本明細書では、本発明を本発明の特定の態様、形体および例示的実施形態に関して説明してきたが、本発明の有用性はこれには制限されず、本明細書の開示に基づいて当業者が思い浮かべるような様々な他の変形、改造および代替実施形態にまで拡大され、それを含むことが認識される。同様に、請求の範囲に記載されたような本発明は、このような変形、改造および代替実施形態をその精神および範囲に含むものとして、広義に想定され、解釈されるものとする。

[0071] 本発明の１つの実施形態によるライナ式流体保存および分配パッケージの縦断面図である。 [0072] 本発明の別の実施形態による流体保存および分配パッケージの略斜視図である。 [0073] 本発明のさらなる実施形態による流体保存および分配パッケージの略斜視図である。 [0074] 本発明のさらに別の実施形態による流体保存および分配パッケージの略斜視図である。 [0075] 本発明の別の実施形態による袋に袋を入れる式の液体媒体パッケージの略縦断面図である。 [0076] 本発明のさらなる実施形態による液体媒体パッケージの略縦断面図である。 [0077] 積層の成分層を示す、本発明の１つの態様によるフィルム積層の略断面図である。 [0078] 本発明のさらなる態様による液体媒体が供給される製造システムの略図である。 [0079] 本発明の１つの実施形態による材料コンテナの略図である。 [0080] 液体で充填し、自身内のバルーンを拡張させ、ゼロ頭隙またはほぼゼロ頭隙の構造を提供する、図９のコンテナの略図である。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0081] 二重ライナ式コンテナの製作、および製作のある組立ステップにおける構成要素および構造を示す。 [0082] 本発明の別の実施形態による複合ライナの略図である。 [0083] 本発明の別の実施形態により、容器の首部から吊り下げられたライナが内部に配置された内容積を封入する剛性外部コンテナを含むライナ式パッケージの略図である。 [0084] ライナ式材料収容パッケージに使用するような構成であるライナを構築するために、本発明の一般的方法で有用な多層積層の縦断面図である。 [0085] 本発明の別の実施形態による瓶に袋を入れるタイプのライナ式パッケージの斜視図である。

Claims

内容積を有する容器と、
液体媒体を収容するように構成された前記内容積内のライナと、
該ライナが液体媒体を収容している場合に、該ライナと接触して、これを所定の位置に保持するために流体媒体で膨張可能である可撓性の膨張式嚢体と、
前記容器の前記内容積と制限された流体連通状態で構成され、該ライナが液体媒体を収容し、該嚢体が膨張した場合に、該容器の該内容積からガスを除去するような構成であるガス除去区画と、を備える
流体保存および分配パッケージ。
該液体媒体が超小型電子デバイス製造試薬を含む、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該超小型電子デバイス製造試薬が、フォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツール洗浄製剤、および化学機械的研磨組成物で構成されたグループから選択された材料を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該嚢体が不活性ガスで膨張し、該ライナが液体媒体を収容する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
さらに、該容器に取り付けられ、該容器内の該ライナから液体を分配するために分配アセンブリと係合するような構成であるキャップを備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ガス除去区画が、該容器内容積と自身の間に圧力差を確立するような構成である区画内容積を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ガス除去区画が、該容器内容積と自身の間に濃度差を確立するような構成である区画内容積を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ガス除去区画が、少なくとも部分的に、ガスを該区画に通すために透過性である材料で形成される、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ガス除去区画が、ガスを該区画内に拡散する透過性の膜を備え、前記膜が、ライナ層とライナ以外の膜で構成されたグループから選択される、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画がゲッタを収容する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画がその内面上にゲッタを収容する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ゲッタが酸素および窒素を化学吸着する、請求項１０に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が、自身からガスを排出し、該ライナ内に液体媒体を収容している間に、排気状態を維持するような構成である、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が真空ポンプと結合するような構成である、請求項１３に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ライナが、ゼロ頭隙構造内に液体媒体を収容する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ライナが、該容器の輸送および保存中に液体媒体を収容している場合、該嚢体が第１膨張状態まで膨張して、該ライナと接触し、それを所定の位置に保持するような構成であり、該嚢体が、該パッケージの分配作業中に第２膨張状態まで膨張して、自身から該液体媒体を分配するために該ライナを圧縮する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該嚢体および該ライナに弁が付けられる、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
さらに、該容器と係合して、そこから液体媒体を分配するような構成である分配アセンブリを備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該分配アセンブリが分配ヘッドおよびそれに結合された液浸管を含む、請求項１８に記載の流体保存および分配パッケージ。
さらに、該嚢体を膨張するような構成であるガス源を備える、請求項１８に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ライナが、非ゼロ頭隙構造内に液体媒体を収容し、該嚢体が、該液体媒体の分配圧力より高い圧力まで膨張する、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が該容器の内面に固定される、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が、該容器の前記内容積内で別個の取り付けられていない品目である、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が漏入ガスに対して透過性である、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が、ガスを該区画に流入させるような構成である流入弁を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該区画が、該容器の該内容積の圧力が自身の設定点を超えると、該区画にガスを流入させるような構成である流入弁を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ライナが自身を通る収容ガスの流出に対して透過性である、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該ライナが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン、およびその適合性コポリマまたはモノマで構成されたグループから選択されたポリマ、および前記ポリマまたはコポリマの少なくとも１つの層を含む積層を備える材料で形成される、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該嚢体がエラストマ材料を備える、請求項１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該エラストマ材料が、天然ゴム、合成エラストマ、天然／合成エラストマ混合物、および形状記憶合金で構成されたグループから選択される、請求項２９に記載の流体保存および分配パッケージ。
流体を保持するように構成された容器と、（ｉ）分配中に、該容器内の流体と他の流体との有害な流体／流体相互作用がない状態で、該容器からの流体の圧力分配を実行するために該容器内の流体に圧力を加え、（ｉｉ）該容器内の流体を分配せずに保存している間は、該容器内の流体の頭隙を制限するような構成である可動性および／または可撓性バリアと、を備える流体保存および分配パッケージ。
該容器内の流体と他の流体との該有害な流体／流体相互作用が、ガスの流入、気泡および微小気泡の形成、粒子の発生、粒子の集合、溶剤の蒸発、および納所の変動で構成されたグループから選択される、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該容器内の該流体が超小型電子デバイス製造試薬を含む、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該バリアが嚢体を備える、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
さらに、流体を分配するために該容器と係合可能である分配アセンブリを備える、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該分配アセンブリが、該容器内の該流体内に配置されるような構成である液浸管を備え、前記液浸管が分配ヘッドに結合される、請求項３５に記載の流体保存および分配パッケージ。
該流体が、フォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツール洗浄製剤、化学機械的研磨組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項３６に記載の流体保存および分配パッケージ。
流体供給関係で超小型電子デバイス製造設備に結合された、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該バリアが膨張可能であり、該パッケージがさらに膨張アセンブリを備える、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該バリアが円板形であり、該容器内で垂直運動するように構成される、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
流体を保持するように構成された容器と、該容器内で該流体と接触して、膨張媒体によって膨張し、該容器内の該流体の体積変化を補償するように、該容器内の該流体の個々の収縮または膨張に対して膨張または収縮するように構成された嚢体と、を備える流体保存および分配パッケージ。
該膨張媒体が気体または液体である、請求項４１に記載の流体保存および分配パッケージ。
該嚢体が、非補償状態で該容器内の該流体に圧力を加え、該容器からの該流体の圧力分配を実行するように、さらに膨張可能である、請求項４１に記載の流体保存および分配パッケージ。
第１可撓性拡張性材料の内袋と、第２可撓性拡張性材料の外袋とを備え、該内袋と外袋とが相互に接合されて、その間の膨張性空間を形成し、さらに該膨張性空間に膨張流体を導入する膨張通路を備え、それによって該内袋と外袋の一方に圧縮力を加えて、自身を剛化する、かつ／またはそこからの流体の圧力分配を実行する、袋に袋を入れる式のパッケージ。
該外袋が該内袋の周囲に外接する、請求項４４に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
該内袋と外袋がポリマフィルムで形成される、請求項４４に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
該ポリマフィルムが該パッケージの継ぎ目に溶着される、請求項４６に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
該外袋が、該内袋からの材料の圧力分配を実行するために膨張するような構成である、請求項４６に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
選択的に膨張可能および／または充填可能である膨張式区画を含み、１つまたは複数の区画が、分配して使用するような構成である流体媒体を収容するように構成され、他の１つまたは複数の区画は、膨張して自身を剛化するように構成され、該膨張した区画は、該流体媒体を収容している区画からそれを圧力で分配するために、使用ポイントでさらに膨張するような構成である、袋に袋を入れる式のパッケージ。
前記１つまたは複数の区画が、前記流体媒体として超小型電子デバイス製造試薬を収容する、請求項４９に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
液体媒体を保持する内容積を有し、該液体媒体を保持するために使用可能な前記内容積のサイズを変更するために形状シフト可能な半可撓性部分を含むコンテナを備え、それによって該内容積は、前記液体媒体により多くの頭隙を提供する拡張容積状態と、前記液体媒体により小さい頭隙を提供する収縮容積状態との間で選択的に変化可能である、液体媒体保存および分配パッケージ。
該形状シフト可能な半可撓性部分が手で変形可能である、請求項５１に記載の液体媒体保存および分配パッケージ。
該内容積が前記圧縮した容積状態である場合に、該コンテナ内の絶対圧力が、高純度の該超小型電子デバイス製造試薬の蒸気圧に近づかないように、該半可撓性部分が、構築され、構成される、請求項５１に記載の流体保存および分配パッケージ。
上に頭隙がある液体媒体を保持する内容積を有し、（ｉ）前記液体媒体の拡張／収縮効果に対応するために該内容積に十分な空間を提供し、（ｉｉ）混合および分配時に液該体媒体が３ｐｓｉｇ以上の圧力まで飽和しないように、該頭隙内での３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力の生成を回避するように構築され、構成されたコンテナを備える、液体媒体保存および分配パッケージ。
該内容積が高純度超小型電子デバイス製造試薬を保持する、請求項５４に記載の液体媒体保存および分配パッケージ。
該高純度超小型電子デバイス製造試薬がプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを含む、請求項５５に記載の液体媒体保存および分配パッケージ。
液体媒体を保存かつ／または送出するためのライナと、該ライナに剛性を与えるか、そこから該液体媒体を分配するように構成された膨張式部材とを含むコンテナ。
内容積を封入し、自身内に配置されて第２袋を囲む第１袋を有する剛性オーバパックを備え、該袋の一方は液体媒体を保持するような構成であり、該袋の他方は、外部から供給されるガスを自身内に導入することによって膨張可能であり、それによって分配する前に該一方の袋を固定するために、それに圧縮力を加え、分配作業中は、該一方の袋からの圧力分配を実行するためにさらに膨張可能である、液体媒体を保存し、分配する袋に袋を入れる式のパッケージ。
該一方の袋が該第１袋である、請求項５８に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
該一方の該第２袋である、請求項５８に記載の袋に袋を入れる式のパッケージ。
自身内に液体媒体を収容するような構成であり、自身から液体媒体を分配するための出口、および自身の中心領域に配置された膨張式袋を有する容器を備え、該容器から該出口を通して液体媒体を圧力分配するために、該袋を膨張させる外部ガス供給部と結合するような構成である、液体媒体を保存し、分配する圧力分配パッケージ。
高純度中密度ポリエチレンで形成された内部プライと、連続的に、該内部プライに隣接し、粘着防止剤を含む線状中密度ポリエチレンおよび中密度ポリエチレンの第１層、該第１層に隣接する無水物改質ポリエチレンの第１結束層、該無水物改質ポリエチレン結束層に隣接する第１ポリアミド層、該第１ポリアミド層に隣接するＥＶＯＨ層、該第１ポリアミド層に隣接する側とは反対の側で該ＥＶＯＨ層に隣接するポリアミドの第２層、該第２ポリアミド層に隣接する無水物改質ポリエチレンの第２結束層、および粘着防止剤を含む線状低密度ポリエチレンおよび高密度ポリエチレンの層を備える、７つのフィルム層を含む外部プライとを備えるポリマフィルム積層。
該積層の該外部フライの厚さが２から４ミル（０．０５０８から０．１０１６ｍｍ）であり、内部プライを含む積層の全厚が５から６ミル（０．１２７から０．１５２４ｍｍ）である、請求項６２に記載のポリマフィルム積層。
液体媒体を使用するような構成である製造ツールと、
該液体媒体を分配するために、該製造ツールと流体連通する状態で接合された液体媒体分配源と、を備え、
該液体媒体源が、
（Ａ）請求項１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｂ）請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｃ）請求項４１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｄ）請求項４４に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｅ）請求項４９に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｆ）請求項５１に記載の液体媒体保存および分配パッケージと、
（Ｇ）請求項５４に記載の液体媒体保存および分配パッケージと、
（Ｈ）請求項５８に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｉ）請求項６１に記載の圧力分配パッケージと、
で構成されたグループから選択された源を備える、
液体媒体が供給される製造システム。
該製造ツールが超小型電子デバイス製造ツールを備える、請求項６４に記載の液体媒体が供給される製造システム。
該液体媒体が超小型電子デバイス製造試薬を含む、請求項６４に記載の液体媒体が供給される製造システム。
前記超小型電子デバイス製造試薬がフォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツール洗浄製剤、および化学機械的研磨組成物で構成されたグループから選択された試薬を含む、請求項６６に記載の液体媒体が供給される製造システム。
請求項６２に記載の積層で形成されたライナ。
内容積を有する容器内に配置されたライナ内で高純度液体媒体を保存し、流体媒体で膨張した可撓性膨張式嚢体で、該ライナを前記内容積内の固定位置に保持し、該高純度液体媒体を該容器内の固定位置の該ライナ内に保存している間、前記液体媒体の高純度を維持するために、該容器の該内容積からガスを除去することを含む、高純度液体媒体を保存し、分配する方法。
該容器の輸送および保存中に該ライナが該液体媒体を収容している場合、該ライナと接触して、それを保持するために、該嚢体を第１膨張状態まで膨張させ、該液体媒体を分配するために該ライナを圧縮するよう、該嚢体を第２膨張状態までさらに膨張させることを含む、請求項６９に記載の方法。
流体を容器に導入し、可動性および／または可撓性バリアを配備して、（ｉ）該容器内の該流体と他の流体との有害な流体／流体相互作用がない状態で、該容器からの流体の圧力分配を実行するために該容器内の流体に圧力を加え、（ｉｉ）該容器内の流体を分配せずに保存している間は、該容器内の流体の頭隙を制限することを含む、流体を保存し、分配する方法。
流体を容器に導入し、該流体と接触した状態で嚢体を該容器内に配置することを含み、該嚢体が、膨張媒体によって膨張し、該容器内の該流体の体積変化を補償するように、該容器内の該流体の個々の収縮または膨張に対して膨張または収縮するように構成される、流体を保存し、分配する方法。
該嚢体が、非補償状態で該容器内の該流体に圧力を加え、該容器からの該流体の圧力分配を実行するように、さらに膨張可能である、請求項７２に記載の方法。
第１可撓性拡張性材料の内袋と、第２可撓性拡張性材料の外袋とを備え、該内袋と外袋とが相互に接合されて、その間の膨張性空間を形成する袋に袋を入れる式のパッケージを提供し、その後の分配のために該内袋に材料を導入し、該内袋に圧縮力を加えて該パッケージを剛化させるために、該膨張性空間を膨張させることを含む、その後の分配のために材料をパッケージングする方法。
請求項４９に記載の袋に袋を入れる式のパッケージを提供し、分配して使用するような構成である流体媒体で前記１つまたは複数の区画を充填し、該パッケージを剛化するために、他の１つまたは複数の区画を膨張させることを含む、その後の分配のために材料をパッケージングする方法。
さらに、該流体媒体を収容した該区画からその圧力分配を実行するために、使用ポイントで該膨張区間をさらに膨張させることを含む、請求項７５に記載の方法。
（ｉ）液体媒体を保持する内容積を有し、該液体媒体を保持するために使用可能な前記内容積のサイズを変更するために形状シフト可能な半可撓性部分を含むコンテナに該液体媒体をパッケージングし、それによって該内容積は、前記液体媒体により多くの頭隙を提供する拡張容積状態と、前記液体媒体により小さい頭隙を提供する収縮容積状態との間で選択的に変化可能であり、さらに（ｉｉ）該液体媒体を保存するために該収縮容積状態を提供するように該半可撓性部分を配置し、（ｉｉｉ）該収縮容積状態で保存した後、該液体媒体を分配するために該拡張容積状態を提供するように該半可撓性部分を再配置し、（ｉｖ）該コンテナの該内容積が該拡張容積状態にある間に、該コンテナから該液体媒体を分配することを含む、液体媒体を保存し、分配する方法。
液体媒体の上に頭隙があるコンテナに液体媒体をパッケージングすることを含み、前記パッケージングが、（ｉ）前記液体媒体の拡張／収縮効果に対応するために該内容積に十分な空間を提供し、（ｉｉ）混合および分配時に該液体媒体が３ｐｓｉｇ以上の圧力まで飽和しないように、該頭隙内での３ｐｓｉｇ（０．２１ｋｇ／ｃｍ²）以上の飽和圧力の生成を回避する、液体媒体の保存方法。
内容積を封入して、自身内に配置されて第２袋を囲む第１袋を有する剛性オーバパックを提供し、分配する前に、該一方の袋を固定するようそれに圧縮力を加えるために、該袋の一方を液体媒体で充填して、該袋の他方を膨張させ、分配作業中は、一方の袋からの圧力分配を実行するために袋の他方をさらに膨張させることを含む、液体媒体を保存し、分配する方法。
自身内に液体媒体を収容するような構成であり、自身から液体媒体を分配するための出口、および自身の中心領域に配置された膨張式袋がある容器を提供し、該容器から該出口を通して液体媒体を圧力分配するために、該袋を膨張させることを含む、液体媒体を保存し、分配する方法。
液体媒体の使用を含むプロセスによって製品を製造する方法に関し、前記液体媒体をライナ式源から前記プロセスに供給することを含み、前記ライナ式源が、
（Ａ）請求項１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｂ）請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｃ）請求項４１に記載の流体保存および分配パッケージと、
（Ｄ）請求項４４に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｅ）請求項４９に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｆ）請求項５１に記載の液体媒体保存および分配パッケージと、
（Ｇ）請求項５４に記載の液体媒体保存および分配パッケージと、
（Ｈ）請求項５８に記載の袋に袋を入れる式のパッケージと、
（Ｉ）請求項６１に記載の圧力分配パッケージと、
で構成されたグループから選択された前記ライナ式源を備える方法。
前記液体媒体が超小型電子デバイス製造試薬を含む、請求項８１に記載の方法。
前記超小型電子デバイス製造試薬がフォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハおよびツール洗浄製剤、および化学機械的研磨組成物で構成されたグループから選択された試薬を含む、請求項８２に記載の方法。
潜在的に自身内で気泡を形成しやすい材料を収容するような構成であり、自身に関連する頭隙を有する材料収容容器と、該材料の気泡形成発生度を低下させるのに十分な真空を該頭隙に与えるような構成である真空アプリケータとを備える、材料収容パッケージ。
潜在的に自身内で気泡が形成しやすい材料を収容する、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体とガスを含む材料で構成されたグループから選択された材料を備える、請求項８５に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が、液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体および／または気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項８５に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が半導体製造試薬、薬剤組成物、溶剤、食品、飲料、法医学的サンプル、水の品質サンプル、燃料、血液生成物、血漿生成物、および植物栄養素溶液で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項８５に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が、超小型電子デバイス製品を製造するような構成である材料を含む、請求項８５に記載の材料収容パッケージ。
前記材料がフォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄製剤、ツール洗浄製剤、化学機械的平坦化組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項８９に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が、液体および液体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項８５に記載の材料収容パッケージ。
該真空アプリケータが、前記材料を含む該材料収容容器を密封する前に、前記材料から溶解ガスを除去するような構成である、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
該真空アプリケータが、前記材料を含む該材料収容容器を密封する前に、前記材料から溶解ガスを除去するような構成である、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
該材料収容容器が、大気ガスに対して実質的に不透過性である、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
該材料収容容器が、該パッケージの該周囲環境にあるガスに対して実質的に不透過性である、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
さらに、該材料収容容器内にライナを備える、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
該真空アダプタが真空ポンプを備える、請求項８４に記載の材料収容パッケージ。
自身内に材料を収容するような構成である内容積、口、および自身の内容積内に配置されて、該内容積に収容された材料の拡張および収縮による内圧変化に対応するために少なくとも部分的に膨張するような構成であるバルーンを含む材料収容容器を備える、材料収容パッケージ。
該バルーンが、該容器の該内容積内にゼロまたはほぼゼロ頭隙を確立するために、前記内容積から該口を通して材料を変位するために少なくとも部分的に膨張するような構成である、請求項９８に記載の材料収容パッケージ。
ゼロまたはほぼゼロ頭隙状態で、前記バルーンが少なくとも部分的に膨張し、前記口が密封された状態で、該容器の該内容積内に材料を収容する、請求項９８に記載の材料収容パッケージ。
前記材料が液体または液体を含む材料を含む、請求項１００に記載の材料収容パッケージ。
該バルーンが流体で少なくとも部分的に膨張する、請求項１００に記載の材料収容パッケージ。
該バルーンが、連続気泡発泡体材料で少なくとも部分的に膨張する、請求項１００に記載の材料収容パッケージ。
該容器が２つの口を含み、その一方が該バルーンに結合される、請求項９８に記載の材料収容パッケージ。
さらに、該２つの口上にクロージャを備える、請求項１０４に記載の材料収容パッケージ。
該バルーンが、非気体媒体で少なくとも部分的に膨張する、請求項１０６に記載の材料収容パッケージ。
該非気体媒体が、固体、半固体およびゲルで構成されたグループから選択された媒体を含む、請求項１０６に記載の材料収容パッケージ。
該非気体媒体が硬化可能または架橋可能である、請求項１０６に記載の材料収容パッケージ。
自身内に第１材料を密封状態で保持するような構成である内容積を有する第１ライナと、自身内に該第１ライナを保持するような構成である内容積を有する第２ライナとを含み、該第１および第２ライナがそれぞれ、その内容積との流体連通を可能にする取付具を有し、該パッケージの取付具アセンブリを形成するために、該第１ライナの該取付具が該第２ライナの該取付具と結合可能である、材料収容パッケージ。
さらに、該第１ライナの該内容積内に第１材料を含む、請求項１０９に記載の材料収容パッケージ。
さらに、該第２ライナの該内容積内に第２材料を含み、該第２ライナ内の前記第２材料が、該第１ライナの該内容積内の該第１材料にとって有益である、請求項１１０に記載の材料収容パッケージ。
前記第２材料が、自身が存在しない該第１材料の有効寿命に対して、該第１材料の有効寿命を延長させるガスを含む、請求項１１１に記載の材料収容パッケージ。
該第２材料が、該第１ライナの該内容積への汚染物質の通過に対して保護バリアを提供するガスを含む、請求項１１１に記載の材料収容パッケージ。
該パッケージの該取付具アセンブリが、該第１ライナから該第１ライナの該取付具を通して材料が圧力分配されることに対応して、該第１ライナの外側にある該第２ライナの該内容積を排気可能にするような構成である、請求項１０９に記載の材料収容パッケージ。
該第１および第２ライナが、該取付具アセンブリの装着された口を有するコンテナ内に配置される、請求項１０９に記載の材料収容パッケージ。
該コンテナが、該第１ライナから材料の圧力分配を実行して、前記圧力分配のために該第１および第２ライナを漸進的に収縮するために、その内容積にドライブガスを導入するような構成である、請求項１１５に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナの外側にある該第２ライナ内にガスを含み、該第１および第２ライナが前記ガスに対して実質的に不透過性である、請求項１０９に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナがポリテトラフルオロエチレンを含む材料で製作される、請求項１０９に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナが、縁領域で相互にヒートシールされたポリテトラフルオロエチレンの重ね合わせたシートで形成され、該第１ライナの前記取付具が、前記重ね合わせたシートの一方と結合して、前記取付具を通して該第１ライナの該内容積と充填および分配連通する材料を提供する、請求項１１８に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナの前記取付具がパーフルオロアルコキシ樹脂で形成される、請求項１１９に記載の材料収容パッケージ。
該第２ライナが、その縁領域で相互にヒートシールされたポリオレフィンの重ね合わせたシートで形成され、該第２ライナの前記取付具が前記重ね合わせたシートの一方と結合する、請求項１１９に記載の材料収容パッケージ。
前記ポリオレフィンがポリエチレンを含む、請求項１２１に記載の材料収容パッケージ。
該第２ライナの前記取付具がポリエチレンで形成される、請求項１２１に記載の材料収容パッケージ。
ライナに固定するような構成であり、全体的に円筒形の上部主本体部分、およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える取付具。
前記カラーが、周方向に延在して、自身内へのＯリングの配置に対応する溝を含む、請求項１２４に記載の取付具。
前記カラーがさらに、自身に第２取付具を固定するロック要素を備える、請求項１２５に記載の取付具。
前記ロック要素が半球形ロックタブを備える、請求項１２６に記載の取付具。
全体的に円筒形の上部主本体、およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が該第１取付具の該カラーとロック状態で係合可能である取付具アセンブリ。
さらに、該第１取付具の前記外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分の前記フランジに固定された第１ライナ、および前記第２取付具の前記下部周囲フランジ部分に固定された第２ライナを備える、請求項１２８に記載の取付具アセンブリ。
全体的に円筒形の上部主本体およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が該第１取付具の該カラーとロック状態で係合可能であり、さらに該第１取付具の前記外側に朝顔状に広がる下部スカート部分の前記フランジに固定された第１ライナ、および前記第２取付具の前記朝顔状に開いた下部フランジ部分に固定された第２ライナがある、取付具アセンブリを備える、ライナ入れ子式の材料収容パッケージ。
さらに、該第１ライナ内の第１材料を含む、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体と気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体および／またはガスを含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料が半導体製造試薬、薬剤組成物、溶剤、食品、飲料、法医学的のサンプル、水の品質サンプル、燃料、血液生成物、血漿生成物、および植物栄養素溶液で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料が、超小型電子デバイス製品を製造するような構成である材料を含む、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料がフォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄製剤、ツール洗浄製剤、および化学機械的平坦化組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１３５に記載の材料収容パッケージ。
前記第１材料が液体および液体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
該第２取付具が該第１取付具にスナップ嵌め可能である、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
該第１取付具の該カラーが、周方向に延在して。自身内にＯリングを有する溝を含む、請求項１３８に記載の材料収容パッケージ。
前記カラーがさらに、自身に該第２取付具を固定するロック要素を備える、請求項１３９に記載の材料収容パッケージ。
前記ロック要素が半球形ロックタブを備える、請求項１４０に記載の材料収容パッケージ。
さらに、該第２ライナ内に第２材料を備え、該第２ライナ内の前記第２材料が、該第１ライナの該第１材料にとって有益である、請求項１３１に記載の材料収容パッケージ。
前記第２材料が、自身が存在しない該第１材料の有効寿命に対して、該第１材料の有効寿命を延長させるガスを含む、請求項１４２に記載の材料収容パッケージ。
前記第２材料が、該第１ライナへの汚染物質の通過に対して保護バリアを提供するガスを含む、請求項１４２に記載の材料収容パッケージ。
該パッケージの該取付具アセンブリが、該第１ライナから該第１ライナの該取付具を通して材料が圧力分配されることに対応して、該第１ライナの外側にある該第２ライナを排気可能にするような構成である、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
該第１および第２ライナが、該取付具アセンブリの装着された口を有するコンテナ内に配置される、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
該コンテナが、該第１ライナから材料の圧力分配を実行して、前記圧力分配のために該第１および第２ライナを漸進的に収縮するために、その内容積にドライブガスを導入するような構成である、請求項１４６に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナの外側の該第２ライナ内にガスを含み、該第１および第２ライナが前記ガスに対して実質的に不透過性である、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナがポリテトラフルオロエチレンを含む材料で製作される、請求項１３０に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナが、縁領域で相互にヒートシールされたポリテトラフルオロエチレンの重ね合わせたシートで形成され、前記第１取付具が、前記重ね合わせたシートの一方と結合して、前記取付具を通して該第１ライナの内容積と充填および分配連通する材料を提供する、請求項１４９に記載の材料収容パッケージ。
該第１ライナの前記取付具がパーフルオロアルコキシ樹脂で形成される、請求項１５０に記載の材料収容パッケージ。
該第２ライナが、その縁領域で相互にヒートシールされたポリオレフィンの重ね合わせたシートで形成され、前記第２取付具が前記重ね合わせたシートの一方と結合する、請求項１５０に記載の材料収容パッケージ。
前記ポリオレフィンがポリエチレンを含む、請求項１５２に記載の材料収容パッケージ。
前記第２取付具がポリエチレンで形成される、請求項１５２に記載の材料収容パッケージ。
自身の内容積との材料の導入および除去連通を提供する取付具に上端が取り付けられた１次ライナと、１次ライナに部分的に連通し、固定され、自身の連通部分が該１次ライナの該内容積内に配置された２次ライナとを含み、前記２次ライナは、該１次ライナの外側に非連通部分を含み、該２次ライナの前記連通部分はガス透過性であるが液体不透過性である複合ライナ。
該２次ライナの該非連通部分が、該１次ライナに液体が収容されている場合に、液体が溶解および混入ガスを抽出するために真空源と結合するような構成である、請求項１５５に記載の複合ライナ。
該２次ライナが真空吸引ラインに結合するような構成である、請求項１５６に記載の複合ライナ。
該２次ライナの該連通部分が大気ガスに対して透過性である、請求項１５５に記載の複合ライナ。
該２次ライナの該連通部分が空気に対して透過性である、請求項１５５に記載の複合ライナ。
該ライナが、ドライブガスによって該１次ライナから該液体を圧力分配するような構成であり、該２次ライナの該連通部分が前記ドライブガスに対して透過性である、請求項１５５に記載の複合ライナ。
自身の内容積にライナを収容する容器を含み、該ライナは、第１ガス種を含むガスを溶解かつ／または混入しやすい液体または液体を含む材料を収容するような構成であり、該ライナの外側にある該容器の該内容積は、前記第１ガス種とは異なる第２ガス種を収容する、材料収容パッケージ。
該第１ガス種が窒素または空気を含み、該第２ガス種がヘリウムまたはアルゴンを含む、請求項１６１に記載の材料収容パッケージ。
該容器が、該ライナを吊り下げる首部を備える、請求項１６１に記載の材料収容パッケージ。
さらに、該ライナ内に液体または液体を含む材料を含む、請求項１６１に記載の材料収容パッケージ。
該容器が剛性容器である、請求項１６１に記載の材料収容パッケージ。
該容器および該ライナが、該パッケージの周囲環境と連通しないように密封される、請求項１６４に記載の材料収容パッケージ。
前記ライナ内でゼロまたはほぼゼロ頭隙状態が維持される、請求項１６６に記載の材料収容パッケージ。
該第２ガス種が多成分ガスを含む、請求項１６６に記載の材料収容パッケージ。
該多成分ガスが、該ライナ中の液体または液体を含む材料に連通した場合に、それぞれが飽和圧力未満のままであるガス種を含む、請求項１６８に記載の材料収容パッケージ。
最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を備える多層積層。
該フルオロポリマ層がポリテトラフルオロエチレンを含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該バリア層が金属、セラミックおよびポリマで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該バリア層がアルミを含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該バリア層がガラスを含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該バリア層がエチレンビニルアルコール、ポリエチレン、ナイロンおよびポリ塩化ビニリデンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該磨耗フィルム層がフルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該ポリテトラフルオロエチレン層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第１結束層が約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該フルオロポリマ層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第２結束層が約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該バリア層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第３結束層が約０．１から約０．４ミルの範囲の厚さを有し、該磨耗フィルム層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有する、請求項１７０に記載の多層積層。
該結束層がそれぞれフルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから別個に選択された材料を含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該フルオロポリマ層がポリテトラフルオロエチレンを含み、該第１結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１７０に記載の多層積層。
該第２結束層がポリテトラフルオロエチレンを含み、該第１結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１７９に記載の多層積層。
該バリア層がアルミ、セラミック、ＥＶＯＨ、ポリアミド（ナイロン）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＥ）、ポリクロロフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマ（ＬＣＰ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８０に記載の多層積層。
該第３結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８１に記載の多層積層。
該磨耗フィルム層がフルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８２に記載の多層積層。
請求項１７０に記載の該多層積層を備えるライナ。
請求項１８４に記載の該ライナを備える材料収容パッケージ
試薬を供給する関係で半導体製造ツールと結合され、
（ａ）請求項８４に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項９８に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項１０９に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項１３０に記載のライナ入れ子式の材料収容パッケージと、
（ｅ）請求項１６１に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択されたパッケージを備える試薬源を備える半導体製造設備。
自身内に気泡を形成しやすい材料を供給する方法で、該材料の気泡形成発生度を低下させるのに十分な真空で前記材料を収容することを含む方法。
該材料が半導体製造材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
該材料の収容が、前記材料を収容するような構成であり、自身に関連する頭隙を有する材料収容容器と、該頭隙を前記真空の状態にするような構成である真空アプリケータとを備える材料収容パッケージ内に該材料を配置することを含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体と気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体および／または気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料が半導体製造試薬、薬剤組成物、溶剤、食品、飲料、法医学的サンプル、水の品質サンプル、燃料、血液生成物、血漿生成物、および植物栄養素溶液で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料が超小型電子デバイス製品を製造するような構成である材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料がフォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄製剤、ツール洗浄製剤、および化学機械的平坦化組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項１９３に記載の方法。
前記材料が液体および液体を含む材料で構成されたグループから選択から選択された材料を含む、請求項１８７に記載の方法。
前記材料を収容した該材料収容容器を密封する前に、前記材料から溶解ガスを除去するために真空が適用される、請求項１８９に記載の方法。
該材料収容容器が大気ガスに対して実質的に不透過性である、請求項１９５に記載の方法。
該材料収容容器が該パッケージの該周囲環境にあるガスに対して実質的に不透過性である、請求項１９５に記載の方法。
該材料が該材料収容容器内のライナに収容される、請求項１８９に記載の方法。
真空ポンプを備える、請求項１８７に記載の方法。
自身内に材料を収容するような構成である内容積、および口を有する材料収容容器を含む材料収容パッケージを提供し、該容器の該内容積にバルーンを配置し、該内容積に収容された該材料の拡張および収縮による内圧の変化に対応するために、該バルーンを少なくとも部分的に膨張させることを含む、材料収容方法。
該容器の該内容積内でゼロまたはほぼゼロ頭隙を確立するために、該内容積から該口を通して材料を変位させることを含む、請求項２０１に記載の方法。
該口が、ゼロまたはほぼゼロ状態で該容器の該内容積内の該材料で密封される、請求項２０１に記載の方法。
前記材料が液体または液体を含む材料を含む、請求項２０３に記載の方法。
該バルーンが流体で少なくとも部分的に膨張する、請求項２０３に記載の方法。
該バルーンが連続気泡発泡体材料で少なくとも部分的に膨張する、請求項２０３に記載の方法。
該容器が２つの口を含み、その一方が該バルーンと結合する、請求項２０１に記載の方法。
さらに、該２つの口にクロージャを固定することを含む、請求項２０７に記載の方法。
該バルーンが非気体媒体で少なくとも部分的に膨張する、請求項２０３に記載の方法。
該非気体媒体が固体、半固体およびゲルで構成されたグループから選択された媒体を含む、請求項２０９に記載の方法。
該非気体媒体が硬化可能または架橋可能である、請求項２０９に記載の方法。
自身内に密封状態で第１材料を保持するような構成である内容積を有する第１ライナ、および自身内に該第１ライナを保持するような構成である内容積を有する第２ライナを含む材料収容パッケージを提供することを含み、該第１ライナの該取付具が、該パッケージの取付具アセンブリを形成するために該第２ライナの該取付具と結合可能であり、さらに、該第１ライナの該取付具を通して該第１ライナの該内容積に第１材料を導入し、該第１ライナの外側にある該第２ライナの該内容積に第２材料を導入することを含む材料収容方法。
該第１ライナの外側にある該第２ライナの前記第２材料が、該第１ライナの該内容積内の該第１材料にとって有益である、請求項２１２に記載の方法。
前記第２材料が、自身が存在しない該第１材料の有効寿命に対して、該第１材料の有効寿命を延長させるガスを含む、請求項２１３に記載の方法。
前記第２材料が、該第１ライナの該内容積への汚染物質の通過に対して保護バリアを提供するガスを含む、請求項２１３に記載の方法。
該パッケージの該取付具アセンブリが、該第１ライナから該第１ライナの該取付具を通して材料が圧力分配されることに対応して、該第１ライナの外側にある該第２ライナを排気可能にするような構成である、請求項２１２に記載の方法。
該第１および第２ライナが、該取付具アセンブリの装着された口を有するコンテナ内に配置される、請求項２１２に記載の方法。
該コンテナが、該第１ライナから材料の圧力分配を実行して、前記圧力分配のために該第１および第２ライナを漸進的に収縮するために、その内容積にドライブガスを導入するような構成である、請求項２１７に記載の方法。
該第１ライナの外側の該第２ライナ内にガスを提供することを含み、該第１および第２ライナが前記ガスに対して実質的に不透過性である、請求項２１２に記載の方法。
該第１ライナがポリテトラフルオロエチレンを含む材料で製作される、請求項２１２に記載の材料。
該第１ライナが、縁領域で相互にヒートシールされたポリテトラフルオロエチレンの重ね合わせたシートで形成され、前記第１取付具が、前記重ね合わせたシートの一方と結合して、前記取付具を通して該第１ライナの内容積と充填および分配連通する材料を提供する、請求項２２０に記載の方法。
該第１ライナの前記取付具がパーフルオロアルコキシ樹脂で形成される、請求項２２１に記載の方法。
該第２ライナが、その縁領域で相互にヒートシールされたポリオレフィンの重ね合わせたシートで形成され、該第２ライナの前記取付具が前記重ね合わせたシートの一方と結合する、請求項２２１に記載の方法。
前記ポリオレフィンがポリエチレンを含む、請求項２２３に記載の方法。
該第２ライナの前記取付具がポリエチレンで形成される、請求項２２３に記載の方法。
全体的に円筒形の上部主本体およびライナを固定するためにフランジを画成する、外方向に朝顔状に広がる下部スカート部分、および前記全体的に円筒形の主本体部分と前記外側に朝顔状に広がるスカート部分との中間のカラーを備える第１取付具と、上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分を含む第２取付具とを含み、前記上部中心軸部分および下部周囲フランジ部分が中心開口に外接し、前記第２取付具が該第１取付具の該カラーとロック状態で係合可能であり、さらに該第１取付具の前記外側に朝顔状に広がる下部スカート部分の前記フランジに固定された第１ライナ、および前記第２取付具の前記朝顔状に開いた下部フランジ部分に固定された第２ライナがあり、該第１ライナが該第２ライナの内側にある取付具アセンブリを備える、ライナ入れ子式の材料収容パッケージを提供し、第２材料を該第１ライナの外側の該第２ライナに導入することを含む、材料収容方法。
前記第１材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体と気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２２６に記載の方法。
前記第１材料が液体材料、固体、固体と液体の懸濁物、液体および／または気体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２２６に記載の方法。
前記第１材料が半導体製造試薬、薬剤組成物、溶剤、食品、飲料、法医学的サンプル、水の品質サンプル、燃料、血液生成物、血漿生成物、および植物栄養素溶液で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２２６に記載の方法。
前記第１材料が、超小型電子デバイス製品を製造するような構成である材料を含む、請求項２２６に記載の方法。
前記第１材料がフォトレジスト、エッチング液、ドーパント、化学蒸着試薬、溶剤、ウェーハ洗浄製剤、ツール洗浄製剤、および化学機械的平坦化組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２３０に記載の方法。
前記第１材料が液体および液体を含む材料で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２２６に記載の方法。
該第２取付具が該第１取付具にスナップ嵌め可能である、請求項２２６に記載の方法。
該第１取付具の該カラーが、周方向に延在して、自身内にＯリングを有する溝を含む、請求項２３３に記載の方法。
前記カラーがさらに、自身に該第２取付具を固定するロック要素を備える、請求項２３４に記載の方法。
前記ロック要素が半球形ロックタブを備える、請求項２３５に記載の方法。
該第２ライナ内の前記第２材料が、該第１ライナの該第１材料にとって有益である、請求項２２６に記載の方法。
前記第２材料が、自身が存在しない該第１材料の有効寿命に対して、該第１材料の有効寿命を延長させるガスを含む、請求項２３７に記載の方法。
前記第２材料が、該第１ライナへの汚染物質の通過に対して保護バリアを提供するガスを含む、請求項２３８に記載の方法。
該パッケージの該取付具アセンブリが、該第１ライナから該第１ライナの該取付具を通して材料が圧力分配されることに対応して、該第１ライナの外側にある該第２ライナを排気可能にするような構成である、請求項２２６に記載の方法。
該第１および第２ライナが、該取付具アセンブリの装着された口を有するコンテナ内に配置される、請求項２２６に記載の方法。
該第１ライナから材料の圧力分配を実行して、前記圧力分配のために該第１および第２ライナを漸進的に収縮するために、該コンテナの内容積にドライブガスを導入することを含む、請求項２４１に記載の方法。
該第２材料がガスを含み、該第１および第２ライナが前記ガスに対して実質的に不透過性である、請求項２２６に記載の方法。
該第１ライナがポリテトラフルオロエチレンを含む材料で製作される、請求項２２６に記載の方法。
該第１ライナが、縁領域で相互にヒートシールされたポリテトラフルオロエチレンの重ね合わせたシートで形成され、前記第１取付具が、前記重ね合わせたシートの一方と結合して、前記取付具を通して該第１ライナの内容積と充填および分配連通する材料を提供する、請求項２２４に記載の方法。
該第１ライナの前記取付具がパーフルオロアルコキシ樹脂で形成される、請求項２４５に記載の方法。
該第２ライナが、その縁領域で相互にヒートシールされたポリオレフィンの重ね合わせたシートで形成され、前記第２取付具が前記重ね合わせたシートの一方と結合する、請求項２４５に記載の方法。
前記ポリオレフィンがポリエチレンを含む、請求項２４７に記載の方法。
前記第２取付具がポリエチレンで形成される、請求項２４７に記載の方法。
１次ライナの内容積との材料の導入および除去連通を提供する取付具に、該１次ライナの上端を取り付け、２次ライナの連通部分が該１次ライナの該内容積に配置された状態で、該１次ライナに部分的に連通した２次ライナを該１次ライナに取り付けることを含み、前記２次ライナは、該１次ライナの外側に非連通部分を含み、該２次ライナの前記連通部分はガス透過性であるが液体不透過性である、複合ライナの作成方法。
液体を該１次ライナに導入し、前記液体から溶解し、混入したガスを抽出するために、該２次ライナの該非連通部分を真空源に結合することを含む、請求項２５０に記載の方法で作成した複合ライナの使用方法。
該２次ライナを真空吸引ラインに結合することを含む、請求項２５１に記載の方法。
該２次ライナの該連通部分が大気ガスに対して透過性である、請求項２５０に記載の方法。
該２次ライナの該連通部分が空気に対して透過性である、請求項２５０に記載の方法。
該ライナが、ドライブガスによって該１次ライナから該液体を圧力分配するような構成であり、該２次ライナの該連通部分が前記ドライブガスに対して透過性である、請求項２５０に記載の方法。
自身の内容積にライナを収容している容器を含むパッケージを提供し、第１ガス種を含むガスを溶解かつ／または混入しやすい液体または液体を含む材料を、該ライナに導入し、該ライナの外側にある該容器の該内容積に、前記第１ガス種とは異なる第２ガス種を導入することを含む、材料収容方法。
該第１ガス種が窒素または空気を含み、該第２ガス種がヘリウムまたはアルゴンを含む、請求項２５６に記載の方法。
該容器が、該ライナを吊り下げる首部を備える、請求項２５６に記載の方法。
該容器が剛性容器である、請求項２５６に記載の方法。
該パッケージの周囲環境と連通しないように該容器および該ライナを密封することを含む、請求項２５６に記載の方法。
前記ライナ内でゼロまたはほぼゼロ頭隙状態を維持することを含む、請求項２５６に記載の方法。
該第２ガス種が多成分ガスを含む、請求項２６０に記載の方法。
該多成分ガスが、該ライナ中の液体または液体を含む材料に連通した場合に、それぞれが飽和圧力未満のままであるガス種を含む、請求項２６２に記載の方法。
最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を含む多層積層からライナを形成することを含む、材料の容器を製作する方法。
該フルオロポリマ層がポリテトラフルオロエチレンを含む、請求項２６４に記載の方法。
該バリア層が金属、セラミックおよびポリマで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２６４に記載の方法。
該バリア層がアルミを含む、請求項２６４に記載の方法。
該バリア層がガラスを含む、請求項２６４に記載の方法。
該バリア層がエチレンビニルアルコール、ポリエチレン、ナイロンおよびポリ塩化ビニリデンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２６４に記載の方法。
該磨耗フィルムがフルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２６４に記載の方法。
該ポリテトラフルオロエチレン層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第１結束層が約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該フルオロポリマ層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第２結束層が約０．１から約０．４ミル（０．００２５４から０．０１０１６ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該バリア層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有し、該第３結束層が約０．１から約０．４ミルの範囲の厚さを有し、該磨耗フィルム層が約０．２５から約５ミル（０．００６３５から０．１２７ｍｍ）の範囲の厚さを有する、請求項２６４に記載の方法。
該結束層がそれぞれフルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから別個に選択された材料を含む、請求項２６４に記載の方法。
該フルオロポリマ層がポリテトラフルオロエチレンを含み、該第１結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２６４に記載の方法。
該第２結束層がポリテトラフルオロエチレンを含み、該第１結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２７３に記載の方法。
該バリア層がアルミ、セラミック、ＥＶＯＨ、ポリアミド（ナイロン）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＥ）、ポリクロロフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマ（ＬＣＰ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２７４に記載の方法。
該第３結束層が、フルオロカーボン、ポリエチレン、アクリル、シアノアクリレート、ポリアミン、エポキシ、ポリウレタン、およびシリコンで構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２７５に記載の方法。
該磨耗フィルム層がフルオロポリマ、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２７６に記載の方法。
（ａ）請求項１に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項１５に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項２６に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項４７に記載のライナ入れ子式の収容パッケージと、
（ｅ）請求項７８に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択されたパッケージを使用することを含む、材料保存および分配方法。
前記材料が超小型電子デバイスを製造する材料を含む、請求項２７８に記載の方法。
前記材料が半導体製造用材料を含む、請求項２７８に記載の方法。
前記材料がフォトレジスト、化学蒸着試薬、溶剤、エッチング液および化学機械的平坦化組成物で構成されたグループから選択された材料を含む、請求項２７８に記載の方法。
（ａ）請求項８４に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項９８に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項１０９に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項１３０に記載のライナ入れ子式の収容パッケージと、
（ｅ）請求項１８１に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択された化学試薬パッケージから半導体製造ツールへと半導体製造試薬を供給することを含む、半導体デバイス製造方法。
（ａ）請求項８４に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項９８に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項１０９に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項１３０に記載のライナ入れ子式の収容パッケージと、
（ｅ）請求項１６１に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択されたパッケージから半導体製造ツールへと試薬を供給することを含む、半導体製造設備の運転方法。
半導体製造用材料を半導体製造設備に供給する方法で、
（ａ）請求項８４に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項９８に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項１０９に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項１３０に記載のライナ入れ子式の収容パッケージと、
（ｅ）請求項１６１に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択されたパッケージ内で、前記半導体製造設備に前記材料を移送することを含む方法。
（ａ）請求項８４に記載の材料収容パッケージと、
（ｂ）請求項９８に記載の材料収容パッケージと、
（ｃ）請求項１０９に記載の材料収容パッケージと、
（ｄ）請求項１３０に記載のライナ入れ子式の収容パッケージと、
（ｅ）請求項１６１に記載の材料収容パッケージと、
で構成されたグループから選択されたパッケージに前記材料を導入することを含む、材料パッケージング方法。
内容積を封入し、自身から材料を分配するような構成である容器と、該内容積内に配置され、前記分配中に該パッケージから分配される材料を保持するように構成された第１ライナと、該内容積内に配置され、該パッケージからの材料の前記分配を実行するために、該第１ライナに圧力を加えるよう膨張するような構成である第２ライナとを備える、材料保存および分配パッケージ。
該第１ライナがフルオロポリマで形成される、請求項２８６に記載のパッケージ。
該フルオロポリマがポリテトラフルオロエチレンである、請求項２８７に記載のパッケージ。
該第１ライナが化学試薬を含む、請求項２８６に記載のパッケージ。
前記第１ライナが、超小型電子製品を製造する材料を収容する、請求項２８９に記載のパッケージ。
前記超小型電子製品が半導体デバイスを含む、請求項２９０に記載のパッケージ。
該第１ライナがフォトレジストを収容する、請求項２８６に記載のパッケージ。
該第２ライナがポリエチレンで形成される、請求項２８６に記載のパッケージ。
該第２ライナがポリエチレンで形成される、請求項２８６に記載のパッケージ。
該第１ライナが分配すべき材料を収容する、請求項２８６に記載のパッケージ。
該容器がポリマ材料で形成される、請求項２８６に記載のパッケージ。
該容器が金属で形成される、請求項２８６に記載のパッケージ。
該金属がアルミである、請求項２９７に記載のパッケージ。
請求項２８６に記載のパッケージを使用することを含む、材料供給方法。
該第１ライナが分配すべき材料を収容し、該第２ライナが漸進的に膨張して、該第１ライナを対応して漸進的に圧縮し、該パッケージからそれを分配する、請求項２９９に記載の方法。
該第２ライナが圧縮空気で膨張する、請求項３００に記載の方法。
該材料が超小型電子製品を製造するために分配される、請求項３００に記載の方法。
該超小型電子製品が半導体デバイスを備える、請求項３０２に記載の方法。
該超小型電子製品がフラットパネルディスプレイを含む、請求項３０２に記載の方法。
内容積を有する容器を提供し、該容器から該材料を分配するような構成である前記内容積内の第１ライナに前記材料を配置し、該容器内に第２ライナを提供し、該第１ライナ内の該材料が該容器から分配されるように、該第２ライナに該第１ライナを圧縮させるために該第２ライナを膨張させることを含む、材料を保存し、分配する方法。
最内層から最外層まで順番に、（ｉ）ポリテトラフルオロエチレンの層、（ｉｉ）第１結束層、（ｉｉｉ）フルオロポリマ層、（ｉｖ）第２結束層、（ｖ）バリア層、（ｖｉ）第３結束層、および（ｖｉｉ）磨耗フィルム層を含む多層積層を使用して、収容容積内に該材料を収容することを含み、該ポリテトラフルオロエチレン層が前記材料と接触状態で配置される、材料パッケージング方法。