KR102314540B1 - 고점성 액체-함유 재료의 압력 분배를 위한 장치 및 방법 - Google Patents

고점성 액체-함유 재료의 압력 분배를 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

라이너-기반 압력 분배 용기는 밀봉 사용을 위해 딥 튜브를 라이너 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열된 커넥터-장착 프로브를 구비한다. 딥 튜브 및 프로브는 증가된 그리고/또는 정합된 유동 면적을 구비할 수 있다. 역류 방지 요소는 딥 튜브로부터 용기로의 액체의 역류를 억제하기 위해 액체 추출 개구에 근접하게 배열될 수 있다. 라이너 없는 용기는 딥 튜브를 수용하도록 배열된 감소 직경 하부 부분을 구비할 수 있고, 적어도 하나의 관련된 센서는 하부 부분으로부터 액체의 소진을 나타내는 조건을 감지한다. 수송 캡은 라이너로부터 헤드스페이스 가스를 제거하기 위해 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 수송 캡은 분배 공정부에 대한 직접적인 연결을 위해 적절할 수 있다.

Description

고점성 액체-함유 재료의 압력 분배를 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR PRESSURE DISPENSING OF HIGH VISCOSITY LIQUID-CONTAINING MATERIALS}
관련 출원
본 출원은 그 전체가 본 개시내용에 참조로 통합된, 2013년 9월 20일 출원된 미국 가특허 출원 번호 제61/880,330호의 우선권을 주장한다.
본 개시내용은 유체 취급 및 분배 시스템에 관한 것으로, 라이너-기반(liner-based) 용기의 내용물을 분배하기 위해 사용될 수 있다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 여러 실시예는 기포 형성을 최소화 또는 감소시키면서 그리고 이러한 재료들과 주변 환경 사이의 접촉을 최소화 또는 감소시키면서, 가압 가스를 사용한 고점성 액체-함유 재료(광학적으로 투명한 수지를 포함하지만, 이에 한정되지 않음)의 분배에 관한 것이다. 소정의 실시예는 이러한 시스템의 제조, 사용, 및 배치에 관한 것이다.
많은 산업적 적용예에서, 화학 반응물 및 조성물은 고순도 상태에서 제공되는 것이 요구되고, 공급된 재료가 패키지 충전, 저장, 전달 및 분배 작동에 걸쳐 순수하고 적절한 형태로 유지되는 것을 보장하기 위해 특화된 패키징이 개발되어 왔다.
마이크로전자 장치 및 디스플레이 패널 제조 분야에서, 광범위한 액체에 대해 적절한 패키징을 위한 요구가 특히 필수적이며, 패키징된 재료 내의 오염 물질로서의 액체-함유 조성물, 및/또는 패키지 내의 함유된 재료로의 환경 오염 물질의 유입은 이러한 액체 또는 액체-함유 조성물로 제조되는 마이크로전자 장치 및 디스플레이 패널 제품에 악영향을 끼쳐, 최종 제품의 결함을 생성하거나 심지어 최종 제품의 의도된 사용에 대해 유용하지 못하게 할 수 있다. 이러한 액체 또는 액체-함유 조성물 내의 기포의 존재는 유사한 해로운 결과를 가질 수 있다.
이를 고려한 결과, 포토레지스트, 부식제, 화학 기상 증착 반응물, 용매, 웨이퍼 및 툴 세정제, 화학 기계적 연마 조성물, 컬러 필터링 화학 반응제, 오버코트, 액정 재료 등과 같이 마이크로전자 장치 및 디스플레이 패널 제조에 사용되는 액체 및 액체-함유 조성물을 위한 많은 유형의 고순도 패키징이 개발되어 왔다.
고순도 재료를 위한 종래의 일 유형의 패키징은 강성, 사실상 강성, 또는 반강성인 용기(오버팩(overpack)으로도 공지됨)를 포함하고, 이는 리드 또는 커버와 같은 보유 구조체에 의해 오버팩 내의 제 위치에 고정되는 가요성 라이너 또는 백(bag) 내에 액체 또는 액체-기반 조성물을 함유한다. 이러한 패키징은 일반적으로 "백-인-캔(bag-in-can)"(BIC), "백-인-보틀"(BIB) 및 "백-인-드럼"(BID) 패키징으로 지칭된다. 이러한 일반적인 유형의 패키징은 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드(Advanced Technology Materials, Inc.)(미국 코네티컷주 댄버리 소재)로부터 상업적으로 입수 가능하다(예를 들어, 상표 NOWPak®).
일 실시예에서, 라이너는 가요성 재료를 포함하고, 둘러싸는 용기(예를 들어, 오버팩)는 상기 가요성 재료보다 사실상 더욱 강성인 벽 재료를 포함한다. 패키징의 강성 또는 반강성 용기는 (예를 들어) 고순도 폴리에틸렌, 또는 다른 중합체 또는 금속으로 형성될 수 있고, 라이너는 라이너의 내에 함유되는 재료(예를 들어, 액체)에 대해 불활성이도록 선택되는 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE), 저밀도 폴리엔틸렌, 중밀도 폴리에틸렌, PTFE-계 적층물, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등과 같은 중합체 필름 재료의 사전 세정된, 살균된 압궤 가능한 백으로서 제공될 수 있다. 상술된 재료들 중 임의의 재료를 포함하는 다층 적층물이 사용될 수 있다. 다중-층 적층물을 포함하는 라이너의 예가 본 출원의 양수인에 의해 소유된 미국 특허 출원 공개 번호 제2009/0212071 A1호에 개시되며, 거기에 포함된 명시된 정의를 제외하면 본 개시내용에 참조로 통합된다. 라이너의 구성의 예시적인 재료는 금속화 필름, 포일, 중합체/공중합체, 적층물, 압출물, 공동-압출물, 및 취입 및 캐스트 필름을 추가로 포함한다.
액체 및 액체 기반 조성물을 분배하기 위해 라이너-기반 패키징을 사용할 때, 액체 또는 액체-함유 조성물은 일반적으로 딥 튜브 또는 짧은 프로브를 포함하는 분배 조립체를 라이너의 포트에 연결함으로써 라이너로부터 분배되고, 딥 튜브는 함유된 액체에 침지된 상태로 존재한다. 유체(예를 들어, 가스) 압력이 라이너의 외부 표면에 (즉, 라이너와 둘러싸는 용기 사이의 공간 내에) 인가되어 라이너를 점진적으로 압궤시키고 이에 의해 액체가 분배 조립체를 통해 관련된 유동 회로로 배출되어 최종 사용 공구 또는 장소로 유동하게 된다. 분배될 액체를 함유한 라이너의 사용은 라이너에 대해 압력을 작용시키도록 배열되는 가압 가스와 직접 접촉을 방지하고, 이는 사용 지점으로 분배될 액체 화합물로의 가스의 용해를 제거하거나 사실상 감소시킬 수 있다.
전자 장치 및/또는 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 소정의 액체는 고점성(예를 들어, 250 - 35,000 센티포아즈 이상)을 구현하고, 이러한 액체의 예는 광학적으로 투명한 수지("OCR") 재료 및 폴리이미드 등의 다른 유용한 수지(마이크로전자 적용예에서 보호 오버코트, 중간층 유전체, 또는 패시베이션 층으로서 사용될 수 있음)를 포함한다.
고점성 공정 액체를 분배하는 전통적인 방법은 특수 전달 펌프 및 큰 직경 튜빙의 사용을 포함한다. 공급 용기로부터의 액체의 추출은 펌프 흡입 헤드 요구 조건을 충족하기 위해 공급 용기의 레벨 아래에 펌프를 배치하는 바람직함으로 인해 배관 구성 가요성을 제한한다. 펌프의 사용은 또한 액체를 상당히 교반시켜 해로운 기포 형성으로 이어질 수 있다.
종래의 장치와 관련된 여러 제한을 극복하면서 초-순도 액체-함유 재료의 압력 분배를 위한 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직할 수 있다. 본 개시내용은 종래 시스템에 존재하는 여러 사안을 극복하는 유체 및 분배 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 개시내용의 여러 실시예는 잔류 액체의 분배 도중 라이너-기반, 액체 분배 시스템 내의 습식(wetted) 탄성중합체 시일(예를 들어, 습윤되는 O-링)의 존재 또는 이에 대한 필요를 제거한다. 습식 탄성중합체 시일의 제거에 의해 부품 수가 더욱 적어지고 기계 가공되는 구성요소 수가 더욱 적어지며, 이에 의해 액체 분배 시스템의 제조, 조립, 및 유지 보수(예를 들어, 세정)를 단순화하고 신뢰성을 향상시킨다. 습식 탄성중합체 시일의 부재는 또한 분배된 유체로의 미량 금속의 전달을 감소시키는데, 이러한 미량 금속은 습식 탄성중합체 시일의 제조 공정으로부터 제공될 수 있기 때문이다. 입자 생성이 또한 감소되는데, 개시된 시일은 탄성중합체 시일에 의해 제공되는 것보다 사실상 더욱 정적이기 때문이다.
본 개시내용에 개시된 개선된 유체 취급 장치 및 방법은 유리하게는 광학적으로 투명한 수지(그러나 이에 한정되지 않음)를 포함하는 고점성 재료와 함께 사용될 수 있다. 이러한 수지는 예를 들어, 액정 표시 장치(예를 들어, 전방 패널, 정전식 터치 패널, 및/또는 LCD 패널과 같은 층을 포함하지만, 이에 한정되지 않음)를 포함하는 전자 장치의 여러 층의 접합에 유용하다. 고점성 재료는 본 개시내용에 개시된 바와 같이 대략 1000 - 50,000 센티포아즈 이상의 점성 범위를 가질 수 있다.
소정의 실시예에서, 본 개시내용에 개시된 유체 취급 장치 및 방법은 배압을 감소시키도록 배열된 구성요소와 함께 라이너-기반 압력 분배 용기를 사용하고, 단순화된 제조를 증진하고, 고-일체성 기계적 연결을 증진하고, 그리고/또는 액체 화합물을 함유한 라이너와 함께 라이너-기반 압력 분배 용기 내부에 있는 상태로 딥 튜브 구성요소의 수송을 가능하게 한다.
배압을 감소시키기 위해 채용되는 소정의 전략은 딥 튜브 및 커넥터 내의 유로의 유동 면적을 증가시키고, 압력 분배 패키지와 관련된 상이한 유체 도관들 사이의 천이부 개수를 감소시키고, 상이한 유체 도관들 사이의 유동 면적의 변화를 감소시키는 것을 포함한다. 유체 도관들 사이의 천이부 개수의 감소는 예를 들어, 딥 튜브와 프로브 사이에 개재하여 배열될 수 있는 딥 튜브 커플링을 제거함으로서 달성될 수 있다. 상이한 유체 도관들 사이의 유동 면적 변화의 감소는 인접한 구성요소들의 내부 치수를 일치시킴으로써 그리고 밀봉 인터페이스부를 인접한 도관의 내경에 가능한 가깝게 이동시킴으로써(예를 들어, 면-유형의 시일을 사용함) 달성될 수 있다. 예를 들어, 프로브 및 딥 튜브에 형성된 유로의 내부 치수는 유동 면적 내에서 일치(예를 들어, 약 5% 미만, 약 3% 미만, 약 2% 미만, 약 1% 미만, 약 0.5% 미만, 또는 약 0.1% 미만의 직경 또는 유동 면적의 변화를 가짐)될 수 있다. 마이크로전자 장치를 제조하기 위한 공구로 분배되는 경우 결함으로 이어질 수 있는 기포의 형성을 방지하기 위해 (OCR 재료와 같은 고점성 액체를 포함한) 액체 화합물을 이송하는 유체 도관들 사이의 천이부 내의 압력 저하를 감소시키는 것이 유리하다.
확산 계수가 점성에 반비례하므로, 고점성 액체는 상승된 압력에서 가스에 대한 직접적인 노출에도 용해 가스(예를 들어, 가압 가스)로 포화되지 않는다는 점이 출원인에 의해 관찰되었다. 라이너-기반 압력 분배 용기의 사용과 비교하면, 라이너 없는 압력 분배 용기 내의 액체 화합물과 가압 가스 사이의 직접적인 접촉은 라이너 마찰에서의 에너지 소산이 제거되므로 가압 가스에 대한 가압 요구 조건을 감소시킬 수 있다. 가압 요구 조건의 저감은 얇은-벽 분배 용기가 사용되도록 하고, 이에 의해 용기 비용 및 운송 비용을 감소시킬 수 있다.
본 개시내용에 상술된 바와 같이, 압력 분배의 분야에서 배압을 감소시키는 하나의 전략은 커넥터 및 딥 튜브의 통로의 유동 면적을 증가시키는 것을 포함한다. 큰 직경 딥 튜브가 압력 저하를 저감하는데 우수하지만, 분배가 차단되고 (예를 들어, 중력으로 인해) 액체 화합물이 딥 튜브를 통해 용기로 다시 흘러가는 경우, 이후 이러한 역류는 기포를 액체에 도입할 수 있고, 이러한 기포는 일단 고점성 액체에 포획되면 제거하기 어려울 수 있다. 이 문제를 해결하기 위해, 본 개시내용에 개시된 소정의 실시예는 딥 튜브로부터 용기(또는 라이너) 내로의 액체의 유동을 억제하기 위해 딥 튜브와 관련된 역류 방지 요소를 사용한다. 소정의 실시예에서, 역류 방지 요소는 용기(또는 라이너) 내의 액체 추출 개구에 근접하여 배열될 수 있다. 역류 방지 요소의 예는 부유 밸브, 플래퍼 밸브, 버터플라이 체크 밸브, 및 작동이 수동적인(passive) 다른 체크 밸브를 포함한다.
라이너 없는 압력 분배 용기가 엠프티(empty) 조건에 접근할 때를 검출하기 위해 여러 방법 - (예를 들어, 투시경의 사용을 포함한 용량성, 전도성, 초음파, 자기, 또는 광학적 수단에 의한) 액체 레벨의 감지, 압력 분배 용기의 중량(또는 중량의 변화)의 감지, 분배된 액체 내의 첫 번째 기포의 존재를 감지, 또는 분배된 액체의 응집량을 감지하기 위해 합계 유량계의 사용을 포함하지만 이에 한정되지 않음 - 이 검출을 위해 사용될 수 있다.
구조적으로, 여러 실시예는 딥 튜브의 상부 단부를 수용하도록 배열된 커넥터 프로브의 하부 부분을 사용할 수 있고, 프로브의 하부 에지는 프로브와 피트먼트(fitment) 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 딥 튜브의 상부 부분을 라이너 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키거나 또는 누르도록 배열된다. 여러 실시예에서, 프로브는 딥 튜브의 재료(예를 들어, 폴리에틸렌, PTFE 또는 다른 중합체 재료) 보다 상당히 큰 경도에 의해 특징되는 재료(예를 들어, 스테인리스 강 또는 다른 적절한 불활성 금속)를 포함할 수 있고, 용기 네크부에 대해 커넥터를 조이는 것은 프로브의 하부 에지가 피트먼트를 순응적으로 변형(예를 들어, 피트먼트에 압입 자국을 남김)시켜 확실한(positive) 밀봉을 증진하고, 제1 라이너의 유체 내용물이 소진된 이후 프로브가 새로운 라이너와 함께 재사용되게 한다. 소정의 실시예에서, 프로브의 하부 에지는 이의 외부 반경을 따라서 챔퍼 가공될 수 있다.
여러 실시예에서, 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비한 강성 용기, 구멍을 형성하며 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열되는 피트먼트 리테이너, 및 용기 내에 배열되는 압궤 가능한 라이너를 포함하는 압력 분배 장치가 개시되고, 압궤 가능한 라이너는 피트먼트 리테이너에 의해 보유되는 구멍-형성 라이너 피트먼트를 포함한다. 하향-연장 딥 튜브는 라이너 내에 배열될 수 있고, 커넥터는 프로브를 구비하고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성한다. 일 실시예에서, 프로브의 하부 부분은, 액체 기밀 시일을 제공하기 위해 커넥터가 강성 용기의 네크부에 고정될 때 딥 튜브의 상부 부분과 직접 결합하도록 배열되는 응력 집중기를 포함한다. 응력 집중기는 프로브로부터 반경방향 외향으로 돌출하는 연속 리브를 포함할 수 있다. 프로브의 응력 집중기는 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 딥 튜브의 상부 부분을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열될 수 있다. 일 실시예에서, 역류 방지 요소가 딥 튜브와 관련될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 응력 집중기는 프로브 대신 피트먼트 또는 딥 튜브에 위치될 수 있다. 일 실시예에서, 딥 튜브는 프로브의 하부 부분과 접촉하는 응력 집중기를 포함한다. 일 실시예에서, 딥 튜브는 피트먼트와 접촉하는 응력 집중기를 포함한다. 일 실시예에서, 피트먼트는 딥 튜브와 접촉하는 응력 집중기를 포함한다.
소정의 실시예에서, 프로브와 딥 튜브 사이의 연결은 액체-함유 용기로 커넥터를 추가할 때 행해지고, 액체와 접촉하는 딥 튜브는 커넥터가 딥 튜브-함유 용기와 정합되기 이전 사용 지점으로 용기 내에서 수송될 수 있다.
라이너가 (예를 들어, 바람직하게는 사실상 강성이지만 선택적으로는 반강성인) 외부 용기 또는 오버팩에 장착되는 유체 재료의 저장 및 분배를 위한 라이너-기반 패키지의 사용시, 분배 작동은 가스에 의해 인가된 압력으로 인해 라이너가 점진적으로 수축되어 라이너 내의 유체 재료가 라이너의 외부로 유출되도록 라이너 외부 공간까지, 베젤 내로의 압력-분배 가스의 유동을 자주 포함한다. 라이너-기반 패키지는 펌프, 압축기, 압축 가스 탱크 등과 같은 적절한 가압 가스 공급원과 커플링될 수 있다. 분배된 유체 재료는 배관, 매니폴드, 커넥터, 밸브 등으로 유동되거나, 이들을 통해 유체-사용 공정 툴과 같은 사용 장소로 유동될 수 있다.
여러 실시예에서, 라이너-기반 분배 시스템으로부터 헤드스페이스 가스를 제거하기 위한 방법이 개시된다. 방법은 오버팩, 및 오버팩에 배치된 라이너를 제공하는 단계, 오버팩과의 커플링을 위한 캡을 제공하는 단계로서, 캡은 오버팩 내에 배치된 라이너의 내부 체적과 유체 연통하는 제1 포트를 형성하고, 캡은 라이너의 외부 및 오버팩의 내부와 유체 연통하는 제2 포트를 형성하는, 캡 제공 단계, 및 유형 매체 상의 작동 지시 세트를 제공하는 단계를 포함하고, 작동 지시는 라이너를 액체로 충전하는 단계, 캡을 오버팩에 부착하는 단계, 및 제1 포트를 통해 라이너로부터 헤드스페이스 가스를 제거하기 위해 제1 포트가 개방되는 동안 제2 포트를 가압하는 단계를 포함한다. 작동 지시는 불활성 가스 공급부를 사용하여 제1 포트를 미리 정해진 압력으로 가압하는 단계, 및 제1 포트가 미리 정해진 압력으로 가압된 이후 제1 포트 및 제2 포트를 폐쇄하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 포트를 미리 정해진 압력으로 가압하는 작동 지시 단계에서 불활성 가스 공급부는 질소 가스 공급부이다. 캡을 제공하는 단계에서 제공되는 캡은 제1 포트에 작동식으로 커플링되는 제1 피팅부 및 제2 포트에 작동식으로 커플링되는 제2 피팅부를 포함할 수 있고, 제1 피팅부 및 제2 피팅부 중 적어도 하나는 루어(Luer) 캡일 수 있다. 또한, 라이너 기반 분배 시스템을 제공하는 단계에서 제공되는 오버팩은 강성 오버팩일 수 있다.
몇몇 실시예에서, 헤드스페이스 가스를 라이너-기반 분배 시스템으로부터 제거하는 방법이 개시되고, 방법은 오버팩 및 오버팩에 배치된 라이너를 제공하는 단계, 오버팩과의 커플링을 위한 캡을 제공하는 단계로서, 캡은 오버팩 내에 배치된 라이너의 내부와 유체 연통하는 제1 포트 및 제2 포트를 형성하고, 캡은 라이너의 외부와 오버팩의 내부와 유체 연통하는 제3 포트를 형성하는, 캡 제공 단계, 유형 매체 상의 작동 지시 세트를 제공하는 단계를 포함하고, 작동 지시는 미리 정해진 제1 압력에서 가압된 불활성 가스를 제2 포트에 인가하는 단계, 및 미리 정해진 제1 압력에서 가압된 불활성 가스를 제2 포트에 인가하는 동안 제1 포트를 통해 라이너를 액체로 충전하는 단계를 포함하고, 액체는 제1 압력보다 큰 제2 압력에서 제1 포트에 인가된다. 일 실시예에서, 작동 지시는 가압된 불활성 가스를 제2 포트에 인가하는 단계 이전에 라이너를 팽창시키는 단계를 추가로 포함한다. 작동 지시는 가압된 불활성 가스를 제2 포트로부터 제거하는 단계, 및 제1 포트, 제2 포트, 및 제3 포트를 캡핑하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 방법은 가압된 불활성 가스를 제2 포트로 인가하는 단계 이전에 라이너를 압궤하는 단계를 추가로 포함한다. 라이너를 압궤하는 단계는 제3 포트에 압력을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
여러 실시예에서, 라이너-기반 분배 용기에의 커플링을 위한 수송 캡이 개시되고, 수송 캡은 라이너-기반 분배 용기에 대한 작동식 커플링을 위한 커넥터를 포함한다. 가스 제거 프로브가 커넥터에 작동식으로 커플링되고, 가스 제거 프로브는 액체 충전 포트 및 불활성 가스 포트를 형성하고, 수송 캡의 가스 제거 프로브는 분배 시스템과 직접 인터페이싱하도록 구성된다. 수송 캡은 커넥터 내에 배치되는 내부 리테이너를 더 포함하고, 가스 제거 프로브는 커넥터와 내부 리테이너 사이에 포획되고, 상부 커넥터 본체 및 하부 커넥터 본체를 또한 포함할 수 있고, 가스 제거 프로브는 상부 커넥터 본체와 내부 리테이서 사이에 포획된다. 기저 캡은 커넥터를 라이너-기반 분배 용기에 연결할 수 있다. 일 실시예에서, 수송 캡은 프로브와 라이너의 피트먼트 사이의 커플링을 위해 커넥터에 배치되는 피트먼트 리테이너를 추가로 포함할 수 있다. 수송 캡의 프로브는 라이너-기반 분배 용기의 딥 튜브와의 결합을 위한 응력 집중기를 추가로 포함할 수 있다.
라이너-기반 패키지는 라이너로부터의 재료의 분배를 위해 라이너와 연통하는 분배 포트를 포함할 수 있다. 분배 포트는 이에 따라 적절한 분배 조립체와 커플링된다. 분배 조립체는 임의의 다양한 형태를 취할 수 있는데, 예를 들어 조립체는 라이너 내부의 재료와 접촉하고 재료가 이를 통해 베젤로부터 분배되는 딥 튜브와 함께 프로브 또는 커넥터를 포함한다. 패키지는 대형 패키지일 수 있고, 라이너는 재료의 최대 2000 리터 또는 더 많은 범위의 용량을 갖는다.
본 개시내용의 여러 실시예에서, 라이너는 이의 에지를 따라서 밀봉(예를 들어, 용접)될 수 있는 하나 이상의 필름 또는 다른 재료의 시트를 사용하여 임의의 적절한 방식으로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 평면 시트가 라이너를 형성하도록 중첩(적층)되고 시트의 에지를 따라 밀봉된다. 하나 이상의 시트는 시트의 면의 상부 부분을 따르는 포트 또는 캡 구조체를 포함할 수 있다. 다른 일 실시예에서, 관형 취입 성형이 베젤의 상부 단부에 일체형 충전 개구를 형성하는데 사용되고, 이 개구는 포트 또는 캡 구조체에 결합될 수 있다. 라이너는 이에 따라 유체의 개별적인 도입 또는 배출을 포함하는 충전 또는 분배 작동을 위한 적절한 커넥터에 라이너를 커플링하기 위한 개구를 구비할 수 있다. 이러한 개구는 "피트먼트"로 지칭되는 구조체로 보강될 수 있다. 피트먼트는 통상적으로 박막이 결합되는 측방향으로 연장된 플랜지부, 및 플랜지부에 대해 사실상 수직인 방향으로 연장되는 관형 부분을 포함한다. 라이너 피트먼트는 용기 포트, 용기 캡 또는 폐쇄부, 또는 다른 적절한 구조체와 정합하거나 접촉할 수 있다. 캡 또는 폐쇄부는 또한 유체의 도입 또는 분배를 위해 딥 튜브와 커플링되도록 배열될 수 있다.
여러 실시예에서, 압출 성형된 튜브 필름은 2-D 백을 형성하기 위해 용접될 수 있는 시트를 성형하도록 슬라이스될 수 있고, 또는 압출된 튜브는 용접에 의해 이에 접합되는 상부 및 하부 부분을 구비할 수 있다. 필름은 적층물일 수 있다. 상이한 필름의 시트는 라이너의 구성요소, 예를 들어 측벽을 형성하도록 함께 용접될 수 있다. 피트먼트는 시임에서 또는 라이너 표면을 따르는 임의의 다른 지점에서 2D 및 3D 백에 밀봉될 수 있다. 가요성 라이너는 본 출원인의 양수인에 의해 소유된 국제 공개 번호 제 WO 2009/076101호에 개시된 바와 같이 취입 성형될 수 있고, 거기에 포함된 명시된 정의를 제외하면 본 개시내용에 참조로 통합된다. 추가로 라이너는 본 출원의 양수인에 의해 소유된 국제 공개 번호 제 WO 2011/001646호에 개시된 바와 같이 사실상 강성이거나 자체 지지형(취입-성형됨)일 수 있고, 거기에 포함된 명시된 정의를 제외하면 본 개시내용에 참조로 통합된다. 일 실시예에서, 라이너 및 오버팩은 공동-취입 성형된다. 여러 실시예에서, 사실상 강성인 라이너는 섬프를 형성한다.
소정의 실시예에서, 라이너는 관형 스톡 재료로 형성될 수 있다. 관형 스톡, 예를 들어 취입된 관형 중합체 필름 재료의 사용에 의해, 라이너의 측부를 따르는 열 시일 및 용접 시임이 회피된다. 측부 용접 시임이 존재하지 않는 것은, 중첩되어 그 주연부에서 열 밀봉되는 평면 패널로 형성된 라이너에 비해, 라이너에 응력을 가하는 힘 및 압력을 보다 양호하게 견디는데 유리할 수 있다. 소정의 실시예에서, 라이너는 길이방향으로 절단되고 후속하여 하나 이상의 용접 시임을 형성하도록 용접되는 관형 스톡 재료로 형성될 수 있다.
라이너는 외부 용기의 재사용을 가능케 하기 위해 각각 사용 이후(예를 들어, 용기의 내부에 함유된 액체가 소진될 때) 제거되고 새로운 사전 세정된 라이너로 교체되도록 배열되는 일회용 얇은 멤브레인 라이너일 수 있다. 이러한 라이너는, 예를 들어 라이너에 함유된 액체 내로 침출됨으로써, 또는 라이너 내에 더 큰 확산성을 구비하고 표면으로 이동하여 용해되거나 라이너 내의 액체의 오염 물질이 될 수 있는 열화 생성물을 산출하도록 분해됨으로써, 오염 물질의 공급원이 되거나 될 수 있는, 가소제, 산화 방지제, UV 안정제, 충전제 등과 같은 구성요소가 없을 수 있다.
여러 실시예에서, 순수한 (첨가제가 없는) 폴리에틸렌 필름, 순수한 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE) 필름, 또는 폴리비닐아코올, 폴리프로필렌, 폴리우레탄, 폴리비닐리덴 클로라이드, 폴리비닐클로라이드, 폴리아세탈, 폴리스티렌, 폴리아크릴로니트릴, 폴리부틸렌 등과 같은 다른 적절한 순수한 중합체 재료와 같은 사실상 순수 필름이 라이너용으로 사용된다. 더욱 일반적으로, 라이너는 금속화제 및 포일이 있거나 없는 적층물, 공동-압출물, 오버몰드 압출물, 복합재, 공중합체 및 재료 혼합물로 형성될 수 있다. 라이너 재료는 임의의 적절한 두께, 예를 들어, 약 1 밀스(0.001 인치) 내지 약 120 밀스(0.120 인치)의 범위일 수 있다. 일 실시예에서, 라이너는 20 밀스(0.020 인치)의 두께를 갖는다.
소정의 실시예에서, 라이너는 유리하게는 가요적이고 압궤 가능한 특성을 갖도록 적절한 두께의 필름 재료로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 라이너는 라이너가 하우징(14) 내에 완전히 충전될 때, 라이너의 내부 체적이 정격 충전 체적의, 즉 라이너 내에 함유될 수 있는 액체의 체적의 약 10% 이하로 감소될 수 있도록 압축될 수 있다. 여러 실시예에서, 라이너의 내부 체적은 정격 충전 체적의 약 0.25 % 이하, 예를 들어 4000 밀리리터 패키지에서는 10 밀리리터 미만, 또는 약 0.05 % 이하(19 L 패키지에서는 10 mL 이하 잔류), 또는 0.005% 이하(200 L 패키지에서는 10 mL 이하 잔류)로 압축될 수 있다. 여러 실시예에서, 라이너 재료는 교체 유닛으로서 수송 도중 라이너의 절첩 또는 압축을 허용할 만큼 충분히 유연하다. 라이너는 액체가 라이너 내에 함유될 때 입자 및 미세기포에 대해 저항성이 있고, 액체가 온도 및 압력 변화로 인해 팽창 및 수축되는 것을 허용할 만큼 충분한 가요성이며, 액체가 채용되는 특정한 최종 사용 적용예를 위해, 예를 들어 반도체 제조 또는 다른 고순도-임계 액체 공급 적용예에서 순도를 유지하는데 효과적인 조성 및 특성일 수 있다.
소정의 실시예에서, 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너가 사용될 수 있다. 본 개시내용에 사용된 바와 같이, "강성" 또는 "사실상 강성"이라는 용어는 제1 압력의 환경에 있을 때에는 이의 형상 및/또는 체적을 사실상 유지하지만 압력이 상승 또는 감소되는 환경에서는 형상 및/또는 체적이 변경될 수 있는 물체 또는 재료의 특성을 포함하는 것을 의미한다. 물체 또는 재료의 형상 및/또는 체적을 변경하는데 필요한 압력의 증가량 또는 감소량은 물체 또는 재료에 대해 요구되는 적용예에 의존할 수 있고, 적용예마다 변할 수 있다. 일 실시예에서, 라이너의 적어도 일부분은 강성 또는 사실상 강성일 수 있으며, 라이너의 적어도 일부분은 이러한 라이너의 적어도 일부분으로의 또는 그런 라이너의 적어도 일부분에 대항하는 가압 유체의 적용에 의해 압력 분배 상태 하에서 압궤된다. 일 실시예에서, 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너는 액체로 충전될 때 라이너가 자체 지지형으로 되기에 충분한 두께 및 조성의 재료로 제조될 수 있다. 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너는 단일 벽 또는 다중 벽을 특징으로 가질 수 있고, 중합체 재료를 포함할 수 있다. (예를 들어, 열 및/또는 압력의 인가에 의해 적층된) 중합체 재료 및/또는 다른 재료로 이루어진 다중 층의 적층 복합재가 사용될 수 있다. 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너는 임의의 하나 이상의 적절한 적층, 압출, 몰딩, 성형 및 용접 단계에 의해 형성될 수 있다. 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너는 라이너와 일체로 형성된 사실상 강성인 개구 또는 포트를 가짐으로써, 별도의 피트먼트가 용접 또는 다른 밀봉 방법에 의해 라이너에 부착될 필요가 없다. 본 개시내용에 개시된 바와 같은 분배 조립체 및 분배 장치는 강성 또는 사실상 강성인 압궤 가능한 라이너와 함께 사용될 수 있다.
본 개시내용의 여러 실시예에서, 압궤 가능한 라이너는 대체로 원통 형상일 수 있거나, 적층성을 증진하도록 직사각형의 평행파이프형 형상일 수 있거나, 임의의 다른 적절한 형상 또는 형태일 수 있는 (하우징 또는 오버팩으로도 공지된) 사실상 강성 용기 내에 배치될 수 있다. 대체로 강성인 하우징은 라이너를 함유하는 내부 공간의 경계를 형성하기 위해 하우징의 벽에 누설-밀봉식으로 결합되는 오버팩 리드를 선택적으로 포함할 수 있다. 라이너와 둘러싸는 용기 사이에 제공된 개재 공간은 가압 가스 공급원과 유체 연통함으로써, 개재 공간으로의 가압 가스의 추가로 인해 라이너가 압축되어 액체가 라이너로부터 방출될 수 있다.
소정의 실시예에서, 액체-함유 재료는 라이너의 내에 유지될 수 있고 불활성 가스를 함유한 헤드스페이스로 씌울 수 있다. 다른 실시예에서, 액체-함유 재료는 제로-헤드스페이스 또는 거의-제로의 헤드스페이스 형태로 라이너 내에 유지될 수 있다. 본 개시내용에 사용된 바와 같이, 라이너 내의 유체와 관련된 "제로 헤드스페이스"라는 용어는 라이너가 액체 매체로 완전히 충전되고, 라이너 내의 액체 매체 위에 어떤 가스의 체적도 존재하지 않는 것을 의미한다. 본 개시내용에 사용된 바와 같이, 라이너 내의 유체와 관련된 "거의 제로의 헤드스페이스"라는 용어는 매우 작은 가스의 체적이 라이너 내의 액체 매체 위에 존재한다는 점을 제외하고는, 예를 들어 가스의 체적이 라이너 내의 유체의 총 제척의 5%보다 작고, 유체의 총 체적의 3%보다 작고, 유체의 총 체적의 2%보다 작고, 유체의 총 체적의 1%보다 작고, 또는 유체의 총 체적의 0.5%보다 작은 (또는 달리 말하자면, 라이너 내의 액체 또는 액체-함유 재료의 체적이 라이너의 총 체적의 95%보다 크고, 이러한 총 체적의 97%보다 크고, 이러한 총 체적의 98%보다 크고, 이러한 총 체적의 99%보다 크고, 또는 이러한 총 체적의 99.5%보다 큼) 점을 제외하고는 라이너가 액체 매체로 사실상 완전히 충전되어 있다는 것을 의미한다. 소정의 실시예에서 헤드스페이스는 라이너의 내부 체적이 액체 매체로 완전히 충전된 상태에서 최소화되거나 제거(즉, 제로 또는 거의-제로의 헤드스페이스 형태) 될 수 있다. 다른 실시예에서, 헤드스페이스는 온도 변화로 인한 수송 도중 함유된 재료의 팽창을 수용할 필요가 있을 수 있지만, 헤드스페이스는 라이너로부터 액체-함유 재료의 분배 이전에 사용 지점에서 라이너로부터 제거될 수 있다.
라이너-기반 압력 분배 용기가 엠프티 조건 - 압력 분배 용기의 중량(또는 중량의 변화)의 감지, 분배된 액체 내의 첫 번째 기포의 존재를 감지, 분배된 액체의 응집량을 감지하기 위해 합계 유량계의 사용, 라이너 스트레인 또는 변형을 감지, 그리고 분배된 액체의 압력의 감소 또는 "드룹(droop)"의 감지를 포함하지만 이에 한정되지 않음 - 에 접근할 때 여러 방법이 검출을 위해 사용될 수 있다. 압력 드룹 조건을 감지하는 압력 변환기 또는 압력 스위치의 사용은 본 출원의 양수인에 의해 소유된 미국 특허 출원 공개 제2010/0112815 A1호에 개시되며, 거기에 포함된 명시된 정의를 제외하면 본 개시내용에 참조로 통합된다. (i) 유체-사용 공정 툴에 대한 유체 공급의 차단을 방지하기 위해 라이너의 내용물의 전체 제거 이전에 분배를 신뢰성있게 종결하고, (ii) 기포가 유체-사용 공정 툴로 분배되는 것을 방지하고, (iii) 소진된 또는 "엠프티" 용기 내에 남에 있는 잔류량을 감소시키는 것이 바람직할 수 있다. 상술된 엠프티 검출 기술의 임의의 하나 이상은 본 개시내용에 개시된 바와 같이 라이너-기반 압력 분배 용기와 함께 사용될 수 있으나, 분배된 액체의 압력을 감지하는 것은(즉, 압력 드룹 조건을 식별함) 접근하는 엠프티 조건의 신뢰성 있는 조기 경고 및 그 비-침입적 특성으로 인해 특히 바람직한데, 이는 이러한 압력 감지가 패키지 및 관련 구성요소의 체적 또는 중량의 인지를 요구하지 않기 때문이다. 첫번째 기포 검출은 또한 이러한 액체 내에 일단 포획되는 경우 기포 제거의 어려움 때문에 고점성 액체 분배의 분야에서 특히 바람직하지 않을 수 있다.
반도체 또는 마이크로전자 장치 제조 적용예에 대해, 본 개시내용에 개시된 바와 같이 압력 분배 용기의 라이너 내에 함유된 액체-함유 재료는 전형적으로 라이너의 충전 지점에서, 75 입자/밀리리터 미만(50 미만, 또는 35 미만, 또는 20 입자/밀리리터 미만)이고, 0.2미크론 이상의 직경을 갖는 입자를 가질 수 있다. 더욱 최근에, 반도체 제조사들은 0.1 미크론 직경을 갖는 입자의 5 입자/밀리리터 미만, 또한 0.04 미크론 직경을 갖는 입자의 40 입자/밀리리터 미만을 구체화하고 있다. 라이너는 액체 내의 30 (몇몇 예에서는 15 미만) ppb(parts per billion) 미만의 전체 유기 카본(TOC), 칼슘, 코발트, 구리, 크롬, 철, 몰리브덴, 망간, 소듐, 니켈, 및 텅스텐과 같은 임계 요소(critical element)당 10 ppt(parts per trillion) 미만의 금속 추출 가능 레벨, 플루오린화 수소, 과산화수소 및 수산화 암모늄의 라이너 격납(containment)을 위한 요소당 150 ppt 미만의 철 및 구리 추출 가능 레벨을 구비할 수 있고, 이는 반도체 산업 협회, 반도체에 대한 국제 기술 로드맵(SIA, ITRS) 1999 에디션에서 설정된 사양서와 일치한다. 본 개시내용에 개시된 바와 같은 라이너 없는 압력 분배 용기 내에 함유된 액체-함유 재료는 동일한 사양서에 추종할 수 있다.
압력 분배 장치는 매우 가변적인 특성을 갖는 화학 반응물과 조성물의 저장 및 분배를 위해 채용될 수 있다. 본 개시내용의 실시예는 마이크로전자 장치 제품의 제조에 사용하기 위한 액체 또는 액체-함유 조성물의 저장 및 분배와 관련하여 주로 후술되지만, 본 발명의 유용성은 이에 따라 한정되지 않고, 오히려 매우 다양한 다른 적용예 및 함유된 재료로 확장되며 이를 포함한다는 점이 이해될 것이다. 예를 들어, 이러한 액체 격납 시스템은 액체 매체 또는 액체 재료의 패키징이 요구되는 의학 및 약학 제품, 건축 및 건설 재료, 음식 및 음료 제품, 화석 연료 및 오일, 농업용 화학 물질 등을 포함하는 수많은 다른 적용예에서 유용성을 갖는다.
본 개시내용에 사용된 바와 같은 "마이크로전자 장치"라는 용어는 레지스트 코팅된 반도체 기판, 평면-패널 디스플레이, 박막 기록 헤드, 마이크로전자기계 시스템, 및 다른 진보된 마이크로전자 요소를 지칭한다. 마이크로전자 장치는 패터닝된 실리콘 웨이퍼, 평면-패널 디스플레이 기판, 중합체 기판, 또는 미세기공/다공성 무기 고형물을 포함할 수 있다.
소정의 실시예에서, 유체 취급 장치는 하나 이상의 센서로부터 입력을 수신하도록 배열되고, 하나 이상의 밸브 또는 다른 유동 제어 요소의 작동을 제어하도록 배열되고, 유체 분배의 개시 및 정지 등의 작동을 제어하고, 유체 유동률, 소진시 압력 분배 용기의 변화를 조정하고, 이상 조건을 작업자에게 알리고, 재료 재고 요구 조건을 관리하고, 그리고/또는 액체-사용 공정 툴의 작동을 제어하도록 배열되는 제어기(예를 들어, 기계-판독 가능 지시를 실행하도록 배열되는 마이크로프로세서를 포함하고, 예컨대 마이크로제어기, 프로그램 가능한 로직 제어기, 개인용 컴퓨터, 분산 제어 시스템 등에서 채용될 수 있음)를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 제어기는 제1 압력 분배 용기가 엠프티 조건에 접근하는 것을 나타내는 신호의 수신시 제1 압력 분배 용기로부터의 분배를 종료하고 제2 압력 분배 용기로부터의 분배를 개시함으로써 제1 압력 분배 용기로부터 제2 압력 분배 용기로의 분배 작동의 전환을 자동으로 실시할 수 있다. 소정의 실시예에서, 제어기는 분배 용기와 공정 툴 사이의 지점에서의 혼합, 희석, 또는 다른 액체 화합물 처리를 제어할 수 있다.
소정의 실시예에서, 본 개시내용에 개시된 바와 같은 압력 분배 장치는 (예를 들어, 용기 및/또는 용기 라이너로부터의 액체 화합물의 분배를 용이하게 하도록 액체 화합물 상에 직접적으로 또는 간접적으로 압력을 인가하기 위해) 가압 가스 공급원으로부터 가압 가스를 수용하도록 배열될 수 있고, 유체 라인 및/또는 다른 구성요소(예를 들어, 엠프티 검출 센서, 저장소, 등)를 선택적으로 개재함으로써 하류의 액체-사용 공정 툴에 액체를 공급하도록 배열될 수 있다. 라이너 없는 압력 분배 용기가 사용될 때, 가스 입구 포트는 액체의 직접적인 압력 분배를 용이하게 하기 위해 용기 내에 배열된 액체와 접촉하도록 용기의 내부로 가압 가스를 연통시키도록 배열될 수 있다. 라이너-기반 압력 분배 용기가 사용될 때, 가스 입구 포트는, 라이너에 대항하여 압력을 인가하고 라이너를 압축하여 라이너로부터의 액체의 분배를 실시하기 위해 라이너와 강성 용기 벽 사이의 압축 공간으로 가압 가스를 연통시키도록 배열될 수 있다.
소정의 실시예에서, 본 개시내용에 개시된 유체 취급 장치 및 방법은 가스를 가압하는 압력 요구 조건을 감소시키고, 배압을 감소시키고, 단순화된 제조를 증진하고, 액체 화합물의 역류를 감소시키고, 그리고/또는 분배 용기로부터의 액체 화합물의 거의-소모의 검출을 용이하게 하도록 배열된 구성요소와 함께 라이너 없는 압력 분배 용기(즉, 가압 가스와 액체 화합물 사이의 직접적인 접촉을 포함함)를 사용한다.
소정의 실시예에서, 라이너 없는 압력 분배 용기는 감소된 폭 하부 부분, 감소된 폭 하부 부분에 배열된 액체 추출 개구를 포함하는 딥 튜브, 및 용기의 액체가 거의 소진되는 것을 나타내는 조건의 지시를 제공하기 위해 감소된 폭 하부 부분 내에 또는 이를 따라서 배열되는 적어도 하나의 레벨 센서를 구비한다. 감소된 폭 하부 부분은 용기의 상부 부분의 공칭 폭의 약 50% 미만, 약 40% 미만, 약 30% 미만, 약 20% 미만, 또는 약 10% 미만의 단면적을 구비할 수 있다. 용기의 감소된 폭 하부 부분을 제공하는 이점은 액체 분배가 완료될 때 용기 내의 회수 불가능한 잔류 액체 화합물의 감소량 및/또는 개선된 액체 레벨 감지 성능을 제공하는 것을 포함한다. 레벨 감지 장치는 용기 외부에 배열될 수 있고(즉, 감소된 폭 하부 부분에 근접한 레벨을 감지하도록 배열됨), 또는 몇몇 실시예에서, 레벨 감지 장치의 적어도 일부분은 용기 내부에 배열되거나 용기 내부와 유체 연통할 수 있다. 용기의 액체가 거의 소모되는지 여부 판단시 유용한 정보를 제공하기 위해 선택적 스케일 또는 다른 칭량 장치가 용기의 중량을 감지하도록 추가로 배열될 수 있다. 딥 튜브는 이의 액체 추출 개구에 근접하게 배열된 역류 방지 요소를 추가로 포함할 수 있다.
소정의 실시예에서, 선택적 저장소는, 소진된 압력 분배 용기가 새로운 압력 분배 용기로 대체되는 동안 분배 작동의 계속을 허용하고, 그리고/또는 예를 들어 저장소의 저부로부터 액체를 추출하고 저장소의 상부로부터 가스가 통기되도록 함으로써 액체 내에 포함된 가스의 제거(예를 들어, 가스 기포)를 증진하기 위해 사용 지점(예를 들어, 액체 사용 공정 툴)과 압력 분배 용기 사이에 배열될 수 있다.
소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비하는 강성 용기, 용기 내에 배열되며 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 구비하는 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브, 및 강성 용기의 네크부에 결합되며 프로브를 구비하는 커넥터를 포함할 수 있고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성한다. 프로브의 하부 부분은 딥 튜브의 상부 단부를 수용하도록 배열될 수 있고, 프로브의 하부 에지는 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 딥 튜브의 상부 부분을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열될 수 있다.
소정의 실시예에서, 피트먼트 리테이너는 강성 용기의 네크부를 따라서 위치 설정될 수 있고, 라이너의 피트먼트는 피트먼트 리테이너에 의해 용기의 네크부 내에 보유된다. 소정의 실시예에서, 원주방향 밀봉 요소는 피트먼트 리테이너와 밀봉식으로 결합하기 위해 프로브의 외부 벽을 따라서 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 딥 튜브의 상부 단부는 피트먼트 리테이너의 상부 단부에 또는 그 아래에 위치 설정된다. 소정의 실시예에서, 커넥터는 압궤 가능한 라이너와 강성 용기 사이에서 압축 공간과 유체 연통을 허용하도록 배열되는 적어도 하나의 가스 유로를 형성할 수 있다. 소정의 실시예에서, 제1 가스 유로는 가압 가스를 외부 가압 가스 공급원으로부터 압축 공간 내로 도입하도록 배열될 수 있고, 제2 가스는 압축 공간의 과압을 방지하기 위해 압력 릴리프 밸브와 유체 연통하도록 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 딥 튜브는 제1 내경을 포함하는 내부 통로를 형성하고, 프로브의 유체 유로는 제2 내경을 포함하고, 제2 내경은 제1 내경과 사실상 동일하다. 소정의 실시예에서, 딥 튜브는 관련된 역류 방지 요소를 가질 수 있다.
소정의 실시예에서, 프로브의 하부 부분은 이의 외부 반경을 따라서 챔퍼 가공될 수 있다. 소정의 실시예에서, 프로브는 딥 튜브의 재료(예를 들어, 폴리에틸렌, PEEK, PTFE 또는 다른 중합체 재료)보다 상당히 큰 경도를 특징으로 하는 재료(예를 들어, 스테인리스 강)를 포함하여, 용기 네크부에 대해 커넥터를 조이는 것은 확실한 밀봉을 증진하기 위해 프로브의 하부 에지가 피트먼트를 순응적으로 변형시키도록 하고(예를 들어, 피트먼트에 자국을 남김), 제1 라이너의 유체 내용물이 소진된 이후 프로브가 새로운 라이너와 함께 재사용되도록 한다.
소정의 실시예는 라이너-기반 압력 분배 장치를 위한 커넥터를 포함하고, 라이너-기반 압력 분배 장치는 강성 용기의 네크부를 따라서 위치 설정된 피트먼트 리테이너와 협동하도록 배열된 라이너의 피트먼트와 함께 강성의 용기 내에 배열되는 압궤 가능한 라이너를 포함하고, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브를 포함한다. 커넥터는 강성 용기의 네크부의 외부 나사산형 부분과 협동하도록 배열되는 내부 나사산형 측방향 벽을 구비한 본체 구조부를 포함할 수 있고, 내부 나사산형 측방향 벽에 근접한 내부 리세스를 포함할 수 있다. 커넥터는 프로브를 추가로 구비할 수 있고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 프로브의 하부 부분은 내부 리세스 내로 연장되고 딥 튜브의 상부 단부를 수용하도록 배열된다. 프로브의 하부 부분은 이의 외부 반경을 따라서 챔퍼 가공될 수 있다(예를 들어 두께가 테이퍼 가공됨). 원주방향 밀봉 요소는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 피트먼트 리테이너와 결합하기 위해 하부 부분 위의 프로브의 외부 벽을 따라서 배열될 수 있다. 적어도 하나의 가스 유로는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 압궤 가능한 라이너와 강성 용기 사이의 압축 공간와 유체 연통을 허용하도록 배열될 수 있다. 프로브의 챔퍼 가공된 하부 에지는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하도록 딥 튜브의 상부 부분을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열될 수 있다.
소정의 실시예에서, 프로브의 적어도 하부 부분은 스테인리스 강 재료일 수 있고, 딥 튜브의 적어도 상부 부분은 중합체 재료를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 제1 가스 유로는 외부 가압 가스 공급원으로부터 압축 공간으로 가압 가스를 도입하도록 배열될 수 있고, 제2 가스 유로는 압축 공간의 과압을 방지하기 위해 압력 릴리프 밸브와 유체 연통하도록 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 딥 튜브의 상부 단부는 피트먼트 리테이너의 상부 단부에 또는 상부 단부 아래에 위치 설정될 수 있다.
소정의 실시예는 압력 분배 장치를 사용하여 액체-함유 재료를 분배하는 방법에 관한 것으로, 압력 분배 장치는 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비한 강성 용기, 용기 내에 배열되며 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열되는 구멍-형성 라이너 피트먼트를 구비하는 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브, 및 프로브를 구비하고, 프로브는 프로브를 통과하는 액체 유로를 형성한다. 방법은 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 프로브의 하부 에지가 딥 튜브의 상부 부분을 딥 튜브의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 커넥터를 강성 용기의 네크부에 나사 결합하는 단계, 및 압궤 가능한 라이너를 압축하기 위해 강성 용기와 압궤 가능한 라이너 사이의 압축 공간으로 커넥터를 통해 가압 가스를 공급하는 단계를 포함한다. 소정의 실시예에서, 방법은 강성 용기의 네크부에 커넥터를 나사 결합하는 단계 이전에, 라이너 피트먼트의 일부분을 노출시키고 라이너 피트먼트에 의해 보유되는 딥 튜브의 일부분을 노출시키기 위해 강성 용기의 네크부로부터 캡을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 상술된 캡 제거 및 커넥터 결합 단계는 클린룸 환경에서 수행될 수 있다. 여러 실시예에서, 방법의 단계들은 종이 서류 또는 전자 또는 컴퓨터-판독 가능 파일 등의 유형 매체 상의 지시로서 제공될 수 있다.
소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비한 강성 용기, 구멍을 형성하며 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열되는 피트먼트 리테이너, 용기 내에 배열되며 피트먼트 리테이너에 의해 보유되는 구멍-형성 라이너 피트먼트를 포함하는 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브, 및 프로브를 구비하는 커넥터를 포함할 수 있고, 프로브는 프로브를 통과하는 유체 유로를 형성한다. 프로브의 하부 부분은 커넥터가 강성 용기의 네크부와 결합될 때 개재하는 딥 튜브 커플링부없이 딥 튜브의 상부 부분과 직접 결합하도록 배열될 수 있다. 압력 분배 장치는 이하의 특징 (a) 및 (b): (a) 프로브 내에 형성된 유로의 내경은 피트먼트 리테이너의 구멍 내에 배열된 라이너 피트먼트의 일부분의 내경의 적어도 약 65%이고, (b) 딥 튜브 및 프로브 각각에 형성된 유로의 내경은 적어도 0.62 인치인 특징 중 적어도 하나를 추가로 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 특징 (a) 및 (b) 모두를 포함한다. 이러한 치수 임계값은 장치가 고점성 액체(예를 들어, 1000 - 50,000 센티포아즈의 범위 또는 소정의 실시예에서 3000 - 30,000 센티포아즈의 점성을 구비함)를 분배하기에 적절하도록 한다. 소정의 실시예에서, 프로브의 하부 에지(스테인리스 강 재료로 제조될 수 있음)는 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 딥 튜브의 상부 부분(중합체 재료로 제조될 수 있음)을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 밀봉 결합은 프로브의 하부 에지에 의한 딥 튜브의 상부 부분의 가요성 변형을 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 역류 방지 요소는 딥 튜브와 관련될 수 있다.
소정의 실시예는 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비한 강성 용기, 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 구비한 용기 내에 배열되는 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브, 및 프로브를 갖는 커넥터를 구비하는 압력 분배 장치를 사용하는 방법을 포함하고, 프로브는 프로브를 통과하는 액체 유로를 형성한다. 방법 단계들은 개재하는 딥 튜브 커플링부 없이 프로브의 하부 에지가 딥 튜브의 상부 부분과 직접 결합하도록 강성 용기의 네크부에 커넥터를 나사 결합하는 단계, 및 압궤 가능한 라이너를 압축하기 위해 강성 용기와 압궤 가능한 라이너 사이의 압축 공간으로 커넥터를 통해 가압 가스를 공급하는 단계를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 방법은 강성 용기의 네크부에 커넥터를 나사 결합하는 단계 이전에, 라이너 피트먼트의 일부분을 노출시키고 라이너 피트먼트에 의해 보유되는 딥 튜브의 일부분을 노출시키기 위해 강성 용기의 네크부로부터 캡을 제거하는 단계를 추가로 포함할 수 있고, 딥 튜브의 이후 수송은 캡에 의해 용기 내에 밀봉된다. 여러 실시예에서, 방법의 단계들은 종이 서류 또는 전자 또는 컴퓨터-판독 가능 파일과 같은 유형 매체 상의 지시로서 제공될 수 있다.
소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는, 상부 표면을 따르는 마우스부, 제1 폭을 갖는 상부 부분, 및 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 갖는 하부 부분을 구비하는 용기, 용기의 하부 부분에 배열된 액체 추출 개구를 구비하는 하향-연장 딥 튜브, 및 이하의 특징 (a) 및 (b): (a) 역류 방지 요소가 딥 튜브로부터 용기 내로의 액체의 유동을 억제하기 위해 액체 추출 개구에 근접하여 배열될 수 있고, (b) 센서가 용기의 하부 부분 내의 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하기 위해 용기의 하부 부분 내에 또는 하부 부분에 근접하여 설치될 수 있는 것, 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 특징 (a) 및 (b) 모두를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 역류 방지 요소는 부유 밸브 또는 버터플라이 체크 밸브를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 센서는 용기의 하부 부분 내의 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하기 위해 용기의 하부 부분 내에 또는 하부 부분에 근접하게 설치될 수 있다. 소정의 실시예에서, 이러한 센서는 레벨 센서 또는 임의의 적절한 유형을 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 이러한 센서는 용량성, 전도성, 초음파, 자기, 또는 광학 센서를 포함할 수 있다. 소정의 실시예에서, 이러한 센서는 용기 외부에 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 센서의 적어도 일부분은 용기의 내부 내에 또는 용기의 내부와 유체 연통하게 배열될 수 있다. 소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 용기의 하부 부분 내의 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건의 감지에 반응하는 다른 용기로부터 액체의 분배를 개시하도록 구성될 수 있다. 소정의 실시예에서, 압력 분배 용기는 액체의 라이너 없는 압력 분배를 용이하게 하기 위해 가압 가스를 용기 내부에 연통시켜 용기 내에 배열된 액체와 접촉시키도록 배열되는 가스 입구 포트를 포함할 수 있다.
압력 분배 용기로부터 분배된 유체 스트림 내의 기포 존재를 감소시키기 위한 방법에 관한 소정의 실시예는 내부에 배열된 액체 화합물과 직접 접촉하여 액체 화합물이 딥 튜브의 추출 개구 내로 유동하도록 강성 용기의 내부로 가압 가스를 공급하는 단계로서, 추출 개구는 용기의 상부 부분에 대해 감소된 폭을 포함하는 용기의 하부 부분 내에 배열되는, 가압 가스 공급 단계, 및 이하의 단계 (a) 및 (b): (a) 딥 튜브와 관련된 역류 방지 요소를 사용하여 딥 튜브 내의 액체 화합물의 역류를 억제하는 단계, 및 (b) 용기의 하부 부분 내의 액체 화합물의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하는 단계, 중 적어도 하나를 수행하는 단계를 포함한다. 소정의 실시예에서, 단계 (a) 및 (b) 모두가 수행될 수 있다.
소정의 실시예에서, 압력 분배 장치는 상부 표면을 따르는 마우스부를 구비한 용기, 용기의 하부 부분 내에 배열된 액체 추출 개구를 구비하는 하향-연장 딥 튜브, 용기 내에 배열된 액체와 접촉하기 위해 용기의 내부로 가압 가스를 연통시키도록 배열되는 가스 입구 포트, 및 딥 튜브로부터 용기로의 액체의 유동을 억제하기 위해 액체 추출 개구에 근접하게 배열되는 역류 방지 요소를 포함할 수 있다.
소정의 실시예에서, (라이너를 함유하든 하지 않든) 강성 용기는 주위 환경 가스 또는 증기의 용기 내로의 이동을 최소화하거나 제거하기 위해 비-다공성 금속(소정의 중합체와 같이 잠재적으로 다공성인 재료와 대조됨)으로 제조될 수 있다. 소정의 실시예에서, 본 개시내용에 개시된 바와 같은 커넥터는 주위 환경 가스 또는 증기의 이동을 유사하게 최소화하거나 제거하기 위해 금속(예를 들어, 스테인리스 강)으로 제조된 본체 및/또는 프로브를 포함할 수 있다.
소정의 실시예에서, 액체-함유 재료는 이하: 포토레지스트, 부식제, 화학 기상 증착 반응물, 용매, 웨이퍼 세정제, 툴 세정제, 화학 기계적 연마 조성물, 컬러 필터링 화학 반응제, 오버코트, 액정 재료, 및 선택적 클리어 레진, 중 임의의 것을 포함한다.
예시적인 실시예의 추가적인 상세가 도면과 관련하여 이하에서 설명된다.
구조적으로, 여러 실시예에서, 압력 분배 장치는, 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비한 강성 용기, 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 구비하는 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열된 하향-연장 딥 튜브, 강성 용기의 네크부에 결합되며 프로브를 구빕하는 커넥터를 포함하고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 프로브의 하부 부분은 딥 튜브의 상부 단부를 수용하도록 배열되고 프로브의 하부 에지는 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 딥 튜브의 상부 부분을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열된다.
몇몇 실시예에서, 라이너-기반 압력 분배 장치용 커넥터는 라이너의 피트먼트와 함께 강성 용기 내에 배열되며 강성 용기의 네크부를 따라서 위치 설정된 피트먼트 리테이너와 협동하도록 배열되는 압궤 가능한 라이너, 및 라이너 내에 배열된 하향-연장 딥 튜브를 포함하고, 커넥터는 강성 용기의 네크부의 외부 나사산형 부분과 협동하도록 배열되는 내부 나사산형 측방향 벽을 구비하고 내부 나사산형 측방향 벽에 근접하는 내부 리세스를 구비하는 본체 구조부, 이를 통과하는 유체 유로를 형성하는 프로브를 포함하고, 프로브의 하부 부분은 내부 리세스 내로 연장되며 딥 튜브의 상부 단부를 수용하도록 배열되고, 프로브의 하부 부분은 이의 외부 반경을 따라서 챔퍼 가공되고, 원주방향 밀봉 요소는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 피트먼트 리테이너와 결합하기 위해 하부 부분 위의 프로브의 외부 벽을 따라서 배열되고, 적어도 하나의 가스 유로는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 압궤 가능한 라이너와 강성 용기 사이에서 압축 공간과 유체 연통 가능하도록 배열되고, 프로브의 챔퍼 가공된 하부 에지는 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하도록 딥 튜브의 상부 부분을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열된다.
여러 실시예에서, 액체-함유 재료를 분배하는 방법은 압력 분배 장치를 사용하고, 압력 분배 장치는 (a) 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비하는 강성 용기, (b) 용기 내에 배열되며 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 포함하는 압궤 가능한 라이너, (c) 라이너 내에 배열된 하향-연장 딥 튜브, 및 (d) 프로브를 구비하는 커넥터를 포함하고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 방법은 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 프로브의 하부 에지가 딥 튜브의 상부 부분을 딥 튜브의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 강성 용기의 네크부에 커넥터를 나사 결합하는 단계, 및 압궤 가능한 라이너를 압축하기 위해 압궤 가능한 라이너와 강성 용기 사이의 압축 공간으로 커넥터를 통해 가압 가스를 공급하는 단계를 포함한다. 여러 실시예에서, 방법의 단계는 종이 서류 또는 전자 또는 컴퓨터-판독 가능 파일과 같은 유형 매체 상의 지시로서 제공된다.
몇몇 실시예에서, 압력 분배 장치는 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비하는 강성 용기, 구멍을 형성하며 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열되는 피트먼트 리테이너, 용기 내에 배열되는 압궤 가능한 라이너로서, 피트먼트 리테이너에 의해 보유된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 구비하는, 압궤 가능한 라이너, 라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브, 및 프로브를 구비하는 커넥터를 포함하고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 프로브의 하부 부분은 커넥터가 강성 용기의 네크부와 결합될 때 개재하는 딥 튜브 커플링부없이 딥 튜브의 상부 부분과 직접 결합하도록 배열되고, 압력 분배 장치는 이하의 특징 (a) 및 (b): (a) 프로브 내에 형성된 유로의 내경은 피트먼트 리테이너의 구멍 내에 배열된 라이너 피트먼트의 일부분의 내경의 적어도 약 65%이고, (b) 딥 튜브 및 프로브 각각에 형성된 유로의 내경은 적어도 0.62 인치인 것, 중 적어도 하나를 추가로 포함한다.
여러 실시예에서, 방법은 압력 분배 장치를 사용하고, 압력 분배 장치는 (a) 용기 개구를 형성하는 네크부를 구비하는 강성 용기, (b) 용기 내에 배열되며 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열된 구멍-형성 라이너 피트먼트를 포함하는 압궤 가능한 라이너, (c) 라이너 내에 배열된 하향-연장 딥 튜브, 및 (d) 프로브를 구비하는 커넥터를 포함하고, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 방법은 개재하는 딥 튜브 커플링부 없이 프로브의 하부 에지가 딥 튜브의 상부 부분과 직접 결합하도록 강성 용기의 네크부에 커넥터를 나사결합하는 단계, 및 압궤 가능한 라이너를 압축하기 위해 압궤 가능한 라이너와 강성 용기 사이의 압축 공간으로 커넥터를 통해 가압 가스를 공급하는 단계를 포함한다.
몇몇 실시예에서, 압력 분배 장치는, 상부 표면을 따르는 마우스부, 제1 폭을 갖는 상부 부분, 및 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 갖는 하부 부분을 구비하는 용기, 용기의 하부 부분에 배열된 액체 추출 개구를 구비하는 하향-연장 딥 튜브, 및 이하의 특징 (a) 및 (b): (a) 딥 튜브로부터 용기 내로의 액체의 유동을 억제하기 위해 액체 추출 개구에 근접하여 배열되는 역류 방지 요소, 및 (b) 용기의 하부 부분 내의 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하기 위해 용기의 하부 부분 내에 또는 하부 부분에 근접하여 설치되는 센서, 중 적어도 하나를 포함한다.
여러 실시예에서, 압력 분배 용기로부터 분배된 유체 스트림 내의 기포의 존재를 감소시키는 방법은 내부에 배열된 액체 화합물과 직접 접촉하여 액체 화합물이 딥 튜브의 추출 개구 내로 유동하도록 강성 용기의 내부로 가압 가스를 공급하는 단계로서, 추출 개구는 용기의 상부 부분에 대해 감소된 폭을 포함하는 용기의 하부 부분 내에 배열되는, 가압 가스 공급 단계, 및 이하의 단계 (a) 및 (b): (a) 딥 튜브와 관련된 역류 방지 요소를 사용하여 딥 튜브 내의 액체 화합물의 역류를 억제하는 단계, 및 (b) 용기의 하부 부분 내의 액체 화합물의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하는 단계, 중 적어도 하나를 수행하는 단계를 포함한다.
몇몇 실시예에서, 압력 분배 장치는 상부 표면을 따르는 마우스부를 구비하는 용기, 용기의 하부 부분 내에 배열된 액체 추출 개구를 구비하는 하향-연장 딥 튜브, 용기 내에 배열된 액체와 접촉시키기 위해 가압 가스를 액체의 내부 내에 연통시키도록 배열되는 가스 입구 포트, 및 딥 튜브로부터 용기 내로의 액체의 유동을 억제하기 위해 액체 추출 개구에 근접하게 배열된 역류 방지 요소를 포함한다.
본 개시내용에 개시된 상술된 실시예 및/또는 임의의 다른 실시예의 임의의 하나 이상의 특징은 추가적인 이점을 위해 조합될 수 있다.
본 개시내용의 다른 양태, 특징 및 실시예는 다음의 개시내용 및 첨부된 청구범위로부터 보다 명백해질 것이다.
도 1a는 미국 특허 제7,025,234호에 개시된 바와 같은 재순환 커넥터를 구비한 라이너-기반 압력 분배 패키지를 포함하는 종래의 유체 저장 및 분배 장치의 측부 단면도이다.
도1b 및 도 1c는 도 1a에 따르는 유체 저장 및 분배 장치의 확대부이다.
도 2는 미국 특허 번호 제5,435,460호에 개시된 바와 같은 라이너-기반 압력 분배 패키지를 포함하는 또 다른 종래의 유체 저장 및 분배 장치의 일부분의 측부 단면도이다.
도 3a는 본 개시내용의 일 실시예에 따르는 라이너-기반 압력 분배 패키지 및 커넥터를 포함하는 유체 저장 및 분배 장치의 측부 단면도이다.
도 3b 는 도 3a의 커넥터의 확대 측부 단면도이다.
도 3c는 도 3b의 커넥터의 사시도이다.
도 3d는 도 3a의 유체 저장 및 분배 장치의 상부 부분의 확대 단면도이다.
도 3e는 본 개시내용의 실시예의 도 3d의 부분 확대도이다.
도 3f는 커넥터 프로브, 딥 튜브, 및 라이너 피트먼트 사이의 인터페이스부를 도시하는 도 3a 및 도 3d의 장치의 일부분의 추가 확대 측부 단면도이다.
도 3g는 본 개시내용의 실시예의 프로브 상에 배치된 응력 집중기의 확대 단면도이다.
도 3h 및 도 3i는 본 개시내용의 실시예에서 대체 응력 집중기 구성의 확대 단면도이다.
도 4는 도 3a에 따르는 라이너-기반 압력 분배 패키지를 포함한 유체 저장 및 분배 장치로부터 액체-함유 재료를 분배하기 위해 배열된 유체 취급 시스템의 단순화된 개략도이다.
도 5는 감소된 폭 하부 부분을 갖는 라이너 없는 압력 분배 용기, 역류 방지 요소, 및 용기의 하부 부분에 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하도록 구성된 적어도 하나의 센서 요소를 포함하는 유체 저장 및 분배 장치로부터 액체-함유 재료를 분배하도록 배열되는 액체 취급 시스템의 단순화된 개략도이다.
도 6a 및 도 6b는 개방 위치 및 폐쇄 위치에서 부유 밸브의 형태의 역류 방지 요소의 개략적인 측부 단면도를 도시한다.
도 7a 및 도 7b는 개방 위치 및 폐쇄 위치의 버터플라이 체크 밸브 형태의 역류 방지 요소의 개략적인 측부 단면도를 도시한다.
도 7c는 폐쇄 위치의 도 7a 및 도 7b에 따르는 버터플라이 체크 밸브의 상부 평면도를 도시한다.
도 8은 본 개시내용의 실시예에서 조립체 내의 2개의 포트 캡의 부분 단면도이다.
도 9는 본 개시내용의 실시예에서 조립체 내의 3개의 포트 캡의 부분 단면도이다.
도 10은 본 개시내용의 실시예에서 수송 프로브 조립체의 부분 단면도이다.
도 1a 내지 도 1c(미국 특허 제7,025,234호의 도 2로부터 구성됨)를 참조하면, 재순환 프로브를 포함한 라이너-기반 압력 분배 패키지가 도시된다. 고점성 액체를 분배 및 순환하기 위한 이러한 라이너 기반 용기가 발달되어 왔으나, 액체 추출 및 액체 회수 포트 모두를 제공하는 요구 조건은 추출 경로 유동 면적의 잠재적인 크기를 피트먼트 개구의 상대적으로 작은 부분으로 제한한다. 패키지(10)는 외부 용기(42), 용기(42) 내에 있으며 피트먼트 리테이너(39)에 의해 지지되는 피트먼트(32)를 포함하는 라이너(43)(액체 화합물(48)을 함유함), 및 용기(42)의 네크부(41)와 정합하도록 배열된 재순환 커넥터(40)를 구비한다. 피트먼트 리테이너(39)는 용기(42)와 라이너(43) 사이의 압축 공간(36) 내로 가압 가스가 커넥터(40)를 통해 도입되도록 허용하는 가스 통로(38)를 형성한다. 커넥터(40)의 상부 부분은 커넥터 본체(56)에 나사 결합되는 (그리고 너트(53)에 의해 보유되는) 프로브(65)를 구비하고, 출구 유로(52)(딥 튜브(50)로부터의 액체 화합물을 수용하기 위함)를 형성하는 출구 포트(54)를 구비하고, 출구 라인(미도시)을 수용하는 보유 칼라부(49)를 구비한다. 프로브(65)의 의료용 표면은 커넥터 본체(56)에 대항하여 밀봉하기 위한 O-링(51)을 구비하고, 프로브(65)의 하부 부분은 프로브(65)와 커넥터 본체(56) 사이에 배열된 딥 튜브(50)의 확대된 상부 부분(55) 내에 삽입된다. 커넥터(56)의 하부 부분(44)은 용기(42)의 네크부(41)와 정합하기 위한 내부 나사산 형성면을 포함한다. 커넥터 본체(56)의 측부는 너트(47), 및 재순환 라인(미도시)을 수용하기 위한 보유 칼라부(45)와 함께 본체(56)에 부착되는 재순환 포트(58)를 구비한다. 커넥터 본체(56)는 딥 튜브(50)의 주연부 주위에 배열되는 재순환 통로(60)를 형성하고, 재순환 통로는 재순환된 액체 화합물이 라이너(43) 내부로 딥 튜브(50)의 외부 표면을 따라서 딥 튜브와 피트먼트(32) 사이의 개구(46)를 통해 유동 가능하도록 한다. 미국 특허 제7,025,234호는 딥 튜브의 내경이 0.35 인치 내지 0.45 인치이어야 하고, 딥 튜브의 외경이 0.45 인치 내지 0.55 인치이어야 하고, 재순환 통로(60)의 내경이 0.60 인치 내지 0.65 인치이어야 하고, 재순환 통로(60)의 유동 면적은 딥 튜브(50) 내의 유로(52)의 유동 면적과 동일(각각 대략 0.1104 제곱 인치임)해야 한다는 점을 개시한다.
딥 튜브(50)의 주연부 주위에 재순환 통로(60)를 제공하는 필요성 때문에, 딥 튜브(50)의 최대 유동 면적은 제한되고, 이에 의해 특히 매우 고점성 액체 화합물이 분배되는 경우, 압력 저하를 증가시키고 딥 튜브(50)를 통한 잠재적인 유동률을 감소시킨다. 추가적으로, 도 1a 내지 도 1c 에 따르는 장치(10)는 프로브(65)와 딥 튜브(50) 사이의 연결이 커넥터 본체(56)의 내부 그리고 용기의 마우스부 외측에서 행해지는 것을 요구하고, 따라서 밀봉된 용기 내에서 딥 튜브가 수송되는 것은 불가능하다.
이와 달리, 저점성 재료와 함께 채용된 라이너-기반 압력 분배 용기는 전통적으로 고점성 재료를 분배하는데 적절하지 않을 수 있는데, 이는 분배 유로의 상대적으로 낮은 유동 면적이 존재하고 그리고/또는 유동 면적 내에 다수의 천이부가 존재하기 때문이며, 이에 의해 증가된 배압 및 가압 가스의 비현실적으로 높은 압력에 대한 잠재적인 요구로 이어진다(압력 격납을 위해 헤비(heavy) 게이지 용기 재료에 대한 요구를 추가로 발생시킴).
도 2(미국 특허 제5,435,460호의 도 6으로부터 구성됨)를 참조하면, 저점성 재료에 대한 이러한 종래의 라이너-기반 압력 분배 패키지의 예가 제공된다. 패키지는 피트먼트(118)를 구비한 압궤 가능한 라이너(120)를 함유하는 외부 용기(112)를 포함하고, 피트먼트는 가스 통로(172)를 형성하는 리테이너(119)와 함께 용기(112)의 마우스부(130)에 장착된다. 라이너(120)가 액체 화합물로 충전된 이후, 딥 튜브(122)(액체 통로(194)를 형성함) 및 딥 튜브 커플링(124)(액체 통로(180)를 형성함)이 피트먼트(118)에 삽입된다. 캡 및 파열 가능한 멤브레인(미도시)은 수송을 위해 (예를 들어, 딥 튜브(122) 및 피트먼트 리테이너(119)와 함께) 용기(112)를 밀봉하도록 배열된다. 사용시, 커넥터(114)가 용기(112)에 결합된다. 커넥터(114)는 하부 본체부(141), 리테이너(143), 상부 본체부(148), 어댑터부(149), 및 유로(144)를 형성하고 O-링(125)을 수용하는 홈을 형성하는 프로브(146)를 포함한다. 샤프트부(150)를 포함하는 프로브(146)가 용기 마우스부(130)를 덮는 파열 가능한 멤브레인(미도시)을 통해 삽입될 수 있고, 멤브레인은 라이너(120) 내의 헤드스페이스 가스를 방출하는 작용을 한다. 프로브의 하부 단부는 피트먼트(118) 내의 딥 튜브 커플링(124)의 캐비티(176) 내에 삽입되고, 딥 튜브 커플링(124)은 이의 주연부를 따르는 O-링(152) 및 상부 브림(brim, 187)을 포함한다. 가압 가스(예를 들어, 공기 또는 질소)가 가스 통로(162, 142, 104, 172, 및 190)(통로(190)는 환형 리세스를 구현함)를 통해 라이너(120)와 용기(112) 사이의 압축 공간(139) 내에 공급되어, 사용시 액체 화합물을 이송하기 위해 액체 화합물을 딥 튜브(122), 딥 튜브 커플링(124), 및 프로브(146)를 통해 연결 라인(미도시)까지 가압한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 딥 튜브 커플링(124)은 상술된 구성요소들 사이의 천이부와 함께 프로브(146)와 딥 튜브(122) 사이에 개재하여 연결되고, 커넥터를 통과하는 라이너로부터의 액체 화합물 유로는 딥 튜브(122)에 형성된 통로(194)로부터 딥 튜브 커플링(124) 및 프로브(146)에 각각 형성된 통로(180, 144)까지의 유동 면적의 감소부를 포함한다. 유동 면적의 이러한 감소는 도 2의 패키지가 고점성 액체 화합물을 분배하는데 사용되는 경우 상당한 압력 저하를 발생시킬 수 있다. 그 결과, 도 2의 패키지에 따르는 종래의 패키지는 유용성이 제한된다.
본 개시내용은 종래의 재순환 및 저점성 재료 분배 시스템에 존재하는 여러 사안을 극복하는 유체 및 분배 시스템 및 방법에 관한 것이다.
도 3a 내지 도 3f를 참조하면, 라이너-기반 압력 분배 패키지(용기(330), 라이너(340), 및 커넥터(360)를 포함함)를 구비한 유체 저장 및 분배 장치(300)가 본 개시내용의 실시예에 도시된다. 도 3b 내지 도 3f는 용기(300)로부터 이격된 커넥터(360)를 도시하고, 도 3d는 분배 장치(300)의 확대부를 제공하고, 도 3e는 피트먼트(341)에 대한 라이너(340)의 부착의 확대부를 제공하고, 도 3f는 도 3a 및 도 3d의 분배 장치(300)의 일부분의 추가적인 측부 확대 단면도를 제공한다(예를 들어, 커넥터 프로브(380), 딥 튜브(350), 및 라이너 피트먼트(341) 사이의 인터페이스부를 도시함).
일반적으로 도 3a 및 도 3d에 도시된 바와 같이, 유체 저장 및 분배 장치(300)는 압궤 가능한 라이너(340)를 함유하는 강성 또는 사실상 강성 용기(330)를 포함하고, 압축 공간(339)은 용기(330)와 라이너(340) 사이에 배열된다. 일 실시예에서, 압축 공간(339)은 하부 리세스의 환형 영역을 점유하고, 환형 영역은 본체 구조부와 프로브 사이에 형성되기 시작한다.
용기(330)는 강성 또는 사실상 강성 특성일 수 있고, 내부 체적(332)을 경계 형성하는 하부 캐비티 벽(333) 및 상부 캐비티 벽(334)을 포함하고, 하부 및 상부 주연 지지벽(335, 336)은 하부 및 상부 캐비티 벽(333, 334)을 지나서 연장하고, 상부 주연 지지벽은 이송 손잡이로서 사용을 가능하게 하는 구멍(337)을 선택적으로 포함한다. 상부 주연 지지벽(336)은 롤형 상부 립부(338)에서 선택적으로 종결될 수 있다. 라이너(340)는 액체-함유 재료를 포함할 수 있는 내부 체적(343) (예를 들어, 불활성 가스를 포함할 수 있는 헤드스페이스로 선택적으로 씌워짐)을 경계 형성한다. 구멍-형성 피트먼트(341)는 라이너(340)의 상부 개구를 경계 형성하고, 피트먼트 리테이너(356)에 의해 보유되는 피트먼트(341)의 상부 단부는 딥 튜브(350)와 용기 네크부(331) 사이에 개재하여 배열된다. 피트먼트 리테이너(356)는 상승된 피트먼트 리테이너 네크부(357)를 포함하고, 내부 프로브 리테이너(366)에 각각 형성된 가스 통로(368, 369)와 유체 연통하도록 배열된 가스 통로(358, 359)를 포함한다. 플레어형일 수 있는 피트먼트(341)의 상부 단부는 상승된 피트먼트 리테이너 네크부(357)의 상부 표면(354)과 접촉하도록 배열된다. 딥 튜브(350)는 라이너(340)의 내부로 연장되고, 내부 액체 통로(352), 확장형 또는 플레어형일 수 있는 상부 부분(355), 하부 단부(351), 및 선택적 액체 유입 하부 측부 개구(353)(하부 단부(351)에 근접함)를 포함한다.
일반적으로 도 3a 내지 도 3d에 도시된 바와 같이, 커넥터(360)가 용기(330)에 커플링되고, 커넥터(360)의 내부 나사산형 측방향 벽(363)이 용기 네크부(331)에 부착된다. 커넥터(360)는 상부 커넥터 본체(370), 프로브(380)를 보유하도록 배열되는 내부 (프로브) 리테이너(366), 및 하부 커넥터 본체(362)를 포함한다. 상부 커넥터 본체(370)는 압력 릴리프 밸브(376) 및 가압 가스 튜브 피팅부(377)를 수용하기 위해 이의 상부 표면(371)에 형성되는 구멍을 포함하고, 압력 릴리프 밸브(376) 및 가압 가스 튜브 피팅부(377) 각각과 유체 연통하는 가스 통로(378, 379)를 추가로 형성한다. 상부 커넥터 본체(370)는 패스너(389)로 하부 커넥터 본체(362)에 커플링될 수 있다. 프로브(380)는 중앙 축(375)을 중심으로 동심이며 상부 커넥터 본체(370)와 내부 리테이너(366) 사이에 보유되는 내부 유로(382)를 형성하고, O-링 또는 다른 밀봉 요소(372)가 인터페이스면(388)을 따라서 내부 리테이너(366)와 프로브(380) 사이에 제공된다. 내부 리테이너(366)는 상부 커넥터 본체(370)에 형성된 통로(378, 379)의 연장부로서 기능하는 가스 통로(368, 369)를 형성하고, O-링 또는 다른 밀봉 요소(373)가 가스 통로(368 내지 378 및 369 내지 379)의 각각의 쌍들 사이의 천이부에 제공된다. 내부 리테이너(366)는 프로브(380)의 일부분을 수용하는 리세스(367)를 추가로 형성한다. 하부 커넥터 본체(362)는 상부 커넥터 본체(370)와 맞닿고 내부 리테이너(366)의 측방향 벽(365)을 둘러싸고, O-링 또는 다른 밀봉 요소(374)가 하부 커넥터 본체(362)와 내부 리테이너(366) 사이에 배열된다. 하부 커넥터 본체(362)의 하부 리세스(364)는 측방향 벽(363)의 내부 표면을 따라서 나사산 형성되고, 하부 커넥터 본체(362)의 하부 리세스(364)는 내부 리테이너(366)의 리세스(367)와 연속적이다. 하부 커넥터 본체(362)의 하부 에지(361)는 하부 리세스(364)의 개구를 경계 형성한다. 프로브(380)의 하부 부분은 리세스(367, 364) 내로 돌출하고, 프로브(380)의 하부 단부(381)는 하부 커넥터 본체(362)의 하부 단부(361) 위쪽의 하부 리세스(364)에 배열된다. 프로브(380)의 하부 팁(381)은 프로브(380)의 중앙 축(375)에 대해 기울어진 테이퍼 면(384)을 형성하도록 이의 외부 반경을 따라서 경계 형성된다. 일 실시예에서, 테이퍼 면(384)은 챔퍼 면을 형성한다. 프로브(380)의 외부 벽(389)은 O-링 또는 다른 밀봉 요소(386)를 수용하도록 배열된 리세스(385)를 형성하고, 리세스(385)는 국부적으로 확장된 이동 정지부(387)에 의해 아래쪽으로부터 경계 형성된다.
일반적으로 도 3d 내지 도 3f에 도시된 바와 같이, 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)은 피트먼트(341) 내에 배열되고, 피트먼트(341)는 피트먼트 리테이너(356)에 의해 보유된다. 일 실시예에서, 용기(330)의 라이너(340)가 피트먼트(341)를 통해 액체 화합물로 충전된 이후, 딥 튜브(350)가 피트먼트(341) 내에 삽입되고, 나사산형 캡(예를 들어, 캡(800, 850) 또는 8 내지 10에 따라 설명되는 수송 프로브 조립체(870))이 용기 네크부(331)에 부착되어 수송을 위해 액체 화합물 및 딥 튜브(340)를 라이너(340) 및 용기(330) 내에 밀봉한다. 이후, 캡으로 씌워진 용기가 사용 지점(예를 들어, 전자 장치를 제조하는 시설)까지 전달되고, 그 결과 사전-부착된 캡은 몇몇 실시예에서 제거되고, 커넥터(360)가 용기(330)와 정합된다. (다른 실시예에서, 예를 들어 수송 프로브 조립체(870)에 관해, 도 10에 대해 후술되는 바와 같이 캡의 제거가 필요하지 않다). 커넥터(360)의 내부 나사산형 측방향 벽(363)은 용기 네크부(331)와 정합되고, 프로브(380)의 감소된 벽 두께 하부(수형) 단부(381)가 딥 튜브(350)의 상부(암형) 부분(355) 내에 삽입된다. 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)은 확장될 수 있다(예를 들어, 플레어형). 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)이 프로브(380)의 하부 단부(381)에 의해 수용될 때, 프로브(380)의 테이퍼 면(384)은 프로브(360)와 피트먼트(341) 사이에서 딥 튜브(341)와 밀봉식으로 결합하기 위해 피트먼트(341)의 내부 표면에 대해 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)의 표면을 누르거나 착좌시키도록 배열된다.
일 실시예에서, 피트먼트(341)의 내부 벽 표면과 딥 튜브의 상부 단부 사이에 약간의 측방향 간극 "G"이 제공된다. 기능적으로, 간극 "G"은, 상부 부분(355)의 우측 원통부의 내부 표면에 구속되지 않은 상태에서 딥 튜브(350)를 착좌 가능하게 함으로써 피트먼트(341) 내의 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)의 착좌를 증대시킨다.
작동시, 커넥터(360)의 내부 나사산형 측방향 벽(363)이 용기 네크부(331)와 정합되기 때문에, 프로브(380)의 하부 단부(381)는 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)과 접촉하게 된다. 일 실시예에서, 용기 네크부(331)에 대해 커넥터(360)를 조이는 것은 프로브(380)의 테이퍼 면(384)을 하향으로 병진시켜 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)에 힘을 인가하게 한다. 힘은 피트먼트(341)를 순응적으로 변형시켜(예를 들어 피트먼트에 자국을 남김) 확실한 밀봉을 증진한다. 프로브(380)의 외부 벽(389)과 피트먼트(340) 사이의 내부 벽 사이의 측방향 밀봉은 O-링 또는 다른 밀봉 요소(386)에 의해 또한 증진된다.
도 3g 내지 도 3i를 참조하면, 프로브(380), 딥 튜브(350), 및 피트먼트(341) 사이의 강화된 밀봉을 위한 응력 집중 구성이 본 개시내용의 실시예에 제공된다. 도 3g에서, 테이퍼 면(384)으로부터 돌출하는 선택적 리브 부분(392)이 도시된다. 리브 부분(392)은 중앙 축(375)을 중심으로 연속적이고 테이퍼 면(384)에 대해 수직인 거리(394)를 돌출하여 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)과 결합한다. 도 3h에서, 딥 튜브(350)의 상부 부분(355) 상의 하나 또는 양쪽 리브 부분(396 및 397)을 사용하는 대체 구성이 도시되고, 각각의 리브 부분은 테이퍼 정합 표면에 대해 수직인 거리(394) 돌출하는 것을 특징으로 한다.
기능적으로, 실시될 때, 도 3g의 리브 부분(392)은 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)과 테이퍼 면(384) 사이에 시일 완전성을 향상시키는 응력 집중기를 제공한다. 본질적으로, 응력 집중기는 확실한 시일을 제공하는 딥 튜브의 플레어형 상부 부분(355)에 대해 억지 끼움부이다. 응력 집중기는 딥 튜브(350)의 상부 부분(355)의 플레어형 정합 표면의 표면 각도/편평도의 변화를 극복함으로써 시일 완전성을 향상시킬 수 있다. 상부 부분(355)의 내부 표면 상에 발생되는 국부적 변형은 또한 상부 부분(355)의 외부 표면 상의 변형을 발생시킬 수 있고, 이에 의해 상부 부분(355)과 피트먼트(341) 사이의 시일 완전성을 향상시킨다.
커넥터(360)가 용기(330)에 부착된 이후, 라이너(340) 내의 액체의 분배는 용기(330)와 라이너(340) 사이에 배열된 압축 공간(339)을 가압하기 위해 가압 가스 튜브 피팅부(377)를 통해, 커넥터(360) 내에 형성된 가스 통로(379, 369)를 통해, 그리고 피트먼트 리테이너(356) 내에 형성된 가스 통로(359)를 통해 가압 가스를 유동시킴으로써 달성될 수 있다. 압축 공간(339)으로의 압력 인가는 라이너(340)를 압축(그리고 점진적으로 압궤)시키도록 기능하고 이에 의해 라이너(340) 내에 함유된 액체 화합물을 가압한다. 이러한 작용은 액체 화합물을, 딥 튜브(350)의 액체 유입 개구(353)를 통해 상향으로 라이너(340)로부터 내부 액체 유로(352) 내로, 프로브(380)의 액체 유로(382) 내로 그리고 액체 유로를 통해 가압하여, 사용 지점(예를 들어, 액체-사용 공정 툴)에 이송되도록 프로브(380)의 상부 단부(383)에 연결된 출구 배관(미도시)으로 배출되게 한다. 압축 공간(339) 내의 가스 압력이 압력 릴리프 밸브(376)의 미리 정해진 세트포인트 압력을 초과하는 경우, 압력 릴리프 밸브(376)가 자동적으로 개방되어 가압 가스는 피트먼트 리테이너(356) 내에 형성된 가스 통로(358) 및 커넥터(360) 내에 형성된 가스 통로(368, 378)를 통해 압축 공간(339)을 떠나서 압력 릴리프 밸브(376)를 통해 배출되게 할 수 있다.
일 실시예에서, 각각 딥 튜브(350) 및 프로브(380) 내에 형성된 유로(352, 382)의 내경은 적어도 0.62 인치이다. 각각 딥 튜브(350) 및 프로브(380) 내에 형성된 유로(352, 382)의 내부 치수는, 분배된 액체 내의 기포의 형성을 방지하도록 딥 튜브(350)와 프로브(380) 사이의 천이부를 따르는 잠재적인 압력 저하를 저감하기 위해 (예를 들어, 약 5% 미만, 약 3% 미만, 약 2% 미만, 약 1% 미만, 약 0.5% 미만, 또는 약 0.1% 미만의 직경 또는 유동 면적의 변화로) 유동 면적과 일치될 수 있다.
엠프티 조건 또는 엠프티 조건에의 접근이 감지된 이후(라이너-기반 용기의 액체 내용물이 사실상 소모됨), 커넥터(360)(프로브(380)를 포함함)가 용기 네크부(331)로부터 결합 해제될 수 있고, 커넥터(360)는 다른 용기로부터의 사용 지점까지 액체의 분배를 지속하기 위해 용기(330)와 사실상 동일한 유형의 다른 (액체-충전된) 라이너-기반 용기에 연결될 수 있다. 소정의 실시예에서, 액체-함유 재료는 새로운 라이너-기반 압력 분배 용기가 분배 작동을 위해 준비되는 동안 선택적인 하류 저장소로부터 액체-사용 공정까지 계속 공급될 수 있다.
프로브(380)는 금속인 것으로 묘사되지만, 중합체 재료의 사용이 또한 선택되는 점에 유의한다. 마찬가지로, 도면 내의 여러 다른 구성요소는 중합체 재료로서 묘사되지만, 선택적으로 금속 재료일 수 있다. 예를 들어, 상부 커넥터 본체(370) 및 하부 커넥터 본체(362)는 흔히 금속(예를 들어, 알루미늄 합금 또는 스테인리스 강)이고, 용기(330)는 흔히 금속(예를 들어, 스테인리스 강)이다.
도 4를 참조하면, 유체 저장 및 분배 장치(400)로부터 액체-함유 재료(예를 들어, 액체 화합물)를 분배하기 위한 유체 취급 시스템(401)이 본 개시내용의 실시예에 개략적으로 도시된다. 도시된 실시예에서, 분배 장치는 용기(430) 및 압궤 가능한 라이너(440)를 구비한다. 딥 튜브(450)는 라이너 피트먼트(441)로부터 라이너(440) 내에 함유된 액체(448)와 접촉하는 라이너(440) 내부로 하향으로 연장된다. 딥 튜브(450)는 세장형을 특징으로 하고, 액체 유로(452)를 포함하고, 라이너(440)의 저부에 근접한 액체 추출 지점으로서 기능하는 하부 단부(451)를 포함한다. 라이너(440)와 용기(430) 사이의 압축 공간(439)은 (i) 커넥터(460) 내의 제1 가스 통로(479)에 의해 가압 가스 공급원(412), 및 (ii) 커넥터(460) 내의 제2 가스 통로(478)에 의해 압력 릴리프 밸브(476)(및 과압 통기구(476A))와 유체 연통된다. 커넥터(460)는 딥 튜브(450) 내에 형성된 액체 유로(452)와 유체 연통하며, 일 실시예에서 액체 유로와 동일한 유동 면적을 갖도록 배열된 액체 유로(482)를 형성하는 프로브(480)를 추가로 포함한다. 프로브(480) 내에 형성된 액체 유로(482)의 하류에, 제어 밸브(413), 엠프티 검출 센서(414), 및 저장소(415)가 액체-사용 공정(또는 공정 툴)(416)의 상류에 제공될 수 있다. 엠프티 검출 센서(414)는 엠프티 조건에 접근하는 것을 나타내는 압력 드룹 조건(라이너-기반 압력 분배의 특성)을 검출하기 위해 분배된 액체의 압력을 감지하도록 배열된 압력 변환기를 포함할 수 있다. 대안적으로, 엠프티 검출 센서(414)는 라이너(440)와 액체-사용 공정 또는 공정 툴(416) 사이에 개재하여 배열되는 (선택적) 저장소(415) 내의 레벨을 감지하도록 배열되는 하나 이상의 레벨 센서를 구현할 수 있다. 저장소(415)는 액체의 추출을 위한 저부 출구 및 가스의 통기를 허용하는 상부 출구를 포함할 수 있다. 상술된 엠프티 검출 요소를 보완 또는 대체하기 위해, 스케일(411)이 용기(430) 및 그 내용물의 중량을 감지하도록 제공될 수 있고, 중량의 변화는 라이너(440)의 액체 내용물이 소모되거나 거의 소모될 때를 결정하는데 유용하다. 제어기(410)는 하나 이상의 센서로부터의 입력을 수신하도록 배열되고, 하나 이상의 밸브 또는 다른 유동 제어 요소의 작동을 제어하도록 배열되고, 가압 가스 공급원을 제어하도록 배열되고, 유체 분배의 시작 및 정지 등의 작동을 제어하고, 유체 유동률, 소진시 압력 분배 용기의 변화를 조정하고, 이상 조건을 작업자에게 알리고, 재료 재고 요구 조건을 관리하고, 그리고/또는 액체-사용 공정 툴의 작동을 제어하거나 영향을 주도록 배열될 수 있다.
도 5를 참조하면, 라이너 없는 유체 저장 및 분배 장치(500)로부터 액체 또는 액체-함유 재료(548)를 분배하기 위해 배열된 유체 취급 시스템(501)이 본 개시내용의 실시예에 개략적으로 도시된다. 라이너 없는 유체 저장 및 분배 장치(500)는 감소된 폭 하부 부분(532)을 갖는 용기(530), 딥 튜브(552)와 관련된 역류 방지 요소(590), 및 용기(530)의 하부 부분(532) 내의 액체의 부재 또는 낮은 레벨을 나타내는 조건을 감지하도록 배열되는 적어도 하나의 센서 요소(518, 518A)을 구비할 수 있다. 소정의 실시예에서, 센서 요소(518)는 용기(530)의 외측(예를 들어, 감소된 폭 부분(532)에 근접함)에만 배열되고, 다른 실시예에서, 적어도 하나의 센서 요소(518A) 또는 이의 일부는 용기(520)의 감소된 폭 부분(532) 내에 배열될 수 있다(또는 감소된 폭 부분과 유체 연통함). 딥 튜브(550)는 내부에 함유된 액체 또는 액체-함유 재료(548)와 접촉하도록 용기(520)의 내부로 하향 연장된다. 딥 튜브(550)는 세장형을 특징으로 하고, 액체 유로(552)를 포함하고, 용기(540)의 감소된 폭 하부 부분(532)의 저부에 근접한 액체 추출 지점으로서 기능하는 하부 단부(551)를 포함한다. 일 실시예에서, 역류 방지 요소(590)(예를 들어, 부유 밸브, 버터플라이 체크 밸브, 또는 다른 밸브 요소)가 하부 단부(551)에서 액체 추출 개구에 근접한 딥 튜브(552)와 관련되고, 딥 튜브(550)로부터 용기(530) 내로의 액체의 유동을 억제하도록 기능한다.
용기(530)의 내부는 (i) 커넥터(560) 내의 제1 가스 통로(579)에 의해 가압 가스 공급원(512), 및 (ii) 커넥터(560) 내의 제2 가스 통로(578)에 의해 압력 릴리프 밸브(576)(및 과압 통기구(576A))와 유체 연통된다. 커넥터(560)는 딥 튜브(550) 내에 형성된 액체 유로(552)와 유체 연통하도록 배열되며 액체 유로와 동일한 유동 면적을 가질 수 있는 액체 유로(582)를 형성하는 프로브(580)를 추가로 포함한다. 프로브(580) 내에 형성된 액체 유로(582)의 하류에, 제어 밸브(513) 및 저장소(515)(하나 이상의 레벨 센서와 같이 하나 이상의 관련 엠프티 검출 센서를 선택적으로 포함할 수 있음)가 액체-사용 공정(또는 공정 툴)(516)의 상류에 제공될 수 있다. 저장소(515)는 용기(530)와 액체-사용 공정 또는 공정 툴(516) 사이에 개재하여 배열될 수 있고, 이러한 저장소(515)는 가스의 통기를 허용하는 상부 출구 및 액체의 추출을 위한 저부 출구를 포함할 수 있다. 저장소(515)는 내부의 액체 레벨을 감지하도록 배열된 하나 이상의 레벨 센서를 선택적으로 포함할 수 있다. 상술된 엠프티 검출 요소를 보완 또는 대체하기 위해, 스케일(511)이 용기(530) 및 그 내용물의 중량을 감지하도록 제공될 수 있고, 중량의 변화는 용기(530)의 액체 내용물이 소모되거나 거의 소모될 때를 결정하는데 유용하다. 제어기(510)는 하나 이상의 센서로부터의 입력을 수신하도록 배열되고, 하나 이상의 밸브 또는 다른 유동 제어 요소의 작동을 제어하도록 배열되고, 가압 가스 공급원을 제어하도록 배열되고, 유체 분배의 시작 및 정지 등의 작동을 제어하고, 유체 유동률, 소진시 압력 분배 용기의 변화를 조정하고, 이상 조건을 작업자에게 알리고, 재료 재고 요구 조건을 관리하고, 그리고/또는 액체-사용 공정 툴의 작동을 제어하거나 영향을 주도록 배열될 수 있다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 역류 방지 요소의 개략적인 측부 단면도가 본 개시내용의 실시예에 도시된다. 도시된 실시예에서, 역류 방지 요소는 각각 개방 위치 및 폐쇄 위치에서 부유 밸브(690)의 형태이다. 액체 유로(652) 내의 부유 요소(691)는 딥 튜브(650) 또는 이의 연장부와 관련된 밸브 착좌 요소(695)와 협동하도록 배열되는 증가된 폭 상부 부분(692) 및 감소된 폭 하부 부분(693)을 포함한다. 부유 요소(692)의 유입을 방지하기 위해 선택적인 밧줄(696)이 배열될 수 있다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 액체가 액체 유로(652)에서 상향으로 유동할 때, 부유 요소(691)는 밸브 착좌 요소(695)에 대해 상향으로 올라가고, 이에 의해 부유 요소(691) 아래의 그리고 부유 요소 주변의 간극을 개방하고, 간극을 통해 액체는 딥 튜브(650)를 통과하여 용기의 내부로부터 추출될 수 있다. 반대로, 액체의 상향 유동이 중단될 때, 중력(또는 액체의 역류)은 부유 요소(691)를 액체 유로(652) 내에서 하향으로 당길 수 있고 증가된 폭 상부 부분(692)이 접촉 착좌 요소(695)와 접촉하게 하여 딥 튜브(650)로부터 관련된 용기 내로의 액체의 하향(즉, 반대의) 유동을 억제하고, 이에 의해 용기 내의 액체로의 기포의 도입을 감소시킨다.
도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 역류 방지 요소가 본 개시내용의 실시예에 도시된다. 본 서술에서, 역류 방지 요소는 각각 도 7a 및 도 7b에 개방 위치 및 폐쇄 위치로 도시되고 도 7c에서는 폐쇄 위치로 도시된 버터플라이 체크 밸브(790)의 형태이다. 측방향 지지부(797)는 딥 튜브(750)의 폭에 걸쳐 연장하고 딥 튜브(750)의 벽과 협동하도록 배열된 제1 및 제2 힌지형 반원 플랩 요소(798A-798B)를 지지한다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 액체가 액체 유로(752) 내에서 상향으로 유동할 때, 플랩 요소(798A-798B)는 개방 위치까지 상향으로 스윙 이동되고, 이에 의해 액체를 통과하는 개방 간극이 딥 튜브(750)를 통해 용기의 내부로부터 발출될 수 있다. 반대로, 액체의 상향 유동이 중단될 때, 중력(또는 액체의 역류)은 플랩(798A-798B)을 하향으로 당겨 딥 튜브(750)의 내부 벽과 접촉시키고 딥 튜브(750)로부터 관련된 용기로의 액체의 하향 유동(즉, 역류)을 억제하여 용기 내의 액체로의 기포의 도입을 감소시킨다.
도 8을 참조하면, 2개의 포트 캡(800)이 본 개시 내용의 실시예에 도시된다. 2개의 포트 캡(800)은 스커트부(804)가 현수되는 상부 부분(802)을 포함한다. 스커트부(804)는 내부 표면(806) 및 외부 표면(808)을 포함할 수 있고, 용기 네크부(331)와의 결합을 위해 그 위에 형성되는 나사산(812)을 포함할 수 있다. 상부 부분(802)은 분배 포트(814) 및 가압 포트(816)를 추가로 형성한다. 분배 포트(814)는 라이너(340)의 내부 체적(343)과 유체 연통한다. 가압 포트(816)는 용기(330)의 내부 체적(332) 및 라이너(340)의 외부 표면(342)과 유체 연통한다.
분배 포트(814) 및 가압 포트(816)는 각각 피팅부(818 및 822)를 갖는 상부 부분(802)에서 각각 종결될 수 있다. 피팅부(818 및 822)는 용기(330)로의 선택적인 액세스를 위해 예를 들어 루어 피팅부를 사용하여, 설치 또는 제거될 수 있는 캡 또는 플러그를 수용할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 하나 또는 양쪽의 피팅부(818 및 822)는 분배 포트(814) 및 가압 포트(816) 중 하나 이상의 선택적인 분리를 위한 밸브를 수용할 수 있다. 일 실시예에서, 스템부(824)는 딥 튜브(350)와 결합하거나 거의 결합하기 위해 상부 부분(802)에 현수될 수 있다. 스템부(824)는 분배 포트(814)를 형성할 수 있고, 말단부에 근접한 탄성중합체 시일(825), 예를 들어, 적당한 크기의 글랜드(gland) 내에 배치된 O-링을 포함할 수 있고, 피트먼트 리테이너(356)의 리테이너 네크부(357)과 스템부(824) 사이에 시일을 형성한다.
일 실시예에서, 2개의 포트 캡(800)은 기저부(800a) 및 폐쇄부(800b)로 분기되고, 이들 각각은 자체 상부 부분(802a 및 802b)을 각각 구비한다. 도 8에 도시된 예에서, 이러한 분기식 구성이 사용된다. 본 실시예에서, 기저부(800a)는 폐쇄부(800b) 내로 상향으로 연장되는 네크부(826)를 구비하고, 네크부(826)는 또한 용기의 내부 체적(332)과 가압 포트(816) 사이의 유체 연통을 가능하게 하는 우회부(828)를 형성한다. 폐쇄부(800b)는 예를 들어 (도시된 바와 같은) 나사 결합에 의해 기저부(800a)에 커플링될 수 있다. 탄성중합체 시일(832)은 예를 들어 도시된 바와 같이 글랜드 내에 착좌된 O-링에 의해 기저부(800a)의 상부 부분(802a)과 폐쇄부(800b) 사이에 배치될 수 있다.
기능적으로, 2개의 포트 캡(800)은 액체로 충전된 라이너(340)로부터 헤드스페이스 가스를 제거하고 저장 및 전달을 위해 헤드스페이스 가스를 질소와 같은 불활성 가스로 대체하도록 사용될 수 있다. 스템부(824)는 스템부(824)에 대한 분배 포트(814) 및 딥 튜브(350)의 외부의 영역으로부터의 격리를 위해 시일(825)을 피트먼트(341) 내로 아래로 연장시킨다. 분기된 구성은 더욱 크고 적절한 크기 기반의 캡(800a)을 제공함으로써, 도 3a 내지 도 3g의 커넥터(360)와 같이, 소형 용기에 대해 설계된 캡이 대형 용기에 대해 구성되게 한다.
작동시, 용기(330) 내에 배치된 라이너(340)가 액체로 충전되고 딥 튜브(350)가 액체 충전된 라이너(340) 내에 삽입되어 피트먼트(341)에 커플링된다. 2개의 포트 캡(800)이 용기 네크부(331)에 고정된다. 분배 포트(814)가 개방된 상태에서, 가압 포트(816)가 가압될 수 있고, 이에 의해 액체 충전된 라이너(340)가 부분적으로 접촉하게 하고 헤드스페이스 가스가 분배 포트(814)를 통해 외측으로 밀려나게 한다. 가압 포트(816)를 가압하도록 사용되는 가스는 공기 또는 불활성 가스와 같은 임의의 적절한 가스일 수 있다. 여러 실시예에서, 스템부(824)는 딥 튜브(350)의 수직 이동과 접촉하거나 수직 이동을 억제하지 않고, 따라서 딥 튜브(350)에 대해 외부에 위치된 임의의 헤드스페이스 가스는 분배 포트(814)를 통한 제거를 위해 피트먼트 리테이너(356)의 리테이너 네크부(357) 내로 배출될 수 있는 점에 유의한다.
불활성 가스 공급부가 분배 포트(814)에 연결되고 가압 포트(816)가 대기에 노출된다. 대기로의 가압 포트(816)의 노출에 의해 불활성 가스 공급부로부터의 불활성 가스가 분배 포트(814) 내로 유인될 수 있다. 일 실시예에서, 불활성 가스 공급부는 대기보다 높은 미리 정해진 압력, 예를 들어, 1 또는 2 psig 로 제어된다. 이 기술에 의해, 충전 작동 이후 라이너 내에 본래 존재하던 헤드스페이스 가스는 불활성 가스로 교체 또는 사실상 교체된다. 분배 포트(814) 및 선택적으로 가압 포트(816)는 이후 수송 및 저장을 위해 캡핑될 수 있다.
도 9를 참조하면, 3개의 포트 캡(850)이 본 개시내용의 실시예에 도시된다. 3개의 포트 캡은 동일한 번호가 부여된 참조 번호로 지시되는 2개의 포트 캡(800)과 동일한 여러 특징 및 특성을 포함할 수 있다. 추가로, 3개의 포트 캡(850)은 라이너(340)의 내부 체적(343)과 유체 연통하는 개별적인 불활성 가스 포트(852)를 포함한다. 스템부(824)를 사용하는 실시예에 대해, 불활성 가스 포트(852)가 도 9에 도시된 바와 같이 형성될 수 있다. 불활성 가스 포트(852)는 루어 피팅부와 같이 캡핑될 수 있는 피팅부(854)를 갖는 상부 부분(802)에서 종결될 수 있고, 피팅부는 라이너(340)의 내부 체적(343)에 대한 선택적 액세스를 위해 설치 또는 제거될 수 있는 캡 또는 플러그를 수용한다.
작동시, 라이너(340)는 라이너(340)가 비어 있는 상태로 용기(330) 내에 배치된다. 딥 튜브(350)가 엠프티 라이너(340) 내에 삽입되고 피트먼트(341)에 커플링된다. 3개의 포트 캡(850)이 용기 네크부(331)에 고정된다. 라이너(340)는 먼저 압력을 가압 포트(816)에 인가하여 라이너를 딥 튜브(350) 주위로 압궤시키고, 가압 포트(816)로부터 압력을 제거하고 불활성 가스 포트(852)를 통해 라이너를 팽창시킴으로써 1회 사이클(압궤 및 팽창)이 행해질 수 있다. 전형적으로, 팽창은 불활성 가스로 수행된다. 또한 불활성 가스는 낮지만 양압, 예를 들어 1 또는 2 psig, 으로 불활성 가스 포트(852)에 인가될 수 있다. 일 실시예에서, 불활성 가스 공급부는 라이너가 가스로 완전히 충전되는 것을 보장하기 위해, 이 양압에 의해 제어된다. 라이너(340)를 낮은 압력으로 가압한 이후, 라이너(340)는 분배 포트(814)를 통해 인가되는 액체로 충전된다. 일 실시예에서, 액체 충전 압력은 충전 도중 양압이 라이너(340)에 유지되는 것을 보장하기 위해 대기보다 높은 압력으로 인가되고 이에 의해 라이너(340) 내로의 대기 공기의 진입을 완화한다. 충전 작동이 완료된 이후, 분배 포트(814), 불활성 가스 포트(852), 및 선택적으로 가압 포트(816)는 수송 또는 보관을 위해 캡핑될 수 있다.
도 10을 참조하면, 라이너(340)로부터 비-불활성 가스를 충전 및 제거하기 위한 수송 프로브 조립체(870)가 본 개시내용의 실시예에 도시된다. 수송 프로브 조립체(870)는 2개의 포트 캡 및 3개의 포트 캡(800 및 850)의 기저 캡(800a)뿐 아니라 커넥터(360)(상부 커넥터 본체(370) 및 하부 커넥터 본체(362) 모두) 및 내부 리테이너(366)를 포함하는, 본 개시내용에 개시된 다른 실시예와 유사한 구성요소를 포함한다. 이들 구성요소는 동일한 번호가 부여된 참조 번호로 도 10에 지시된, 상술된 바와 동일한 여러 특징 및 특성(반드시 이들 모두가 필요한 것은 아님)을 포함한다.
추가로, 수송 프로브 조립체(870)는 분배 장치(300)의 프로브(380)(예를 들어 도 3d)를 대체할 수 있는 가스 제거 프로브(872)를 포함한다. 가스 제거 프로브(872)는 각각 커넥터(878 및 882)를 사용하여 외부에서 종결될 수 있는 액체 충전 포트(874) 및 불활성 가스 포트(876)를 형성한다. 가스 제거 프로브(872)는 프로브(380)가 도 3b의 커넥터(360) 내에 포획되는 것과 동일한 방식으로 수송 프로브 조립체(870)에 포획되고 고정된다. 가스 제거 프로브(872)는 도 3g에 도시된 바와 같이 응력 집중기(예를 들어, 리브 부분(392))를 포함한다.
기능적으로, 수송 프로브 조립체(870)는 라이너가 충전되게 하고 헤드스페이스 가스가 3개의 포트 캡(850)에 대해 위에서 설명된 바와 동일하거나 유사한 방식으로 불활성 가스로 교체되거나 제거되게 한다. 추가로, 공구 또는 분배 시스템에 대한 준비 연결이 제공되는 경우, 가스 제거 프로브(872)는 공구 또는 분배 시스템으로의 유체의 분배를 위해 사용되는 프로브와 동일한 것일 수 있다.
각각의 캡(800 및 850) 및 수송 프로브 조립체(870)는 용기(330)와 함께 피트먼트(341) 및 라이너(340)와 함께 조립체 내에 도시된다. 그러나, 각각의 캡(800 및 850), 및 수송 프로브 조립체(870)는 교환 가능한 것으로 고려될 수 있고, 따라서 각각은 용기(330), 피트먼트(341), 및 라이너(340)로부터 이격되게 제공될 수 있는 자립형 구성요소 또는 시스템을 구성되는 점이 이해된다.
본 개시내용에 개시된 실시예는 하나 이상의 이하의 유리한 기술적 효과: 액체-특히 고점성 액체의 분배시 압력 저하(또는 배압) 감소; 커넥터와 라이너-기반 용기 사이의 기계적 연결의 향상된 완전성; 분배 장치의 단순화된 제조; 액체 화합물을 함유한 라이너를 갖는 라이너-기반 압력 분배 용기 내부의 딥 튜브의 구성요소의 수송 가능화; 딥 튜브로부터의 액체 화합물의 감소된 역류(이에 의한 기포 형성 억제); (예를 들어, 라이너 없는 실시예에서의) 가압 가스에 대한 감소된 압력 요구 조건; 및 분배 용기로부터의 액체 화합물의 거의-소모의 향상된 검출을 제공한다
본 발명은 본 개시내용의 특정 양태, 특징 및 예시적인 실시예를 참조하여 본 명세서에 기술되었지만, 본 발명의 유용성은 그에 따라 제한되는 것이 아니라, 본 개시내용의 관련 기술 분야의 통상의 기술자에게 명백한 바와 같이 다양한 변형예, 변경예 및 대체예로 확장되며 그리고 이들을 포함한다. 하나 이상의 실시예(들)와 관련하여 설명된 임의의 하나 이상의 특징은 본 개시내용에서 달리 명시되지 않는 한 임의의 다른 실시예(들)의 하나 이상의 특징과 조합하도록 고려된다. 이에 따라, 이하에서 청구되는 바와 같은 본 발명은 기술사상 및 범주 내의 이러한 변형예, 변경예 및 대체예 모두를 포함하는 것으로서 넓게 이해되고 해석되어야 한다.
본 개시내용에 개시된 추가적인 특징 및 방법의 각각은 동일한 것을 제조하고 이용하기 위한 향상된 장치 및 방법을 제공하기 위해 개별적으로 또는 다른 특징 및 방법과 연계되어 사용될 수 있다. 따라서, 본 개시내용에 개시된 특징 및 방법의 조합은 본 개시내용을 가장 넓은 의미로 실행할 필요는 없고 대신에 단지 대표적인 실시예를 특별히 설명하기 위해 개시된다.
실시예에 대한 여러 변형예는 본 개시내용 판독시 관련 기술 분야의 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 예를 들어, 관련 기술 분야의 통상의 기술자는 상이한 실시예에 대해 설명된 여러 특징이 다른 특징과 함께, 또는 단독으로, 또는 상이한 조합으로 적절하게 조합될 수 있고, 조합 해제될 수 있으며, 재조합될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 마찬가지로, 위에서 설명된 여러 특징은 모두 본 개시내용의 범위 또는 기술사상에 대한 제한보다는 예시적인 실시예로로 간주되어야 한다.
관련 기술 분야의 통상의 기술자는 여러 실시예가 상술된 개별 실시예서 예시된 것보다 더 적은 특징을 포함할 수 있는 것을 인식할 것이다. 본 개시내용에 설명된 실시예는 여러 특징이 조합될 수 있는 방식들의 포괄적인 대표인 것으로 의미되지 않는다. 따라서, 실시예는 특징들의 상호 배타적인 조합이 아니며, 청구항은 관련 기술 분야의 통상의 기술자에 의해 이해되는 바와 같이 상이한 개별적인 실시예로부터 선택되는 상이한 개별 특징들의 조합을 포함할 수 있다.
본 개시내용의 명백한 기술과 대조되는 대상은 포함되지 않도록, 상술된 문헌의 참조에 의한 임의의 통합이 제한된다. 상기 문헌의 참조에 의한 임의의 통합은 상기 문헌에 포함되는 청구항이 본 개시내용에 참조로 통합되지 않도록 더욱 제한된다. 본 개시내용에 달리 명백히 포함되지 않는 한, 문헌들에 제공된 어떠한 정의들도 본 개시내용에서 참조로 통합되지 않도록, 상술된 문헌의 참조에 의한 임의의 통합이 또한 제한된다.
본 개시내용에 포함되는 "실시예(들)", "개시내용", "본 개시내용", "본 개시내용의 실시예(들)", "개시된 실시예(들)" 등의 언급은 인정된 종래기술이 아닌 본 출원의 상세한 설명(청구항 및 도면을 포함하는 본문)을 말한다.
청구항의 해석을 위해, 각각의 청구항에서 특정 용어 "~위한 수단" 또는 "~위한 단계"가 인용되지 않는 한, 35 USC. 112(f)의 조항이 적용되지 않는 점이 명확하게 의도된다.

Claims (69)

  1. 압력 분배 장치이며,
    용기 개구를 형성하는 네크부를 구비하는 강성 용기,
    용기 내에 배열되는 압궤 가능한 라이너이며, 강성 용기의 네크부 내에 또는 네크부를 따라서 배열되는 구멍-형성 라이너 피트먼트를 포함하는, 압궤 가능한 라이너,
    라이너 내에 배열되는 하향-연장 딥 튜브,
    강성 용기의 네크부에 결합되며 프로브를 구비하는 커넥터로서, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하는, 커넥터를 포함하고,
    딥 튜브의 상부 부분은 프로브의 하부 부분을 수용하도록 배열되고, 프로브의 하부 부분은 딥 튜브의 상부 부분의 외부 표면을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키도록 배열되고, 딥 튜브는 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하기 위해 피트먼트와 직접 접촉하며 프로브의 하부 부분과 직접 접촉하는, 압력 분배 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    프로브의 하부 부분의 외부 반경은 프로브의 중앙 축에 대해 기울어진 테이퍼 면을 형성하는, 압력 분배 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    강성 용기의 네크부를 따라서 위치 설정되는 피트먼트 리테이너를 더 포함하고, 피트먼트는 피트먼트 리테이너에 의해 네크부에 근접하여 보유되는, 압력 분배 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    원주방향 밀봉 요소는 피트먼트 리테이너와 밀봉식으로 결합하기 위해 프로브의 외부 벽을 따라서 배열되는, 압력 분배 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    딥 튜브의 상부 부분과 결합하는 응력 집중기를 더 포함하는, 압력 분배 장치.
  6. 라이너-기반 압력 분배 장치용 커넥터이며,
    강성 용기의 네크부의 외부 나사산형 부분과 협동하도록 배열된 내부 나사산형 측방향 벽을 구비하는 본체 구조부로서, 내부 나사산형 측방향 벽에 근접한 하부 리세스를 형성하는, 본체 구조부,
    프로브로서, 프로브는 이를 통과하는 유체 유로를 형성하고, 프로브의 하부 부분은 딥 튜브의 상부 부분과의 작동식 커플링을 위해 하부 리세스 내에 연장되고, 프로브의 하부 부분은 프로브의 중앙 축에 대해 기울어지는 테이퍼 면인, 프로브, 및
    하부 리세스와 커넥터의 외부 표면 사이의 유체 연통을 가능하게 하도록 배열된 적어도 하나의 가스 유로를 형성하는 구조부를 포함하고,
    프로브의 하부 부분은, 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 프로브와 피트먼트 사이에서 딥 튜브와 밀봉식으로 결합하도록 딥 튜브의 상부 부분의 외부 표면을 피트먼트의 내부 표면에 대해 착좌시키기 위해 딥 튜브의 상부 부분과 직접 접촉하도록 구성되는, 라이너-기반 압력 분배 장치용 커넥터.
  7. 제6항에 있어서,
    원주방향 밀봉 요소는, 커넥터가 라이너-기반 압력 분배 장치와 정합될 때 피트먼트 리테이너와 결합하기 위해 하부 부분 위쪽의 프로브의 외부 벽을 따라서 배열되는, 라이너-기반 압력 분배 장치용 커넥터.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    프로브는 딥 튜브와의 결합을 위해 프로브의 하부 부분의 외부 표면으로부터 반경방향 외측으로 연장하는 응력 집중기를 포함하는, 라이너-기반 압력 분배 장치용 커넥터.
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