JP2008311342A - 結晶酸化物半導体、及びそれを用いてなる薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インジウム及び1種以上の金属元素Mを含み、X線吸収分光法により求められる動径分布関数(RDF)において、原子間距離が0.3nmから0.36nmの間のRDFの最大値をA、原子間距離が0.1nm〜0.2nmの間のRDFの最大値をBとした場合に、0.1<A/B<1の関係を満たす結晶酸化物半導体。
【選択図】なし
Description
特に、近年における表示装置のめざましい発展に伴って液晶表示装置(LCD)、エレクトロルミネッセンス表示装置(EL)、フィールドエミッションディスプレイ(FED)等の各種表示装置において、表示装置を駆動させるスイッチング素子として、薄膜トランジスタ(TFT)が用いられている。
本発明の目的は、耐熱性、耐薬品性、長期使用時の閾値のシフト量、電界効果移動度、on−off比等の素子特性を向上させた薄膜トランジスタを提供することである。
1.インジウム及び1種以上の金属元素Mを含み、
X線吸収分光法により求められる動径分布関数(RDF)において、原子間距離が0.3nmから0.36nmの間のRDFの最大値をA、原子間距離が0.1nm〜0.2nmの間のRDFの最大値をBとした場合に、0.1<A/B<1の関係を満たす結晶酸化物半導体。
2.X線電子分光測定(XPS)における酸素2p軌道に起因する価電子帯ピーク及び伝導電子に起因するピークの間にピーク成分を含まない1に記載の結晶酸化物半導体。
3.ビックスバイト型結晶構造を示す多結晶酸化物であり、及び
電子キャリア濃度が1×1018cm−3未満である1又は2に記載の結晶酸化物半導体。
4.電子キャリア濃度の増加に伴い、電子キャリア濃度に対する電子移動度が対数的に比例して増加する範囲を有する1〜3のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
5.インジウム及び前記金属元素Mの原子比が下記式を満たす1〜4のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
M/(M+In)=0.0001〜0.13
6.前記金属元素Mが正二価の金属元素である1〜5のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
7.前記金属元素MがZnである1〜6のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
8.イオン半径が0.7〜0.92Åである正三価以上の金属元素の含有量が4000ppm以下である1〜7のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
9.インジウム及び1種以上の金属元素Mを含むターゲットを用いて、系内の水分圧を10−3Pa以下として、100℃以下の基板上にスパッタリングして非晶質酸化物半導体を成膜する工程を含む1〜8のいずれかに記載の結晶酸化物半導体の製造方法。
10.前記非晶質酸化物半導体を系内の酸素分圧21000Pa以上、及び加熱温度250℃以上で0.1〜120分間加熱処理して前記結晶性酸化物半導体を製造する9に記載の結晶酸化物半導体の製造方法。
11.1〜8のいずれかに記載の結晶酸化物半導体を活性層に用いる薄膜トランジスタ。
12.非晶質酸化物半導体をソース電極、ドレイン電極及びゲート電極に用いる11に記載の薄膜トランジスタ。
本発明によれば、耐熱性、耐薬品性、電界効果移動度、on−off比等の素子特性を向上させた薄膜トランジスタを提供することができる。
上記金属元素Mは、インジウム以外の金属元素であり、好ましくは正二価の金属元素である。
正二価の金属元素とは、イオン状態での価数として正二価を取り得る元素であり、例えばZn,Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Pd,Pt,Cu,Ag,Cd,Hg,Sm,Eu,Yb等が挙げられ、好ましくはZn,Mg,Mn,Co,Ni,Cu及びCaである。
また、これら好ましい正二価の金属元素のうち、半導体の透過率及びバンドギャップの観点からは、より好ましくはZn及びMgである。特にZnは、エッチング残渣が少ないので、さらに好ましい。
M/(M+In)が0.0001未満の場合、結晶酸化物半導体の電子キャリア濃度を1×10−17/cm3未満にすることが困難となり、M/(M+In)が0.13を超える場合、結晶酸化物半導体の製造の際の結晶化温度が高くなるおそれがある。
正三価以上の金属元素の含有量が4000ppmを超える場合、金属元素Mのインジウムへの固溶が妨げられるおそれがある。
本発明においては、酸化インジウム結晶中の金属元素Mの動径分布関数、及び酸化インジウムの動径分布関数を比較することで、酸化インジウム結晶中の金属元素Mの固溶の有無及び固溶の程度等の状態が把握できる。
金属酸化物を成膜する場合、バンドギャップ間に不純物準位ができる場合が多い。不純物準位は、不安定な構造欠損により生じ、成膜後に大気中で空気に触れた時に、金属酸化物膜表面に酸素及び水分等が吸着し、高抵抗層を形成しやすい。酸素2p軌道に起因する価電子帯ピーク及び伝導電子に起因するピークの間にピーク成分を含まない場合、このような高抵抗層は形成されない。
本発明の酸化物半導体は、ビックスバイト構造をとることでホール移動度を高くすることができる。これは、結晶酸化物半導体に含まれるインジウムの5S軌道が陵共有構造をとることによるものと推定される。また、本発明の結晶酸化物半導体が多結晶酸化物であることにより、結晶酸化物半導体を大面積かつ均一にすることができる。
尚、本発明において、上記結晶酸化物半導体の電子キャリア濃度は、室温で測定した場合の値である。室温とは例えば25℃であり、具体的には0℃〜40℃程度の範囲から適宜選択される温度である。
また、本発明の結晶酸化物半導体の電子キャリア濃度は、上記室温の全ての温度範囲において1×1018cm−3未満である必要はない。例えば、25℃において電子キャリア濃度が1×1018cm−3未満であればよい。
尚、スパッタリング法に関しては、コスパッタ、反応性スパッタ及びDC/RF重畳スパッタを利用してもよい。
成膜方法としてスパッタリング法を用いる場合、成膜時の系内の到達圧力は通常5×10−2Pa以下であり、好ましくは5×10−3Pa以下、より好ましくは5×10−4Pa以下であり、さらに好ましくは1×10−4Pa以下、最も好ましくは5×10−5Pa以下である。
到達圧力が5×10−2Paを超える場合、系内の不純物により、得られる結晶酸化物半導体の電子移動度が低下するおそれがある。
S−T距離が上記の距離であると、スパッタリング時に基板がプラズマに曝されることにより、金属元素Mの活性化が期待できる。一方、S−T距離が150mmを超える場合、成膜速度が低下し、工業化に適さないおそれがある。
加熱温度が250℃未満の場合、金属元素Mの酸化インジウムへの固溶が阻害され、キャリア制御ができないおそれがある。
図1は、本発明の薄膜トランジスタの一実施形態を示す概略断面図である。
薄膜トランジスタ1は、ガラス基板10及びゲート絶縁膜30の間にゲート電極20を挟持しており、ゲート絶縁膜30上には結晶酸化物半導体薄膜40が活性層として積層されている。さらに、結晶酸化物半導体薄膜40を覆うようにしてソース電極50及びドレイン電極52がそれぞれ設けられている。
尚、図1の薄膜トランジスタ1はボトムゲート型であるが、本発明の薄膜トランジスタはトップゲート型等種々の構成をとってもよい。
上記酸化物のうち、好ましくはSiO2,SiNx,Al2O3,Y2O3,Hf2O3,CaHfO3、より好ましくはSiO2,SiNx,Y2O3,Hf2O3,CaHfO3、特に好ましくはY2O3である。
上記酸化物の酸素数は、必ずしも化学量論比と一致していなくともよい(例えば、SiO2でもSiOxでもよい)。
非晶質酸化物半導体がインジウムを含むことにより、上記電極は非晶質であっても高い移動度が得られ易い。また、非晶質酸化物半導体がインジウムではない金属元素Nを含むことにより、非晶質酸化物半導体の非晶質状態が安定し、上記電極を均一かつ大面積とすることができる。
インジウム及び金属元素Nの原子比N/(N+In)が0.05未満の場合、上記電極が結晶化したり、ウェットエッチングの際に残渣が残るおそれがある。一方、インジウム及び金属元素Nの原子比N/(N+In)が0.5を超える場合、熱履歴により上記電極の抵抗が高くなり、電極として用いることができないおそれがある。
薄膜トランジスタ1は、好ましくはさらに全体に保護膜を備え、大気と直接接していない。
保護膜としては、SiNx、SiO2等のゲート絶縁膜と同じ材料からなる膜、又はポリイミド、パリレン等の有機絶縁膜を用いることができる。また、無機絶縁膜及び有機絶縁膜を積層及び/又は混合した保護膜でもよい。
(1)スパッタリングターゲットの製造
原料として、酸化インジウム、酸化亜鉛の粉末とを、原子比In/(In+Zn)が0.93、原子比Zn/(In+Zn)が0.07となるように混合し、この混合粉末を湿式ボールミルに供給して、72時間混合粉砕し、原料微粉末を調製した。
得られた原料微粉末を造粒し、直径10cm、厚さ5mmの寸法にプレス成形し、成形体を得た。この成形体を焼成炉に入れ、1450℃、12時間の条件で焼成し、ターゲット(焼結体)を得た。
得られたスパッタリングターゲットを、RFマグネトロンスパッタリング成膜装置に装着し、十分にベーキングを行った後、ガラス基板(コーニング1737)上に膜厚350nmの透明で多結晶である非晶質酸化物半導体薄膜を成膜した。得られた非晶質酸化物半導体薄膜が多結晶であることはX線結晶構造解析により確認した。
基板温度:25℃
到達圧力:5×10−6Pa
雰囲気ガス:Ar100%
スパッタ圧力(全圧):1×10−1Pa
投入電力:100W
成膜時間:60分間
S−T距離:100mm
水分圧:1×10−4Pa以下
(上記水分圧は、四重極質量分析器(Q−mass)を用いて測定した。)
得られた非晶質酸化物半導体薄膜を酸素分圧35000Pa(残りは窒素及びアルゴン)、300℃で、1時間加熱処理し、結晶酸化物半導体薄膜を作製した。
この結晶酸化物半導体薄膜をICP法で分析したところ、原子比で〔In/(In+Zn)〕が0.93、原子比で〔Zn/(In+Zn)〕が0.07であった。
尚、バンドギャップの測定条件は以下の通りである。
測定装置:ESCA5400(アルバック・ファイ株式会社製)
X線源:Al−Kα
ピーク基準:インジウムの3d5/2を445eVに設定
得られた結晶酸化物半導体薄膜のキャリア濃度及び電子移動度をホール測定装置(Resi Test8310、株式会社東陽テクニカ製)を用いて測定した。その結果、結晶酸化物半導体薄膜の電子キャリア濃度は9×1013cm−3であった。また、ICP発光分析によるLi、Na及びKの含有量はいずれも1000ppm以下であった。
測定温度:室温(25℃)
測定磁場:0.5T
測定電流:10−12〜10−4A
測定モード:AC磁場ホール測定
尚、動径分布関数の測定方法は以下のとおりである。
放射光施設SPring−8を使用して得られる放射光から取り出される20keVのエネルギーX線を用いて、微小角入射X線散乱法によってX線散乱測定を行い、X線散乱曲線を得た。この散乱曲線をフーリエ変換して動径分布関数を得た。
熱酸化膜付きシリコン基板上にW=40000μm,L=100μmとなるように(1)で製造したターゲットを用いて、(2)及び(3)と同じ条件でシリコン基板上に80nmの結晶酸化物半導体薄膜を成膜し、薄膜トランジスタを製造した。得られた薄膜トランジスタについて評価した。その結果、得られた薄膜トランジスタの電界効果移動度は6cm2/Vsであり、on−off比は109であった。
尚、薄膜トランジスタの電界効果移動度及びon−off比は、Keithley 4200-SCS(ケースレー・インスツルメンツ社製)を用いて伝達曲線を測定し、得られた伝達曲線についてAPPLIED PHYSICS LETTERS 89, 062103 (2006)に記載の算出方法を用いることにより算出した。
ターゲットの組成を表1に記載の組成としたほかは実施例1と同様にしてターゲットを製造した。次に、得られたターゲットを用いて、成膜条件及び熱処理条件を表1に記載の条件としたほかは実施例1と同様にして結晶酸化物半導体薄膜及び薄膜トランジスタを製造した。得られた結晶酸化物半導体薄膜及び薄膜トランジスタについて実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
また、実施例2で作製した結晶酸化物半導体薄膜の動径分布関数を図2に示す。
実施例3、4及び5で作製した結晶酸化物半導体薄膜の動径分布関数を図3に示す。
比較例1〜4で作製した結晶酸化物半導体薄膜の動径分布関数を図4に示す。
ターゲットの組成がZn/(In+Zn)=0.0001〜0.13(原子比)の範囲にあるターゲットを実施例1と同様にして16個製造した。次に、これらターゲットを用いて、実施例1と同様にして、それぞれ非晶質酸化物半導体膜を成膜した。得られた非晶質酸化物半導体薄膜が多結晶であることはX線結晶構造解析により確認した。
25000Pa、熱処理温度を約300℃及び熱処理時間を1時間とし、それぞれ結晶酸化物半導体薄膜を作製した。
これら結晶酸化物半導体薄膜について、実施例1と同様にして電子キャリア濃度及び電子移動度を測定した。結果を図5に示す。
ターゲットの組成がZn/(In+Zn)=0.0001〜0.13(原子比)の範囲にあるターゲットを比較例1と同様にして12個製造した。次に、これらターゲットを用いて、比較例1と同様にして、それぞれ非晶質酸化物半導体膜を成膜した。得られた非晶質酸化物半導体薄膜が多結晶であることはX線結晶構造解析により確認した。
20000Pa、熱処理温度を約180℃及び熱処理時間を1時間とし、それぞれ結晶酸化物半導体薄膜を作製した。
これら結晶酸化物半導体薄膜について、実施例1と同様にして電子キャリア濃度及び電子移動度を測定した。結果を図6に示す。
10 ガラス基板
20 ゲート電極
30 ゲート絶縁膜
40 結晶酸化物半導体薄膜
50 ソース電極
52 ドレイン電極
Claims (12)
- インジウム及び1種以上の金属元素Mを含み、
X線吸収分光法により求められる動径分布関数(RDF)において、原子間距離が0.3nmから0.36nmの間のRDFの最大値をA、原子間距離が0.1nm〜0.2nmの間のRDFの最大値をBとした場合に、0.1<A/B<1の関係を満たす結晶酸化物半導体。 - X線電子分光測定(XPS)における酸素2p軌道に起因する価電子帯ピーク及び伝導電子に起因するピークの間にピーク成分を含まない請求項1に記載の結晶酸化物半導体。
- ビックスバイト型結晶構造を示す多結晶酸化物であり、及び
電子キャリア濃度が1×1018cm−3未満である請求項1又は2に記載の結晶酸化物半導体。 - 電子キャリア濃度の増加に伴い、電子キャリア濃度に対する電子移動度が対数的に比例して増加する範囲を有する請求項1〜3のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
- インジウム及び前記金属元素Mの原子比が下記式を満たす請求項1〜4のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
M/(M+In)=0.0001〜0.13 - 前記金属元素Mが正二価の金属元素である請求項1〜5のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
- 前記金属元素MがZnである請求項1〜6のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
- イオン半径が0.7〜0.92Åである正三価以上の金属元素の含有量が4000ppm以下である請求項1〜7のいずれかに記載の結晶酸化物半導体。
- インジウム及び1種以上の金属元素Mを含むターゲットを用いて、系内の水分圧を10−3Pa以下として、100℃以下の基板上にスパッタリングして非晶質酸化物半導体を成膜する工程を含む請求項1〜8のいずれかに記載の結晶酸化物半導体の製造方法。
- 前記非晶質酸化物半導体を系内の酸素分圧21000Pa以上、及び加熱温度250℃以上で0.1〜120分間加熱処理して前記結晶性酸化物半導体を製造する請求項9に記載の結晶酸化物半導体の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の結晶酸化物半導体を活性層に用いる薄膜トランジスタ。
- 非晶質酸化物半導体をソース電極、ドレイン電極及びゲート電極に用いる請求項11に記載の薄膜トランジスタ。
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