JP2008302487A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008302487A5 JP2008302487A5 JP2007153922A JP2007153922A JP2008302487A5 JP 2008302487 A5 JP2008302487 A5 JP 2008302487A5 JP 2007153922 A JP2007153922 A JP 2007153922A JP 2007153922 A JP2007153922 A JP 2007153922A JP 2008302487 A5 JP2008302487 A5 JP 2008302487A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- substrate
- unit
- rectangular substrate
- base point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 53
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007153922A JP2008302487A (ja) | 2007-06-11 | 2007-06-11 | 基板吸着装置及び基板搬送装置並びに外観検査装置 |
KR1020080052407A KR20080108904A (ko) | 2007-06-11 | 2008-06-04 | 기판 흡착 장치, 기판 반송 장치 및 외관 검사 장치 |
CNA2008101089197A CN101323396A (zh) | 2007-06-11 | 2008-06-06 | 基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置 |
TW097121524A TW200906695A (en) | 2007-06-11 | 2008-06-10 | Substrate adsorption device, substrate transportation device and external inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007153922A JP2008302487A (ja) | 2007-06-11 | 2007-06-11 | 基板吸着装置及び基板搬送装置並びに外観検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008302487A JP2008302487A (ja) | 2008-12-18 |
JP2008302487A5 true JP2008302487A5 (ru) | 2010-07-01 |
Family
ID=40187135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007153922A Pending JP2008302487A (ja) | 2007-06-11 | 2007-06-11 | 基板吸着装置及び基板搬送装置並びに外観検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008302487A (ru) |
KR (1) | KR20080108904A (ru) |
CN (1) | CN101323396A (ru) |
TW (1) | TW200906695A (ru) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI465313B (zh) * | 2009-04-07 | 2014-12-21 | Kromax Internat Corp | 非接觸式定位平臺與定位方法 |
KR101906129B1 (ko) * | 2009-11-26 | 2018-10-08 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 장치 및 표시 소자의 제조 방법 |
KR101309144B1 (ko) * | 2011-01-10 | 2013-09-17 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 분사노즐, 이를 이용한 기판 반송장치 및 기판 검사장치 |
JP5931409B2 (ja) * | 2011-11-14 | 2016-06-08 | 川崎重工業株式会社 | 板材の搬送システム |
KR102099882B1 (ko) * | 2012-12-27 | 2020-04-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
CN104058257B (zh) * | 2013-03-22 | 2017-07-04 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 晶片的辅助取片机构、取片系统及取片方法 |
JP6280805B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2018-02-14 | 平田機工株式会社 | ワーク形状測定システム及び制御方法 |
WO2015170208A1 (en) * | 2014-05-03 | 2015-11-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film-like member support apparatus |
CN105058401A (zh) * | 2015-08-07 | 2015-11-18 | 天津联欣盈塑胶科技有限公司 | 一种夹取塑料产品的机械手 |
ES2948058T3 (es) | 2015-08-26 | 2023-08-30 | Berkshire Grey Operating Company Inc | Sistemas y métodos para proporcionar conjuntos de válvula de vacío para efectores finales |
CN105397828B (zh) * | 2015-11-27 | 2017-03-29 | 大连理工大学 | 一种用于管桩端板加工的大尺寸变直径机器人夹具 |
CN105428290B (zh) * | 2015-12-23 | 2018-06-29 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 晶圆传输装置及其真空吸附机械手 |
US9776809B1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-03 | Core Flow Ltd. | Conveying system with vacuum wheel |
TWI648211B (zh) * | 2016-12-20 | 2019-01-21 | 亞智科技股份有限公司 | 吸取基板的方法與吸取裝置 |
CN106927258A (zh) * | 2017-01-26 | 2017-07-07 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法 |
CN108238447A (zh) * | 2018-01-16 | 2018-07-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传输系统 |
TW202301531A (zh) * | 2021-03-25 | 2023-01-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板搬送裝置、塗佈處理裝置、基板搬送方法及基板搬送程式 |
TW202306651A (zh) * | 2021-03-31 | 2023-02-16 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板搬送裝置、塗佈處理裝置及基板搬送方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101055911B1 (ko) * | 2003-05-06 | 2011-08-10 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 기판 흡착 장치 |
-
2007
- 2007-06-11 JP JP2007153922A patent/JP2008302487A/ja active Pending
-
2008
- 2008-06-04 KR KR1020080052407A patent/KR20080108904A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-06-06 CN CNA2008101089197A patent/CN101323396A/zh active Pending
- 2008-06-10 TW TW097121524A patent/TW200906695A/zh unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008302487A5 (ru) | ||
KR101830598B1 (ko) | 기판 처리 시스템 및 기판 반전 장치 | |
JP2006269498A5 (ru) | ||
JP6875722B2 (ja) | 基板加工装置 | |
JP2019091883A (ja) | ウェハ位置決め及び載置システム | |
CN109835708B (zh) | Pcb自动翻板机及其板居中工艺 | |
CN209888372U (zh) | 玻璃自动丝印机 | |
JP2016513592A5 (ru) | ||
JP5006411B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
TW200800754A (en) | Transfer robot | |
JP2007248291A5 (ru) | ||
JP2010021292A (ja) | 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム | |
KR20160001603A (ko) | 취성재료 기판의 반송방법 및 반송장치 | |
JP2007099466A5 (ru) | ||
KR101228002B1 (ko) | 박판 이송 장치, 박판 처리 이송 시스템 및 박판 이송 방법 | |
JP5076697B2 (ja) | 薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法 | |
KR20150068575A (ko) | 기판 파지, 이송장치 및 이를 이용한 이송방법 | |
JP2006327819A (ja) | ガラス板の移載装置および移載方法 | |
JP2020082243A (ja) | 搬送設備 | |
JPH08337329A (ja) | 板材の搬送方法およびその装置並びに載置台 | |
JP6473987B2 (ja) | リフト装置及びリフト装置を備えた搬送装置 | |
JP2009026782A (ja) | 薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法 | |
JP2539911Y2 (ja) | 自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機 | |
KR101054311B1 (ko) | 스페이서바의 적재 및 이송장치 | |
JP6034669B2 (ja) | シート搬送装置 |