TWI648211B - 吸取基板的方法與吸取裝置 - Google Patents

Abstract

一種吸取基板的方法，包括以下步驟。判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，吸取基板的方法包含以下步驟。藉由控制器傳輸運動訊號至機械手臂，使機械手臂朝向基板作弧形運動，判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸前進訊號至機械手臂，使機械手臂朝基板的方向移動，接著，判斷機械手臂是否吸附基板。此外，一種吸取裝置亦被提出。

Description

吸取基板的方法與吸取裝置

本發明是有關於一種輸送方法與輸送裝置，且特別是有關於一種吸取基板的方法與吸取裝置。

於現代高科技產業的製造的過程中，基板需要經過多道加工程序，例如清洗、蝕刻、塗佈、顯影等，因此會採用吸附式移載設備以將基板輸送至不同加工處或者置放處進行加工或等待下一道製程，而吸附式移載設備通常以機械手臂(robot)中的吸附元件來吸附並移載基板。

一般而言，受熱後的直立式基板若出現不同程度的彎曲變形，則後續先吸附後移載基板的機械手臂，將會產生機械手臂無法在原本預定的位置抓取基板的問題。針對此問題，在習知技藝中，有透過重覆抓取(retry)的方式來抓取基板，並於重覆抓取特定次數(如3次)皆吸附不到基板，停止作動機械手臂，並傳輸異常通知。在另一習知技藝中，若機械手臂吸附不到基板，則機械手臂的整體吸附面朝基板的方向移動第一距離，若機械手臂仍吸附不到基板，機械手臂的整體吸附面再朝基板的方向移動第二距離，同理，若機械手臂繼續吸附不到基板，則機械手臂的整體吸附面朝基板的方向移動第三距離，此時，若仍吸附不到基板，停止作動機械 手臂，並傳輸異常通知。

然，上述習知技藝的作動方式不僅吸附基板的效率較低，且機械手臂的整體吸附面向基板方向移動的作動方式，容易在機械手臂移動同時因機械手臂的整體吸附面過度施壓在基板上而造成基板破損。

本發明的一目的在於，提高吸附並移載基板的效率，且避免造成基板破損的問題產生。

本發明的一實施例提出一種吸取基板的方法，用於一吸取裝置吸取一基板。吸取裝置包含一機械手臂、複數個吸附組件以及一控制器。複數個吸附組件設置於機械手臂的一吸附面上，控制器訊號連接機械手臂，吸取基板的方法包括以下步驟。判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，包含以下步驟。藉由控制器傳輸一運動訊號至機械手臂，使機械手臂朝向基板作一弧形運動(swim)，接著，判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸一前進訊號至機械手臂，使機械手臂朝基板的方向移動，接著，判斷機械手臂是否吸附基板。

本發明的一實施例提出一種吸取基板的方法，用於一吸取裝置吸取一基板。吸取裝置包含一機械手臂、複數個吸附組件、以及一控制器。複數個吸附組件設置於機械手臂的一吸附面上，控制器訊號連接機械手臂，吸取基板的方法包括以下步驟。判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，控制器對機械手臂傳輸一擺動訊號，包含以下步驟。判斷機械手臂是否吸附基板，若機械手臂未吸附基板，包含以下步驟。藉 由控制器傳輸一前進訊號至機械手臂，使機械手臂朝基板的方向移動，接著判斷機械手臂是否吸附基板。若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸一運動訊號至機械手臂，使機械手臂朝向基板作一弧形運動，接著，判斷機械手臂是否吸附基板。

本發明的一實施例提出一種吸取裝置，用以吸取一基板，吸取裝置包括一控制器以及一機械手臂。機械手臂訊號連接控制器。若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸一運動訊號至機械手臂，使機械手臂朝向基板作一弧形運動。若未吸附基板，藉由控制器傳輸一前進訊號至機械手臂，使機械手臂朝基板的方向移動。

本發明的一實施例提出一種吸取裝置，用以吸取一基板，吸取裝置包括一控制器以及一機械手臂。機械手臂訊號連接控制器，若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸一前進訊號至機械手臂，使機械手臂朝基板的方向移動。若機械手臂未吸附基板，藉由控制器傳輸一運動訊號至機械手臂，使機械手臂朝向基板作一弧形運動。

基於上述，在本發明的吸取基板的方法及吸取裝置中，判斷機械手臂未吸附基板時，機械手臂朝向基板作弧形運動來提高吸附基板的效率，並降低因機械手臂過度施壓在基板的影響，進而降低基板破損的機率。

100、200‧‧‧吸取裝置

110‧‧‧控制器

120‧‧‧機械手臂

120A‧‧‧頂端

120B‧‧‧側緣

120C‧‧‧底端

122‧‧‧吸附面

124‧‧‧邊緣側

130、131、132‧‧‧吸附組件

140‧‧‧負壓偵測元件

250‧‧‧吹氣裝置

20‧‧‧基板

22‧‧‧中央區

24‧‧‧邊緣區

40‧‧‧載具

42‧‧‧凹槽

A1‧‧‧第一軸

A2‧‧‧第二軸

A3‧‧‧第三軸

S1‧‧‧移動機械手臂訊號

S2‧‧‧運動訊號

S3‧‧‧前進訊號

S4‧‧‧異常通知訊號

S5‧‧‧前進訊號

S6‧‧‧氣流訊號

S11‧‧‧移動基板訊號

S100、S200、S300、S400‧‧‧吸取基板的方法

S110~S190‧‧‧步驟

S122~S126‧‧‧步驟

S230~S232‧‧‧步驟

S330~S360‧‧‧步驟

S440、S460‧‧‧步驟

圖1為本發明的吸取裝置的示意圖。

圖2為圖1吸取裝置一實施例的示意圖。

圖3為圖2吸取裝置另一視角的示意圖。

圖4為本發明的吸取裝置一實施例的示意圖。

圖5為本發明的吸取基板的方法一實施例的流程圖。

圖6為圖5中判斷機械手臂是否吸附基板的流程圖。

圖7至圖10為圖5對應至本發明的吸取裝置一過程的示意圖。

圖11為本發明的吸取基板的方法另一實施例的流程圖。

圖12為本發明的吸取基板的方法又一實施例的流程圖。

圖13為對應圖12所示的一過程的示意圖。

圖14為本發明的吸取基板的方法再一實施例的流程圖。

以下結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本發明的技術方案，而不能以此限制本發明的保護範圍。

圖1為本發明的吸取裝置的示意圖。請參閱圖1。本實施例的吸取裝置100包括一控制器110以及一機械手臂120。機械手臂120訊號連接控制器110。控制器110能依據不同情況對機械手臂120傳輸如移動機械手臂訊號S1、運動訊號S2、前進訊號S3、異常通知訊號S4、前進訊號S5及移動基板訊號S11等訊號，使機械手臂120根據訊號來執行相對應的動作。吸取裝置100用以吸取一基板(圖1未繪示)，若機械手臂120未吸附基板時，控制器110能對機械手臂120傳輸如運動訊號S2及前進訊號S3之訊號，以使機械 手臂120朝基板的方向作動，藉此提高吸附並移載基板的效率。以下藉由圖2及圖3來詳細說明本實施例吸取裝置100的細部構件。

圖2為圖1吸取裝置一實施例的示意圖。圖3為圖2吸取裝置另一視角的示意圖。請參閱圖2及圖3。在本實施例中，吸取裝置100包括一控制器110、一機械手臂120、複數個吸附組件130以及一負壓偵測元件140。在一實施例中，吸取裝置100用以吸取基板20並將基板20移載至如圖3所示的載具(carrier)40的一凹槽42內。然，在其他實施例中，可端視基板所欲進行的後續製程，吸取裝置100可將基板移動至對應的位置處。

在本實施例中，機械手臂120例如為一叉型(fork)手臂，但本發明不對此機械手臂的型態加以限制，機械手臂120具有一頂端120A、相對的兩側緣120B、一底端120C、一吸附面122、至少一邊緣側124、一第一軸A1、一第二軸A2與一第三軸A3。機械手臂120的頂端120A、相對兩側緣120B與底端120C大致構成機械手臂120的吸附面122外側周緣輪廓，然本發明不以此為限，端視實際機械手臂的態樣，可將吸附面設計成如圓形、長方形或矩形等不同形狀。

邊緣側124為指吸附面122上的周邊緣位置，第一軸A1垂直於吸附面122，第二軸A2與第三軸A3平行於吸附面122且第二軸A2垂直於第三軸A3，第二軸A2與第三軸A3分別垂直於第一軸A1。以本實施例為例，機械手臂120的移動方向平行於第一軸A1，換言之，機械手臂120能沿第一軸A1的方向移動並接近至基板20，而機械手臂120的吸附面122能以第二軸A2及/或第三軸A3為軸心來朝基板20旋轉。

在本實施例中，吸附組件130設置於機械手臂120的吸附面 122上，以圖2而言，有9個吸附組件130配置於機械手臂120的吸附面122上，這9個吸附組件130例如是藉由管路(未繪示)來彼此連通至一負壓源(未繪示)，藉此，負壓源提供負壓至吸附組件130，使吸附組件130能吸附基板20。而吸附組件130例如為吸盤且具有一吸附口，於其他實施例中，吸附組件130亦可為一吸嘴或其他能吸取基板的構件，然本發明不對吸附組件的數目及型態加以限制，端視實際所欲吸取基板的尺寸規格與機械手臂的型態而可擇定吸附組件的數目及配置型態。

在本實施例中，負壓偵測元件140連通於吸附組件130，且負壓偵測元件140訊號連接控制器110。負壓偵測元件140用以偵測吸附組件130中之壓力是否達一閥值以判斷機械手臂120是否吸附基板。需說明的是，在此不限制閥值的數值，閥值的大小能端視實際所欲吸附基板的尺寸規格、機械手臂的型態與吸附組件配置於機械手臂的型態而定。

圖4為本發明的吸取裝置一實施例的示意圖。請參閱圖4，需說明的是，圖4的吸取裝置200與圖2及圖3的吸取裝置100相似，其中相同的元件以相同的標號表示且具有相同的功效而不再重複說明，以下僅說明差異處。

圖4與圖2及圖3的不同之處在於，吸取裝置200包括一吹氣裝置250，基板20位於吸附組件130與吹氣裝置250之間，吹氣裝置250訊號連接控制器110，由控制器110傳輸一氣流訊號S6至吹氣裝置250，吹氣裝置250朝基板20提供一氣流。

圖5為本發明的吸取基板的方法一實施例的流程圖。圖6為圖5中判斷機械手臂是否吸附基板的流程圖。圖7至圖10為圖5對應至本發明的 吸取裝置一過程的示意圖。需說明的是，為了便於說明，圖7至圖10的吸取裝置只畫出機械手臂120與基板20，吸取裝置詳細構件可參照圖2與圖3。請先參閱圖5。本實施例的吸取基板的方法S100，用於如圖1至圖3所示吸取裝置100。吸取基板的方法S100包括以下步驟S110~S190。

首先，進行步驟S110，藉由控制器110傳輸一移動機械手臂訊號S1至機械手臂120，以移動機械手臂120接近至基板20。當機械手臂120接近於基板20時，機械手臂120會藉由吸附組件130來吸取基板20。

進行步驟S120，判斷機械手臂120是否吸附基板20。當移動機械手臂120接近至基板20時，如何判斷機械手臂120是否吸附基板20包含以下步驟S122~步驟S126，如圖6所示。首先，進行步驟S122，開啟負壓偵測元件140。接著，進行步驟S124，藉由負壓偵測元件140偵測複數個吸附組件130中之壓力是否達一閥值。若達閥值，則判斷機械手臂120吸附基板20。

請復參閱圖5，若於步驟S120中，判斷機械手臂120吸附基板20，則進行步驟S190，藉由控制器110傳輸一移動基板訊號S11至機械手臂120，以移動基板20。以圖7為例，若經由前述步驟S122~步驟S126判斷基板20被機械手臂120所吸附，接著進行步驟S190，機械手臂120則會移動基板20至載具40的凹槽42內存放。然，在其他實施例中，可端視基板所欲進行的後續製程，而可藉由前述步驟S190將基板移動至對應的位置處。

若於步驟S120中，判斷機械手臂120未吸附基板20。接著，進行步驟S140，藉由控制器110傳輸一運動訊號S2至機械手臂120，使機械手臂120朝向基板20作一弧形運動(swim)。在一實施例中，所述弧形運動以 圖8為例，機械手臂120之吸附面122以第二軸A2為軸心朝基板20旋轉，使得機械手臂120的一頂端120A朝向基板20作一弧形擺動的軌跡。

進一步來說，基板20包含一中央區22與一邊緣區24，邊緣區24位於中央區22的周緣。在一實施例中，邊緣區24例如為基板20上不需製程或較少製程的區域，中央區22例如為基板20上需要完整製程或較多製程的區域，其中中央區22在製程並裁切後，可作為顯示基板、觸控基板、太陽能基板、電路板等電子裝置。

以基板20的角度而言，弧形運動係為機械手臂120之吸附面122以第二軸A2為軸心擺動，使機械手臂120的一頂端120A朝基板20的邊緣區24移動，而形成弧形軌跡。以機械手臂120的角度而言，弧形運動係為機械手臂120之吸附面122以第二軸A2為軸心擺動，使機械手臂120的邊緣側124朝基板20的方向移動，而形成弧形軌跡。

在另一實施例中，所述弧形運動以圖9為例，機械手臂120之吸附面122以第三軸A3為軸心朝基板20旋轉，形成弧形軌跡。進一步來說，弧形運動係為機械手臂120之吸附面122以第三軸A3為軸心擺動，使得機械手臂120相對兩側緣120B分別依序朝向基板20的兩側緣移動，形成一左右擺動的弧形軌跡。

上述機械手臂120朝向基板20作弧形運動均可以提高機械手臂120吸附基板20的成功率，然本發明不對此加以限制，在又一實施例中，弧形運動係為機械手臂120之吸附面122以第二軸A2及第三軸A3為軸心朝基板20旋轉。舉例而言，機械手臂120之吸附面122先以第三軸A3為軸心擺動，使得機械手臂120相對兩側緣120B中的一側緣120B朝向基板20的一側緣 移動，接著，機械手臂120之吸附面122再以第二軸A2為軸心擺動，使機械手臂120的頂端120A朝基板20移動，而後，機械手臂120之吸附面122再換由第三軸A3為軸心擺動，並讓機械手臂120相對兩側緣120B中的另一側緣120B朝向基板20的另一側緣移動，故機械手臂120能在基板20周緣側形成一弧形擺動的軌跡。在此作動之下，機械手臂120朝向基板20作弧形移動的軌跡，亦即讓機械手臂120的邊緣(頂端120A及兩側緣120B)朝基板20的方向形成弧形移動的軌跡，除了能提升機械手臂120吸附基板20的成功率以外，由於機械手臂120並非以整體吸附面122去碰觸基板20，故能降低因機械手臂120的吸附面122過度施壓在基板20的影響，進而降低基板20破損的機率。

進行步驟S140後，接著，進行步驟S150，判斷機械手臂120是否吸附基板20。而步驟S150判斷的流程如同前述步驟S120及圖6所示，若於步驟S150中，判斷機械手臂120吸附至基板20，則進行步驟S190，藉由控制器110傳輸移動基板訊號S11至機械手臂120，以移動基板20(如前述圖7為例)。

若在上述步驟S150中，判斷機械手臂120未吸附基板20，接著，進行步驟S160，藉由控制器110傳輸一前進訊號S3至機械手臂120，使機械手臂120朝基板20的方向移動，如圖10所示，所述前進訊號S3係為讓機械手臂120沿著第一軸A1的方向朝基板20移動一距離，藉以接近至基板20，其中機械手臂的移動距離的範圍可依據實際機械手臂與基板的實際距離而可調整。

進行步驟S160後，接著，進行步驟S170，判斷機械手臂120是否吸附基板20。而步驟S170判斷的流程如同前述步驟S120及圖6所示，若 於步驟S170中，判斷機械手臂120吸附基板20，則進行步驟S190，藉由控制器110傳輸移動基板訊號S11至機械手臂120，以移動基板20(如前述圖7為例)。然而，若於步驟S170中判斷機械手臂120仍未吸附基板20，則進行步驟S180，此時控制器110傳輸一異常通知訊號S4至吸取裝置100，停止機械手臂120的動作。換言之，本實施例的吸取基板的方法S100於判斷機械手臂120未吸附基板20時，藉由先進行步驟S140而再進行步驟S160過程中判斷機械手臂120是否有吸附基板20，若進行步驟S140及步驟S160後機械手臂120仍未吸附基板20，則停止機械手臂120的動作，換言之，本實施例是進行一次的步驟S140及步驟S160。當然，在其他實施例中，吸取基板的方法可視實際所欲吸取基板的尺寸規格、機械手臂與基板之間的距離以及機械手臂的型態來擇定重複兩次以上的步驟S140及步驟S160。

圖11為本發明的吸取基板的方法另一實施例的流程圖。請參閱圖11。本實施例的吸取基板的方法S200，用於如圖1至圖3所示吸取裝置100。需說明的是，圖11的吸取基板的方法S200與圖5的吸取基板的方法S100相似，其中相同的步驟流程以相同的標號表示且具有相同的功效而不再重複說明，以下僅說明差異處。

圖11與圖5的不同之處在於，在進行機械手臂120朝向基板20作弧形運動的步驟S140之前，吸取基板的方法S200包含以下步驟S230~步驟S232。進行步驟S230，由控制器110傳輸前進訊號S5至機械手臂120，使機械手臂120朝基板的方向移動(如圖10所示)，換言之，本實施例在判斷機械手臂120未吸附基板20時，會先讓機械手臂120沿著第一軸A1的方向朝基板120移動一距離，藉此降低機械手臂120與基板20的相對距離，接著藉由步 驟S140中機械手臂120朝向基板作弧形運動，來提高機械手臂120吸附基板20的成功率。當然，在其他實施例中，吸取基板的方法中於步驟S140之前，可視實際所欲吸取基板的尺寸規格、機械手臂與基板之間的距離以及機械手臂的型態來擇定步驟S230中機械手臂的移動距離的範圍，或者重複兩次以上的步驟230。

圖12為本發明的吸取基板的方法又一實施例的流程圖。請參閱圖12。本實施例的吸取基板的方法S300，用於如圖4所示吸取裝置200。需說明的是，圖12的吸取基板的方法S300與圖11的吸取基板的方法S200相似，其中相同的步驟流程以相同的標號表示且具有相同的功效而不再重複說明，以下僅說明差異處。

圖12與圖11的不同之處在於，在本實施例中，於步驟S120、步驟S232與步驟S150中判斷機械手臂120未吸附基板20時，由控制器110傳輸一氣流訊號S6至吹氣裝置250，吹氣裝置250朝基板20提供一氣流，在此不限制吹氣裝置的型態。

在一實施例中，吸取基板的方法S300更可搭配如圖11所示的相對應的步驟，換言之，於步驟S120中判斷機械手臂120未吸附基板20時，除了能進行如圖11所示相對應的步驟S230以外，也能選擇性地同時或依序搭配進行如圖12所示由控制器110傳輸氣流訊號S6至吹氣裝置250的步驟S330。同理，於步驟S232與步驟S150判斷機械手臂120未吸附基板20時，除了能進行如圖11所示相對應的步驟S140與S160以外，也能選擇性地同時或依序搭配進行如圖12所示相對應的步驟S340與步驟S360。

舉例而言，如圖13所示，圖13為對應圖12所示的一過程的示 意圖。需說明的是，為了便於說明，圖13的吸取裝置只畫出機械手臂120、基板20與吹氣裝置250，吸取裝置詳細構件可參照圖4。並且，為了區分吸附組件的不同，圖13中鄰近於機械手臂120邊緣側124為吸附組件132，且吸附組件132的位置對應至基板20的邊緣區24的位置，而吸附組件132則位於吸附組件131的周緣，且吸附組件131的位置對應至基板20的中央區22的位置，當機械手臂120吸附基板20時，基板20的邊緣區24會被吸附組件132所吸附，而基板20的中央區22會被吸附組件131所吸附。此外，圖13中的基板20例如為一彎曲變形的基板，使得基板20的中央區22遠離吸附組件131。

在一實施例中，進行步驟S230及/或步驟S330後，若於步驟S232判斷機械手臂120未吸附基板232，接著，進行步驟S140與步驟S340，在此步驟流程之下，藉由步驟S140來提高吸附並移載基板20的效率，使得吸附組件132吸取基板20的邊緣區24，且避免造成基板20破損的問題產生。此外，藉由步驟S340，使吹氣裝置250提供氣流至基板20的中央區22，讓基板20的中央區22能沿第一軸A1的方向移動並逐漸接近機械手臂120，以降低基板20彎曲變形程度，藉此提升吸附組件131吸附基板20的中央區22的成功率，進而讓吸附組件131、132確實吸附到基板20大部分的面積，使吸取裝置200移載基板20時能有效地固持基板20，來降低後續吸取裝置200移載基板20掉落而毀損的機率。當然，在其他實施例中，吸取基板的方法S300可視實際所欲吸取基板的尺寸規格、基板的變形情況、機械手臂與基板之間的距離以及機械手臂的型態來擇定吹氣裝置250朝基板20提供氣流的步驟次數，亦可選擇性地在同一或不同步驟順序上搭配如圖11所示步驟S230、步驟S140與步驟S160。

附帶一提的是，在一實施例中，圖5於步驟S120與步驟S150中判斷機械手臂120未吸附基板20時，除了能進行相對應的步驟S140與步驟S160以外，也同時或依序進行如圖12相對應的步驟S340與S360，更有助於提升整體機械手臂120吸附基板20的效率。

圖14為本發明的吸取基板的方法再一實施例的流程圖。請參閱圖14。本實施例的吸取基板的方法S400，用於如圖1至圖3所示吸取裝置100。需說明的是，圖14的吸取基板的方法S400與圖5的吸取基板的方法S100相似，其中相同的步驟流程以相同的標號表示且具有相同的功效而不再重複說明，以下僅說明差異處。

圖14與圖5的不同之處在於，於步驟S120中判斷機械手臂120未吸附基板20時，先進行步驟S440，藉由控制器110傳輸一前進訊號S3至機械手臂120，使機械手臂120朝基板20的方向移動，而此步驟S440類同前述圖5中的步驟S160，在此不重複贅述。接著，若於步驟S150判斷機械手臂未吸附基板20時，進行步驟S460，藉由控制器110傳輸一運動訊號S2至機械手臂120，使機械手臂120朝向基板作一弧形運動，而此步驟S460類同前述圖5中的步驟S140，在此不重複贅述。換句話說，圖14中的吸取基板的方法S400於第一次判斷機械手臂120未吸附基板20時，先讓機械手臂120沿著第一軸A1的方向朝基板20移動一距離，接著，若再判斷朝基板20移動一距離的機械手臂120仍未吸附基板20，才讓機械手臂120朝向基板20作弧形運動。當然，於進一步實施例中，可視實際所欲吸取基板的尺寸規格、基板的變形情況、機械手臂與基板之間的距離以及機械手臂的型態來搭配如圖4、圖12及圖13所示的吹氣裝置及步驟。

綜上所述，在本發明的吸取基板的方法及吸取裝置中，判斷機械手臂未吸附基板時，機械手臂朝向基板作弧形運動，使機械手臂之吸附面以弧形移動的軌跡來吸附基板，除了能提升機械手臂吸附基板的成功率以外，由於機械手臂並非以整體吸附面去碰觸基板，故能降低因機械手臂的吸附面過度施壓在基板的影響，進而降低基板破損的機率。

再者，在一實施例中，本發明能選擇性地可在上述機械手臂朝向基板作弧形運動步驟前或後，搭配使機械手臂朝基板的方向移動一距離的步驟，降低機械手臂與基板的相對距離，藉此提升整體機械手臂吸附基板的效率。

此外，本發明藉由提供一氣流至基板的中央區，使基板的中央區朝機械手臂移動，以降低基板彎曲變形程度，提升機械手臂中的吸附組件吸附基板的中央區的成功率。

進一步地，本發明可視實際所欲吸取基板的尺寸規格、機械手臂與基板之間的距離以及機械手臂的型態，來擇定機械手臂朝基板作弧形運動或朝基板的方向移動一距離的步驟順序與次數。更甚者，本發明視實際基板彎曲變形的狀況來搭配前述提供氣流的步驟，藉此因應不同需求狀況而讓機械手臂吸取基板。

以上所述，乃僅記載本發明為呈現解決問題所採用的技術手段的較佳實施方式或實施例而已，並非用來限定本發明專利實施的範圍。即凡與本發明專利申請範圍文義相符，或依本發明專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

Claims (26)

1. 一種吸取基板的方法，用於一吸取裝置吸取一基板，該吸取裝置包含一機械手臂、複數個吸附組件以及一控制器，該複數個吸附組件設置於該機械手臂的一吸附面上，該控制器訊號連接該機械手臂，該吸取基板的方法包括以下步驟：判斷該機械手臂是否吸附該基板；以及若該機械手臂未吸附該基板，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一運動訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝向該基板作一弧形運動(swim)並吸附該基板，其中該基板包含一邊緣區與一中央區，該邊緣區位於該中央區的周緣，該弧形運動係為該機械手臂朝該基板的該邊緣區移動；判斷該機械手臂是否吸附該基板；若該機械手臂未吸附該基板，藉由該控制器傳輸一前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝該基板的方向移動並吸附該基板；以及判斷該機械手臂是否吸附該基板。
2. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中該機械手臂具有一第一軸、一第二軸、一第三軸以及該吸附面，該第一軸垂直於該吸附面，該第二軸與該第三軸平行於該吸附面，該弧形運動係為該機械手臂之該吸附面以該第二軸及/或該第三軸為軸心朝該基板旋轉，所述機械手臂朝該基板的方向移動為該機械手臂沿著該第一軸的方向朝該基板移動。
3. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中該機械手臂具有至少一邊緣側，該弧形運動係為該機械手臂的該至少一邊緣側朝該基板的方向移動。
4. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中進行判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟之前，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一移動機械手臂訊號至機械手臂，使該機械手臂朝該基板的方向移動。
5. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中該吸取裝置包含一負壓偵測元件，該複數個吸附組件連通於該負壓偵測元件，所述判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟，包含以下步驟：開啟該負壓偵測元件；藉由該負壓偵測元件偵測該複數個吸附組件中之壓力是否達一閥值；以及若達該閥值，判斷該機械手臂吸附該基板。
6. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中進行該機械手臂朝向該基板作該弧形運動的步驟之前，包含以下步驟：由該控制器傳輸該前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂朝該基板的方向移動。
7. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中該吸取裝置包含一吹氣裝置，該吹氣裝置訊號連接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步驟：由該控制器傳輸一氣流訊號至該吹氣裝置，該吹氣裝置朝該基板提供一氣流。
8. 如申請專利範圍第1項所述之吸取基板的方法，其中判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟中，判斷該機械手臂吸附該基板，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一移動基板訊號至該機械手臂，以移動該基板。
9. 一種吸取基板的方法，用於一吸取裝置吸取一基板，該吸取裝置包含一機械手臂、複數個吸附組件以及一控制器，該複數個吸附組件設置於該機械手臂的一吸附面上，該控制器訊號連接該機械手臂，該吸取基板的方法包括以下步驟：判斷該機械手臂是否吸附該基板；以及若該機械手臂未吸附該基板，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝該基板的方向移動並吸附該基板；判斷該機械手臂是否吸附該基板；若該機械手臂未吸附該基板，藉由該控制器傳輸一運動訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝向該基板作一弧形運動並吸附該基板，其中該基板包含一邊緣區與一中央區，該邊緣區位於該中央區的周緣，該弧形運動係為該機械手臂朝該基板的該邊緣區移動；以及判斷該機械手臂是否吸附該基板。
10. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中該機械手臂具有一第一軸、一第二軸、一第三軸以及該吸附面，該第一軸垂直於該吸附面，該第二軸與該第三軸平行於該吸附面，該弧形運動係為該機械手臂之該吸附面以該第二軸及/或該第三軸為軸心朝該基板旋轉，所述機械手臂朝該基板的方向移動為該機械手臂沿著該第一軸的方向朝該基板移動。
11. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中該機械手臂具有至少一邊緣側，該弧形運動係為該機械手臂的該至少一邊緣側朝該基板的方向移動。
12. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中進行判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟之前，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一移動機械手臂訊號至機械手臂，使該機械手臂朝該基板的方向移動。
13. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中該吸取裝置包含一負壓偵測元件，該複數個吸附組件連通於該負壓偵測元件，其中所述判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟，包含以下步驟：開啟該負壓偵測元件；藉由該負壓偵測元件偵測該複數個吸附組件中之壓力是否達一閥值；以及若達該閥值，判斷該機械手臂吸附該基板。
14. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中進行該機械手臂朝向該基板作該弧形運動的步驟之前，包含以下步驟：由該控制器傳輸該前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂朝該基板的方向移動。
15. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中該吸取裝置包含一吹氣裝置，該吹氣裝置訊號連接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步驟：由該控制器傳輸一氣流訊號至該吹氣裝置，該吹氣裝置朝該基板提供一氣流。
16. 如申請專利範圍第9項所述之吸取基板的方法，其中判斷該機械手臂是否吸附該基板的步驟中，判斷機械手臂吸附該基板，包含以下步驟：藉由該控制器傳輸一移動基板訊號至該機械手臂，以移動該基板。
17. 一種吸取裝置，用以吸取一基板，該吸取裝置包括：一控制器；以及一機械手臂，訊號連接該控制器，其中若該機械手臂未吸附該基板；藉由該控制器傳輸一運動訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝向該基板作一弧形運動(swim)並吸附該基板，其中該基板包含一邊緣區與一中央區，該邊緣區位於該中央區的周緣，該弧形運動係為該機械手臂朝該基板的該邊緣區移動；及若該機械手臂未吸附該基板，藉由該控制器傳輸一前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝該基板的方向移動並吸附該基板。
18. 如申請專利範圍第17項所述之吸取裝置，其中該機械手臂具有一第一軸、一第二軸、一第三軸以及該吸附面，該第一軸垂直於該吸附面，該第二軸與該第三軸平行於該吸附面，該弧形運動係為該機械手臂之該吸附面以該第二軸及/或該第三軸為軸心朝該基板旋轉，所述機械手臂朝該基板的方向移動為該機械手臂沿著該第一軸的方向朝該基板移動。
19. 如申請專利範圍第17項所述之吸取裝置，其中該機械手臂具有至少一邊緣側，該弧形運動係為該機械手臂的該至少一邊緣側朝該基板的方向移動。
20. 如申請專利範圍第17項所述之吸取裝置，包括：複數個吸附組件，設置於該機械手臂上；以及一負壓偵測元件，連通於該複數個吸附組件，且該負壓偵測元件訊號連接該控制器，其中該控制器藉由該負壓偵測元件偵測該複數個吸附組件是否達一閥值以判斷該機械手臂是否吸附該基板。
21. 如申請專利範圍第17項所述之吸取裝置，包括：一吹氣裝置，訊號連接該控制器，其中由該控制器傳輸一氣流訊號至該吹氣裝置，該吹氣裝置朝該基板提供一氣流。
22. 一種吸取裝置，用以吸取一基板，該吸取裝置包括：一控制器；以及一機械手臂，訊號連接該控制器，其中若該機械手臂未吸附該基板；藉由該控制器傳輸一前進訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝該基板的方向移動並吸附該基板；及若該機械手臂未吸附該基板，藉由該控制器傳輸一運動訊號至該機械手臂，使該機械手臂之該吸附面朝向該基板作一弧形運動並吸附該基板，其中該基板包含一邊緣區與一中央區，該邊緣區位於該中央區的周緣，該弧形運動係為該機械手臂朝該基板的該邊緣區移動。
23. 如申請專利範圍第22項所述之吸取裝置，其中該機械手臂具有一第一軸、一第二軸、一第三軸以及該吸附面，該第一軸垂直於該吸附面，該第二軸與該第三軸平行於該吸附面，該弧形運動係為該機械手臂之該吸附面以該第二軸及/或該第三軸為軸心朝該基板旋轉，所述機械手臂朝該基板的方向移動為該機械手臂沿著該第一軸的方向朝該基板移動。
24. 如申請專利範圍第22項所述之吸取裝置，其中該機械手臂具有至少一邊緣側，該弧形運動係為該機械手臂的該至少一邊緣側朝該基板的方向移動。
25. 如申請專利範圍第22所述之吸取裝置，包括：複數個吸附組件，設置於該機械手臂上；以及一負壓偵測元件，連通於該複數個吸附組件，且該負壓偵測元件訊號連接該控制器，其中該控制器藉由該負壓偵測元件偵測該複數個吸附組件是否達一閥值以判斷該機械手臂是否吸附該基板。
26. 如申請專利範圍第22項所述之吸取裝置，包括：一吹氣裝置，訊號連接該控制器，其中由該控制器傳輸一氣流訊號至該吹氣裝置，該吹氣裝置朝該基板提供一氣流。