JP2008277856A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
Abstract
【解決手段】液浸露光装置が開示される。投影系と基板との間に液体を供給する液体供給システムの少なくとも一部が走査中に基板上面に実質的に平行な面内に移動可能である。この一部は、この一部と基板との間の相対速度を低減させるよう運動する。これにより投影系に対する基板の速度を増加させることができる。
【選択図】図6
Description
投影系と、
前記投影系により像が形成される基板を保持するテーブルと、
前記投影系と基板との間の空間に液体を供給する液体供給システムと、を備え、
前記液体供給システムの少なくとも一部は、前記投影系及び基板に独立して前記投影系及び基板に対して基板上面に実質的に平行な少なくとも1つの方向に移動可能である露光装置が提供される。
投影系と、
前記投影系により像が形成される基板を保持するテーブルと、
前記投影系を取り巻き、前記投影系と基板との間の空間を含む容積に液体を少なくとも部分的に保持するバリア部材を備える液体供給システムと、を備え、
前記バリア部材は、基板上面に実質的に平行な面内で第1の方向に基板に独立して移動可能であり、
前記バリア部材は、露光装置のスリット長さに等しい距離を前記第1の方向に少なくとも移動可能であるような大きさ及び形状とされている露光装置が提供される。
投影系と、
前記投影系により像が形成される基板を保持するテーブルと、
前記投影系と基板との間の空間に液体を供給する液体供給システムと、
使用時には液体中において前記投影系の周囲に位置しており、前記液体供給システムから液体を通じての前記投影系への力の伝達を少なくとも低減する力分離部材と、を備える露光装置が提供される。
液体供給システムの一部と基板との間にシールを形成する液体供給システムを用いて投影系と基板との間に液体を供給し、
パターンが付与された放射ビームを基板に投影する投影系を使用し、
前記投影系の下方で基板を移動し、
基板の移動中に、基板と液体供給システムの一部との相対速度を低減させるような速度及び方向に液体供給システムの当該一部を移動するデバイス製造方法が提供される。
Claims (25)
- 投影系と基板との間の空間を包囲し、該空間において少なくとも部分的に液体を拘束するバリア部材を備え、該バリア部材は、
バリア部材と基板との間から液体を排出する吸引部と、
前記空間へと開放された第1のチャンネルが吸引部との間に形成され、前記空間へと開放され放射方向に延びる第2のチャンネルが基板との間に形成されるように、吸引部と基板との間に配置されるプレートと、を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記第1のチャンネルは、放射方向に延びていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1のチャンネルは、前記第2のチャンネルよりも狭いことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記第1のチャンネルは、放射方向外向きに狭くなっていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の装置。
- 前記プレートは、付着したメニスカスが放射方向外側に移動するときにエネルギ的に不利となるように形成されているメニスカス固定部を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の装置。
- 前記プレートは、放射方向に最も内側の下端の半径が0.1mmよりも小さいことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の装置。
- 前記プレートは、下側の表面特性が疎液体性から親液体性へと放射方向外向きに変化していることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の装置。
- 前記プレートは、下側の表面粗さが相対的に粗い表面から相対的に滑らかな表面へと放射方向外向きに変化していることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の装置。
- 前記吸引部は、排出されるべき液体を通過させる多孔質材料を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の装置。
- 前記多孔質材料は放射方向に延びており、前記吸引部の吸引能力は使用時に前記多孔質材料が液体で覆われた面積が増えるにつれて増加することを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記プレートは、基板上面に実質的に平行な面内を移動可能であることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の装置。
- 基板が移動している間の少なくとも一部において投影系に対して基板移動方向と実質的に同じ方向に基板速度の2倍以下の速度で前記プレートの移動を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記第1のチャンネルに低圧を生成するように構成されていることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の装置。
- 投影系と基板との間の空間に液体を供給する液体供給システムを備え、該液体供給システムは液体供給システムと基板との間にシールを形成する構造を備えており、該構造は、使用時に一方を上方かつ他方を下方に2つのメニスカスを液体が形成するように液体供給システムと基板との隙間を2つに分離する分離器を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
- 前記分離器は、液体供給システムと基板との隙間を鉛直方向に2つに分離することを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記構造は、前記分離器の上方から液体を吸引する液体吸引器をさらに備えることを特徴とする請求項14または15に記載の装置。
- 前記分離器は、分離器下方のメニスカスが分離器の放射方向最内端に付着したときにエネルギ的に有利となるように構成されていることを特徴とする請求項14から16のいずれかに記載の装置。
- 投影系と基板との間の空間を包囲し、基板との間に非接触シールを形成するバリア部材を備える液体供給システムと、
液体を除去する液体除去装置であって、前記空間を包囲し、放射方向に延びるインレットを有し、前記インレットが液体に覆われる量に液体除去能力が依存する液体除去装置と、
前記インレットと基板との間に位置してインレットと基板との間の領域を2つに分割する放射方向内向延在突出部と、を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 投影系と基板との間の空間を包囲して該空間において少なくとも部分的に液体を拘束し、移動可能表面を備え、使用時に該液体のメニスカスが前記空間において該表面と基板との間に延在するよう構成されているバリア部材と、
基板が移動している間の少なくとも一部において投影系に対して基板移動方向と実質的に同方向の成分を有する方向に基板速度の2倍以下の速度で前記移動可能表面の移動を制御する制御部と、を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記移動可能表面は、バリア部材に対して移動可能であることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記制御部は、基板が最高速度であるときに基板と実質的に同方向に前記移動可能表面を移動させることを特徴とする請求項19または20に記載の装置。
- 前記制御部は、基板が低速に移動している間の少なくとも一部において基板移動方向とは逆方向に前記移動可能表面を移動させ、または、基板が実質的に静止している時間の一部において基板が実質的に静止している方向に前記移動可能表面を移動させることを特徴とする請求項19から21のいずれかに記載の装置。
- 投影系と基板との間の空間を包囲し、該空間において少なくとも部分的に液体を拘束するバリア部材であって、基板上面に実質的に平行な面内に移動可能であり、中立位置に向けて付勢され、該液体のメニスカスが使用時に前記空間において基板との間に延在するよう構成されているプレートを備えるバリア部材を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
- 基板から液体を通じて前記プレートに伝達される力が基板の高速移動中にバリア部材に対して前記プレートを移動させるように付勢がなされていることを特徴とする請求項23に記載の装置。
- 投影系と基板との間の空間にバリア部材を使用して液体を拘束し、
投影系に対して基板を移動させ、
基板が移動している間の少なくとも一部において、バリア部材の表面と基板との間の液体メニスカスに作用する力が該表面の移動がない場合よりも低減されるように、基板移動方向と実質的に同方向の成分を有する方向に基板速度の2倍以下の速度でバリア部材の表面を移動させ、
パターニングデバイスからのパターンを基板に転写することを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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