JP2008271717A5

JP2008271717A5 -

Info

Publication number: JP2008271717A5
Application number: JP2007112292A
Authority: JP
Filing date: 2007-04-20
Publication date: 2010-06-03
Anticipated expiration: 2027-04-20

Claims

物体を駆動する駆動装置であって、
前記物体の２つの部分をそれぞれ駆動する２つの圧電素子と、
前記２つの圧電素子のそれぞれに電流を流して電圧を印加する２つの電圧印加部と、
前記２つの圧電素子にそれぞれ印加される電圧の差が所定値を超えた場合に、前記２つの電圧印加部のうち高い電圧を印加する電圧印加部から前記２つの圧電素子のうち低い電圧が印加される圧電素子に電流を流して、前記２つの圧電素子にそれぞれ印加される電圧の差の増大を制限する制御部とを有することを特徴とする駆動装置。
前記２つの圧電素子は、それぞれ第１端子と、第２端子とを有し、
前記２つの電圧印加部は、それぞれ前記２つの圧電素子の前記第１端子と前記第２端子との間に電圧を印加し、
前記制御部は、
第１ノードと前記２つの圧電素子の前記第１端子のそれぞれとの間に、前記第１端子側にアノードが向くように配置された２つの第１ダイオードと、
第２ノードと前記２つの圧電素子の前記第１端子のそれぞれとの間に、前記第１端子側にカソードが向くように配置された２つの第２ダイオードと、
前記第１ノードと前記第２ノードとの間に、第２ノード側にアノードが向くように配置されたツェナーダイオードとを含むことを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
前記２つの圧電素子は、それぞれ第１端子と、第２端子とを有し、
前記２つの電圧印加部は、それぞれ前記２つの圧電素子の前記第１端子と前記第２端子との間に電圧を印加し、
前記制御部は、
第１ノードと前記２つの圧電素子の前記第１端子のそれぞれとの間に、前記第１端子側にアノードが向くように配置された２つの第１ダイオードと、
第２ノードと前記２つの圧電素子の前記第１端子のそれぞれとの間に、前記第１端子側にカソードが向くように配置された２つの第２ダイオードと、
前記第１ノードと前記第２ノードとの間の電圧を分圧する分圧回路と、
前記分圧回路によって分圧された電圧がベースに印加されるように構成され、前記第１ノード側にコレクタが接続され、且つ、前記第２ノード側にエミッタが接続された第１トランジスタと、
前記第１トランジスタのエミッタと前記第２ノードとの間に、前記第１トランジスタのエミッタ側にカソードが向くように配置されたツェナーダイオードと、
前記ツェナーダイオードのアノード側の電圧がベースに印加されるように構成され、前記第１ノード側にコレクタが接続され、且つ、前記第２ノード側にエミッタが接続された第２トランジスタと、
前記ツェナーダイオードのアノードと前記第２ノードとの間に配置され、前記第２トランジスタを動作させる動作回路とを含むことを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
物体を駆動する駆動装置であって、
前記物体の複数の部分をそれぞれ駆動する複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子のそれぞれに電流を流して電圧を印加する複数の電圧印加部と、
前記複数の圧電素子にそれぞれ印加される電圧を検出する電圧検出部と、
前記電圧検出部によって検出された前記複数の圧電素子にそれぞれ印加される電圧の間の差を演算する演算部と、
前記演算部によって演算された前記複数の圧電素子にそれぞれ印加される電圧の間の差に基づいて、前記複数の圧電素子に印加される電圧の間の差が所定値を超えないように、前記複数の電圧印加部の出力電圧を制御する電圧制御部とを有することを特徴とする駆動装置。
光学素子を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記光学素子を駆動する駆動装置とを有し、
前記駆動装置は、
前記光学素子の２つの部分をそれぞれ駆動する２つの圧電素子と、
前記２つの圧電素子にそれぞれ電圧を印加する２つの電圧印加部と、
前記２つの圧電素子にそれぞれ印加される電圧の差が所定値を超えた場合に、前記２つの電圧印加部のうち高い電圧を印加する電圧印加部から前記２つの圧電素子のうち低い電圧が印加される圧電素子に電流を流して、前記２つの圧電素子にそれぞれ印加される電圧の差の増大を制限する制御部とを有することを特徴とする保持装置。
請求項５記載の保持装置と、
前記保持装置に保持された光学素子を介して、レチクルのパターンを基板に露光する光学系とを有することを特徴とする露光装置。
請求項６記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
物体を駆動する駆動装置であって、
前記物体の２つの部分をそれぞれ駆動する２つの圧電素子と、
前記２つの圧電素子のそれぞれに電流を流して電圧を印加する２つの電圧印加部と、
前記２つの圧電素子にそれぞれ印加される電圧の差が所定値を超えた場合に、前記２つの電圧印加部のうち高い電圧を印加する電圧印加部から前記２つの圧電素子のうち低い電圧が印加される圧電素子に印加される電圧を、前記２つの圧電素子のうち高い電圧が印加される圧電素子に印加される電圧に近づける制御部とを有することを特徴とする駆動装置。