JPH01308177A - 圧電モータ及びその駆動回路 - Google Patents

圧電モータ及びその駆動回路

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JPH01308177A
JPH01308177A JP63137559A JP13755988A JPH01308177A JP H01308177 A JPH01308177 A JP H01308177A JP 63137559 A JP63137559 A JP 63137559A JP 13755988 A JP13755988 A JP 13755988A JP H01308177 A JPH01308177 A JP H01308177A
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JP
Japan
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voltage
way clutch
output shaft
piezoelectric element
rising
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JP63137559A
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English (en)
Inventor
Kenji Mori
健次 森
Shizuo Yamada
山田 静夫
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、回転型モータに係り、特に圧電素子を利用し
て電気エネルギを機械的回転エネルギに変換する圧電モ
ータに関する。
〔従来の技術〕
圧電モータは、圧電素子あるいは電歪素子に交番電圧を
印加し、発生する振動を利用して接触する被駆動体を摩
擦駆動するものであり、圧電素子の高いエネルギ密度を
利用することから近年注目されているものである。
その方式としては従来から種々のものが考えられている
が、その中の一例として、特開昭60−125180号
及び特開昭61−35174号に見られるように、圧電
素子の振動を一方クラッチ(ワンウェイクラッチ)によ
り一方向の回転に変換するものがある。ワンウェイクラ
ッチにより揺動回転を一方向回転に変換する方式自体は
、文献機械工学便覧〔分冊7〕 (日本機械学会、昭和
50年12月発行)第142頁に記載されているように
既に公知となっているが、前記従来技術では、圧電素子
に電圧を印加した場合の伸長力により、ワンウェイクラ
ッチにロックされた出力軸を回転させ、圧電素子の収縮
時にはワンウェイクラッチは出力時とフリーになり元の
位置に戻り、その繰返しによって出力時を間欠的に回転
させるようになっている。
〔発明が解決しようとする課題〕
圧電素子、とくに力発生用アクチュエータとして広く用
いられる積層圧電素子は次のような特徴をもっている。
(1)電圧印加に対して、変位拘束時に発生する力が非
常に大きい。(最大数百kgf/■)(2)電圧印加に
対して、発生できる変位は非常に小さい。(例えば長さ
10[1当たり最大でも8μm程度) (3)応答速度が極めて速い。(数μs〜数十μs)。
すなわち応答周波数が極めて高い。(数十KHz〜数百
K Hz ) 以上のような特徴を生かしてワンウェイクラッチを動作
させるための一つの簡便な方法として、圧電素子に急激
に電圧を印加し、その?に撃力により接触している部材
をはね飛ばし比較的大きな変位を得る方法がある。これ
により、ワンウェイクラッチを動作させるための必要な
変位を発生させることが可能である。
しかし、上記従来技術では、圧電素子の衝撃力発生時に
ワンウェイクラッチが出力軸とロックし出力軸を回転さ
せるようになっているので、出力軸の負荷の慣性により
変位が十分得られないため信頼性が不十分であること、
また衝撃力が直接出力軸に加わるため動力伝達系とくに
ワンウェイクラッチの耐久性に難があること、さらに衝
撃力が直接出力軸に伝わるため滑らかな回転が得にくい
こと等の問題があった。
また、従来技術による圧電モータの駆動回路は複雑で高
価である問題があった。
本発明の目的は、ワンウェイクラッチを利用した圧電モ
ータにおいて、信頼性及び耐久性を備え滑らかな出力軸
の回転が得られる圧電モータと、簡単で安価な圧電モー
タの駆動回路を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明による圧電モータに
おいては、駆動回路からの駆動電圧を印加して伸長収縮
をする圧電素子と、該圧電素子の伸長力により所定方向
の回転力を得る揺動回転部と、該揺動回転部を前記圧電
素子の収縮方向に引き戻し逆方向の回転力を与えるばね
部と、外部に回転力を出力する出力軸と、前記揺動回転
部と連結し逆方向に回転するときに前記出力軸と嵌合し
て該出力軸に回転力を伝達する一方クラッチ部とから成
る。
また、本発明による圧電モータの駆動回路においては、
商用電源を入力し正弦波電圧を全波または半波整流した
整流電圧を得る整流手段と、該整流波電圧に急激な電圧
立上り部を与える所定の立」ニリ電圧を設定する立上り
電圧設定手段と、前記整流電圧を入力し該所定の立上り
電圧に達したとき前記整流電圧を出力して急激な電圧室
」ニリ部を有する駆動電圧を得るスイッチング手段とか
ら成る。
〔作用〕
上記のように構成された圧電モータにおいて、圧電素子
は駆動回路からの駆動電圧を印加して伸長収縮し、伸長
力により揺動回転部に所定方向の回転力を与え、揺動回
転部は所定方向に回転し所定の位置に達するとばね部の
戻りばね力により逆方向の回転力を得てもとの位置に戻
る。
揺動回転部と連結した一方クラッチ部は、所定方向に回
転するときは出力軸と嵌合せず回転力を出力軸に伝達せ
ずに、通力°向に回転するとき出力軸と嵌合し回転力を
出力軸に伝達するよう働く。
出力軸は上記のように伝達された回転力を外部に出力伝
達する。
また、上記のように構成された駆動回路において、整流
手段に商用電源を入力し全波または半波整流した整流電
圧を出力し、スイッチング手段は立上り電圧設定手段に
より設定した所定の立上り電圧に前記整流電圧が達した
とき、該整流電圧を駆動電圧として出力することにより
急激な電圧立」ニリ部を有する駆動電圧を得るように働
く。
〔実施例〕
以下、本発明による一実施例を図面を用いて説明する。
第1図および第2図は本発明による圧電モータの一実施
例を示す図であり、第1図は圧電モータの軸方向の断面
図、第2図は第1図のA断面図である。
第1図および第2図において、積層圧電素子(圧電素子
)la、lbがケーシング基板2a。
2bに接着等の手段によって固定される。また前記ケー
シング基板2a、2bはケーシング固定板3a、3bに
固定され、さらにケーシング側板4a、4bに囲まれて
ボックス構造のケーシングを構成している。なお、これ
らのケーシング類は一部を一体構造としてもよい。さら
に前記ケーシング側板4a、4bに設けられた軸受5a
、5bにより出力軸6が軸支され、該出力軸6とワンウ
エイクラッチハウジング7、複数個のワンウェイクラッ
チローラ8及びワンウェイクラッチばね9によってワン
ウェイクラッチ機構(−カフラッチ部)が構成されてい
る。なお、前記ワンウェイクラッチ機構は、前記ワンウ
ェイクラッチハウジング7が、第1図において左回転時
にフリーとなり右回転時に前記出力軸6とロックするよ
うに前記各要素が配置されている。
さらに前記ワンウェイクラッチハウジング7には、両端
に切欠部10a、10bをもつ揺動回転部材(揺動回転
部)11が固、定され、前記切欠き部10a、10bに
前記圧電素子1a、lbの先端に設けた接触部材12a
、12bが接触している。また前記揺動回転部材11を
前記圧電素子la、lb側に押しつけるため、戻りばね
(ばね部)13a、13bが配置され1、前記戻りばね
13a、13bの一端は前記揺動回転部材に設けられた
固定ピン14.a、14bにそれぞれ固定され、他端は
前記ケーシング基板2a、2bに設けられたねじ機構1
5a、15bに固定されている。
なお、前記戻りばね13a、13bによる押しつけ力は
、前記ねじ機構15a、15bによって調整可能にしで
ある。
次に、上記実施例による動作について第3図を用いて説
明する。
前記積層圧電素子1a、lbに急激な立上り波形を含む
周期的な電圧(駆動電圧)■、例えば矩形波形電圧を印
加すると、積層圧電素子1a。
1bは前記電圧の立上り時に急激に伸長し、それぞれの
先端に接触する揺動回転部材11に急激な回転力を与え
る。すなわち、積層圧電素子1a。
1bから与えられた力積によって揺動回転部材11の初
期角速度が決まり、第1図において左方向の回転を始め
るが、戻りばね13a、13bによって次第に戻される
。戻りばね13a、1.3bの引張力は微少変位に対し
てほぼ一定とみなせるため、揺動回転部機11の角速度
0工は、第3図に示すように時間軸に対してほぼ放物線
軌道を通って元の位置に復帰する。
このとき、第3図の区間A1では前記揺動回転部椙11
はワンウェイクラッチ機構のフリ一方向に回転し、拘速
力としては戻りばね13a、13bのばね力のみとなる
ため、揺動回転部材11の接触位置の最大変位rθ1ヨ
ax(r:回転軸と接触位置との距離)は、積層圧電素
子1 a r 1 bの最大変位X m a xの数十
倍から数百倍に容易に達する。
したがって、ワンウェイクラッチ機構が動作するための
十分な回転力を得ることができる。
さらに第3図の区間Bsでは、ワンウェイクラッチ機構
の作用により揺動回転部機11と出力軸6とがロックさ
れ、戻りばね13a、13bの戻り力によって出力軸6
に回転力が与えられる。
さらに区間C1で揺動回転部材11が元の位置に戻る。
区画A2.B2以後は、前記区間At、Bt。
Ci と同様の動作を繰り返す。
また区間C1と区間A2を合せた区間D1では、出力軸
6は自身の慣性により回転を続け、さらに区画B2で再
び回転力が加えられることになる。
なお、本実施例の圧電モータの1ステップ角度、すなわ
ち揺動回転部材11の最大角変位01maxは、印加電
圧立」ニリ部の立上り速度及び立上り部最大電圧Vsに
よって制御可能である。
上述のように、積層圧電素子1a、’lbの衝撃力をワ
ンウェイクラッチ機構のフリ一方向に利用することによ
り、ワンウェイクラッチ機構が動作するための十分な回
転角を得ることができ、確実に動作する信頼性の高い機
構を得ることができる。
また、出力軸6に与えられる回転力は第3図の区画Bj
に渡ってほぼ一定であるため、比較的滑らかな出力軸6
の回転が得られるとともに、回転力の伝達部に過大な力
が加わらないため耐久性の高い実用的な圧電モータがで
きる。
また、上記実施例では、圧電モータを駆動するための印
加電圧として矩形波電圧の例を挙げたが50 Hzある
いは60 Hzの商用電圧を利用する簡易な駆動回路の
一実施例について次に説明する。
第4図は、商用電源を利用した駆動電圧波形の一実施例
を示すもので、正弦波の電源電圧を全波整流した後、波
形の一部に急激な電圧変化部を設けたものである。第4
図において、電圧の上昇期において電圧Vsまでの急激
な電圧立上り部を設けている。なお前記電圧Vsは0か
らVユaXまでの範囲で調整可能とする。
さらに」二記の電圧波形を実現するための駆動回路のブ
ロック図を第5図に、またその駆動回路の詳細回路の−
・実施例を第6図に示す。
第5図において、駆動回路1. OOは、50 Hzあ
るいは60 Hzの商用電源90を入力し正弦波電圧を
正あるいは負の片側の電圧に変換する半波あるいは全波
の整流回路(整流手段) 1 ]、 Oと、急激な電圧
変化部の電圧変化量を設定する立上り電圧設定回路(立
上り電圧設定手段)120と、前記立上り電圧設定回路
120によってスイッチングを行なうスイッチング回路
(スイッチンク手段)130とからなり、出力される駆
動電圧は積層圧電素子1a、lbに印加される。
さらに第6図において、詳細な駆動回路の一実施例の回
路構成を示し、Dt、 D2. D8.1つ4は全波整
流回路1−11を構成するダイオ−1く、V R+は可
変抵抗器、Rt 、 R2、Rsは抵抗器、Zl)tは
ツェナーダイオード、T1.T2.、Taはトランジス
タである。
次に第6図の駆動回路の動作について説明する。
まず3丁点の電圧V、+は、全波整流後の電圧として図
示のようになる。さらにに点の電圧VKは電圧VJ を
可変抵抗器VRiによって分圧した電圧となる。
電圧VxがツェナーダイオードZD1で設定されたツェ
ナー電圧Vz以下であればトランジスタT1はオフ状態
となり、従がってL点の電圧V +。
は5点の電圧VJ と等しくなるためトランジスタT2
もオフ状態となり、圧電素子1a、lbに印加されるM
点の駆動電圧VHはゼロとなる。
さらに電圧V、+ が」二昇し、その分圧VKがツェナ
ー電圧VZ以上になるとトランジスタT1はオン状態と
なり、従がってL点の電圧VLは抵抗R1による電圧降
下のため5点の電圧V、+より下がるためトランジスタ
1゛2もオン状態となり、圧電素子1a、lbに急激な
駆動電圧VMが印加される。
このときV s > V sのためトランジスタT8は
オフ状態である。
さらに、電圧VJがピークを過ぎてV 、+ < V 
sとなると1−ランジスタT8はオン状態となりVJ 
とV)4はほぼ等しい状態のままで、圧電索子」a。
1bにチャージされた電荷が抵抗R8を通って流出する
。従がって、圧電素子]、a、lbに印加される電圧V
Mは、第4図に示されるような急激な立上り部を持つ電
圧波形となる。
なお、第6図の全波整流回路111のかわりに公知の簡
単な半波整流回路を用いても、動作サイクル数は、全波
整流回路]−1−1を用いた実施例の半分となるが、同
様に本実施例の圧電モータの駆動回路1−00を実現す
ることができる。
以上述べたように、50 Hzあるいは60 Hzの商
用電源を利用して、簡単で安価な圧電モータの駆動回路
を実現することができる。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。
請求項1の圧電モータにおいては、圧電素子の衝撃力を
ワンウェイクラッチのフリー回転方向に利用することに
より、ワンウェイクラッチ機構を動作するために十分な
回転角を得ることができ、確実に動作する高い信頼性と
、衝撃力が直接出力軸に加わらないので伝達系の耐久性
が向」ニするといった優れた効果がある。
請求項2の駆動回路においては、商用電源を人力し整流
した整流電圧をスイッチング回路で急激な電圧室」ニリ
部を有する駆動電圧を生成することができるので、簡単
で安価な駆動回路を得ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による一実施例の圧電モータの軸方向断
面図、第2図は第1図のA−A断面図、第3図は動作説
明図、第4図は駆動電圧波形図、第5図は駆動回路ブロ
ック図、第6図は駆動回路の詳細回路図である。 ]、a、lb・・積層圧電素子、6・・出力軸、7・ワ
ンウェイクラッチハウジング、8 ・ワンウェイクラッ
チローラ、9・・・ワンウェイクラッチばね、11・・
・揺動回転部月、13 戻りはね、90・商用電源、1
00・・・駆動回路、110・・整流回路、120・・
・立上り電圧設定回路、130・スイッチング回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、駆動回路からの駆動電圧を印加して伸長収縮をする
    圧電素子と、該圧電素子の伸長力により所定方向の回転
    力を得る揺動回転部と、該揺動回転部を前記圧電素子の
    収縮方向に引き戻し逆方向の回転力を与えるばね部と、
    外部に回転力を出力する出力軸と、前記揺動回転部と連
    結し逆方向に回転するときに前記出力軸と嵌合して該出
    力軸に回転力を伝達する一方クラッチ部とから成ること
    を特徴とする圧電モータ。 2、商用電源を入力し正弦波電圧を全波または半波整流
    した整流電圧を得る整流手段と、該整流電圧に急激な電
    圧立上り部を与える所定の立上り電圧を設定する立上り
    電圧設定手段と、前記整流電圧を入力し該所定の立上り
    電圧に達したとき前記整流電圧を出力して急激な電圧立
    上り部を有する駆動電圧を得るスイッチング手段とから
    成ることを特徴とする圧電モータの駆動回路。
JP63137559A 1988-06-06 1988-06-06 圧電モータ及びその駆動回路 Pending JPH01308177A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995004378A1 (en) * 1993-08-02 1995-02-09 Bonneville Scientific Incorporated Direct drive field actuator motors
JP2008271717A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Canon Inc 駆動装置、保持装置、露光装置及びデバイス製造方法

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