JP2008271421A - 弾性波フィルタ及び複合部品 - Google Patents

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Abstract

【課題】 弾性波フィルタに用いる多層基板の構造に起因する位相特性の劣化を改善し、優れた電気的特性を有する弾性波フィルタや複合部品を提供する。
【解決手段】 圧電基板に電極指を形成した弾性波素子を、内部にグランド電極や接続線路を構成する電極パターンを形成した多層基板に実装し、弾性波素子の電極指と多層基板の電極パターンを接続した弾性波フィルタにおいて、多層基板の底面には、ビアホールを介してグランド電極と接続するグランド端子と、接続線路とビアホールを介して接続する高周波端子を備え、高周波端子の少なくとも一部が一対の平衡信号出力端子であり、平衡信号出力端子は、多層基板の底面側の内層に形成したグランド電極と積層方向に重なり合わないこととした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、移動体通信機器等で用いられる弾性波フィルタ及びスイッチと弾性波フィルタを複合した高周波デバイスである複合部品に関する。
従来から、移動体通信機器等の電子機器には多くの電子部品が用いられている。携帯電話機などの高周波無線機器の小型化に、その高周波回路部で用いられる弾性波フィルタ等の電子部品が大いに貢献している。
ところで弾性波フィルタは不平衡入出力型フィルタがほとんどであったが、欧州地域をはじめとして広く適用されているEGSM900やDCS1800等の携帯電話機では、雑音指数を下げ、受信感度を上げるように、増幅器・ミキサ等の回路部品で平衡型のものが用いられている。これに伴い、前記回路部品と接続する弾性波フィルタも入力及び/又は出力が平衡型であるものが用いられるようになってきている。
弾性波フィルタとしては、バルク弾性波を利用するBAWフィルタ(Bulk accousic wave filter)、表面弾性波を利用するSAWフィルタ(Surface acoustic Wave filter)、境界弾性波(Boundary elastic wave)を利用する境界弾性波フィルタがある。このうち、縦モード型の弾性表面波フィルタは電極指(インターディジタルトランスデューサ電極)の構成上、平衡−不平衡変換が容易に実現できるため、弾性波フィルタの中でも特に広くも用いられるようになった。また、平衡−不平衡変換が可能なBAWフィルタや境界弾性波フィルタも既に開発されており商品化も始まっている。
このような弾性波フィルタの一例として、図11にSAWフィルタの断面図を示す。多層基板の内部には、電極パターン(ラインパターンやビアホール)で形成された接続線路72、80、91、92が形成され、多層基板10の上部には弾性表面波素子3が搭載されている。この多層基板10の上面側に設けられて弾性表面波素子3を気密封止するエポキシ樹脂などの樹脂部材15を備えたSAWフィルタである。
弾性表面波素子3の不平衡入力ポートや平衡出力ポートは、前記接続線路を介して前記多層基板の底面に設けられた高周波端子(不平衡信号入力端子20a、平衡信号出力端子20c)と接続し、グランドポートは同様に接続線路を介して多層基板の底面に設けられたグランド端子(図示せず)と接続する。
このような弾性波フィルタでは、多層基板において一対の平衡信号出力端子と接続する接続線路の長さの異なりにより、平衡信号間の位相差が生じ、フィルタ特性の劣化を招く場合があった。そこで特許文献1の弾性波フィルタでは接続線路の一部を屈曲して形成することで接続線路の電気長を等しくして伝送される平衡信号の位相差をなくすことでフィルタ特性を改善することが記載されている。
特開2003−258597
特許文献1に開示された弾性波フィルタであれば、単体での特性を見ると位相差をなくすことが出来るが、回路基板に実装した場合に、回路基板側の電極パターンと多層基板内の接続線路との干渉によって所望の位相特性が得られない場合があった。また小型の弾性波フィルタには多層基板の小型化が不可欠であるが、多層基板に形成された電極パターン(接続線路、グランド電極、グランド端子、高周波端子等)の干渉によっても弾性波フィルタと平衡信号出力端子との間の電気長に差が生じて所望の位相特性が得られず、その結果フィルタ特性の劣化を招く場合があった。特に弾性波フィルタとスイッチ回路との複合部品では多くの回路素子を多層基板に構成する必要があり、多層基板内の配線は複雑となり、回路相互間の干渉が生じやすく、前記問題の発生が顕著になっていた。
そこで本発明は、弾性波フィルタに用いる多層基板の構造に起因する位相特性の劣化を改善し、優れた電気的特性を有する弾性波フィルタや複合部品を提供することを目的とする。
第1の発明は、圧電基板に電極指が形成された弾性波素子を、内部にグランド電極や接続線路を構成する電極パターンが形成された多層基板に実装し、弾性波素子の電極指と多層基板の電極パターンを接続した弾性波フィルタにおいて、多層基板の底面には、ビアホールを介して前記グランド電極と接続するグランド端子と、前記接続線路とビアホールを介して接続する高周波端子を備え、前記高周波端子の少なくとも一部が一対の平衡信号出力端子であり、前記平衡信号出力端子は、前記多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする弾性波フィルタである。
平衡信号出力端子は矩形に形成された多層基板の一側面側に配置され、対向する側面側に不平衡信号入力端子が配置され、グランド端子は前記平衡信号出力端子と前記不平衡信号入力端子との間に挟まれた領域に配置されるのが好ましい。そして多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極の周囲に設けられたビアホールで、接続線路と高周波端子を接続するのが好ましい。
このような構成により、不平衡信号入力端子と平衡信号出力端子との間の干渉を防ぐことができる。また、平衡信号出力端子間には位相特性の劣化を防ぐため、グランド端子を設けないのが好ましい。
本発明においては、弾性波素子は少なくとも一対の平衡出力ポートを有するものであり、前記各平衡出力ポートから各平衡信号出力端子までの間の接続線路の電気長を実質的に等しくしたことにより、位相特性の劣化を防ぐことができる。
第2の発明は、圧電基板に電極指が形成された弾性波素子を、内部にグランド電極と接続線路が形成された多層基板に実装し、弾性波素子の電極指と多層基板の電極パターンを接続した弾性波フィルタと、前記弾性波素子の不平衡入力ポートと接続したスイッチング素子を有し、前記多層基板の底面には、グランド電極と接続するグランド端子と、前記接続線路と接続する高周波端子を備え、前記高周波端子の少なくとも一部が一対の平衡信号出力端子であり、前記平衡信号出力端子は前記多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする複合部品である。
本発明においては、更に増幅器などを複合してもよく、適宜多層基板にインダクタンス素子やキャパシタンス素子による整合回路を形成することもできる。
前記平衡信号出力端子は前記弾性波素子の平衡出力ポートと接続する。接続には積層方向に連続するビアホールで行なうことで、平面的に配置された他の電極パターンとの干渉を抑えることが出来る。
第3の発明は、通信システムの送受信信号が通過する伝送経路を切り替えるスイッチ回路と、前記スイッチ回路と接続し、受信信号の経路に配置された不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタを備え、多層基板にスイッチ回路のスイッチング素子と不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタが実装され、前記多層基板の底面には、スイッチ回路の制御信号入力ポートと接続する制御端子と、グランド端子と、高周波端子を備え、前記高周波端子の少なくとも一部が平衡信号出力端子であり、前記多層基板の内部には複数のグランド電極を有し、前記平衡信号出力端子は前記不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタの平衡出力ポートと接続し、かつ、少なくとも底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする複合部品である。
本発明においては、更に送信信号の経路に配置されスイッチ回路と接続するフィルタ回路を備えるようにし、前記フィルタ回路をインダクタ及びコンデンサで構成して、前記多層基板に電極パターンで前記フィルタ回路を構成するインダクタとコンデンサの少なくとも一部を形成するのも好ましい。
前記コンデンサ用電極パターンは、底面側の内層に形成されたグランド電極の上層に対向して配置するいのが好ましい。また、前記インダクタ用電極パターン及び前記コンデンサ用電極パターンは、前記平衡信号出力端子と積層方向に重なり合わない配置するのが好ましい。
更に本発明においては、複数のグランド電極を電気的に接続するビアホールを備え、前記ビアホールは積層方向に連続する第1ビアホール群であって、前記第1ビアホール群で囲まれた領域の外領域に平衡信号出力端子と平衡出力型弾性波フィルタの平衡出力ポートとを接続する第2ビアホール群を形成するのが好ましい。なおビアホールには電気的な接続が可能となるように導体が配置されている。電極パターンと同様な導電材料で形成される場合が多く、密に充填される場合や、一部に空隙を有する場合もあり、スルーホールと呼ばれることもある。
本発明によれば、弾性波フィルタに用いる多層基板の構造に起因する位相特性の劣化を改善することが出来、電気的特性に優れた弾性波フィルタ及び複合部品を得ることが出来る。
本発明者等は、まず回路基板の電極パターンによる干渉を低減する多層基板の構造として、多層基板の最も底面側にビアホールとグランド電極のみを形成し、その上層に接続線路を設けることを試みた。
しかしながら試作を繰り返して行く内に、多層基板の構成によって位相特性にばらつきが生じることが判明した。図9は最底面側にグランド電極を形成した多層基板の部分拡大断面図である。また図10はその多層基板を用いて構成された弾性波フィルタの回路ブロック図である。鋭意研究の結果、グランド電極50と高周波端子のうちの平衡信号出力端子20b、20c等とが、積層方向で重なり合いって生じた寄生容量C1,C2により、接続線路の電気長にばらつきが生じたことが分かった。グランド電極50と平衡信号出力端子20b、20cは例えば数十μm〜50μmの間隔をもって配置され、その間は比誘電率が5〜30程度の誘電体が占める。このため高周波においては無視できない程度のキャパシタンス(寄生容量)が接続線路80とグランドとの間に接続され、また形成される寄生容量C1,C2も一様では無い。
そこで上記問題を鑑みて、多層基板の最も底面側に実質的にグランド電極のみを形成し、ビアホールを除く接続線路を形成しない構成とするとともに、更に前記グランド電極と平衡信号出力端子20b、20cとを積層方向に重ね合わせない構成とすることを着想した。
図1は本発明の一実施例に係る弾性波フィルタ(SAWフィルタ)の斜視図であり、(a)上面斜視図、(b)下面斜視図である。また図2はその回路ブロック図である。図3は弾性波フィルタを構成する多層基板の部分断面拡大図である。
多層基板10の内部には、電極パターン(ラインパターンやビアホール)で形成された接続線路70,80,85,90が形成され、多層基板10の上面部には弾性表面波素子(図示せず)が搭載され、この多層基板10の上面側に、弾性表面波素子を気密封止するエポキシ樹脂などの樹脂部材15を備えている。
弾性表面波素子の不平衡入力ポートや平衡出力ポートは、前記接続線路を介して矩形に形成された多層基板の底面に設けられた高周波端子(不平衡信号入力端子20a、平衡信号出力端子20c)と接続し、グランドポートは同様に接続線路とグランド電極50を介して多層基板の底面に設けられたグランド端子(20d)と接続する。前記グランド端子(20d)は、多層基板の対向する側面に、それぞれ形成された不平衡信号入力端子20aと平衡信号出力端子20cの間に配置されている。本実施例においては、グランド端子を帯状の電極パターンで形成しているが、他の高周波端子と同形状の電極パターンとし、複数の電極パターンを、平衡信号出力端子間を除く他の側面側等の異なる位置に設けて形成しても良い。
本実施例で最も特徴的な部分は、平衡信号出力端子を多層基板の最も底面側に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないように構成した点にある。なお最も底面側に形成されたグランド電極とは、多層基板の底面に最も近い電極パターン(ビアホールを除く)がグランド電極であることを意味する。
グランド電極は平衡信号出力端子と積層方向に重なり合わないが、絶縁層面に広がって形成されているため、その上層に設けられた伝送線路が実装基板の電極パターンと干渉するのを防ぐ。また平衡信号出力端子との重なりを除く構成によって、寄生容量の形成を抑え、位相特性が劣化することが無く、優れた電気的特性を得ることが出来る。
図4は無線通信器の高周波回路のブロック図であって、本発明の一実施例に係る複合部品を用いて構成されたものである。また図5は複合部品の等価回路図である。以下説明において幾つかの通信方式を例示するが、各通信方式の周波数帯域は表1に示す通りであって、送信・受信は無線通信器端末を基準にしている。本発明が利用される通信方式は、例示した通信システムにのみに限定されるものではなく、GPSや、他のCDMA方式等にも利用可能であり、本発明は利用する通信方式には何等限定されない。
Figure 2008271421
この複合部品は、4つの通信方式に用いられるものであって、周波数帯域f1の第1通信方式(例えばGSM850)、周波数帯域f2の第2通信方式(例えばDCS1800)、周波数帯域f3の第3通信方式(例えばDCS1900)、周波数帯域f4の第4通信方式(例えばUMTS)とに対応した高周波回路に用いられ、前記通信方式の送受信信号の伝送経路を切り替える電界効果トランジスタ(FET)を用いた高周波スイッチ回路と、前記高周波スイッチに接続される分波回路とローパスフィルタと弾性波フィルタを少なくとも有する。
前記高周波スイッチは、6つのポートを備えるSP5Tの高周波スイッチSWであり、その第1のポート(共通ポート)aには、ESD(electro−Static discharge;静電気放電)対策回路220を介してフィルタ回路110が接続される。第2のポートbにはフィルタ回路130と、整合回路186と、DCカットコンデンサC3(図1では図示せず)が接続される。第3のポートcにはDCカットコンデンサC2(図1では図示せず)と、フィルタ回路140と、整合回路187が接続される。第4のポートdには、分波回路120と、その分波回路120を構成するフィルタ回路120aの後段に、整合回路188と、弾性波フィルタ150とが接続される。分波回路120を構成するフィルタ回路120bには整合回路180と、弾性波フィルタ155とが接続される。第5のポートeには整合回路185と、弾性波フィルタ160が接続され、第6のポートfには整合回路190が接続される。
フィルタ回路110は、第1通信システムの送信信号の第3次高調波成分を減衰させるローパスフィルタである。フィルタ回路130は、第1通信方式の送信信号を通過させるローパスフィルタである。バンドパスフィルタであってもよい。フィルタ回路140は、第2通信方式及び第3通信方式の送信信号を通過させるローパスフィルタである。この場合もバンドパスフィルタを用いても良い。弾性波フィルタ150が前記第1通信方式の受信信号を通過させるバンドパスフィルタであり、弾性波フィルタ150が前記第3通信方式の受信信号を通過させるバンドパスフィルタであり、前記弾性波フィルタ160が前記第2通信方式の受信信号を通過させるバンドパスフィルタである。本実施例においては、弾性波フィルタ150、155、160として不平衡入力−平衡出力型のSAWフィルタを用いている。
分波回路120は、前記第1通信方式の受信信号を通過させるローパスフィルタ120aと、前記第3通信方式の受信信号を通過させるハイパスフィルタ120bを並列に接続したものである。整合回路180、185、186、187、188、190は主としてインピーダンスマッチングのために用いられるが、高周波信号の位相調整のために用いられる場合もある。
図6は複合部品の外観斜視図であり、図7は複合部品に用いる多層基板10の分解斜視図であって、各層の構成を示している。
フィルタ回路110,130,140、分波回路120、及び整合回路180、185、186、187、188、190はインダクタとコンデンサで構成されており、これらは、誘電体層と、AgやCu等の金属や前記金属をベースとする合金を用いてなるペーストを所定の形状に形成した電極パターンとで形成される多層基板に、前記電極パターンやチップ部品として構成される。
以下多層基板の構成について説明する。多層基板は、複数の誘電体層を積層して構成してなり、分波回路及びローパスフィルタのコイル用パターンが主に形成された複数の第1誘電体層と、コンデンサ用パターンが主に形成された複数の第2誘電体層と、アース用パターンが主に形成された複数の第3誘電体層とを備えている。コイル用パターンとコンデンサ用パターンとを異なる誘電体層に形成しているが、同じ誘電体層に形成しても良い。なお本実施例では。コイル用パターンは抵抗を低減するため断面積を大きくするように、コンデンサ用パターンと比べて厚く形成している。
第1〜第3誘電体層は、例えば誘電体セラミクスを、ドクターブレード法などの周知のシート化方法によってグリーンシート化したものであり、積層後焼結して一体化されるものである。多層基板を構成する誘電体セラミクスとしては、例えばAl,Si及びSrを主成分として、Ti,Bi,Cu,Mn,Na,Kなどを副成分とするセラミックス、Al,Si及びSrを主成分として、Ca,Pb,Na,Kなどを複成分とするセラミクス、Al,Mg,Si及びGdを含むセラミクス、Al,Si,Zr及びMg含むセラミクスが挙げられる。誘電体の誘電率は5〜15程度が好ましい。また誘電体セラミクスの他に、樹脂や、樹脂/セラミック複合材を用いて多層基板を構成することも可能である。さらにHTCC(高温同時焼成セラミック)技術により、Alを主体とする多層基板内に、タングステンやモリブデン等の高温焼結可能な金属導体により電極パターンを形成しても良い。
最下層のグリーンシート14の表面には、ほぼ全面を覆うアース用パターンGND(第1グランド電極)が形成されており、裏面には回路基板に実装するための端子電極が形成されている。前記端子電極は、各通信システム共通のアンテナポートANT(100a)と、第1の通信システムの送信信号が入力する第1送信ポートTX1(100b)と、第2、第3の通信システムの送信信号が入力する第2送信ポートTX2(100c)と、第1の通信システムが出力する受信ポートRX1(100d、100d2)と,第3の通信システムが出力する受信ポートRX2(100e1、100e2)と,第2の通信システムが出力する受信ポートRX3(100f1,100f2)と,第4の通信システムが入出力する送受信ポートTRX(100g)と、グランドポートGNDと、スイッチ回路制御用のコントロールポート(制御端子)V1,V2,V3,Vddを有し、それぞれがグリーンシートに形成されたビアホール(図中、黒丸、黒四角で表示)を介して上層のグリーンシート上の電極パターンと接続される。
本実施例では端子電極をLGA(Land Grid Array)としているが,BGA(Ball Grid Array)なども採用することができる。また本実施例では、制御端子V1,V2,V3,Vdd、受信系端子RX1、RX2、RX3、送信系端子TX1,TX2、アンテナ端子ANT及び送受信系端子TRXを、それぞれ異なると側面側に集めて配置している。このような配置によれば高周波スイッチモジュールが回路基板に実装されたときの他の高周波回路との接続を短く出来る。受信系端子RX1、RX2、RX3を一側面側に配置し、他の高周波端子や制御端子を配置しないことで、受信信号への影響を低減している。また受信信号の出力端に接地コンデンサが形成され無いように、端子電極とアース用パターンGNDとが重ならないようにした。このため、平衡出力される受信信号のフェイズバランスやアンプリチュードバランスを損なう事が無い。好ましくは、多層基板においてアース用パターンGND以外の電極パターンとも重ならないように構成する。
前記スイッチ回路制御用のコントロールポートV1,V2,V3,Vddは、多層基板の一側面に側に集められており、積層方向に連続するビアホールと、グリーンシート13上に並行して走るラインパターン(制御信号用線路)を介して前記第1の主面に形成された複数のデコーダ用実装電極と接続される。また同じ層にはフィルタ回路や整合回路を構成するコンデンサ用電極パターンが形成されている。
グリーンシート12には、ほぼ全面を覆うアース用パターンGND(第2グランド電極)が形成されており、その一部は、電極が形成されてない抜き部となっている。前記抜き部には、制御信号用線路とFETスイッチの制御信号入力ポートとを接続するビアホールや、コンデンサ用電極パターンを他の層の電極パターンと接続するビアホールが形成されている。
グリーンシート11〜8には、フィルタ回路や整合回路を構成するインダクタ用電極パターンが形成されている。グリーンシート7には、コンデンサ用電極パターンとともに、ほぼ全面を覆うアース用パターンGND(第3グランド電極)が形成されている。コンデンサ用電極パターンは、信号の経路に直列に接続するコンデンサ用の電極パターンである。グリーンシート6〜4には、コンデンサ用電極パターンが形成され、そしてその上層のグリーンシート3には、コンデンサ用電極パターンGNDとともに、ほぼ全面を覆うアース用パターンGND(第4グランド電極)が形成されている。グリーンシート2には、グリーンシート1に形成された実装電極と、前記インダクタ用電極パターンや前記コンデンサ用電極パターンとの接続のための線路(電極パターン)が形成されている。
各電極パターンは適宜ビアホールを介して適宜接続され、得られた積層体を850℃〜1000℃程度(用いる導体や誘電体セラミクスによる)で焼結して多層基板とし、これにFETスイッチやSAWフィルタを実装して本発明に係るスイッチモジュールとした。
本実施例においては、更にDCカットコンデンサC1〜C3、ESD対策回路のインダクタL1、コンデンサC1(コンデンサC1はDCカットと共用)を積層基板上に実装している。なお、これらのインダクタやコンデンサを積層基板内に電極パターンで形成することも可能であるが、他の回路素子と比べて、比較的大きな容量値、インダクタンス値が必要となるので、専らチップ部品として積層基板上に実装する場合が多い。
多層基板の上面にFETスイッチやSAWフィルタ、及びチップインダクタやチップコンデンサを実装するための実装電極の内、FETスイッチやSAWフィルタのグランド端子は、グリーンシート3に形成されたアース用パターンGNDとビアホールで接続される。またグリーンシート3に形成されたアース用パターンGNDは、グリーンシート7、12、14の各アース用パターンGNDと複数のビアホールで接続されている。
図8に多層基板10の部分断面拡大図を示す。前記SAWフィルタの平衡出力ポートと接続する実装電極は、多層基板の裏面に形成された高周波端子のうちの平衡出力端子RX3と、積層方向に連続する第1ビアホール群を介して接続されている。図示していないが他の平衡出力端子も同様に、それぞれが他の第1ビアホール群を介してSAWフィルタの平衡出力ポートと接続する。またグランド電極は平衡出力端子と積層方向に重なり合わない構成によりフェイズバランスやアンプリチュードバランス等の位相特性を損ねることが無い。更に前記第1ビアホール群と前記制御信号用線路との間には、面内に縦列し、積層方向に連続した第2ビアホール群が形成され、第1グランド電極〜第4グランド電極の間を接続している。このような構成により、ノイズの影響を受け易い受信信号の経路を、制御信号の経路、送信信号の経路から分離して配置することで、更に優れた挿入損失特性を得ることが出来た。
以上説明したように、本発明によれば、弾性波フィルタに用いる多層基板の構造に起因する位相特性の劣化を改善することが出来、電気的特性に優れた弾性波フィルタ及び複合部品を得ることが出来る。
(a)本発明の一実施例に係る弾性波フィルタの上面斜視図である。(b)本発明の一実施例に係る弾性波フィルタの底面斜視図である。 本発明の一実施例に係る弾性波フィルタの回路ブロックである。 本発明の一実施例に係る弾性波フィルタに用いる多層基板の部分断面拡大図である。 本発明の一実施例に係る複合部品を用いて構成された高周波回路のブロック図である。 本発明の一実施例に係る複合部品の等価回路図である。 本発明の一実施例に係る複合部品の斜視図である。 本発明の一実施例に係る複合部品に用いる多層基板の分解斜視図である。 本発明の一実施例に係る複合部品に用いる多層基板の部分拡大断面図である。 従来の弾性波フィルタに用いる多層基板の部分断面拡大図である。 従来の弾性波フィルタの回路ブロックである。 従来の弾性波フィルタの断面図である。
符号の説明
10 多層基板
110,130,140 フィルタ回路
115 FETスイッチ
120 ESD対策回路
150,155,160 SAWフィルタ
180、185、186、187、190 整合回路
120 分波回路

Claims (11)

  1. 圧電基板に電極指が形成された弾性波素子を、内部にグランド電極や接続線路を構成する電極パターンが形成された多層基板に実装し、弾性波素子の電極指と多層基板の電極パターンを接続した弾性波フィルタにおいて、
    多層基板の底面には、ビアホールを介して前記グランド電極と接続するグランド端子と、前記接続線路とビアホールを介して接続する高周波端子を備え、
    前記高周波端子の少なくとも一部が一対の平衡信号出力端子であり、前記平衡信号出力端子は、前記多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする弾性波フィルタ。
  2. 平衡信号出力端子は多層基板の一側面側に配置され、対向する側面側に不平衡信号入力端子が配置され、グランド端子が前記平衡信号出力端子と前記不平衡信号入力端子との間に挟まれた領域に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の弾性波フィルタ。
  3. 多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極の周囲にはビアホールが設けられており、前記ビアホールで接続線路と高周波端子を接続することを特徴とする請求項1又は2に記載の弾性波フィルタ。
  4. 弾性波素子は少なくとも一対の平衡出力ポートを有し、前記各平衡出力ポートから各平衡信号出力端子までの間の接続線路の電気長を略等しくしたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波フィルタ。
  5. 圧電基板に電極指が形成された弾性波素子を、内部にグランド電極と接続線路が形成された多層基板に実装し、弾性波素子の電極指と多層基板の電極パターンを接続した弾性波フィルタと、前記弾性波素子の不平衡入力ポートと接続したスイッチング素子を有し、
    前記多層基板の底面には、グランド電極と接続するグランド端子と、前記接続線路と接続する高周波端子を備え、前記高周波端子の少なくとも一部が一対の平衡信号出力端子であり、
    前記平衡信号出力端子は前記多層基板の底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする複合部品。
  6. 前記平衡信号出力端子は前記弾性波素子の平衡出力ポートと接続したことを特徴とする請求項5に記載の複合部品。
  7. 通信システムの送受信信号が通過する伝送経路を切り替えるスイッチ回路と、前記スイッチ回路と接続し、受信信号の経路に配置された不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタを備え、
    多層基板にスイッチ回路のスイッチング素子と不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタが実装され、前記多層基板の底面には、スイッチ回路の制御信号入力ポートと接続する制御端子と、グランド端子と、高周波端子を備え、前記高周波端子の少なくとも一部が平衡信号出力端子であり、前記多層基板の内部には複数のグランド電極を有し、
    前記平衡信号出力端子は前記不平衡入力−平衡出力型弾性波フィルタの平衡出力ポートと接続し、かつ、少なくとも底面側の内層に形成されたグランド電極と積層方向に重なり合わないことを特徴とする複合部品。
  8. 送信信号の経路に配置されスイッチ回路と接続するフィルタ回路を備え、前記フィルタ回路はインダクタ及びコンデンサで形成され、前記多層基板に電極パターンで前記フィルタ回路を構成するインダクタとコンデンサの少なくとも一部が形成されたことを特徴とする請求項7に記載の複合部品。
  9. コンデンサ用電極パターンは、底面側の内層に形成されたグランド電極の上層に対向して配置されたことを特徴とする請求項7又は8に記載の複合部品。
  10. インダクタ用電極パターン及び前記コンデンサ用電極パターンは、前記平衡信号出力端子と積層方向に重なり合わないことを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の複合部品。
  11. 複数のグランド電極を電気的に接続するビアホールを備え、前記ビアホールは積層方向に連続する第1ビアホール群であって、前記第1ビアホール群で囲まれた領域の外領域に平衡信号出力端子と平衡出力型弾性波フィルタの平衡出力ポートとを接続する第2ビアホール群を形成したことを特徴とする請求項7乃至10のいずれかに記載の複合部品。
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