JP2008270380A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、N型MOSトランジスタ11と、P型MOSトランジスタ12とを備えている。N型MOSトランジスタ11は、第1のゲート絶縁膜31と第1のゲート電極32とを有している。P型MOSトランジスタ12は、第2のゲート絶縁膜41と第2のゲート電極42とを有している。第1のゲート絶縁膜31及び第2のゲート絶縁膜41は酸窒化シリコンからなり、第1のゲート絶縁膜31の窒素濃度プロファイルと、第2のゲート絶縁膜41の窒素濃度プロファイルとは互いに異なっている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。図1は第1の実施形態に係るCMOS(Complementary MOS)デバイスを有する半導体装置のゲート長方向の断面構成を示している。図1に示すように、本実施形態の半導体装置は、ロジック回路等に用いるCMOSデバイスを構成するN型MOSトランジスタ11及びP型MOSトランジスタ12と、入出力(I/O)回路等に用いるN型のMOSトランジスタからなる厚膜トランジスタ13とを備えている。ここで、厚膜トランジスタ13のゲート絶縁膜は、ロジック回路のN型MOSトランジスタのゲート絶縁膜よりも厚く形成されている。なお、本実施形態では、厚膜トランジスタ13としてN型のMOSトランジスタを用いて説明するが、P型のMOSトランジスタであってもよい。
以下に、第1の実施形態の一変形例について図面を参照して説明する。図6及び図7は第1の実施形態の一変形例に係る半導体装置の製造方法を工程順に示している。図6及び図7において図3及び図4と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
以下に、本発明の第2の実施形態について図面を参照して説明する。図8は第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示している。図8において図3と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
以下に、本発明の第3の実施形態について図面を参照して説明する。図10は第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示している。図10において図3と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
以下に、本発明の第4の実施形態について図面を参照して説明する。図13は第4の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示している。図13において図3と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
以下に、本発明の第5の実施形態について図面を参照して説明する。図15は第5の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示している。図15において図3と同一の構成要素には同一の符号を附すことにより説明を省略する。
12 P型MOSトランジスタ
13 厚膜トランジスタ
21 半導体基板
21A 第1の素子領域
21B 第2の素子領域
21C 第3の素子領域
22 素子分離領域
31 第1のゲート絶縁膜
32 第1のゲート電極
33 サイドウォール
34 第1のN型エクステンション領域
35 第1のN型ソースドレイン領域
41 第2のゲート絶縁膜
42 第2のゲート電極
43 サイドウォール
44 第1のP型エクステンション領域
45 第1のP型ソースドレイン領域
51 第3のゲート絶縁膜
52 第3のゲート電極
53 サイドウォール
54 第2のN型エクステンション領域
55 第2のN型ソースドレイン領域
61 厚膜酸化膜
61a 厚膜酸窒化膜
61b 厚膜酸窒化膜
61c 厚膜酸窒化膜
61d 厚膜酸窒化膜
62 第1の窒化膜
63 第1の酸窒化膜
63a 第1の酸窒化膜
63b 第1の酸窒化膜
64 第1の酸化膜
65 第2の酸窒化膜
66 第1のマスク
67 第2のマスク
71 第1の酸化膜
71a 第1の酸窒化膜
71b 第1の酸窒化膜
72 第2の酸化膜
73 第1の酸窒化膜
74 第2の酸窒化膜
76 第1のマスク
77 第2のマスク
Claims (22)
- 半導体基板の第1の素子領域に形成された第1導電型の第1のトランジスタと、前記第1の素子領域と分離された第2の素子領域に形成された第2導電型の第2のトランジスタとを備え、
前記第1のトランジスタは、前記第1の素子領域の上に形成された第1のゲート絶縁膜と該第1のゲート絶縁膜の上に形成された第1のゲート電極とを有し、
前記第2のトランジスタは、前記第2の素子領域の上に形成された第2のゲート絶縁膜と該第2のゲート絶縁膜の上に形成された第2のゲート電極とを有し、
前記第1のゲート絶縁膜及び第2のゲート絶縁膜は、酸窒化シリコンからなり、
前記第1のゲート絶縁膜における平均窒素濃度は、前記第2のゲート絶縁膜における平均窒素濃度よりも高いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のゲート絶縁膜の膜厚は、前記第2のゲート絶縁膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート絶縁膜及び第2のゲート絶縁膜は、同じ膜厚であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート絶縁膜の窒素濃度のピーク値は、前記第2のゲート絶縁膜の窒素濃度のピーク値よりも高いことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート絶縁膜と前記基板との界面における窒素濃度は、前記第2のゲート絶縁膜と前記基板との界面における窒素濃度と同程度であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体基板の第1の素子領域に形成された第1導電型の第1のトランジスタと、前記第1の素子領域と分離された第2の素子領域に形成された第2導電型の第2のトランジスタとを備え、
前記第1のトランジスタは、前記第1の素子領域の上に形成された第1のゲート絶縁膜と、該第1のゲート絶縁膜の上に形成された第1のゲート電極とを有し、
前記第2のトランジスタは、前記第2の素子領域の上に形成された第2のゲート絶縁膜と、該第2のゲート絶縁膜の上に形成された第2のゲート電極とを有し、
前記第1のゲート絶縁膜及び第2のゲート絶縁膜は、酸窒化シリコンからなり、
前記第1のゲート絶縁膜の膜厚は、前記第2のゲート絶縁膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のゲート絶縁膜の平均窒素濃度は、前記第2のゲート絶縁膜の平均窒素濃度と同程度であることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート絶縁膜と前記基板との界面における窒素濃度は、前記第2のゲート絶縁膜と前記基板との界面における窒素濃度よりも低いことを特徴とする請求項6又は7に記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート絶縁膜の窒素濃度のピーク値は、前記第2のゲート絶縁膜の窒素濃度のピーク値よりも高いことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1のトランジスタは、N型MOSトランジスタであり、
前記第2のトランジスタは、P型MOSトランジスタであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板における前記第1の素子領域及び第2の素子領域と分離された第3の素子領域に形成された第3のトランジスタをさらに備え、
前記第3のトランジスタは、前記第3の素子領域の上に形成された第3のゲート絶縁膜と、該第3のゲート絶縁膜の上に形成された第3のゲート電極とを有し、
前記第3のゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1のゲート絶縁膜の膜厚及び第2のゲート絶縁膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第3のゲート絶縁膜は酸化シリコンからなることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。
- 前記第3のゲート絶縁膜は、酸窒化シリコンからなることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。
- 半導体基板の第1の素子領域に形成された第1のゲート絶縁膜及び第1のゲート電極を有する第1導電型の第1のトランジスタと、前記第1の素子領域と分離された第2の素子領域に形成された第2のゲート絶縁膜及び第2のゲート電極を有する第2導電型の第2のトランジスタとを備えた半導体装置の製造方法において、
前記第1の素子領域上に第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a)と、
前記第2の素子領域上に第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b)と、
前記工程(a)及び工程(b)の後に、前記第1のゲート絶縁膜上に前記第1のゲート電極を形成するとともに、前記第2のゲート絶縁膜上に前記第2のゲート電極を形成する工程(c)とを備え、
前記第1のゲート絶縁膜における平均窒素濃度は、前記第2のゲート絶縁膜における平均窒素濃度よりも高いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の素子領域に第1のプラズマ窒化処理を行って、前記第1の素子領域上に窒化膜を形成する工程(a1)と、前記窒化膜に第1のプラズマ酸化処理を行って前記窒化膜に酸素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域上に酸化膜を形成する工程(b1)と、前記酸化膜を第2のプラズマ窒化処理を行って前記酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b2)とを含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b1)は、前記第2の素子領域に第2のプラズマ酸化処理を行って、前記第2の素子領域上に前記酸化膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(a)は、前記第1の素子領域にプラズマ酸化処理を行って、前記第1の素子領域上に第1の酸化膜を形成する工程(a1)と、前記第1の酸化膜に第1のプラズマ窒化処理を行って前記第1の酸化膜に窒素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域に前記プラズマ酸化処理を行って、前記第1の酸化膜を形成するのと同時に、前記第2の素子領域上に第2の酸化膜を形成する工程(b1)と、前記第2の酸化膜に第2のプラズマ窒化処理を行って前記第2の酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の素子領域にプラズマ酸化処理を行って、前記第1の素子領域上に第1の酸化膜を形成する工程(a1)と、前記第1の酸化膜に第1のプラズマ窒化処理を行って前記第1の酸化膜に窒素を導入して酸窒化シリコン膜を形成する工程(a2)と、前記酸窒化シリコン膜に第2のプラズマ窒化処理を行って前記酸窒化シリコン膜に窒素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a3)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域に前記プラズマ酸化処理を行って、前記第1の酸化膜を形成するのと同時に、前記第2の素子領域上に第2の酸化膜を形成する工程(b1)と、前記第2の酸化膜に前記第1のプラズマ窒化処理を行って、前記酸窒化シリコン膜を形成するのと同時に、前記第2の酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b2)とを含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の素子領域に第1のプラズマ酸化処理を行って、前記第1の素子領域上に第1の酸化膜を形成する工程(a1)と、前記第1の酸化膜に第1のプラズマ窒化処理を行って前記第1の酸化膜に窒素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域に前記第2のプラズマ酸化処理を行って、前記第2の素子領域上に前記第1の酸化膜よりも膜厚の薄い第2の酸化膜を形成する工程(b1)と、前記第2の酸化膜に第2のプラズマ窒化処理を行って前記第2の酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の素子領域に第1のプラズマ酸化処理を行って、前記第1の素子領域上に第1の酸化膜を形成する工程(a1)と、前記第1の酸化膜に第1のプラズマ窒化処理を行って前記第1の酸化膜に窒素を導入して酸窒化シリコン膜を形成する工程(a2)と、前記酸窒化シリコン膜に第2のプラズマ窒化処理を行って前記酸窒化シリコン膜に窒素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a3)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域に前記第2のプラズマ酸化処理を行って、前記第2の素子領域上に前記第1の酸化膜よりも膜厚の薄い第2の酸化膜を形成する工程(b1)と、前記第2の酸化膜に前記第1のプラズマ窒化処理を行って、前記酸窒化シリコン膜を形成するのと同時に、前記第2の酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b2)とを含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の第1の素子領域に形成された第1のゲート絶縁膜及び第1のゲート電極を有する第1導電型の第1のトランジスタと、前記第1の素子領域と分離された第2の素子領域に形成された第2のゲート絶縁膜及び第2のゲート電極を有する第2導電型の第2のトランジスタとを備えた半導体装置の製造方法において、
前記第1の素子領域上に第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a)と、
前記第2の素子領域上に第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b)と、
前記工程(a)及び工程(b)の後に、前記第1のゲート絶縁膜上に前記第1のゲート電極を形成するとともに、前記第2のゲート絶縁膜上に前記第2のゲート電極を形成する工程(c)とを備え、
前記第1のゲート絶縁膜の膜厚は、前記第2のゲート絶縁膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の素子領域に第1のプラズマ酸化処理を行って、前記第1の素子領域上に第1の酸化膜を形成する工程(a1)と、前記第1の酸化膜にプラズマ窒化処理を行って前記第1の酸化膜に窒素を導入して前記第1の酸窒化シリコンからなる前記第1のゲート絶縁膜を形成する工程(a2)とを含み、
前記工程(b)は、前記第2の素子領域に前記第2のプラズマ酸化処理を行って、前記第2の素子領域上に前記第1の酸化膜よりも膜厚の薄い第2の酸化膜を形成する工程(b1)と、前記第2の酸化膜に前記プラズマ窒化処理を行って、前記第1のゲート絶縁膜を形成するのと同時に、前記第2の酸化膜に窒素を導入して前記第2の酸窒化シリコンからなる前記第2のゲート絶縁膜を形成する工程(b2)とを含むことを特徴とする請求項21に記載の半導体装置の製造方法。
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