JP2011161760A - 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を含みかつ加熱により前記溶出を妨げるほどの酸化膜を形成しない材料で構成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。
【選択図】図1
Description
吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、
前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を主体としかつ加熱により前記溶出を阻害するほどの酸化膜を形成しない材料で形成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、
前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程と含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である
図1は、本発明の製造方法により製造される液体吐出ヘッドの構成例を示す模式的断面図である。なお、以下の実施形態では、インクジェットヘッドを例にして本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図2及び3は、インクジェットヘッド用基板の製造工程を説明するための断面工程図である。
評価は、本実施形態の製造方法を用いて作製したインクジェット記録ヘッドと、比較として電気化学反応を用いて不動態化した密着層を有するインクジェット記録ヘッドを用いた。アルカリインク(pH10)、駆動周波数;15kHz、パスル幅;1μs、駆動電圧;24Vで駆動させ、コゲ取り条件を1×10^6パスル毎、10V、15sとし、吐出評価した。その結果、電界反応を用いて不動態化した密着層を有するインクジェット記録ヘッドは、一部のノズルにコゲが原因の不吐があり、印字品位の低下が確認された。一方、本実施形態の方法で作製したインクジェット記録ヘッドは、記録品位に問題ないことを確認した。
実施形態2では密着層が1層からなる場合について説明したが、本実施形態で説明するように、密着層は2層で形成することもできる。
図5は、本発明にかかる製造方法を用いて作製したインクジェットヘッドが適用されたインクジェット装置の一例の外観図である。
2 蓄熱層
3 発熱抵抗体層
4 電極配線層
5 保護層
6 密着層
7 密着層酸化部
8 上部保護層
10 電極用スルーホール
11 吐出口
12 流路形成部材
13 液体吐出ヘッド用基板
Claims (7)
- 吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、
前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を含みかつ加熱により前記溶出を妨げるほどの酸化膜を形成しない材料で構成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、
前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記ガスは、前記酸素を総流量の20%以上含有している請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記放電のためのプラズマソースとして、誘導結合型プラズマを用いる請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記密着層の上に前記上部保護層を配置した後、該上部保護層をパターニングし、該パターニングにより露出した前記密着層の表面を酸化する請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記密着層は上部密着層と下部密着層との2層からなり、
前記上部密着層をエッチングストップ層としてドライエッチングにより前記上部保護層をパターニングし、該パターニングにより露出した前記上部密着層の表面を酸化する請求項4に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記上部密着層はTiで形成され、前記下部密着層はTaで形成されている請求項5に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記上部保護層はIrまたはRuを含む材料で形成されている請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
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