JP2008258270A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光型半導体レーザ素子3の光が主として外部に射出される側とは反対側に、多層膜フィルタ2および半導体光検出素子1が面発光型半導体レーザ素子3側からこの順に配置されている。多層膜フィルタ2は、厚さがλ1/(4×n1)(λ1は多層膜フィルタ2の中心波長、λ1<λ0、λ0は発振波長、n1は屈折率)である低屈折率層21と、厚さがλ1/(4×n2)(n2>n1、n2は屈折率)である高屈折率層22とを交互に積層して形成されている。これにより、自然放出光のうち波長λ0より短い波長帯の光は多層膜フィルタ2によって反射され発光型半導体レーザ素子3に戻される。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体発光装置の断面構成を表すものである。なお、図1は、模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なっている。この半導体発光装置は、半導体光検出素子1上に、多層膜フィルタ2(第1の多層膜フィルタ)と、面発光型半導体レーザ素子3とをこの順に配置すると共に、これら半導体光検出素子1、多層膜フィルタ2および面発光型半導体レーザ素子3を一体に形成して構成したものである。
面発光型半導体レーザ素子3は、多層膜フィルタ2上に、例えば、p型コンタクト層31、p型DBR層32、酸化狭窄層33、p型クラッド層34、活性層35、n型クラッド層36、n型DBR層37、n型コンタクト層38を多層膜フィルタ2側からこの順に積層した積層構造を備えている。この積層構造は、例えば、p型DBR層32の側面と、p型DBR層32およびp型コンタクト層31の境界付近の側面とに段差を有するメサ形状となっている。
半導体光検出素子1は、基板10上に、光吸収層11、p型コンタクト層12およびp側電極13を基板10側からこの順に有しており、基板10の裏面に、n側電極14を有している。
多層膜フィルタ2は、面発光型半導体レーザ素子3から半導体光検出素子1側に出力される光に含まれる誘導放出光を透過すると共に、面発光型半導体レーザ素子3から半導体光検出素子1側に出力される光に含まれる自然放出光を面発光型半導体レーザ素子3側に選択的に反射するためのものである。この多層膜フィルタ2は、面発光型半導体レーザ素子3の底部(p型コンタクト層31)と、半導体光検出素子1の上部(p型コンタクト層12)との間に設けられており、低屈折率層21および高屈折率層22を交互に積層して形成されている。
p型コンタクト層12の露出部分にp側電極13を形成する(図1)。さらに、n型コンタクト層38の表面に、開口部41Aを有するn側電極41を形成し、さらに、基板10の裏面にn側電極42を形成する(図1)。このようにして、本実施の形態の半導体発光装置が製造される。
波長帯域の幅Δg=(4/π)×sin−1((nH−nL)/(nH+nL))
上記実施の形態では、多層膜フィルタ2が、面発光型半導体レーザ素子3から半導体光検出素子1側に出力された光に含まれる自然放出光L2のうち波長λ0よりも短波長側の光を反射する場合を例示して説明したが、面発光型半導体レーザ素子3から半導体光検出素子1側に出力された光に含まれる自然放出光L2のうち波長λ0よりも短波長側の光だけでなく、波長λ0よりも長波長側の光も反射するようにしてもよい。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体発光装置の構造を表すものである。なお、図8は模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なっている。また、以下の説明において、上記実施の形態と同一の符号が用いられている場合は、その同一符号の要素と同様の構成・機能を有することを意味している。また、以下では、上記実施の形態と異なる構成、作用、効果について主に説明し、上記実施の形態と共通の構成、作用、効果についての記載を適宜省略する。
Claims (10)
- 波長λ0の誘導放出光と、波長λ0を含む波長帯の自然放出光とを含む光を発する半導体発光素子と、
厚さがλ1/(4×na)(λ1<λ0、naは屈折率)である低屈折率層と、厚さがλ1/(4×nb)(nb>na、nbは屈折率)である高屈折率層とを交互に積層してなる積層構造を有する多層膜フィルタと、
前記多層膜フィルタを透過した光の一部を吸収する光吸収層を有する半導体光検出素子と
を備えることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記多層膜フィルタは、厚さがλ2/(4×nc)(λ2>λ0、ncは屈折率)である低屈折率層と、厚さがλ2/(4×nd)(nd>nc、ndは屈折率)である高屈折率層とを交互に積層してなる積層構造を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。 - 波長λ0の誘導放出光と、波長λ0を含む波長帯の自然放出光とを含む光を発する半導体発光素子と、
厚さがλ2/(4×nc)(λ2>λ0、ncは屈折率)である低屈折率層と、厚さがλ2/(4×nd)(nd>nc、ndは屈折率)である高屈折率層とを交互に積層してなる積層構造を有する多層膜フィルタと、
前記多層膜フィルタを透過した光の一部を吸収する光吸収層を有する半導体光検出素子と
を備えることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記半導体発光素子は、第1多層膜反射鏡、第1クラッド層、活性層、第2クラッド層および第2多層膜反射鏡をこの順に含む積層構造を有し、
前記第1多層膜反射鏡および前記第2多層膜反射鏡はそれぞれ、厚さがλ0/(4×ne)(neは屈折率)である低屈折率層と、厚さがλ0/(4×nf)(nf>ne、nfは屈折率)である高屈折率層とを交互に積層して形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。 - 前記低屈折率層および前記高屈折率層は化合物半導体からなる
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の半導体発光装置。 - 前記低屈折率層および前記高屈折率層は、III族元素としてアルミニウム(Al)を含むIII−V族化合物半導体からなり、
前記低屈折率層のAl組成比が前記高屈折率層のAl組成比よりも大きい
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体発光装置。 - 前記低屈折率層および前記高屈折率層は絶縁性材料からなる
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。 - 前記低屈折率層はSiO2からなり、
前記高屈折率層はSiNからなる
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体発光装置。 - 前記半導体光検出素子、前記多層膜フィルタおよび前記半導体発光素子は、基板上にこの順にエピタキシャル結晶成長させることにより形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。 - 前記多層膜フィルタは、前記半導体発光素子および前記半導体光検出素子のいずれか一方と、接合層を介して貼り合わされている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007096653A JP4983346B2 (ja) | 2007-04-02 | 2007-04-02 | 半導体発光装置 |
US12/078,382 US7601987B2 (en) | 2007-04-02 | 2008-03-31 | Semiconductor light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007096653A JP4983346B2 (ja) | 2007-04-02 | 2007-04-02 | 半導体発光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008258270A true JP2008258270A (ja) | 2008-10-23 |
JP4983346B2 JP4983346B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=39852893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007096653A Active JP4983346B2 (ja) | 2007-04-02 | 2007-04-02 | 半導体発光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7601987B2 (ja) |
JP (1) | JP4983346B2 (ja) |
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US20080251794A1 (en) | 2008-10-16 |
JP4983346B2 (ja) | 2012-07-25 |
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