JP2008254149A - 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラスクロスにエポキシ樹脂組成物ワニスを含浸乾燥して得たプリプレグを所定枚数重ねて一体に加熱加圧成形した積層板において、プリプレグの厚さが100μm未満であり、エポキシ樹脂組成物ワニス及び/又はガラスクロスが無機充填材を含有してなることを特徴とする被研磨物保持材用積層板及び該積層板を用いてなる被研磨物保持材。
【選択図】 なし
Description
被研磨物保持材用積層板として使用される積層板は、ガラス織布にエポキシ樹脂を含浸乾燥して得たプリプレグを所定枚数重ねて一体に加熱加圧成形した積層板が使用されている。
積層板は、次のようにして被研磨物保持材へ加工する。
すなわち、定尺の積層板から所定寸法の円板を切り出し、この積層板に1ないし複数個の円形の穴を開ける。
また、円板の周囲には、歯車の歯を形成する。
このようにして製作した被研磨物保持材を用いて研磨を行なうときは、前記保持材を研磨機にセットし、その円形の穴には被研磨物を保持する。
そして、保持材の周囲の歯に駆動歯車の歯を噛み合わせて、保持材を駆動させる。
これに伴って、円形の穴に保持した被研磨物も駆動され、被研磨物は、これに当接している研磨材によって表面を研磨される(例えば特許文献1参照)。
しかし従来の積層板では、保持材の歯車部がシリコンウエハの研磨時の負荷に耐えられず積層板の欠けが発生しやすく、また、シリコンウエハの研磨時に被研磨物との接触により積層板の樹脂部が磨耗し、露出したガラス織布によるシリコンウエハ表面及び端面の傷の原因ともなっている。
一方、金属板、又は樹脂入り金属板は、研磨時の負荷に耐え得る強度、耐摩耗性の点では優れているが、研磨の際に金属も研磨されることから研磨された金属粉によるシリコンウエハの表面汚染、金属粉によるシリコンウエハの傷が発生し問題となっている。
本発明の目的は、研磨時の負荷に耐え得る強度、耐摩耗性を向上させた被研磨物保持材用の積層板、及び該積層板を用いた被研磨物保持材を提供することである。
[1]ガラスクロスにエポキシ樹脂組成物ワニスを含浸乾燥して得たプリプレグを所定枚数重
て一体に加熱加圧成形した積層板において、プリプレグの厚さが100μm未満であり、エポキシ樹脂組成物ワニスが無機充填材を含有してなることを特徴とする被研磨物保持材用積層板。
[2]エポキシ樹脂組成物ワニスが無機充填材の含有率が、5〜95重量%である[1]項記載の被研磨保持用積層板。
[3]無機充填剤を含有するエポキシ樹脂組成物硬化物のバーコール硬度が50以上である[1]又は[2]項記載の被研磨物保持材用積層板。
[4][1]〜[3]項のいずれか1項に記載の被研磨物保持材用積層板を用いて製作されてなる被研磨物保持材。
また、当該積層板を用いて作製された被研磨物保持材は優れた強度、耐摩耗性を備えており、また金属板を用いた被研磨物保持材を用いたときに問題となるシリコンウエハ表面の金属による汚染、研磨された金属粉によるウエハ端面の傷の発生が少なく、被研磨物保持材として適している。
前記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂等のアリールアルキレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
エポキシ樹脂として、これらの中の1種類を単独で用いることもできるし、異なる重量平均分子量を有する2種類以上を併用したり、1種類または2種類以上と、それらのプレポリマーを併用したりすることもできる。
本発明に用いることのできる硬化剤としては、ジシアンジアミド,フェノールノボラック類、クレゾールノボラック類,フェノール類とナフトール類とアルデヒド類の共縮合物,フェノール類及び/又はナフトール類とキシリレングリコールとの縮合物,フェノール類とジシクロペンタジエンとの反応物,ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルフォン、メタフェニレンジアミン等のアミン類,無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、無水メチルナジック酸等の酸無水物類,オルトトリルビスグアニジン、テトラメチルグアニジン等のグアニジン類等が例示される。
本発明に用いることのできる硬化促進剤としては、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類,ベンジルジメチルアミン、2.4.6−トリス(ジメチルアミノ)フェノール等の3級アミン類,トリフェニルフォスフィン等のフォスフィン化合物,アルミニュウム化合物,チタン化合物等が挙げられる。
このようなプリプレグの厚さを得るためにはガラスクロスの厚さが80μm以下であることが好ましい。
更に好ましくは60μm以下である。
プリプレグの厚さを100μm未満とすることにより、被研磨物保持材に用いた時に、研磨時の負荷に耐え得る強度、耐摩耗性を備えた積層板を得ることができ、また、ウエハ端面の傷の発生を少なくすることができる。
無機充填材を含有することにより、被研磨物保持材の研磨時の負荷に耐え得る強度、耐摩耗性が向上する。
無機充填材は、エポキシ樹脂組成物に配合することができるものであれば、特に限定するものではなく、例えばアルミナ、カオリンクレー、シリカ、酸化チタン、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、クルク、マイカ等を単独または2種以上混合して使用しても良い。
エポキシ樹脂組成物は無機充填材の配合する量は、5重量%〜99重量%の範囲で可能であり、特に、30重量%から60重量%であることが望ましい。
本発明の樹脂組成物硬化物のバーコール硬度は、50以上であることが好ましい。バーコール硬度が50未満であると、被研磨物保持材のギア等のダメージが発生しやすく、好ましくない。
また、積層板中に含有する無機充填剤の研磨による研磨粉によるウエハキズ等の問題を解決するために、積層板表層に無機充填剤を含有しないワニスを含浸乾燥して得たプリプレグを配し、積層板内層に無機充填剤を含有するワニスを含浸乾燥して得たプリプレグを配するコンポジット構成を特徴とする被研磨保持用積層板とすることもできる。
無機充填材の分散液をガラスクロスに含浸させる。
このようにして得た無機充填材含浸ガラスクロスに無機充填材を配合し分散させたエポキシ樹脂組成物ワニス、又は無機充填材を含まないエポキシ樹脂組成物ワニスを含浸乾燥してプリプレグを得る。
そして、当該プリプレグの層を加熱加圧成形して積層板とする。
このようにして得られた本発明の積層板は、定尺の積層板を所定寸法に裁断し、この積層板に被研磨物を保持するための1ないし複数個の穴をあけることにより、被研磨物保持材が得られる。
該被研磨物保持材を用いて研磨を行なうときは、前記保持材を研磨機にセットし、前記穴には被研磨物を嵌め合せて保持する。
そして、保持材を駆動させると、これに伴って、穴に保持した被研磨物も駆動され、被研磨物は、これに当接している研磨材によって表面を研磨される。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001(油化シェルエポキシ製 エポキシ当量470)
(2)硬化剤ジシアンジアミド
(3)水酸化アルミニウム(平均粒径1μm)
を準備し、重量比で、(1)/(2)/(3)=65/5/30の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスA)。
プリプレグの作製
単位重量50g/m2・厚み60μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニスAを
含浸乾燥してプリプレグAを作製した。
積層板の作製
プリプレグAを12枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001
(2)硬化剤ジシアンジアミド
(3)水酸化アルミニウム(平均粒径1μm)
を準備し、重量比で、(1)/(2)/(3)=50/5/45の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスB)。
プリプレグの作製
単位重量50g/m2・厚み60μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニスBを
含浸乾燥してプリプレグBを作製した。
積層板の作製
プリプレグBを12枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001
(2)硬化剤ジシアンジアミド
(3)水酸化アルミニウム(平均粒径1μm)
を準備し、重量比で、(1)/(2)/(3)=35/5/60の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスC)。
プリプレグの作製
単位重量50g/m2・厚み60μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニスBを
含浸乾燥してプリプレグCを作製した。
積層板の作製
プリプレグCを12枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001(2)硬化剤ジシアンジアミド
を準備し、重量比で、(1)/(2)=95/5の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスD)。
プリプレグの作製
単位重量50g/m2・厚み60μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニスBを
含浸乾燥してプリプレグDを作製した。
積層板の作製
プリプレグDを12枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001
(2)硬化剤ジシアンジアミド
(3)水酸化アルミニウム(平均粒径1μm)
を準備し、重量比で、(1)/(2)/(3)=50/5/45の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスB)。
プリプレグの作製
単位重量105g/m2・厚み100μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニス
Bを含浸乾燥してプリプレグEを作製した。
積層板の作製
プリプレグEを8枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
エポキシ樹脂ワニスの作製
(1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂エピコート1001
(2)硬化剤ジシアンジアミド
(3)水酸化アルミニウム(平均粒径1μm)
を準備し、重量比で、(1)/(2)/(3)=50/5/45の割合で配合・作製した(エポキシ樹脂ワニスB)。
プリプレグの作製
単位重量205g/m2・厚み180μmのガラス織布に樹脂量40重量%でエポキシ樹脂ワニス
Bを含浸乾燥してプリプレグFを作製した。
積層板の作製
プリプレグFを4枚配置し、最表面には離型フィルムを配置して、これを鏡面板に挟んで加熱加圧成形により0.8mm厚のガラスクロス基材エポキシ樹脂積層板を作製した。
表中の各性能は、以下のようにして測定した。
樹脂硬化物硬度(バーコール硬さ) ; JIS K 6711「熱硬化性プラスチック一般試験方法」に基づいて測定した。
ギアのダメージ、及びシリコンウエハ表面・端面状態 ; 外形200mmφギア付きで被研磨物を保持する穴寸法100×100mmの保持材を積層板を加工して作製し、シリコンウエハを保持した前記保持材を研磨機にセットして、研磨を行った。
ギアのダメージは、保持材外形ギアを目視にて観察して評価した。
シリコンウエハ表面・端面状態は、シリコンウエハを目視にて観察して評価した。
一方、比較例1はギアの欠けが発生し、問題であった。
比較例2はギアの欠けが発生し、ウエハ表面・端面も曇りが発生した。
比較例3は、ギアの欠けが大きく、ウエハ表面・端面も光沢が全くなかった。
Claims (4)
- ガラスクロスにエポキシ樹脂組成物ワニスを含浸乾燥して得たプリプレグを所定枚数重ねて一体に加熱加圧成形した積層板において、プリプレグの厚さが100μm未満であり、エポキシ樹脂組成物ワニスが無機充填材を含有してなることを特徴とする被研磨物保持材用積層板。
- エポキシ樹脂組成物ワニスの無機充填材の含有率が、5〜95重量%である請求項1記載の被研磨保持用積層板。
- 無機充填剤を含有するエポキシ樹脂組成物硬化物のバーコール硬度が50以上である請求項1又は2記載の被研磨物保持材用積層板。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の被研磨物保持材用積層板を用いて製作されてなる被研磨物保持材。
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