JPH10329016A - 研磨用治具板およびその製造方法 - Google Patents
研磨用治具板およびその製造方法Info
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- JPH10329016A JPH10329016A JP9150215A JP15021597A JPH10329016A JP H10329016 A JPH10329016 A JP H10329016A JP 9150215 A JP9150215 A JP 9150215A JP 15021597 A JP15021597 A JP 15021597A JP H10329016 A JPH10329016 A JP H10329016A
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- Japan
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- thermoplastic resin
- jig plate
- polishing jig
- thermosetting
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハーなどの挿入穴の内周面などに優れた
切削表面粗さを有するとともに、層間剥離強度や曲げ強
度に優れる。 【解決手段】 熱可塑性樹脂体と、熱硬化性プリプレグ
および熱硬化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとの硬
化積層体からなる。
切削表面粗さを有するとともに、層間剥離強度や曲げ強
度に優れる。 【解決手段】 熱可塑性樹脂体と、熱硬化性プリプレグ
および熱硬化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとの硬
化積層体からなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は研磨用治具板および
その製造方法に関し、特にシリコンウエハーやハードデ
ィスク、水晶レンズなど電子部品分野や液晶表示装置分
野における研磨用治具板およびその製造方法に関する。
その製造方法に関し、特にシリコンウエハーやハードデ
ィスク、水晶レンズなど電子部品分野や液晶表示装置分
野における研磨用治具板およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスの微細化や高集積化およ
び液晶表示装置の大型化や高精細化などに伴い、シリコ
ンウエハーやガラス基板などの鏡面研磨はますます重要
となってきている。従来、たとえばシリコンウエハーの
鏡面研磨工程は、研磨用治具板によりシリコンウエハー
位置を固定して、強アルカリ液などにコロイダルシリカ
等を分散させた研磨剤と適切な研磨布との組合わせによ
り、アルカリによる化学研磨とシリカによる機械研磨と
を組合わせて行われている。このような鏡面研磨工程で
用いられる研磨用治具板は、ガラスクロスやガラス不織
布に熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグを複数枚積層し
て硬化させたガラスエポキシ積層板をたとえば図５に示
す形状に加工して用いられてきた。図５（ａ）は研磨用
治具板の平面図であり、図５（ｂ）は断面図である。図
５に示すように、円盤４の外周に回転駆動用の歯車５を
切削加工するとともに、ウエハーなどの挿入穴６の内周
面をマシニングやＮＣカッターなどで切削加工して、シ
リコンウエハーラッピングやポリシング加工の研磨用治
具板としている。
び液晶表示装置の大型化や高精細化などに伴い、シリコ
ンウエハーやガラス基板などの鏡面研磨はますます重要
となってきている。従来、たとえばシリコンウエハーの
鏡面研磨工程は、研磨用治具板によりシリコンウエハー
位置を固定して、強アルカリ液などにコロイダルシリカ
等を分散させた研磨剤と適切な研磨布との組合わせによ
り、アルカリによる化学研磨とシリカによる機械研磨と
を組合わせて行われている。このような鏡面研磨工程で
用いられる研磨用治具板は、ガラスクロスやガラス不織
布に熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグを複数枚積層し
て硬化させたガラスエポキシ積層板をたとえば図５に示
す形状に加工して用いられてきた。図５（ａ）は研磨用
治具板の平面図であり、図５（ｂ）は断面図である。図
５に示すように、円盤４の外周に回転駆動用の歯車５を
切削加工するとともに、ウエハーなどの挿入穴６の内周
面をマシニングやＮＣカッターなどで切削加工して、シ
リコンウエハーラッピングやポリシング加工の研磨用治
具板としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年集
積回路の生産性の向上、低価格化、大集積化のために、
シリコーンウエハー形状の大型化が進められ、 12 イン
チ径のシリコンウエハーの開発が急務とされている。こ
のような大口径シリコンウエハーを鏡面研磨するために
用いられる研磨用治具板を図５に示す形状などに加工す
る場合、つぎのような問題が生じる。ガラスエポキシ積
層板をマシニングで超硬バイトを用いて切削加工した場
合、超硬工具の消耗が激しく寿命が短くなる場合が多
く、切削面の粗さを細かく、常に一定水準の表面粗さ状
態を得るには、常時新しい超硬工具を準備して交換する
必要があった。このように、新しい超硬工具であって
も、細かい面粗度が得られる有効な切削量は限られてい
た。このような問題は、研磨用治具板の外周面のみなら
ずウエハーなどの挿入穴６の内周面においても同様であ
った。このように、シリコンウエハーラッピングやポリ
シング加工用として、優れた切削表面粗さを有する研磨
用治具板が得られないという問題があった。
積回路の生産性の向上、低価格化、大集積化のために、
シリコーンウエハー形状の大型化が進められ、 12 イン
チ径のシリコンウエハーの開発が急務とされている。こ
のような大口径シリコンウエハーを鏡面研磨するために
用いられる研磨用治具板を図５に示す形状などに加工す
る場合、つぎのような問題が生じる。ガラスエポキシ積
層板をマシニングで超硬バイトを用いて切削加工した場
合、超硬工具の消耗が激しく寿命が短くなる場合が多
く、切削面の粗さを細かく、常に一定水準の表面粗さ状
態を得るには、常時新しい超硬工具を準備して交換する
必要があった。このように、新しい超硬工具であって
も、細かい面粗度が得られる有効な切削量は限られてい
た。このような問題は、研磨用治具板の外周面のみなら
ずウエハーなどの挿入穴６の内周面においても同様であ
った。このように、シリコンウエハーラッピングやポリ
シング加工用として、優れた切削表面粗さを有する研磨
用治具板が得られないという問題があった。
【０００４】ガラスエポキシ積層板に代えて熱可塑樹脂
シートと熱硬化性樹脂シートの複合積層品とした場合、
相互の層間剥離強度や曲げ強度がガラスエポキシ積層板
の特性に及ばないという問題があった。
シートと熱硬化性樹脂シートの複合積層品とした場合、
相互の層間剥離強度や曲げ強度がガラスエポキシ積層板
の特性に及ばないという問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題に対処するため
になされたもので、ウエハーなどの挿入穴の内周面など
に優れた切削表面粗さを有するとともに、層間剥離強度
や曲げ強度に優れた研磨用治具板およびその製造方法を
提供することを目的とする。
になされたもので、ウエハーなどの挿入穴の内周面など
に優れた切削表面粗さを有するとともに、層間剥離強度
や曲げ強度に優れた研磨用治具板およびその製造方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨用治具板
は、熱可塑性樹脂体と、熱硬化性プリプレグおよび熱硬
化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとの硬化積層体か
らなる。ここで、硬化積層体とは、熱可塑性樹脂体と熱
硬化性プリプレグ等とを積層して所定の条件で硬化させ
た積層体をいう。
は、熱可塑性樹脂体と、熱硬化性プリプレグおよび熱硬
化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとの硬化積層体か
らなる。ここで、硬化積層体とは、熱可塑性樹脂体と熱
硬化性プリプレグ等とを積層して所定の条件で硬化させ
た積層体をいう。
【０００７】また、熱可塑性樹脂体の両側に熱硬化性プ
リプレグを配置した硬化積層体からなることを特徴とす
る。
リプレグを配置した硬化積層体からなることを特徴とす
る。
【０００８】また、熱可塑性樹脂体が結晶性熱可塑性樹
脂体であることを特徴とする。
脂体であることを特徴とする。
【０００９】本発明の研磨用治具板の製造方法は、熱可
塑性樹脂組成物をシート状にする工程と、シート状熱可
塑性樹脂体に延伸処理および熱処理から選ばれた少なく
とも一つの処理をする工程と、該処理後のシート状熱可
塑性樹脂体と熱硬化性プリプレグおよび熱硬化性樹脂か
ら選ばれた少なくとも一つとを積層接着して硬化する工
程とを有することを特徴とする。
塑性樹脂組成物をシート状にする工程と、シート状熱可
塑性樹脂体に延伸処理および熱処理から選ばれた少なく
とも一つの処理をする工程と、該処理後のシート状熱可
塑性樹脂体と熱硬化性プリプレグおよび熱硬化性樹脂か
ら選ばれた少なくとも一つとを積層接着して硬化する工
程とを有することを特徴とする。
【００１０】また、積層接着工程の前に、シート状熱可
塑性樹脂体表面の接着性向上処理工程を有することを特
徴とする。
塑性樹脂体表面の接着性向上処理工程を有することを特
徴とする。
【００１１】また、接着性向上処理工程は、プラズマ処
理、コロナ処理および紫外線処理から選ばれた少なくと
も一つの処理工程であることを特徴とする。
理、コロナ処理および紫外線処理から選ばれた少なくと
も一つの処理工程であることを特徴とする。
【００１２】また、熱硬化性プリプレグは少なくとも自
己支持体を形成できる厚さであることを特徴とする。こ
こで、自己支持体とは、ガラスクロスやガラス不織布に
熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグが、それ自身で熱硬
化性プリプレグとして利用できることをいう。すなわち
少なくとも自己支持体を形成できる厚さであるとは、プ
リプレグとして利用可能な最低厚さ以上の熱硬化性プリ
プレグをいう。
己支持体を形成できる厚さであることを特徴とする。こ
こで、自己支持体とは、ガラスクロスやガラス不織布に
熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグが、それ自身で熱硬
化性プリプレグとして利用できることをいう。すなわち
少なくとも自己支持体を形成できる厚さであるとは、プ
リプレグとして利用可能な最低厚さ以上の熱硬化性プリ
プレグをいう。
【００１３】このように熱硬化性プリプレグより厚い熱
可塑性樹脂体と、より薄い熱硬化性プリプレグとを積層
した構造の研磨用治具板とすることにより、熱可塑性樹
脂体の断面比率を多くすることができる。その結果、本
発明の研磨用治具板は、切削加工性がより向上する。ま
た、熱可塑性樹脂体を結晶性熱可塑性樹脂体とすること
により研磨用治具板の厚さ精度を向上することができ
る。さらに、熱可塑性樹脂体表面に接着性向上処理をす
ることにより熱可塑性樹脂体と熱硬化性プリプレグとの
接着性を改善することができる。
可塑性樹脂体と、より薄い熱硬化性プリプレグとを積層
した構造の研磨用治具板とすることにより、熱可塑性樹
脂体の断面比率を多くすることができる。その結果、本
発明の研磨用治具板は、切削加工性がより向上する。ま
た、熱可塑性樹脂体を結晶性熱可塑性樹脂体とすること
により研磨用治具板の厚さ精度を向上することができ
る。さらに、熱可塑性樹脂体表面に接着性向上処理をす
ることにより熱可塑性樹脂体と熱硬化性プリプレグとの
接着性を改善することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の研磨用治具板を図１によ
り説明する。図１は研磨用治具板の断面図であり、図１
（ａ）は熱可塑性樹脂体１の両側に熱硬化性プリプレグ
２を配置して硬化させた硬化積層体の例を、図１（ｂ）
は熱可塑性樹脂体１の片側に熱硬化性プリプレグ２を配
置した硬化積層体の例を、図１（ｃ）は熱硬化性プリプ
レグ２の両側に熱可塑性樹脂体１を配置した硬化積層体
の例をそれぞれ示す。本発明の研磨用治具板は、これら
を複数枚組合わせてもよい。研磨用治具板の反りなどを
抑えるためには、図１（ａ）または図１（ｃ）の組合わ
せが好ましい。
り説明する。図１は研磨用治具板の断面図であり、図１
（ａ）は熱可塑性樹脂体１の両側に熱硬化性プリプレグ
２を配置して硬化させた硬化積層体の例を、図１（ｂ）
は熱可塑性樹脂体１の片側に熱硬化性プリプレグ２を配
置した硬化積層体の例を、図１（ｃ）は熱硬化性プリプ
レグ２の両側に熱可塑性樹脂体１を配置した硬化積層体
の例をそれぞれ示す。本発明の研磨用治具板は、これら
を複数枚組合わせてもよい。研磨用治具板の反りなどを
抑えるためには、図１（ａ）または図１（ｃ）の組合わ
せが好ましい。
【００１５】本発明に係る熱可塑性樹脂体は熱硬化性プ
リプレグ等と積層することのできる平板形状であれば使
用することができ、たとえばシート状、板状、フイルム
状の形状で使用することができる。また、このような平
板形状とすることのできる成形方法であれば種々の成形
方法を使用して熱可塑性樹脂体を得ることができる。具
体的には、押出し成形、射出成形、延伸成形、カレンダ
ー成形、圧縮成形、トランスファー成形等を用いること
ができる。好適な方法としては、押出し成形や射出成形
等を挙げることができる。また、延伸成形も結晶性を高
める上で好適である。
リプレグ等と積層することのできる平板形状であれば使
用することができ、たとえばシート状、板状、フイルム
状の形状で使用することができる。また、このような平
板形状とすることのできる成形方法であれば種々の成形
方法を使用して熱可塑性樹脂体を得ることができる。具
体的には、押出し成形、射出成形、延伸成形、カレンダ
ー成形、圧縮成形、トランスファー成形等を用いること
ができる。好適な方法としては、押出し成形や射出成形
等を挙げることができる。また、延伸成形も結晶性を高
める上で好適である。
【００１６】本発明に係る熱可塑性樹脂体として使用す
ることのできる熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン樹
脂、ポリプロピレン樹脂などのポリオレフィン樹脂、塩
化ビニリデン樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、エチレ
ン−ビニルアセテート共重合樹脂、エチレン−エチルア
クリレート共重合樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン
・スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、メタクリル樹脂、ポ
リアセタール樹脂、ポリカーボネイト樹脂、セルロース
樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテ
ルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アイオノマー樹
脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリアリルスルホ
ン樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリエーテルエーテ
ルケトン樹脂、ポリフェニレンサルフアイド樹脂、ポリ
スルホン樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂、ポリエチレ
ンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹
脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂等を挙げることが
できる。これらの樹脂は、単体でもブレンド品としても
使用することができる。また、樹脂組成物として、タル
クやマイカなどの充填材、着色剤、酸化防止剤、難燃剤
など各種の配合剤を配合することができる。
ることのできる熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン樹
脂、ポリプロピレン樹脂などのポリオレフィン樹脂、塩
化ビニリデン樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、エチレ
ン−ビニルアセテート共重合樹脂、エチレン−エチルア
クリレート共重合樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン
・スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、メタクリル樹脂、ポ
リアセタール樹脂、ポリカーボネイト樹脂、セルロース
樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテ
ルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アイオノマー樹
脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリアリルスルホ
ン樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリエーテルエーテ
ルケトン樹脂、ポリフェニレンサルフアイド樹脂、ポリ
スルホン樹脂、全芳香族ポリエステル樹脂、ポリエチレ
ンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹
脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂等を挙げることが
できる。これらの樹脂は、単体でもブレンド品としても
使用することができる。また、樹脂組成物として、タル
クやマイカなどの充填材、着色剤、酸化防止剤、難燃剤
など各種の配合剤を配合することができる。
【００１７】熱可塑性樹脂のなかで、少なくとも結晶性
部分を含む結晶性熱可塑性樹脂であることが本発明に好
適である。結晶性熱可塑性樹脂であると研磨用治具板と
しての寸法安定性や機械的強度、耐熱性を向上させるこ
とができる。ここで結晶性熱可塑性樹脂とは、Ｘ線回折
やＤＳＣなどにより結晶構造が認められる熱可塑性樹脂
をいう。この結晶構造は、延伸処理や熱処理により増加
させることができる。たとえば、本発明に係る硬化積層
体を形成する過程において、熱プレスで加熱加圧による
熱圧延加工により結晶化度が向上する。寸法安定性や機
械的強度に優れ本発明に好適な結晶性熱可塑性樹脂体と
して、ポリエチレンテレフタレート樹脂やポリブチレン
テレフタレート樹脂、またはこれらにマイカ等の充填材
を配合した樹脂組成物を挙げることができる。
部分を含む結晶性熱可塑性樹脂であることが本発明に好
適である。結晶性熱可塑性樹脂であると研磨用治具板と
しての寸法安定性や機械的強度、耐熱性を向上させるこ
とができる。ここで結晶性熱可塑性樹脂とは、Ｘ線回折
やＤＳＣなどにより結晶構造が認められる熱可塑性樹脂
をいう。この結晶構造は、延伸処理や熱処理により増加
させることができる。たとえば、本発明に係る硬化積層
体を形成する過程において、熱プレスで加熱加圧による
熱圧延加工により結晶化度が向上する。寸法安定性や機
械的強度に優れ本発明に好適な結晶性熱可塑性樹脂体と
して、ポリエチレンテレフタレート樹脂やポリブチレン
テレフタレート樹脂、またはこれらにマイカ等の充填材
を配合した樹脂組成物を挙げることができる。
【００１８】本発明に係る熱可塑性樹脂体は、積層接着
する前に熱硬化性プリプレグ等との接着性を向上させる
ための表面処理を行うことが好ましい。そのような表面
処理としては、プラズマ処理、コロナ処理および紫外線
処理などの物理化学的処理、サンドブラストなどの機械
的処理、酸化性酸による酸化処理などの化学的処理を挙
げることができる。これらのなかでも寸法安定性や接着
性を向上させることのできる物理化学的処理が好まし
い。
する前に熱硬化性プリプレグ等との接着性を向上させる
ための表面処理を行うことが好ましい。そのような表面
処理としては、プラズマ処理、コロナ処理および紫外線
処理などの物理化学的処理、サンドブラストなどの機械
的処理、酸化性酸による酸化処理などの化学的処理を挙
げることができる。これらのなかでも寸法安定性や接着
性を向上させることのできる物理化学的処理が好まし
い。
【００１９】本発明に係る熱硬化性プリプレグは、基材
に熱硬化性樹脂を含浸させたものであれば使用すること
ができる。基材としては、紙、ガラス布、ガラス不織
布、ポリエステルフィルム、ポリエステル不織布、芳香
族ポリアミド紙（デュポン社商品名、ノーメックス）、
またはこれらの組み合わせ等を挙げることができ、熱硬
化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポ
リイミド樹脂、イミド変性エポキシ樹脂、アラルキルエ
ーテル樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、ビスマレイミ
ド・トリアジン樹脂などを挙げることができる。これら
のなかでも、本発明における強度を維持するためには、
特に基材としてガラス布やガラス不織布を、熱硬化性樹
脂としてエポキシ樹脂を用いたプリプレグが好ましい。
に熱硬化性樹脂を含浸させたものであれば使用すること
ができる。基材としては、紙、ガラス布、ガラス不織
布、ポリエステルフィルム、ポリエステル不織布、芳香
族ポリアミド紙（デュポン社商品名、ノーメックス）、
またはこれらの組み合わせ等を挙げることができ、熱硬
化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポ
リイミド樹脂、イミド変性エポキシ樹脂、アラルキルエ
ーテル樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、ビスマレイミ
ド・トリアジン樹脂などを挙げることができる。これら
のなかでも、本発明における強度を維持するためには、
特に基材としてガラス布やガラス不織布を、熱硬化性樹
脂としてエポキシ樹脂を用いたプリプレグが好ましい。
【００２０】本発明に係る熱硬化性樹脂は、フェノール
樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、メラミンフェノール
共縮合樹脂、キシレン変性フェノール樹脂、ユリアグア
ナミン共縮合樹脂、アミノ樹脂、アセトグアナミン樹
脂、メラミングアナミン樹脂、アルキッド樹脂、ジアリ
ルフタレート樹脂、キシレン樹脂、エポキシ樹脂、エポ
キシアクリレート樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂
等を例示することができる。
樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、メラミンフェノール
共縮合樹脂、キシレン変性フェノール樹脂、ユリアグア
ナミン共縮合樹脂、アミノ樹脂、アセトグアナミン樹
脂、メラミングアナミン樹脂、アルキッド樹脂、ジアリ
ルフタレート樹脂、キシレン樹脂、エポキシ樹脂、エポ
キシアクリレート樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂
等を例示することができる。
【００２１】本発明の研磨用治具板の製造方法を図２に
より説明する。図２は、本発明の研磨用治具板の製造工
程を示すフローチャートである。まず、熱可塑性樹脂シ
ート１ａ、熱硬化性プリプレグ２および積層用治具３を
準備する。熱可塑性樹脂シート１ａは、そのままで（経
路ａ）、コロナ処理をして（経路ｂ）、あるいは熱圧延
処理をした後コロナ処理をして（経路ｃ）、セットアッ
プされる。セットアップは熱可塑性樹脂シート１ａおよ
び熱硬化性プリプレグ２を重ね合わせて離型アルミニウ
ム板やクッション板などの積層用治具３を用いて熱プレ
スの熱板３ｄ間に挿入することによりなされる。セット
アップの一例を図３および図４に示す。図４は複数枚の
熱可塑性樹脂シート１ａおよび熱硬化性プリプレグ２を
重ね合わせて同時に積層接着プレスを行う場合の例であ
る。
より説明する。図２は、本発明の研磨用治具板の製造工
程を示すフローチャートである。まず、熱可塑性樹脂シ
ート１ａ、熱硬化性プリプレグ２および積層用治具３を
準備する。熱可塑性樹脂シート１ａは、そのままで（経
路ａ）、コロナ処理をして（経路ｂ）、あるいは熱圧延
処理をした後コロナ処理をして（経路ｃ）、セットアッ
プされる。セットアップは熱可塑性樹脂シート１ａおよ
び熱硬化性プリプレグ２を重ね合わせて離型アルミニウ
ム板やクッション板などの積層用治具３を用いて熱プレ
スの熱板３ｄ間に挿入することによりなされる。セット
アップの一例を図３および図４に示す。図４は複数枚の
熱可塑性樹脂シート１ａおよび熱硬化性プリプレグ２を
重ね合わせて同時に積層接着プレスを行う場合の例であ
る。
【００２２】図３に示すように、熱可塑性樹脂シート１
ａと熱硬化性プリプレグ２とを重ね合わせて離型アルミ
板３ａを熱硬化性プリプレグ２側に重ね、上下をステン
レス板３ｂおよびクッション板３ｃで挟みセットアップ
が完了する。また、図４に示すように、熱可塑性樹脂シ
ート１ａの両側に熱硬化性プリプレグ２および離型アル
ミ板３ａとを配置し、これらが常にステンレス板３ｂで
挟まれるように各ユニットを積み重ね多数のユニットを
同時に積層接着プレスすることができる。
ａと熱硬化性プリプレグ２とを重ね合わせて離型アルミ
板３ａを熱硬化性プリプレグ２側に重ね、上下をステン
レス板３ｂおよびクッション板３ｃで挟みセットアップ
が完了する。また、図４に示すように、熱可塑性樹脂シ
ート１ａの両側に熱硬化性プリプレグ２および離型アル
ミ板３ａとを配置し、これらが常にステンレス板３ｂで
挟まれるように各ユニットを積み重ね多数のユニットを
同時に積層接着プレスすることができる。
【００２３】積層接着プレス工程は、熱可塑性樹脂シー
ト１ａと熱硬化性プリプレグ２とを一体に接着させると
ともに、プリプレグを硬化させることにある。また、熱
処理工程は多数のユニットを同時に積層接着プレスした
場合における研磨用治具板それぞれの熱エネルギー積算
量をほぼ等しくするためである。
ト１ａと熱硬化性プリプレグ２とを一体に接着させると
ともに、プリプレグを硬化させることにある。また、熱
処理工程は多数のユニットを同時に積層接着プレスした
場合における研磨用治具板それぞれの熱エネルギー積算
量をほぼ等しくするためである。
【００２４】熱処理工程後、複数枚の研磨用治具板を解
体して、必要箇所にＮＣ加工機などで所定の切削加工を
行い研磨用治具板が完成する。本発明の研磨用治具板
は、半導体や電子部品分野でのシリコンウエハー、ハー
ドディスク、水晶レンズや液晶表示装置分野でのガラス
基板等の鏡面研磨やポリッシングに好適に用いることが
できる。
体して、必要箇所にＮＣ加工機などで所定の切削加工を
行い研磨用治具板が完成する。本発明の研磨用治具板
は、半導体や電子部品分野でのシリコンウエハー、ハー
ドディスク、水晶レンズや液晶表示装置分野でのガラス
基板等の鏡面研磨やポリッシングに好適に用いることが
できる。
【００２５】
実施例１ 図２に示すフローチャートの経路ａにより研磨用治具板
を作製した。熱硬化性プリプレグ２として、利昌工業株
式会社製ガラス繊維プリプレグＥＷ−３１０５を準備す
る。このプリプレグは厚さが 0.21mm 、樹脂含有率が 4
0 重量％、ゲル化時間が 150℃で 80 〜120 秒である。
一方熱可塑性樹脂シート１ａとして、ユニチカ株式会社
製熱可塑性樹脂シートＴタイプを準備する。この熱可塑
性樹脂シートは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）樹脂にマイカを充填して強化したコンポジットシー
トで厚さが 0.2mmである。熱可塑性樹脂シート１ａの両
側に熱硬化性プリプレグ２を配置して、図３に示す積層
接着プレスのセットアップ方法によりセットアップす
る。クッション板３ｃにはヤマウチ株式会社製多層板用
のＫＮ−４２Ｐ２を用い、ステンレス板３ｂには厚さが
1.0mmの高砂鉄工株式会社製ＴＰＰ１６を用いる。ま
た、離型アルミ板３ａには厚さが 0.38mm の株式会社オ
サダコーポレーション製ＤＵＯＦＯＩＬを用いる。図４
に示すように、 6ユニットを積み重ねて一つの積層体と
して、加熱プレスの熱板間に挿入し、所定のプログラム
に基づいて熱プレスを運転し、加熱加圧下で積層接着を
行う。
を作製した。熱硬化性プリプレグ２として、利昌工業株
式会社製ガラス繊維プリプレグＥＷ−３１０５を準備す
る。このプリプレグは厚さが 0.21mm 、樹脂含有率が 4
0 重量％、ゲル化時間が 150℃で 80 〜120 秒である。
一方熱可塑性樹脂シート１ａとして、ユニチカ株式会社
製熱可塑性樹脂シートＴタイプを準備する。この熱可塑
性樹脂シートは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）樹脂にマイカを充填して強化したコンポジットシー
トで厚さが 0.2mmである。熱可塑性樹脂シート１ａの両
側に熱硬化性プリプレグ２を配置して、図３に示す積層
接着プレスのセットアップ方法によりセットアップす
る。クッション板３ｃにはヤマウチ株式会社製多層板用
のＫＮ−４２Ｐ２を用い、ステンレス板３ｂには厚さが
1.0mmの高砂鉄工株式会社製ＴＰＰ１６を用いる。ま
た、離型アルミ板３ａには厚さが 0.38mm の株式会社オ
サダコーポレーション製ＤＵＯＦＯＩＬを用いる。図４
に示すように、 6ユニットを積み重ねて一つの積層体と
して、加熱プレスの熱板間に挿入し、所定のプログラム
に基づいて熱プレスを運転し、加熱加圧下で積層接着を
行う。
【００２６】引きつづき、熱処理加工を行う。熱処理加
工には熱風循環式の恒温槽を用いる。この工程では前工
程での積み重ね位置の違いにより、加えられた熱エネル
ギーが異なっているので、この工程は熱エネルギーの加
熱積算量を均一にするために硬化度調整を行うのが主目
的である。
工には熱風循環式の恒温槽を用いる。この工程では前工
程での積み重ね位置の違いにより、加えられた熱エネル
ギーが異なっているので、この工程は熱エネルギーの加
熱積算量を均一にするために硬化度調整を行うのが主目
的である。
【００２７】引きつづき、マシニングセンターにて図５
に示すように研磨用治具板の外周の歯車およびウエハー
挿入穴の切削加工を行う。この加工工程において、ウエ
ハー挿入穴の断面をいかに滑らかに研磨するかが重要で
ある。研磨用の工具には超鋼バイト ＳＯＬＩＤ ＥＮ
ＤＭＩＬＬ ＴＩＮ コーテング品を用いた。また、切
削加工は、回転数 3500rpm、送り速度 750mm／分の条件
で行った。得られた研磨用治具板の層間剥離強度、切削
面粗さ（Ｒｍａｘ）、曲げ強度、厚さを測定した。測定
結果を熱可塑性樹脂シートの表面処理の有無と共に表１
に示す。
に示すように研磨用治具板の外周の歯車およびウエハー
挿入穴の切削加工を行う。この加工工程において、ウエ
ハー挿入穴の断面をいかに滑らかに研磨するかが重要で
ある。研磨用の工具には超鋼バイト ＳＯＬＩＤ ＥＮ
ＤＭＩＬＬ ＴＩＮ コーテング品を用いた。また、切
削加工は、回転数 3500rpm、送り速度 750mm／分の条件
で行った。得られた研磨用治具板の層間剥離強度、切削
面粗さ（Ｒｍａｘ）、曲げ強度、厚さを測定した。測定
結果を熱可塑性樹脂シートの表面処理の有無と共に表１
に示す。
【００２８】実施例２ 図２に示すフローチャートの経路ｂにより研磨用治具板
を作製した。積層接着プレス前に、押出成形した熱可塑
性樹脂シートの表面にコロナ処理を行った以外は実施例
１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
を作製した。積層接着プレス前に、押出成形した熱可塑
性樹脂シートの表面にコロナ処理を行った以外は実施例
１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
【００２９】実施例３ 図２に示すフローチャートの経路ｃにより研磨用治具板
を作製した。積層接着プレス前に、押出成形した熱可塑
性樹脂シートを熱プレスで 175℃、30 分、5Okgf/cm2
の条件下で熱圧延した。熱圧延した後に熱可塑性樹脂シ
ートの表面にコロナ処理を行った。以後、実施例１と同
じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用治具板
を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
を作製した。積層接着プレス前に、押出成形した熱可塑
性樹脂シートを熱プレスで 175℃、30 分、5Okgf/cm2
の条件下で熱圧延した。熱圧延した後に熱可塑性樹脂シ
ートの表面にコロナ処理を行った。以後、実施例１と同
じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用治具板
を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００３０】実施例４ プリプレグ厚さが 0.1mmの熱硬化性プリプレグ２と、厚
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
【００３１】実施例５ プリプレグ厚さが 0.1mmの熱硬化性プリプレグ２と、厚
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
２と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
２と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
【００３２】実施例６ プリプレグ厚さが 0.1mmの熱硬化性プリプレグ２と、厚
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
３と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
さが 0.4mmの熱可塑性樹脂シートを用いる以外は実施例
３と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた研磨用
治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１に示
す。
【００３３】実施例７ 熱硬化性プリプレグ２の両側に熱可塑性樹脂シート１ａ
を配置する以外は実施例１と同じ条件にて研磨用治具板
を得た。得られた研磨用治具板を実施例１と同様に評価
した。結果を表１に示す。
を配置する以外は実施例１と同じ条件にて研磨用治具板
を得た。得られた研磨用治具板を実施例１と同様に評価
した。結果を表１に示す。
【００３４】実施例８ 熱硬化性プリプレグ２の片側に熱可塑性樹脂シート１ａ
を配置する以外は実施例１と同じ条件にて研磨用治具板
を得た。なお、熱硬化性プリプレグ２および熱可塑性樹
脂シート１ａは、それぞれ約 0.3mm厚さのものを使用し
た。得られた研磨用治具板を実施例１と同様に評価し
た。結果を表１に示す。
を配置する以外は実施例１と同じ条件にて研磨用治具板
を得た。なお、熱硬化性プリプレグ２および熱可塑性樹
脂シート１ａは、それぞれ約 0.3mm厚さのものを使用し
た。得られた研磨用治具板を実施例１と同様に評価し
た。結果を表１に示す。
【００３５】比較例１ 熱硬化性プリプレグ２として、利昌工業株式会社製ガラ
ス繊維プリプレグＥＷ−３１０５を 3枚積層する以外は
実施例１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた
研磨用治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１
に示す。
ス繊維プリプレグＥＷ−３１０５を 3枚積層する以外は
実施例１と同じ条件にて研磨用治具板を得た。得られた
研磨用治具板を実施例１と同様に評価した。結果を表１
に示す。
【００３６】
【表１】
【００３７】表１に示すように、実施例の研磨用治具板
は、比較例の研磨用治具板と比較して、曲げ強度が遜色
なく、切削面粗さ（Ｒｍａｘ）に優れている。また、コ
ロナ処理をすることにより、層間剥離強度が向上する。
は、比較例の研磨用治具板と比較して、曲げ強度が遜色
なく、切削面粗さ（Ｒｍａｘ）に優れている。また、コ
ロナ処理をすることにより、層間剥離強度が向上する。
【００３８】
【発明の効果】本発明は、熱可塑性樹脂体と熱硬化性プ
リプレグとの硬化積層体からなるので、切削面粗さに優
れた研磨用治具板が得られる。
リプレグとの硬化積層体からなるので、切削面粗さに優
れた研磨用治具板が得られる。
【００３９】また、熱可塑性樹脂体の両側に熱硬化性プ
リプレグを配置した硬化積層体とすることにより、高速
な切削加工が可能であり、切削工具の消耗が少ないので
有効切削量を大幅に増大でき、さらに曲げ強度に優れた
研磨用治具板が得られる。
リプレグを配置した硬化積層体とすることにより、高速
な切削加工が可能であり、切削工具の消耗が少ないので
有効切削量を大幅に増大でき、さらに曲げ強度に優れた
研磨用治具板が得られる。
【００４０】また、熱可塑性樹脂体を結晶性熱可塑性樹
脂体とすることにより、寸法安定性や強度、耐熱性に優
れた研磨用治具板が得られる。以上の結果、本発明の研
磨用治具板は大型のシリコンウエハーの加工において安
定した研磨加工に対応可能である。
脂体とすることにより、寸法安定性や強度、耐熱性に優
れた研磨用治具板が得られる。以上の結果、本発明の研
磨用治具板は大型のシリコンウエハーの加工において安
定した研磨加工に対応可能である。
【００４１】本発明の研磨用治具板の製造方法は熱可塑
性樹脂組成物をシート状にする工程と、延伸処理および
熱処理から選ばれた少なくとも一つの処理をする工程
と、熱硬化性プリプレグとを積層接着して硬化する工程
とを有するので、従来の設備で容易に表面平滑で機械的
強度に優れた研磨用治具板を製造することができる。ま
た、熱硬化性プリプレグとの接着性向上処理工程を有す
るので、接着強度に優れた研磨用治具板を製造すること
ができる。
性樹脂組成物をシート状にする工程と、延伸処理および
熱処理から選ばれた少なくとも一つの処理をする工程
と、熱硬化性プリプレグとを積層接着して硬化する工程
とを有するので、従来の設備で容易に表面平滑で機械的
強度に優れた研磨用治具板を製造することができる。ま
た、熱硬化性プリプレグとの接着性向上処理工程を有す
るので、接着強度に優れた研磨用治具板を製造すること
ができる。
【図１】研磨用治具板の断面図である。
【図２】研磨用治具板の製造工程を示すフローチャート
である。
である。
【図３】セットアップの一例を示す図である。
【図４】複数枚のセットアップの一例を示す図である。
【図５】研磨用治具板を示す図である。
１ 熱可塑性樹脂体 １ａ 熱可塑性樹脂シート ２ 熱硬化性プリプレグ ３ 積層用治具 ３ａ 離型アルミ板 ３ｂ ステンレス板 ３ｃ クッション板 ３ｄ 熱プレスの熱板 ４ 円盤 ５ 回転駆動用の歯車 ６ 挿入穴
Claims (7)
- 【請求項１】 熱可塑性樹脂体と、熱硬化性プリプレグ
および熱硬化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとの硬
化積層体からなる研磨用治具板。 - 【請求項２】 前記熱可塑性樹脂体の両側に前記熱硬化
性プリプレグを配置した硬化積層体からなることを特徴
とする請求項１記載の研磨用治具板。 - 【請求項３】 前記熱可塑性樹脂体が結晶性熱可塑性樹
脂体であることを特徴とする請求項１または請求項２記
載の研磨用治具板。 - 【請求項４】 熱可塑性樹脂組成物をシート状にする工
程と、前記シート状熱可塑性樹脂体に延伸処理および熱
処理から選ばれた少なくとも一つの処理をする工程と、
該処理後のシート状熱可塑性樹脂体と熱硬化性プリプレ
グおよび熱硬化性樹脂から選ばれた少なくとも一つとを
積層接着して硬化する工程とを有することを特徴とする
研磨用治具板の製造方法。 - 【請求項５】 前記積層接着工程の前に、前記シート状
熱可塑性樹脂体表面の接着性向上処理工程を有すること
を特徴とする請求項４記載の研磨用治具板の製造方法。 - 【請求項６】 前記接着性向上処理工程は、プラズマ処
理、コロナ処理および紫外線処理から選ばれた少なくと
も一つの処理工程であることを特徴とする請求項５記載
の研磨用治具板の製造方法。 - 【請求項７】 前記熱硬化性プリプレグは少なくとも自
己支持体を形成できる厚さであることを特徴とする請求
項４ないし請求項６のいずれか１項記載の研磨用治具板
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150215A JPH10329016A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 研磨用治具板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150215A JPH10329016A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 研磨用治具板およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329016A true JPH10329016A (ja) | 1998-12-15 |
Family
ID=15492060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9150215A Pending JPH10329016A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 研磨用治具板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10329016A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008254149A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 |
| WO2010119847A1 (ja) * | 2009-04-13 | 2010-10-21 | 株式会社有恒商会 | ワークキャリア、ブラシ用毛材及びブラシ並びにワークキャリア及びブラシ用毛材の製造方法 |
| WO2018025915A1 (ja) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 冨士ベークライト株式会社 | 研磨治具 |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP9150215A patent/JPH10329016A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008254149A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 |
| WO2010119847A1 (ja) * | 2009-04-13 | 2010-10-21 | 株式会社有恒商会 | ワークキャリア、ブラシ用毛材及びブラシ並びにワークキャリア及びブラシ用毛材の製造方法 |
| WO2018025915A1 (ja) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 冨士ベークライト株式会社 | 研磨治具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060213 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060221 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060627 |