JPH07205171A - 研磨用積層板の製造法 - Google Patents
研磨用積層板の製造法Info
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- JPH07205171A JPH07205171A JP66494A JP66494A JPH07205171A JP H07205171 A JPH07205171 A JP H07205171A JP 66494 A JP66494 A JP 66494A JP 66494 A JP66494 A JP 66494A JP H07205171 A JPH07205171 A JP H07205171A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】研磨材として用いる積層板であり、当該積層板
を貼り付ける保持部材との接着性に優れ、且つ接着性バ
ラツキも少ない接着層付きの積層板を製造する。 【構成】ガラス織布にエポキシ樹脂ワニスを含浸乾燥し
たガラス織布プリプレグを準備した。次に、前記プリプ
レグ２プライからなるプリプレグ構成体２の片方の最外
層に、離型紙の付いたポリウレタン接着シート３を接着
面を内側にして配置し、また、プリプレグ構成体１の他
方の最外層には、ポリプロピレンフィルム１を配置し
た。この積層構成物を鏡面板４に挟んで加熱加圧成形
し、接着層付き積層板を得た。この接着層付き積層板を
所定形状に裁断加工し、離型紙を剥がしてこの面に保持
部材を重ね、加熱加圧接着を行い、研磨用治具を製作す
る。
を貼り付ける保持部材との接着性に優れ、且つ接着性バ
ラツキも少ない接着層付きの積層板を製造する。 【構成】ガラス織布にエポキシ樹脂ワニスを含浸乾燥し
たガラス織布プリプレグを準備した。次に、前記プリプ
レグ２プライからなるプリプレグ構成体２の片方の最外
層に、離型紙の付いたポリウレタン接着シート３を接着
面を内側にして配置し、また、プリプレグ構成体１の他
方の最外層には、ポリプロピレンフィルム１を配置し
た。この積層構成物を鏡面板４に挟んで加熱加圧成形
し、接着層付き積層板を得た。この接着層付き積層板を
所定形状に裁断加工し、離型紙を剥がしてこの面に保持
部材を重ね、加熱加圧接着を行い、研磨用治具を製作す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用ガ
ラス、シリコンウエハなどを研磨する用途に使用される
紙フェノール、ガラスエポキシなどの積層板の製造方法
に関するものである。
ラス、シリコンウエハなどを研磨する用途に使用される
紙フェノール、ガラスエポキシなどの積層板の製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイ用ガラスやシリ
コンウエハなどを紙フェノール或いはガラスエポキシ積
層板で研磨するときには、これら積層板を保持部材に貼
り付けて使用している。積層板を保持部材に貼り付けて
研磨治具を製作する工程は、まず、積層板に接着剤のプ
ライマ処理を施す。次いで、積層板をＮＣ加工機などで
所定の寸法、形状に裁断加工し、保持部材と裁断加工し
た前記積層板を加熱加圧により接着する工程を経る。し
かし、前記の加工工程の中で、保持部材と積層板の接着
のために行なうプライマ処理は、プライマとして使用す
る接着剤の特性が変動しやすく、接着性バラツキが問題
となっている。さらに、プライマ接着剤の特性管理に非
常に工数がかるという問題がある。このため、近年、プ
ライマ処理の代わりに熱可塑性樹脂などからなる接着シ
ートを積層板表面に加熱加圧により貼り合わせることが
行なわれるようになった。
コンウエハなどを紙フェノール或いはガラスエポキシ積
層板で研磨するときには、これら積層板を保持部材に貼
り付けて使用している。積層板を保持部材に貼り付けて
研磨治具を製作する工程は、まず、積層板に接着剤のプ
ライマ処理を施す。次いで、積層板をＮＣ加工機などで
所定の寸法、形状に裁断加工し、保持部材と裁断加工し
た前記積層板を加熱加圧により接着する工程を経る。し
かし、前記の加工工程の中で、保持部材と積層板の接着
のために行なうプライマ処理は、プライマとして使用す
る接着剤の特性が変動しやすく、接着性バラツキが問題
となっている。さらに、プライマ接着剤の特性管理に非
常に工数がかるという問題がある。このため、近年、プ
ライマ処理の代わりに熱可塑性樹脂などからなる接着シ
ートを積層板表面に加熱加圧により貼り合わせることが
行なわれるようになった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記接着シートを積層
板表面に貼り合わせる技術では、プライマに関係する問
題点は解消したが、樹脂の硬化がＣステ−ジまで進んだ
積層板と接着シートの接着性は十分ではない。接着シー
トを介して保持部材に貼り付けた積層板が、液晶ディス
プレイ用ガラスやシリコンウエハなどの研磨中に剥離し
たり、研磨に使用する薬液などが積層板と保持部材の界
面に浸入するという問題点があった。本発明が解決しよ
うとする課題は、保持部材との接着性に優れ、且つ接着
性バラツキも少ない研磨研磨用途として適した接着層付
き積層板を製造することである。
板表面に貼り合わせる技術では、プライマに関係する問
題点は解消したが、樹脂の硬化がＣステ−ジまで進んだ
積層板と接着シートの接着性は十分ではない。接着シー
トを介して保持部材に貼り付けた積層板が、液晶ディス
プレイ用ガラスやシリコンウエハなどの研磨中に剥離し
たり、研磨に使用する薬液などが積層板と保持部材の界
面に浸入するという問題点があった。本発明が解決しよ
うとする課題は、保持部材との接着性に優れ、且つ接着
性バラツキも少ない研磨研磨用途として適した接着層付
き積層板を製造することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る製造法は、プリプレグ１枚若しくは複
数枚からなるプリプレグ構成体を加熱加圧成形する方法
において、前記プリプレグ構成体の片側の最外層に熱可
塑性接着シートを配置し加熱加圧積層することを特徴と
する。熱可塑性接着シートは、好ましくは、ポリウレタ
ン或いは変性ポリウレタンからなるものである。
に、本発明に係る製造法は、プリプレグ１枚若しくは複
数枚からなるプリプレグ構成体を加熱加圧成形する方法
において、前記プリプレグ構成体の片側の最外層に熱可
塑性接着シートを配置し加熱加圧積層することを特徴と
する。熱可塑性接着シートは、好ましくは、ポリウレタ
ン或いは変性ポリウレタンからなるものである。
【０００５】
【作用】本発明の特徴は、接着シートを積層板を成形す
る工程において一体化する点にある。この特徴により、
以下の作用が生じる。 （１）従来の方法では、積層板を構成する熱硬化性樹脂
が不溶不融のＣステージになっているため、これに接着
シートを貼り付けても積層板と接着シートの間の接着性
が劣り、また接着力にもバラツキがあった。本発明に係
る方法によれば、プリプレグの樹脂がＢステージのとき
に接着シートを一体化するため、プリプレグと接着シー
トの各々の樹脂が成形中に相溶、或いは所定の架橋を生
じるために、接着性が従来と比較して優れたものとな
り、また接着性のバラツキも低減する。 （２）従来の方法では、積層板の製造後に、積層板に接
着シートを貼り付ける工程が必要であったが、積層板の
成形工程で接着シートを同時に積層するため、研磨用治
具作製の製造工程が１工程減少し、生産性が向上する。
る工程において一体化する点にある。この特徴により、
以下の作用が生じる。 （１）従来の方法では、積層板を構成する熱硬化性樹脂
が不溶不融のＣステージになっているため、これに接着
シートを貼り付けても積層板と接着シートの間の接着性
が劣り、また接着力にもバラツキがあった。本発明に係
る方法によれば、プリプレグの樹脂がＢステージのとき
に接着シートを一体化するため、プリプレグと接着シー
トの各々の樹脂が成形中に相溶、或いは所定の架橋を生
じるために、接着性が従来と比較して優れたものとな
り、また接着性のバラツキも低減する。 （２）従来の方法では、積層板の製造後に、積層板に接
着シートを貼り付ける工程が必要であったが、積層板の
成形工程で接着シートを同時に積層するため、研磨用治
具作製の製造工程が１工程減少し、生産性が向上する。
【０００６】
【実施例】本発明において、積層板の種類は、紙基材フ
ェノール、綿布基材フェノール、ガラス基材エポキシ、
ポリイミド積層板などであり、研磨材として使用できる
積層板であれば、特に限定するものではない。また、接
着シートの樹脂系としては、本発明者等が検討した範囲
内では、ウレタン系すなわちポリウレタン或いは変性ポ
リウレタンが良好であった。しかし、前記のプリプレグ
構成体と接着性を有し、研磨用治具を作製するために保
持部材と接着するものであれば、特に限定するものでは
ない。
ェノール、綿布基材フェノール、ガラス基材エポキシ、
ポリイミド積層板などであり、研磨材として使用できる
積層板であれば、特に限定するものではない。また、接
着シートの樹脂系としては、本発明者等が検討した範囲
内では、ウレタン系すなわちポリウレタン或いは変性ポ
リウレタンが良好であった。しかし、前記のプリプレグ
構成体と接着性を有し、研磨用治具を作製するために保
持部材と接着するものであれば、特に限定するものでは
ない。
【０００７】実施例１（図１参照） ガラス織布（旭シュエーベル製「＃７６２８」，単位重
量２０５ｇ／m2）にエポキシ樹脂ワニスを含浸乾燥した
樹脂付着量４０重量％のガラス織布プリプレグを準備し
た。次に、前記プリプレグ２プライからなるプリプレグ
構成体２の片方の最外層に、離型紙の付いた厚さ５０μ
ｍのポリウレタン接着シート３を接着面を内側にして配
置し、また、プリプレグ構成体１の他方の最外層には、
厚さ６０μｍのポリプロピレンフィルム１を配置した。
この積層構成物を鏡面板４に挟んで常法により加熱加圧
成形し、厚さ０．４mmの接着層付き積層板を得た。上記
の接着層付き積層板と保持部材との接着性を確認するた
めに、積層板をＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断
加工し、離型紙を剥がしてこの面に保持部材を重ね、温
度１２０℃、圧力２０Kgf／cm2で２分間加熱加圧接着を
行い、研磨用治具を作製した。
量２０５ｇ／m2）にエポキシ樹脂ワニスを含浸乾燥した
樹脂付着量４０重量％のガラス織布プリプレグを準備し
た。次に、前記プリプレグ２プライからなるプリプレグ
構成体２の片方の最外層に、離型紙の付いた厚さ５０μ
ｍのポリウレタン接着シート３を接着面を内側にして配
置し、また、プリプレグ構成体１の他方の最外層には、
厚さ６０μｍのポリプロピレンフィルム１を配置した。
この積層構成物を鏡面板４に挟んで常法により加熱加圧
成形し、厚さ０．４mmの接着層付き積層板を得た。上記
の接着層付き積層板と保持部材との接着性を確認するた
めに、積層板をＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断
加工し、離型紙を剥がしてこの面に保持部材を重ね、温
度１２０℃、圧力２０Kgf／cm2で２分間加熱加圧接着を
行い、研磨用治具を作製した。
【０００８】実施例２ 接着シートがエポキシ樹脂で変性したポリウレタンから
なるものであること以外は、実施例１と同様にして接着
層付き積層板を製造した。そして、実施例１と同様にし
て研磨用治具を作製した。
なるものであること以外は、実施例１と同様にして接着
層付き積層板を製造した。そして、実施例１と同様にし
て研磨用治具を作製した。
【０００９】実施例３ 紙にフェノール樹脂を含浸乾燥した樹脂付着量が４５重
量％の紙フェノールプリプレグを準備した。次に、前記
プリプレグ４プライからなるプリプレグ構成体の片方の
最外層に、離型紙の付いた厚さ５０μｍのポリウレタン
接着性シートを接着面を内側にして配置し、また、プリ
プレグ構成体の他方の最外層には、離型剤（レシチン）
を塗布した離型紙を配置した。この積層構成物を鏡面板
に挟んで常法により加熱加圧成形し、厚さ０．８mmの接
着層付き紙フェノール積層板を得た。そして、実施例１
と同様にして研磨用治具を作製した。
量％の紙フェノールプリプレグを準備した。次に、前記
プリプレグ４プライからなるプリプレグ構成体の片方の
最外層に、離型紙の付いた厚さ５０μｍのポリウレタン
接着性シートを接着面を内側にして配置し、また、プリ
プレグ構成体の他方の最外層には、離型剤（レシチン）
を塗布した離型紙を配置した。この積層構成物を鏡面板
に挟んで常法により加熱加圧成形し、厚さ０．８mmの接
着層付き紙フェノール積層板を得た。そして、実施例１
と同様にして研磨用治具を作製した。
【００１０】実施例４ 接着シートがエポキシ樹脂で変性したポリウレタンから
なるものであること以外は、実施例３と同様にして接着
層付き積層板を製造した。そして、実施例１と同様にし
て研磨用治具を作製した。
なるものであること以外は、実施例３と同様にして接着
層付き積層板を製造した。そして、実施例１と同様にし
て研磨用治具を作製した。
【００１１】実施例５ 接着シートがポリエステルからなるものであること以外
は、実施例１と同様にして接着層付き積層板および研磨
用治具を作製した。
は、実施例１と同様にして接着層付き積層板および研磨
用治具を作製した。
【００１２】実施例６ 接着シートがポリビニルブチラールからなるものである
こと以外は、実施例１と同様にして接着層付き積層板お
よび研磨用治具を作製した。
こと以外は、実施例１と同様にして接着層付き積層板お
よび研磨用治具を作製した。
【００１３】従来例１ 常法により、サイズ１ｍ×１ｍ、厚さ０．４mmのガラス
エポキシ積層板を成形した。次いで、前記積層板を５０
０mm角に裁断し、これの片面に実施例１と同じ接着シー
トを接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２
０Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
エポキシ積層板を成形した。次いで、前記積層板を５０
０mm角に裁断し、これの片面に実施例１と同じ接着シー
トを接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２
０Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
【００１４】従来例２ 常法により、サイズ１ｍ×１ｍ、厚さ０．４mmのガラス
エポキシ積層板を成形した。次いで、前記積層板を５０
０mm角に裁断し、これの片面に実施例２と同じ接着シー
トを接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２
０Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
エポキシ積層板を成形した。次いで、前記積層板を５０
０mm角に裁断し、これの片面に実施例２と同じ接着シー
トを接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２
０Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
【００１５】従来例３ 常法により、サイズ１ｍ×１ｍ、厚さ０．８mmの紙フェ
ノール積層板を成形した。次いで、前記積層板を５００
mm角に裁断し、これの片面に実施例１と同じ接着シート
を接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２０
Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
ノール積層板を成形した。次いで、前記積層板を５００
mm角に裁断し、これの片面に実施例１と同じ接着シート
を接着面を内側にして配置し、温度１３０℃、圧力２０
Kgf／cm2の条件で５分間加熱加圧し一体に貼り合わせ
た。そして、ＮＣ加工機で所定のサイズ、形状に裁断加
工し、実施例１と同様にして研磨用治具を作製した。
【００１６】表１に実施例および従来例の研磨用治具の
特性を示す。表中、接着力は、積層板と保持部材との接
着力を示す。研磨治具作製工数は従来例の工数を１００
とした場合の指数で示す。
特性を示す。表中、接着力は、積層板と保持部材との接
着力を示す。研磨治具作製工数は従来例の工数を１００
とした場合の指数で示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【発明の効果】上述したように本発明に係る方法によれ
ば、積層板の成形工程で接着シートを貼り合わせたた
め、従来の研磨用治具に比べ、保持部材と積層板の接着
力が優れており、接着力のバラツキも減少する。また、
本発明ににより製造した接着層付き積層板を用いれば、
研磨用治具を作製するときの工数が減少し生産性が向上
する。接着シートがポリウレタン或いは変性ポリウレタ
ンであるときは、さらに接着力が大きくなり、接着力の
バラツキも小さくなる。
ば、積層板の成形工程で接着シートを貼り合わせたた
め、従来の研磨用治具に比べ、保持部材と積層板の接着
力が優れており、接着力のバラツキも減少する。また、
本発明ににより製造した接着層付き積層板を用いれば、
研磨用治具を作製するときの工数が減少し生産性が向上
する。接着シートがポリウレタン或いは変性ポリウレタ
ンであるときは、さらに接着力が大きくなり、接着力の
バラツキも小さくなる。
【図１】本発明に係る実施例において接着層付き積層板
を製造するときの材料層構成を示す説明図である。
を製造するときの材料層構成を示す説明図である。
１はポリプロピレンフィルム（離型フィルム） ２はプリプレグ構成体 ３は接着シート ４は鏡面板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０８Ｊ 5/24 ＣＦＦ 7310−4Ｆ // Ｃ０８Ｊ 5/14 9267−4Ｆ Ｂ２９Ｋ 105:06 Ｂ２９Ｌ 31:00
Claims (2)
- 【請求項１】プリプレグ１枚若しくは複数枚からなるプ
リプレグ構成体を加熱加圧成形する方法において、前記
プリプレグ構成体の片側の最外層に熱可塑性接着シート
を配置し加熱加圧積層することを特徴とする研磨用積層
板の製造法。 - 【請求項２】熱可塑性接着シートがポリウレタン或いは
変性ポリウレタンからなるものであることを特徴とする
請求項１記載の研磨用積層板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP66494A JP3300151B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 研磨用積層板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP66494A JP3300151B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 研磨用積層板の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205171A true JPH07205171A (ja) | 1995-08-08 |
| JP3300151B2 JP3300151B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=11480005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP66494A Expired - Fee Related JP3300151B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 研磨用積層板の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300151B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004269878A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-30 | Toray Ind Inc | 繊維強化複合材料およびその製造方法並びに一体化成形品 |
| KR100482771B1 (ko) * | 2002-09-30 | 2005-04-14 | 민경열 | 연마재의 마킹 방법 |
| US8092897B2 (en) | 2002-12-27 | 2012-01-10 | Toray Industries, Inc. | Layered product, electromagnetic-shielding molded object, and processes for producing these |
| JP2012006124A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Resibon Corp | 回転弾性砥石 |
-
1994
- 1994-01-10 JP JP66494A patent/JP3300151B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100482771B1 (ko) * | 2002-09-30 | 2005-04-14 | 민경열 | 연마재의 마킹 방법 |
| US8092897B2 (en) | 2002-12-27 | 2012-01-10 | Toray Industries, Inc. | Layered product, electromagnetic-shielding molded object, and processes for producing these |
| US8415007B2 (en) | 2002-12-27 | 2013-04-09 | Toray Industries, Inc. | Layered product |
| JP2004269878A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-30 | Toray Ind Inc | 繊維強化複合材料およびその製造方法並びに一体化成形品 |
| JP4543696B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-09-15 | 東レ株式会社 | 繊維強化複合材料およびその製造方法並びに一体化成形品 |
| JP2012006124A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Resibon Corp | 回転弾性砥石 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3300151B2 (ja) | 2002-07-08 |
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