JP2002326302A - 耐熱クッション - Google Patents
耐熱クッションInfo
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- JP2002326302A JP2002326302A JP2001130987A JP2001130987A JP2002326302A JP 2002326302 A JP2002326302 A JP 2002326302A JP 2001130987 A JP2001130987 A JP 2001130987A JP 2001130987 A JP2001130987 A JP 2001130987A JP 2002326302 A JP2002326302 A JP 2002326302A
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- film
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B15/00—Details of, or accessories for, presses; Auxiliary measures in connection with pressing
- B30B15/06—Platens or press rams
- B30B15/061—Cushion plates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 減圧ホットプレス機のクッション材等に好適
な耐熱クッション材およびその製造法を提供する。 【解決手段】 耐熱性クッション層とその両面の耐熱性
フィルムとからなり、耐熱性クッション層の外側周囲で
耐熱性フィルム同士をそのままもしくは耐熱性接着フィ
ルムを介在させて、加熱、減圧下で張り合わせて耐熱性
クッション層を密封してなる、温度 250℃以上で減圧下
に繰り返し使用可能で実質的に発塵しない耐熱クッショ
ン、並びに、その減圧プレス成形することからなる製造
法。 【効果】 400℃までの高温でクッション性を持ち、発
塵せず、均一で、減圧下で繰り返し使用可能な耐熱クッ
ションが得られた。
な耐熱クッション材およびその製造法を提供する。 【解決手段】 耐熱性クッション層とその両面の耐熱性
フィルムとからなり、耐熱性クッション層の外側周囲で
耐熱性フィルム同士をそのままもしくは耐熱性接着フィ
ルムを介在させて、加熱、減圧下で張り合わせて耐熱性
クッション層を密封してなる、温度 250℃以上で減圧下
に繰り返し使用可能で実質的に発塵しない耐熱クッショ
ン、並びに、その減圧プレス成形することからなる製造
法。 【効果】 400℃までの高温でクッション性を持ち、発
塵せず、均一で、減圧下で繰り返し使用可能な耐熱クッ
ションが得られた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の積層板を製造する際に使用する減圧ホットプレス機の
クッション材等に好適な、耐熱クッション材およびその
製造法に関する。
の積層板を製造する際に使用する減圧ホットプレス機の
クッション材等に好適な、耐熱クッション材およびその
製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、減圧ホットプレス機においては、
プレス成形する際に熱板と熱板との間にクッション材を
挿入して、熱板の歪みを修正すると共にプレス成形する
積層板の板面に圧力と熱が均等に加わるようにしてい
る。プリント配線板用積層板は、通常強化材に樹脂を含
浸させて半硬化したプリプレグを複数枚重ねると共に、
その片面もしくは両面に金属箔をもうけ、金型プレート
に挟んでプレスで加熱加圧することによって製造され
る。プレス成形の際、金型プレートと熱板との間にクッ
ション材を用いて積層板への偏熱偏圧を防いでいる。
プレス成形する際に熱板と熱板との間にクッション材を
挿入して、熱板の歪みを修正すると共にプレス成形する
積層板の板面に圧力と熱が均等に加わるようにしてい
る。プリント配線板用積層板は、通常強化材に樹脂を含
浸させて半硬化したプリプレグを複数枚重ねると共に、
その片面もしくは両面に金属箔をもうけ、金型プレート
に挟んでプレスで加熱加圧することによって製造され
る。プレス成形の際、金型プレートと熱板との間にクッ
ション材を用いて積層板への偏熱偏圧を防いでいる。
【０００３】従来、紙フェノール樹脂積層板、ガラス布
エポキシ樹脂積層板等のプレス成形では高温の場合でも
200℃程度であり、クッション材として紙、布、ゴム等
やこれらを組み合わせた物が用いられてきた。ゆえに、
従来のクッション材の使用温度の上限は 250℃程度であ
り、この温度以上では劣化が起こり、クッションとして
利用できなかった。他方、 300〜400 ℃という高温下で
クッション材として使用可能な素材として、炭素繊維
や、有機質耐炎繊維、アラミド繊維、パラフェニレンベ
ンゾビスオキサゾール繊維などの高耐熱性有機繊維から
なるフェルト材等がある。
エポキシ樹脂積層板等のプレス成形では高温の場合でも
200℃程度であり、クッション材として紙、布、ゴム等
やこれらを組み合わせた物が用いられてきた。ゆえに、
従来のクッション材の使用温度の上限は 250℃程度であ
り、この温度以上では劣化が起こり、クッションとして
利用できなかった。他方、 300〜400 ℃という高温下で
クッション材として使用可能な素材として、炭素繊維
や、有機質耐炎繊維、アラミド繊維、パラフェニレンベ
ンゾビスオキサゾール繊維などの高耐熱性有機繊維から
なるフェルト材等がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら材料に
は密度分布の偏在が大き過ぎたり、また、クッションと
して使用した場合に極めて容易に微細な繊維屑を発生
し、実質的に繰り返し使用ができないという課題があっ
た。本発明は、高温下の減圧ホットプレス条件下で、あ
る程度以上の回数繰り返し使用可能で、かつ発塵を起こ
さないプレスクッションを提供することにある。
は密度分布の偏在が大き過ぎたり、また、クッションと
して使用した場合に極めて容易に微細な繊維屑を発生
し、実質的に繰り返し使用ができないという課題があっ
た。本発明は、高温下の減圧ホットプレス条件下で、あ
る程度以上の回数繰り返し使用可能で、かつ発塵を起こ
さないプレスクッションを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、耐
熱性クッション層とその両面の耐熱性フィルムとからな
り、耐熱性クッション層の外側周囲で耐熱性フィルム同
士をそのままもしくは耐熱性接着フィルムを介在させ
て、加熱、減圧下で張り合わせて耐熱性クッション層を
密封してなる、温度 250℃以上で、減圧下に繰り返し使
用可能で実質的に発塵しない耐熱クッションであり、該
耐熱クッション層が、炭素繊維や、セミカーボン繊維
（有機繊維を原料とし、炭素繊維化前の不融化処理され
た耐炎繊維）、アラミド繊維、パラフェニレンベンゾビ
スオキサゾール繊維等の高耐熱性有機繊維を用いてなる
フェルトあるいは不織布であること、該耐熱性フィルム
が、高耐熱性の非熱融着型の樹脂フィルムと熱融着型の
ポリイミドフィルムあるいは液晶ポリマーとを重ねたも
のである事である。
熱性クッション層とその両面の耐熱性フィルムとからな
り、耐熱性クッション層の外側周囲で耐熱性フィルム同
士をそのままもしくは耐熱性接着フィルムを介在させ
て、加熱、減圧下で張り合わせて耐熱性クッション層を
密封してなる、温度 250℃以上で、減圧下に繰り返し使
用可能で実質的に発塵しない耐熱クッションであり、該
耐熱クッション層が、炭素繊維や、セミカーボン繊維
（有機繊維を原料とし、炭素繊維化前の不融化処理され
た耐炎繊維）、アラミド繊維、パラフェニレンベンゾビ
スオキサゾール繊維等の高耐熱性有機繊維を用いてなる
フェルトあるいは不織布であること、該耐熱性フィルム
が、高耐熱性の非熱融着型の樹脂フィルムと熱融着型の
ポリイミドフィルムあるいは液晶ポリマーとを重ねたも
のである事である。
【０００６】また、本発明は、耐熱性クッション層、そ
の両面に該耐熱性クッション層よりも広い耐熱性フィル
ムとを、該耐熱性クッション層の厚みと略同等の厚みと
なる様にした枠或いは上下一組枠の下枠の上に重ね温度
300℃以上、1 kPa 以下の減圧下にプレス成形すること
からなる耐熱クッションの製造法であり、該耐熱フィル
ムが、高耐熱性の非熱融着型の樹脂フィルムと熱融着型
のポリイミドフィルム或いは液晶ポリマーとを重ねたも
のである耐熱クッションの製造法である。
の両面に該耐熱性クッション層よりも広い耐熱性フィル
ムとを、該耐熱性クッション層の厚みと略同等の厚みと
なる様にした枠或いは上下一組枠の下枠の上に重ね温度
300℃以上、1 kPa 以下の減圧下にプレス成形すること
からなる耐熱クッションの製造法であり、該耐熱フィル
ムが、高耐熱性の非熱融着型の樹脂フィルムと熱融着型
のポリイミドフィルム或いは液晶ポリマーとを重ねたも
のである耐熱クッションの製造法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明でクッション材のクッショ
ン層を構成する繊維は、加熱加圧成形時の耐久性に優れ
た耐熱性繊維であれば良く、具体的には炭素繊維、セミ
カーボン繊維、アラミド繊維、ポリイミド繊維、ポリフ
ェニレンサルファイド繊維、ポリパラフェニレンベンゾ
ビスオキサゾール繊維等の耐熱性繊維が挙げられ、適
宜、１種或いは２種類以上を組み合わせた或いは複合し
た形態で使用できる。耐熱性クッション層を構成する繊
維の形態はフェルト材、織編物あるいは不織布などが挙
げられるが、目付の均一性の点からフェルト材が好まし
い。また、織編物および不織布を用いる場合、特に複数
枚重ねて使用することによって、均一さを向上させ好適
なクッション材として使用できる。
ン層を構成する繊維は、加熱加圧成形時の耐久性に優れ
た耐熱性繊維であれば良く、具体的には炭素繊維、セミ
カーボン繊維、アラミド繊維、ポリイミド繊維、ポリフ
ェニレンサルファイド繊維、ポリパラフェニレンベンゾ
ビスオキサゾール繊維等の耐熱性繊維が挙げられ、適
宜、１種或いは２種類以上を組み合わせた或いは複合し
た形態で使用できる。耐熱性クッション層を構成する繊
維の形態はフェルト材、織編物あるいは不織布などが挙
げられるが、目付の均一性の点からフェルト材が好まし
い。また、織編物および不織布を用いる場合、特に複数
枚重ねて使用することによって、均一さを向上させ好適
なクッション材として使用できる。
【０００８】本発明の保護フィルムは、プレス時の熱に
耐え、かつ、耐熱性クッション層からの発塵を実質的に
遮蔽するものであり、耐熱性の点からポリイミドフィル
ム、ポリアラミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、シリ
コンアクリル樹脂フィルム等のフィルムを使用すること
ができる。特に、外側層に非熱融着型ポリイミドを、内
側層に熱融着型ポリイミドを用いたものが、成形性およ
びクッション層への接着力の点から好ましい。
耐え、かつ、耐熱性クッション層からの発塵を実質的に
遮蔽するものであり、耐熱性の点からポリイミドフィル
ム、ポリアラミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、シリ
コンアクリル樹脂フィルム等のフィルムを使用すること
ができる。特に、外側層に非熱融着型ポリイミドを、内
側層に熱融着型ポリイミドを用いたものが、成形性およ
びクッション層への接着力の点から好ましい。
【０００９】上記に説明した耐熱性クッション材、耐熱
性フィルムを用いて、本発明の耐熱クッションを製造す
る。まず、耐熱性クッション層は、フェルト材などとす
るために用いられた少量含まれる紡績油を取り除く。そ
の条件は、通常、窒素ガス雰囲気などの不活性雰囲気
中、出来上がった耐熱クッションの使用温度以上で、該
耐熱クッション層の分解或いは劣化温度以下、具体的に
は、窒素ガス雰囲気下、 300〜400 ℃である。また、こ
の処理は、耐熱クッションの製造時に、紡績油の気化ガ
ス或いは分解ガスの発生を防止するためである。
性フィルムを用いて、本発明の耐熱クッションを製造す
る。まず、耐熱性クッション層は、フェルト材などとす
るために用いられた少量含まれる紡績油を取り除く。そ
の条件は、通常、窒素ガス雰囲気などの不活性雰囲気
中、出来上がった耐熱クッションの使用温度以上で、該
耐熱クッション層の分解或いは劣化温度以下、具体的に
は、窒素ガス雰囲気下、 300〜400 ℃である。また、こ
の処理は、耐熱クッションの製造時に、紡績油の気化ガ
ス或いは分解ガスの発生を防止するためである。
【００１０】次に、処理後のクッション材を適宜、複数
枚重ねてクッション層を構成し、該クッション層よりも
一回り大きい熱融着層を備えた耐熱フィルムを両面に重
ね、減圧下、熱圧着する。熱圧着は、高い減圧下での加
熱加圧プレス法で行うことが好ましい。プレス条件は、
好ましくは温度 300〜350 ℃、圧力 0.1〜10 MPa、雰囲
気の真空度 1 kPa以下であり、耐熱性の熱融着ポリイミ
ドフィルムの場合、 330〜350 ℃、 0.1〜0.3 MPa が適
当である。大気圧下或いは減圧度が不十分な場合には、
耐熱性フィルム相互接着部に、気泡が残るなどの不均一
な接着となり、不適当である。また、この熱圧着は、耐
熱性クッション層周囲に、該耐熱性クッション層と略同
じ厚さの額縁状の枠を設置して行う。この枠の幅は、フ
ィルム相互接着部が十分に接着強度を発現する幅があれ
ば良く、好ましくは10〜50mmの範囲から選択する。
枚重ねてクッション層を構成し、該クッション層よりも
一回り大きい熱融着層を備えた耐熱フィルムを両面に重
ね、減圧下、熱圧着する。熱圧着は、高い減圧下での加
熱加圧プレス法で行うことが好ましい。プレス条件は、
好ましくは温度 300〜350 ℃、圧力 0.1〜10 MPa、雰囲
気の真空度 1 kPa以下であり、耐熱性の熱融着ポリイミ
ドフィルムの場合、 330〜350 ℃、 0.1〜0.3 MPa が適
当である。大気圧下或いは減圧度が不十分な場合には、
耐熱性フィルム相互接着部に、気泡が残るなどの不均一
な接着となり、不適当である。また、この熱圧着は、耐
熱性クッション層周囲に、該耐熱性クッション層と略同
じ厚さの額縁状の枠を設置して行う。この枠の幅は、フ
ィルム相互接着部が十分に接着強度を発現する幅があれ
ば良く、好ましくは10〜50mmの範囲から選択する。
【００１１】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を説明する。
実施例１ 20cm角の炭素繊維フェルト（商品名：ベスファイトペー
パー、坪量 50 g/m2、東邦レーヨン（株）製）を電気炉
に入れ、窒素雰囲気中、 350℃で30分間加熱し、このフ
ェルトに含まれている紡績油を完全に取り除いた。この
フェルト 5枚を重ねて一組のクッション層１（厚み 2.3
mm）とした。25cm角、厚み25μｍの熱融着型ポリイミド
フィルム（商品名：ユーピレックスVT441S、宇部興産
（株）製）と、25cm角、厚み50μｍの非熱融着型ポリイ
ミドフィルム（商品名：カプトン 200Ｈ、東レ・デュポ
ン（株）製）とを準備した。また、25cm角、厚み 1.4mm
のアルミニウム合金板の中央部を20cm角の正方形にくり
抜いて枠１とした。
実施例１ 20cm角の炭素繊維フェルト（商品名：ベスファイトペー
パー、坪量 50 g/m2、東邦レーヨン（株）製）を電気炉
に入れ、窒素雰囲気中、 350℃で30分間加熱し、このフ
ェルトに含まれている紡績油を完全に取り除いた。この
フェルト 5枚を重ねて一組のクッション層１（厚み 2.3
mm）とした。25cm角、厚み25μｍの熱融着型ポリイミド
フィルム（商品名：ユーピレックスVT441S、宇部興産
（株）製）と、25cm角、厚み50μｍの非熱融着型ポリイ
ミドフィルム（商品名：カプトン 200Ｈ、東レ・デュポ
ン（株）製）とを準備した。また、25cm角、厚み 1.4mm
のアルミニウム合金板の中央部を20cm角の正方形にくり
抜いて枠１とした。
【００１２】25cm角、厚み 0.4mmのアルミニウム合金板
（以下「保持板」と記す）の上に、枠１／非熱融着型ポ
リイミドフィルム／熱融着型ポリイミドフィルム／クッ
ション層１／熱融着型ポリイミドフィルム／非熱融着ポ
リイミドフィルム／保持板、をこの順序で位置合わせし
て重ね積層材セットを構成した。該積層材セットを、予
め 350℃に加熱した空気圧式の減圧ホットプレス機の熱
板間にセットし初期圧力として 0.05 MPa を負荷し、雰
囲気の減圧を開始した。減圧開始後約40秒後に、雰囲気
圧力が 1 kPa以下の減圧となったところで、プレス圧力
を 0.2 MPaとし、10分間保持して熱圧着した。
（以下「保持板」と記す）の上に、枠１／非熱融着型ポ
リイミドフィルム／熱融着型ポリイミドフィルム／クッ
ション層１／熱融着型ポリイミドフィルム／非熱融着ポ
リイミドフィルム／保持板、をこの順序で位置合わせし
て重ね積層材セットを構成した。該積層材セットを、予
め 350℃に加熱した空気圧式の減圧ホットプレス機の熱
板間にセットし初期圧力として 0.05 MPa を負荷し、雰
囲気の減圧を開始した。減圧開始後約40秒後に、雰囲気
圧力が 1 kPa以下の減圧となったところで、プレス圧力
を 0.2 MPaとし、10分間保持して熱圧着した。
【００１３】得られた耐熱クッションは、クッション部
並びにその周囲の耐熱性フィルム相互接着部ともに皺も
なく良好に接着されたものであった。得られた耐熱クッ
ションの平均厚みは 1.4 mm であり、また、感圧紙を用
いて0.2 MPa の圧力を負荷した時の圧力分布を測定した
ところ、全体にむらなく均一に圧力がかかっていること
が確認された。また、発塵はなかった。
並びにその周囲の耐熱性フィルム相互接着部ともに皺も
なく良好に接着されたものであった。得られた耐熱クッ
ションの平均厚みは 1.4 mm であり、また、感圧紙を用
いて0.2 MPa の圧力を負荷した時の圧力分布を測定した
ところ、全体にむらなく均一に圧力がかかっていること
が確認された。また、発塵はなかった。
【００１４】実施例２ 実施例１で得られた耐熱クッションを用いて、熱融着ポ
リイミドフィルムを接着層として樹脂複合セラミックス
板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を行った。 セットの構成 直径 150.8mmφ、厚み 0.625mm±0.005mm の窒化アルミ
ニウム系複合セラミックス基板（商品名：セラジンANB1
3S、三菱ガス化学（株）製）と、直径 150mmφ、厚み
0.625mm±0.025mm のシリコン・ウェハーとを準備し
た。接着剤として直径 150.8mmφ、厚み25μｍの熱融着
ポリイミドフィルム（商品名：カプトン100KJ 、東レ・
デュポン（株）製）を準備した。25cm角、厚み 0.4mmの
アルミニウム合金板（保持板）の上に、耐熱クッショ
ン、保持板、複合セラミックス基板、熱融着型ポリイミ
ドフィルム、シリコンウェーハ、保持板、耐熱クッショ
ン、保持板をこの順序で位置合わせして重ね積層材セッ
トを構成した。
リイミドフィルムを接着層として樹脂複合セラミックス
板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を行った。 セットの構成 直径 150.8mmφ、厚み 0.625mm±0.005mm の窒化アルミ
ニウム系複合セラミックス基板（商品名：セラジンANB1
3S、三菱ガス化学（株）製）と、直径 150mmφ、厚み
0.625mm±0.025mm のシリコン・ウェハーとを準備し
た。接着剤として直径 150.8mmφ、厚み25μｍの熱融着
ポリイミドフィルム（商品名：カプトン100KJ 、東レ・
デュポン（株）製）を準備した。25cm角、厚み 0.4mmの
アルミニウム合金板（保持板）の上に、耐熱クッショ
ン、保持板、複合セラミックス基板、熱融着型ポリイミ
ドフィルム、シリコンウェーハ、保持板、耐熱クッショ
ン、保持板をこの順序で位置合わせして重ね積層材セッ
トを構成した。
【００１５】プレス条件 該積層材セットを、予め 350℃に加熱した空気圧式の減
圧ホットプレス機の熱板間にセットし、初期圧力として
0.05MPaを負荷し、雰囲気の減圧を開始した。開始後約
40秒後に、雰囲気圧力が 0.23kPa以下の減圧となったと
ころで圧力を0.2MPaとし、10分間保持して熱圧着した。
10分間保持後、取り出して放冷した。得られた複合セラ
ミックス基板とシリコン・ウェハーとの接着品は、割
れ、欠けもなく、合計厚 1.275mm、面内厚みばらつき±
0.01mmの均一な接着ができていた。
圧ホットプレス機の熱板間にセットし、初期圧力として
0.05MPaを負荷し、雰囲気の減圧を開始した。開始後約
40秒後に、雰囲気圧力が 0.23kPa以下の減圧となったと
ころで圧力を0.2MPaとし、10分間保持して熱圧着した。
10分間保持後、取り出して放冷した。得られた複合セラ
ミックス基板とシリコン・ウェハーとの接着品は、割
れ、欠けもなく、合計厚 1.275mm、面内厚みばらつき±
0.01mmの均一な接着ができていた。
【００１６】上記で用いた耐熱クッション 上下一組を
用い、上記と同様の樹脂複合セラミックス板とシリコン
・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その結果、熱
圧着を 100回繰り返した後の耐熱クッションを用いて
も、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウェハー
との接着は良好に実施できた。100回繰り返した後の耐
熱クッションの平均厚みは 1.2mmであった。この耐熱ク
ッションの圧力分布を感圧紙を用いて0.2MPaの圧力を負
荷して測定したところ、全体にむらなく均一に圧力がか
かっていることが確認された。さらに、繰り返し使用後
の耐熱クッションからの発塵はなかった。
用い、上記と同様の樹脂複合セラミックス板とシリコン
・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その結果、熱
圧着を 100回繰り返した後の耐熱クッションを用いて
も、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウェハー
との接着は良好に実施できた。100回繰り返した後の耐
熱クッションの平均厚みは 1.2mmであった。この耐熱ク
ッションの圧力分布を感圧紙を用いて0.2MPaの圧力を負
荷して測定したところ、全体にむらなく均一に圧力がか
かっていることが確認された。さらに、繰り返し使用後
の耐熱クッションからの発塵はなかった。
【００１７】実施例３ 実施例１のクッション層１に代えて、アクリル繊維を原
料とした炭素繊維化前の不融化処理されたセミカーボン
繊維を用いたフェルト材（商品名：パイロメックス、坪
量 1000 g/m2、東邦レーヨン（株）製）１枚（厚み2.4m
m 、以下「クッション層２」と記す）に変更し、さら
に、積層材セットの構成を、保持板／枠１／非熱融着型
ポリイミドフィルム／熱融着型ポリイミドフィルム／ク
ッション層２／熱融着型ポリイミドフィルム／非熱融着
ポリイミドフィルム／枠１／保持板をこの順序で位置合
わせして重ねたものとした他は実施例１と同様に実施し
た。得られた耐熱クッションは、クッション部並びにそ
の周囲の耐熱性フィルム相互接着部ともに皺もなく良好
に接着されたものであり、平均厚みは 2.4mmであり、ま
た、感圧紙を用いた圧力分布でも、全体にむらなく均一
に圧力がかかっていることが確認された。また、発塵は
なかった。
料とした炭素繊維化前の不融化処理されたセミカーボン
繊維を用いたフェルト材（商品名：パイロメックス、坪
量 1000 g/m2、東邦レーヨン（株）製）１枚（厚み2.4m
m 、以下「クッション層２」と記す）に変更し、さら
に、積層材セットの構成を、保持板／枠１／非熱融着型
ポリイミドフィルム／熱融着型ポリイミドフィルム／ク
ッション層２／熱融着型ポリイミドフィルム／非熱融着
ポリイミドフィルム／枠１／保持板をこの順序で位置合
わせして重ねたものとした他は実施例１と同様に実施し
た。得られた耐熱クッションは、クッション部並びにそ
の周囲の耐熱性フィルム相互接着部ともに皺もなく良好
に接着されたものであり、平均厚みは 2.4mmであり、ま
た、感圧紙を用いた圧力分布でも、全体にむらなく均一
に圧力がかかっていることが確認された。また、発塵は
なかった。
【００１８】得られた耐熱クッションを用いて、実施例
２と同様に熱融着ポリイミドフィルムを接着層として複
合セラミックス基板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を
行った。得られた複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着品は、割れ、欠けもなく、均一な接着が
できていた。
２と同様に熱融着ポリイミドフィルムを接着層として複
合セラミックス基板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を
行った。得られた複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着品は、割れ、欠けもなく、均一な接着が
できていた。
【００１９】上記で用いた耐熱クッション 上下一組を
用い、実施例２と同様にして樹脂複合セラミックス板と
シリコン・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その
結果、熱圧着を20回繰り返した後の耐熱クッションを用
いても、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウェ
ハーとの接着は良好に実施できた。20回繰り返した後の
耐熱クッションの平均厚みは 2.0mmであった。この耐熱
クッションの圧力分布を測定したところ、全体にむらな
く均一であることが確認された。さらに、繰り返し使用
後の耐熱クッションからの発塵はなかった。
用い、実施例２と同様にして樹脂複合セラミックス板と
シリコン・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その
結果、熱圧着を20回繰り返した後の耐熱クッションを用
いても、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウェ
ハーとの接着は良好に実施できた。20回繰り返した後の
耐熱クッションの平均厚みは 2.0mmであった。この耐熱
クッションの圧力分布を測定したところ、全体にむらな
く均一であることが確認された。さらに、繰り返し使用
後の耐熱クッションからの発塵はなかった。
【００２０】実施例４ 実施例３において、クッション層２を、パラフェニレン
ベンゾビスオキサゾール繊維のフェルト材（商品名：ザ
イロン、東洋紡（株）製）１枚（厚み3.8mm)に変更した
以外は実施例３と同様に実施した。得られた耐熱クッシ
ョンは、クッション部並びにその周囲の耐熱性フィルム
相互接着部ともに皺もなく良好に接着されたものであっ
た。得られた耐熱クッションの平均厚みは 3.0mmであ
り、また、感圧紙を用いた圧力分布でも全体にむらなく
均一に圧力がかかっていることが確認された。また、発
塵はなかった。
ベンゾビスオキサゾール繊維のフェルト材（商品名：ザ
イロン、東洋紡（株）製）１枚（厚み3.8mm)に変更した
以外は実施例３と同様に実施した。得られた耐熱クッシ
ョンは、クッション部並びにその周囲の耐熱性フィルム
相互接着部ともに皺もなく良好に接着されたものであっ
た。得られた耐熱クッションの平均厚みは 3.0mmであ
り、また、感圧紙を用いた圧力分布でも全体にむらなく
均一に圧力がかかっていることが確認された。また、発
塵はなかった。
【００２１】得られた耐熱クッションを用いて、実施例
２と同様に熱融着ポリイミドフィルムを接着層として複
合セラミックス基板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を
行った。得られた複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着品は、割れ、欠けもなく、均一な接着が
できていた。
２と同様に熱融着ポリイミドフィルムを接着層として複
合セラミックス基板とシリコン・ウェハーとの熱圧着を
行った。得られた複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着品は、割れ、欠けもなく、均一な接着が
できていた。
【００２２】上記で用いた耐熱クッション 上下一組を
用い、実施例２と同様にして樹脂複合セラミックス板と
シリコン・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その
結果、熱圧着を 250回繰り返した後の耐熱クッションを
用いても、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着は良好に実施できた。250回繰り返した
後の耐熱クッションの平均厚みは 2.6mmであった。ま
た、感圧紙を用いた圧力分布でも全体にむらなく均一に
圧力がかかっていることが確認された。また、発塵はな
かった。
用い、実施例２と同様にして樹脂複合セラミックス板と
シリコン・ウェハーとの熱圧着に繰り返し行った。その
結果、熱圧着を 250回繰り返した後の耐熱クッションを
用いても、上記の複合セラミックス基板とシリコン・ウ
ェハーとの接着は良好に実施できた。250回繰り返した
後の耐熱クッションの平均厚みは 2.6mmであった。ま
た、感圧紙を用いた圧力分布でも全体にむらなく均一に
圧力がかかっていることが確認された。また、発塵はな
かった。
【００２３】実施例５ 実施例１で得られたクッション材を上下に各１枚ずつ用
いて一組とし、複合セラミックス基板と銅箔からなる銅
張板を作製した。コア材として、厚み 0.625mm、直径 1
50.8mmφの窒化アルミニウム系樹脂複合セラミックス基
板（商品名：セラジンANB13S、三菱瓦斯化学（株）製)
を、接着層として厚み25μｍの熱融着型ポリイミドフィ
ルム（商品名：カプトン100KJ、東レ・デュポン（株）
製）を、金属箔として厚み 9μｍのロープロファイル銅
箔（品名：GTS 箔、古河サーキットフォイル（株）製）
を用いた。
いて一組とし、複合セラミックス基板と銅箔からなる銅
張板を作製した。コア材として、厚み 0.625mm、直径 1
50.8mmφの窒化アルミニウム系樹脂複合セラミックス基
板（商品名：セラジンANB13S、三菱瓦斯化学（株）製)
を、接着層として厚み25μｍの熱融着型ポリイミドフィ
ルム（商品名：カプトン100KJ、東レ・デュポン（株）
製）を、金属箔として厚み 9μｍのロープロファイル銅
箔（品名：GTS 箔、古河サーキットフォイル（株）製）
を用いた。
【００２４】25cm角、厚み 0.4mmのアルミニウム合金板
（保持板）の上に、耐熱クッション、保持板、複合セラ
ミックス基板、熱融着型ポリイミドフィルム、ロープロ
ファイル銅箔、保持板、耐熱クッション、保持板をこの
順序で位置合わせして重ね積層材セットとした。該積層
材セットを、空気圧式の減圧ホットプレス機の熱板間に
セットし、初期圧力として 0.05MPaを負荷し、雰囲気の
減圧と加熱を開始した。加熱は10℃／分で 350℃まで昇
温した。減圧開始後約40秒後に、雰囲気圧力が 0.23kPa
以下の減圧となったところで圧力を 0.35MPaとした。熱
板温度が 350℃に到達してから60分間保持して熱圧着し
た。その後、圧力を保持したまま真空を解除し、 150℃
まで除冷してから該積層材セットを取り出した。得られ
たセラジン銅張板の表面外観は均一であり、銅箔のピー
ル強度は 1.0kg/cm 以上であった。また、銅箔をエッチ
ングした後の接着層の外観は、異物等の混入無く均一で
あった。
（保持板）の上に、耐熱クッション、保持板、複合セラ
ミックス基板、熱融着型ポリイミドフィルム、ロープロ
ファイル銅箔、保持板、耐熱クッション、保持板をこの
順序で位置合わせして重ね積層材セットとした。該積層
材セットを、空気圧式の減圧ホットプレス機の熱板間に
セットし、初期圧力として 0.05MPaを負荷し、雰囲気の
減圧と加熱を開始した。加熱は10℃／分で 350℃まで昇
温した。減圧開始後約40秒後に、雰囲気圧力が 0.23kPa
以下の減圧となったところで圧力を 0.35MPaとした。熱
板温度が 350℃に到達してから60分間保持して熱圧着し
た。その後、圧力を保持したまま真空を解除し、 150℃
まで除冷してから該積層材セットを取り出した。得られ
たセラジン銅張板の表面外観は均一であり、銅箔のピー
ル強度は 1.0kg/cm 以上であった。また、銅箔をエッチ
ングした後の接着層の外観は、異物等の混入無く均一で
あった。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、 400℃までの高温でク
ッション性を持ち、発塵せず、また均一な耐熱クッショ
ンが得られ、かつ、該耐熱クッションは減圧下で繰り返
し使用可能である。このことから本発明は工業的に極め
て高い価値を持つ。
ッション性を持ち、発塵せず、また均一な耐熱クッショ
ンが得られ、かつ、該耐熱クッションは減圧下で繰り返
し使用可能である。このことから本発明は工業的に極め
て高い価値を持つ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｋ 105:08 Ｂ２９Ｋ 105:08 Ｂ２９Ｌ 31:34 Ｂ２９Ｌ 31:34 Ｆターム(参考） 4F100 AD11A AK01B AK01C AK47A AK49B AK49C AS00A BA03 BA06 BA10B BA10C DG01A DG06A DG15A EC03 EC032 EJ17 EJ172 EJ42 EJ422 GB43 JJ03 JJ03A JJ03B JJ03C 4F204 AA40 AB19 AB20 AB25 AG03 AH36 FA01 FB01 FB11 FB22 FE06 FF05 FF50 FH06 FN09 FN11 FN15 FQ01 FQ17 FW06 FW15 FW26
Claims (6)
- 【請求項１】 耐熱性クッション層とその両面の耐熱性
フィルムとからなり、耐熱性クッション層の外側周囲で
耐熱性フィルム同士をそのままもしくは耐熱性接着フィ
ルムを介在させて、加熱、減圧下で張り合わせて耐熱性
クッション層を密封してなる、温度 250℃以上で、減圧
下に繰り返し使用可能で実質的に発塵しない耐熱クッシ
ョン。 - 【請求項２】 該耐熱クッション層が、炭素繊維、セミ
カーボン繊維、アラミド繊維、パラフェニレンベンゾビ
スオキサゾール繊維等の高耐熱性繊維を用いてなるフェ
ルトあるいは不織布である請求項１記載の耐熱クッショ
ン。 - 【請求項３】 該耐熱フィルムが、最外側に非熱融着型
ポリイミドフィルムを用いたものである請求項１記載の
耐熱クッション。 - 【請求項４】 該耐熱フィルムが、高耐熱性の非熱融着
型の樹脂フィルムと熱融着型のポリイミドフィルムある
いは液晶ポリマーとを重ねたものである請求項１記載の
耐熱クッション。 - 【請求項５】 耐熱クッション層、その両面に該耐熱性
クッション層よりも広い耐熱性フィルムとを、該耐熱性
クッション層の厚みと略同等の厚みとなるようにした枠
或いは上下一組の枠の下枠の上に重ね、温度 300℃以
上、1 kPa 以下の減圧下にプレス成形することからなる
耐熱クッションの製造法。 - 【請求項６】 該耐熱フィルムが、高耐熱性の非熱融着
型の樹脂フィルムと熱融着型のポリイミドフィルムある
いは液晶ポリマーとを重ねたものである請求項５記載の
耐熱クッションの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001130987A JP2002326302A (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | 耐熱クッション |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001130987A JP2002326302A (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | 耐熱クッション |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002326302A true JP2002326302A (ja) | 2002-11-12 |
Family
ID=18979251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001130987A Pending JP2002326302A (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | 耐熱クッション |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002326302A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003039832A1 (fr) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Yamauchi Corporation | Matiere de rembourrage pour pressage a chaud et procede de production d'une planche comportant plusieurs couches |
| WO2006035634A1 (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-06 | Yamauchi Corporation | プレス成形用クッション材およびその製造方法 |
| JP2007331276A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Sintokogio Ltd | 平行調整機構および該平行調整機構を用いる加圧成型装置、ならびに該加圧成型装置の平行調整法 |
| JP2008050725A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱プレス用耐熱クッションシート材および熱プレス成形方法 |
| CN108058461A (zh) * | 2018-01-27 | 2018-05-22 | 深圳市环宇昌电子有限公司 | 一种耐压垫 |
-
2001
- 2001-04-27 JP JP2001130987A patent/JP2002326302A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003039832A1 (fr) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Yamauchi Corporation | Matiere de rembourrage pour pressage a chaud et procede de production d'une planche comportant plusieurs couches |
| WO2006035634A1 (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-06 | Yamauchi Corporation | プレス成形用クッション材およびその製造方法 |
| JP2006123510A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-05-18 | Yamauchi Corp | プレス成形用クッション材およびその製造方法 |
| JP2007331276A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Sintokogio Ltd | 平行調整機構および該平行調整機構を用いる加圧成型装置、ならびに該加圧成型装置の平行調整法 |
| JP4725853B2 (ja) * | 2006-06-16 | 2011-07-13 | 新東工業株式会社 | 平行調整機構および該平行調整機構を用いる加圧成型装置、ならびに該加圧成型装置の平行調整法 |
| JP2008050725A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱プレス用耐熱クッションシート材および熱プレス成形方法 |
| CN108058461A (zh) * | 2018-01-27 | 2018-05-22 | 深圳市环宇昌电子有限公司 | 一种耐压垫 |
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