JPH10175163A - 被研磨物保持材用積層板 - Google Patents
被研磨物保持材用積層板Info
- Publication number
- JPH10175163A JPH10175163A JP8332587A JP33258796A JPH10175163A JP H10175163 A JPH10175163 A JP H10175163A JP 8332587 A JP8332587 A JP 8332587A JP 33258796 A JP33258796 A JP 33258796A JP H10175163 A JPH10175163 A JP H10175163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polished
- inorganic filler
- resin
- sheet
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安定性を
向上させた被研磨物の保持材用積層板を提供する。 【解決手段】砥粒などの無機充填材を配合したエポキシ
樹脂ワニスをガラス織布に含浸乾燥して、プリプレグ
（Ａ）を得る。また、前記樹脂ワニスに可撓化成分を配
合した樹脂ワニスをガラス織布に含浸乾燥して、プリプ
レグ（Ｂ）を用意する。プリプレグ（Ｂ）２プライの両
側にプリプレグ（Ａ）１プライを配置して、加熱加圧成
形により被研磨物保持材用積層板とする。
向上させた被研磨物の保持材用積層板を提供する。 【解決手段】砥粒などの無機充填材を配合したエポキシ
樹脂ワニスをガラス織布に含浸乾燥して、プリプレグ
（Ａ）を得る。また、前記樹脂ワニスに可撓化成分を配
合した樹脂ワニスをガラス織布に含浸乾燥して、プリプ
レグ（Ｂ）を用意する。プリプレグ（Ｂ）２プライの両
側にプリプレグ（Ａ）１プライを配置して、加熱加圧成
形により被研磨物保持材用積層板とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
用ガラス板、シリコンウェハ、ハードディスクなど（被
研磨物）を研磨するとき、被研磨物の保持材として使用
する積層板に関する。積層板とは、ガラス繊維の織布や
不織布、有機繊維の織布や不織布、綿布、紙等のシート
状基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して得たプリプレグを
加熱加圧成形したものをいう。複数枚のプリプレグを加
熱加圧成形したものに限らず、一枚のプリプレグを加熱
加圧成形したものも便宜上積層板という。
用ガラス板、シリコンウェハ、ハードディスクなど（被
研磨物）を研磨するとき、被研磨物の保持材として使用
する積層板に関する。積層板とは、ガラス繊維の織布や
不織布、有機繊維の織布や不織布、綿布、紙等のシート
状基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して得たプリプレグを
加熱加圧成形したものをいう。複数枚のプリプレグを加
熱加圧成形したものに限らず、一枚のプリプレグを加熱
加圧成形したものも便宜上積層板という。
【０００２】
【従来の技術】上記の被研磨物保持材用積層板として、
シート状基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して得たプリプ
レグを所定枚数重ねて一体に加熱加圧成形した積層板が
使用されている。例えば、綿布基材フェノール樹脂積層
板、ガラス織布基材エポキシ樹脂積層板などである。こ
れら積層板は、次のようにして被研磨物保持材へ加工す
る。すなわち、定尺の積層板を所定寸法に裁断し、この
積層板に被研磨物を保持するための１ないし複数個の穴
をあける。このようにして製作した被研磨物保持材を用
いて研磨を行なうときは、前記保持材を研磨機にセット
し、前記穴には被研磨物を嵌め合せて保持する。そし
て、保持材を駆動させると、これに伴って、穴に保持し
た被研磨物も駆動され、被研磨物は、これに当接してい
る研磨材によって表面を研磨される。従来、上記保持材
は、電気絶縁用途に使用されている積層板がそのまま使
用されることが多い。
シート状基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して得たプリプ
レグを所定枚数重ねて一体に加熱加圧成形した積層板が
使用されている。例えば、綿布基材フェノール樹脂積層
板、ガラス織布基材エポキシ樹脂積層板などである。こ
れら積層板は、次のようにして被研磨物保持材へ加工す
る。すなわち、定尺の積層板を所定寸法に裁断し、この
積層板に被研磨物を保持するための１ないし複数個の穴
をあける。このようにして製作した被研磨物保持材を用
いて研磨を行なうときは、前記保持材を研磨機にセット
し、前記穴には被研磨物を嵌め合せて保持する。そし
て、保持材を駆動させると、これに伴って、穴に保持し
た被研磨物も駆動され、被研磨物は、これに当接してい
る研磨材によって表面を研磨される。従来、上記保持材
は、電気絶縁用途に使用されている積層板がそのまま使
用されることが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、研磨分
野で使用されている被研磨物保持材は、電気絶縁用途向
けの積層板仕様であるため、研磨用として要求される特
性、すなわち、板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安
定性などが不十分であった。本発明が解決しようとする
課題は、板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安定性を
向上させた被研磨物の保持材を提供することである。
野で使用されている被研磨物保持材は、電気絶縁用途向
けの積層板仕様であるため、研磨用として要求される特
性、すなわち、板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安
定性などが不十分であった。本発明が解決しようとする
課題は、板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安定性を
向上させた被研磨物の保持材を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、熱硬化性樹脂含浸シート状基材を加熱
加圧成形した積層板で被研磨物の保持材を構成するもの
であるが、樹脂及び／又は基材中に無機充填材を含有さ
せることを特徴とする。無機充填材を含有させることに
より、保持材の板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安
定性向上が可能になる。ここで、無機充填材は、シリカ
（ＳｉＯ2）、セリア（ＣｅＯ2）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）、マグネシア（ＭｇＯ）など、シート状基材に予
め含有させることができるものや、シート状基材に含浸
させる熱硬化性樹脂に配合できるものであれば特に限定
しない。しかし、研磨用途で砥粒として使用されている
シリカ（ＳｉＯ2）、セリア（ＣｅＯ2）、アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）などを選択することが好ましい。砥粒として使
用されない他の無機充填材を適宜混合して使用してもか
まわない。
に、本発明では、熱硬化性樹脂含浸シート状基材を加熱
加圧成形した積層板で被研磨物の保持材を構成するもの
であるが、樹脂及び／又は基材中に無機充填材を含有さ
せることを特徴とする。無機充填材を含有させることに
より、保持材の板厚精度、耐摩耗性、そり特性、寸法安
定性向上が可能になる。ここで、無機充填材は、シリカ
（ＳｉＯ2）、セリア（ＣｅＯ2）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）、マグネシア（ＭｇＯ）など、シート状基材に予
め含有させることができるものや、シート状基材に含浸
させる熱硬化性樹脂に配合できるものであれば特に限定
しない。しかし、研磨用途で砥粒として使用されている
シリカ（ＳｉＯ2）、セリア（ＣｅＯ2）、アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）などを選択することが好ましい。砥粒として使
用されない他の無機充填材を適宜混合して使用してもか
まわない。
【０００５】保持材の穴に被研磨物を嵌め合せて保持
し、研磨作業を進めていくと、保持材の穴端面に対して
被研磨物が衝突を繰り返し、穴端面が徐々に摩耗する。
そうすると、穴端面と被研磨物との間の隙間が大きくな
り、被研磨物が穴のなかで動きやすくなるので、ますま
す前記衝突の衝撃が大きくなる。そこで、上記構成にお
いて、積層板の厚さ方向中央の弾性率を表面の弾性率よ
り小さくする構成は好ましいものである。厚さ方向中央
の弾性率を小さくすることにより、前記衝突の衝撃が吸
収され、穴端面の摩耗を抑制することができる。表面は
弾性率を高いままにしておくことで、表面の摺動による
摩耗が大きくなることはない。
し、研磨作業を進めていくと、保持材の穴端面に対して
被研磨物が衝突を繰り返し、穴端面が徐々に摩耗する。
そうすると、穴端面と被研磨物との間の隙間が大きくな
り、被研磨物が穴のなかで動きやすくなるので、ますま
す前記衝突の衝撃が大きくなる。そこで、上記構成にお
いて、積層板の厚さ方向中央の弾性率を表面の弾性率よ
り小さくする構成は好ましいものである。厚さ方向中央
の弾性率を小さくすることにより、前記衝突の衝撃が吸
収され、穴端面の摩耗を抑制することができる。表面は
弾性率を高いままにしておくことで、表面の摺動による
摩耗が大きくなることはない。
【０００６】
【発明の実施の形態】樹脂中に無機充填材を含有する被
研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造すること
ができる。無機充填材を配合し分散させた樹脂ワニスを
調製し、これをシート状基材に含浸乾燥してプリプレグ
を得る。そして、当該プリプレグの層を加熱加圧成形し
て積層板とする。シート状基材中に無機充填材を含有す
る被研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造する
ことができる。無機充填材の分散液をシート状基材に含
浸させる。シート状基材が紙や不織布の場合には、これ
らを抄造により製造するに際して、抄造のための液に無
機充填材を分散させておき一緒に漉き込む。このように
して用意したシート状基材に無機充填材を含まない樹脂
ワニスを含浸乾燥してプリプレグを得る。そして、当該
プリプレグの層を加熱加圧成形して積層板とする。樹脂
及びシート状基材中に無機充填材を含有する被研磨物保
持材用積層板は、上記二つの製造法を組合せて製造する
ことができる。
研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造すること
ができる。無機充填材を配合し分散させた樹脂ワニスを
調製し、これをシート状基材に含浸乾燥してプリプレグ
を得る。そして、当該プリプレグの層を加熱加圧成形し
て積層板とする。シート状基材中に無機充填材を含有す
る被研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造する
ことができる。無機充填材の分散液をシート状基材に含
浸させる。シート状基材が紙や不織布の場合には、これ
らを抄造により製造するに際して、抄造のための液に無
機充填材を分散させておき一緒に漉き込む。このように
して用意したシート状基材に無機充填材を含まない樹脂
ワニスを含浸乾燥してプリプレグを得る。そして、当該
プリプレグの層を加熱加圧成形して積層板とする。樹脂
及びシート状基材中に無機充填材を含有する被研磨物保
持材用積層板は、上記二つの製造法を組合せて製造する
ことができる。
【０００７】厚さ方向中央の弾性率が表面の弾性率より
小さい被研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造
することができる。上記の無機充填材を配合した又は配
合しないワニスに、ゴム、ゴム変性樹脂、ダイマー酸変
性樹脂などの可撓性樹脂をさらに配合し樹脂ワニスを調
製する。そして、無機充填材を含む又は含まないシート
状基材に前記樹脂ワニスを含浸乾燥し、プリプレグを作
製する。当該プリプレグをプリプレグ層の中央に配置
し、加熱加圧成形して積層板とする。表面に配置するプ
リプレグ層は、樹脂及び／又はシート状基材中に無機充
填材を含有するプリプレグを用いる。
小さい被研磨物保持材用積層板は、次のようにして製造
することができる。上記の無機充填材を配合した又は配
合しないワニスに、ゴム、ゴム変性樹脂、ダイマー酸変
性樹脂などの可撓性樹脂をさらに配合し樹脂ワニスを調
製する。そして、無機充填材を含む又は含まないシート
状基材に前記樹脂ワニスを含浸乾燥し、プリプレグを作
製する。当該プリプレグをプリプレグ層の中央に配置
し、加熱加圧成形して積層板とする。表面に配置するプ
リプレグ層は、樹脂及び／又はシート状基材中に無機充
填材を含有するプリプレグを用いる。
【０００８】上記の種々の被研磨物保持材用積層板は、
プリプレグ層の両表面に離形フィルムなどを配置して鏡
面板に挟み込み、プレス熱盤間で加熱加圧成形して製造
する。使用する無機充填材や可撓性樹脂は、被研磨物の
種類、研磨条件など個別の要因により、本発明の範囲内
で適宜選択すればよい。
プリプレグ層の両表面に離形フィルムなどを配置して鏡
面板に挟み込み、プレス熱盤間で加熱加圧成形して製造
する。使用する無機充填材や可撓性樹脂は、被研磨物の
種類、研磨条件など個別の要因により、本発明の範囲内
で適宜選択すればよい。
【０００９】
【実施例】ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主剤とす
るワニスにシリカ（ＳｉＯ2）粉末を３０ｐｈｒ配合
し、樹脂ワニス（Ａ）を調製した。樹脂ワニス（Ａ）に
エポキシ末端液状ＮＢＲを１５ｐｈｒ配合し、樹脂ワニ
ス（Ｂ）を調製した。前記エポキシ末端液状ＮＢＲは、
両末端カルボキシル化ポリブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合物（宇部興産製「ハイカーＣＴＢＮ」）と液状
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ
製「ＥＰ−８２８」）を反応させ両末端をエポキシ化し
たものである。ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主剤
とする樹脂ワニスにタルク粉末を３０ｐｈｒ配合し、樹
脂ワニス（Ｃ）を調製した。樹脂ワニス（Ｃ）に上記の
エポキシ末端液状ＮＢＲを１５ｐｈｒ配合し、樹脂ワニ
ス（Ｄ）を調製した。
るワニスにシリカ（ＳｉＯ2）粉末を３０ｐｈｒ配合
し、樹脂ワニス（Ａ）を調製した。樹脂ワニス（Ａ）に
エポキシ末端液状ＮＢＲを１５ｐｈｒ配合し、樹脂ワニ
ス（Ｂ）を調製した。前記エポキシ末端液状ＮＢＲは、
両末端カルボキシル化ポリブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合物（宇部興産製「ハイカーＣＴＢＮ」）と液状
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ
製「ＥＰ−８２８」）を反応させ両末端をエポキシ化し
たものである。ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主剤
とする樹脂ワニスにタルク粉末を３０ｐｈｒ配合し、樹
脂ワニス（Ｃ）を調製した。樹脂ワニス（Ｃ）に上記の
エポキシ末端液状ＮＢＲを１５ｐｈｒ配合し、樹脂ワニ
ス（Ｄ）を調製した。
【００１０】ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主剤と
する樹脂ワニス（Ｅ）を調製した。
する樹脂ワニス（Ｅ）を調製した。
【００１１】厚さ０．１８mm、単位重量２０５ｇ／m2の
ガラス織布（日東紡績社製「ＷＥＡ−１８」）に樹脂ワ
ニス（Ａ）を含浸乾燥して、プリプレグ（Ａ）を得た。
上記と同じガラス織布に樹脂ワニス（Ｂ）を含浸乾燥し
て、プリプレグ（Ｂ）を得た。上記と同じガラス織布に
樹脂ワニス（Ｃ）を含浸乾燥して、プリプレグ（Ｃ）を
得た。上記と同じガラス織布に樹脂ワニス（Ｄ）を含浸
乾燥して、プリプレグ（Ｄ）を得た。上記と同じガラス
織布に樹脂ワニス（Ｅ）を含浸乾燥して、プリプレグ
（Ｅ）を得た。
ガラス織布（日東紡績社製「ＷＥＡ−１８」）に樹脂ワ
ニス（Ａ）を含浸乾燥して、プリプレグ（Ａ）を得た。
上記と同じガラス織布に樹脂ワニス（Ｂ）を含浸乾燥し
て、プリプレグ（Ｂ）を得た。上記と同じガラス織布に
樹脂ワニス（Ｃ）を含浸乾燥して、プリプレグ（Ｃ）を
得た。上記と同じガラス織布に樹脂ワニス（Ｄ）を含浸
乾燥して、プリプレグ（Ｄ）を得た。上記と同じガラス
織布に樹脂ワニス（Ｅ）を含浸乾燥して、プリプレグ
（Ｅ）を得た。
【００１２】実施例１ プリプレグ（Ｂ）２プライの両表面にプリプレグ（Ａ）
を１プライずつ載置し、さらに両表面に離型フィルム
（５０μｍ厚のポリプロピレンフィルム）を配置して鏡
面板に挟み込み、加熱加圧成形により厚さ０．７mmのガ
ラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
を１プライずつ載置し、さらに両表面に離型フィルム
（５０μｍ厚のポリプロピレンフィルム）を配置して鏡
面板に挟み込み、加熱加圧成形により厚さ０．７mmのガ
ラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
【００１３】実施例２ プリプレグ（Ａ）４プライの両表面に実施例１と同様に
離型フィルムを配置し、以下実施例１と同様にして厚さ
０．７mmのガラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
離型フィルムを配置し、以下実施例１と同様にして厚さ
０．７mmのガラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
【００１４】実施例３ プリプレグ（Ｄ）２プライの両表面にプリプレグ（Ｃ）
を１プライずつ載置し、さらに両表面に離型フィルム配
置し、以下実施例１と同様にして厚さ０．７mmのガラス
織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
を１プライずつ載置し、さらに両表面に離型フィルム配
置し、以下実施例１と同様にして厚さ０．７mmのガラス
織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
【００１５】従来例 プリプレグ（Ｅ）４プライの両表面に実施例１と同様に
離型フィルムを配置し、以下実施例１と同様にして厚さ
０．７mmのガラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
離型フィルムを配置し、以下実施例１と同様にして厚さ
０．７mmのガラス織布基材エポキシ樹脂積層板を得た。
【００１６】以上の実施例１〜３、従来例における積層
板について、被研磨物保持材用としての性能試験結果を
表１、表２に示す。表中の各性能は、以下のようにして
測定した。板厚は、製品寸法１０００mm×１０００mm
で、製品内の中央部５点、端部５点の板厚を測定した
（試料数３０枚）。耐摩耗性は、厚さ方向摩耗量の測定
と端面摩耗度を観察した。外径φ２００mmで被研磨物を
保持する穴寸法１００mm×１００mmの保持材を積層板を
加工して作製し、ガラス板を保持した前記保持材を研磨
機にセットして、研磨を行なった。厚さ方向摩耗量は、
研磨作業前後の保持材の板厚の差で表した。端面摩耗度
は、厚さ１．０mmの液晶ディスプレイ用ガラス板を保持
した穴の端面を研磨作業後に観察し、次の判定をした。 ○：白化、摩耗がほとんどなし △：白化、摩耗が若干あり ×：白化、摩耗が著しい 寸法変化率は、試料を１０５℃の気中に１時間放置後７
０℃水中に２４時間浸漬する処理を行ない、処理前後の
寸法変化を測定した（試料数５の平均値）。そり量は、
寸法５００mm×５００mmの試料を定盤上に平置きし、四
隅の最大浮き上がり量を測定した（試料数３０枚の平均
値）。弾性率は、表面層、中央層を構成するプリプレグ
だけでそれぞれ厚さ１．６mmの試料（積層板）を作製
し、曲げ弾性率をＪＩＳ測定法に基づいて測定した（ガ
ラス織布のヨコ方向）。
板について、被研磨物保持材用としての性能試験結果を
表１、表２に示す。表中の各性能は、以下のようにして
測定した。板厚は、製品寸法１０００mm×１０００mm
で、製品内の中央部５点、端部５点の板厚を測定した
（試料数３０枚）。耐摩耗性は、厚さ方向摩耗量の測定
と端面摩耗度を観察した。外径φ２００mmで被研磨物を
保持する穴寸法１００mm×１００mmの保持材を積層板を
加工して作製し、ガラス板を保持した前記保持材を研磨
機にセットして、研磨を行なった。厚さ方向摩耗量は、
研磨作業前後の保持材の板厚の差で表した。端面摩耗度
は、厚さ１．０mmの液晶ディスプレイ用ガラス板を保持
した穴の端面を研磨作業後に観察し、次の判定をした。 ○：白化、摩耗がほとんどなし △：白化、摩耗が若干あり ×：白化、摩耗が著しい 寸法変化率は、試料を１０５℃の気中に１時間放置後７
０℃水中に２４時間浸漬する処理を行ない、処理前後の
寸法変化を測定した（試料数５の平均値）。そり量は、
寸法５００mm×５００mmの試料を定盤上に平置きし、四
隅の最大浮き上がり量を測定した（試料数３０枚の平均
値）。弾性率は、表面層、中央層を構成するプリプレグ
だけでそれぞれ厚さ１．６mmの試料（積層板）を作製
し、曲げ弾性率をＪＩＳ測定法に基づいて測定した（ガ
ラス織布のヨコ方向）。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】
【発明の効果】上述したように、本発明に係る被研磨物
保持材用積層板は、板厚精度、耐摩耗性、寸法安定性に
優れ、そりも小さい。板厚精度の向上により、近時の被
研磨物の薄板化に対応でき、耐摩耗性の向上により保持
材の長寿命化がもたらされ、コスト低減も可能となる。
また、保持材の寸法特性およびそり特性の向上により、
研磨時の製品歩留まりが向上する。
保持材用積層板は、板厚精度、耐摩耗性、寸法安定性に
優れ、そりも小さい。板厚精度の向上により、近時の被
研磨物の薄板化に対応でき、耐摩耗性の向上により保持
材の長寿命化がもたらされ、コスト低減も可能となる。
また、保持材の寸法特性およびそり特性の向上により、
研磨時の製品歩留まりが向上する。
Claims (5)
- 【請求項１】熱硬化性樹脂を含浸したシート状基材を加
熱加圧成形した積層板であって、樹脂及び／又は基材中
に無機充填材を含有することを特徴とする被研磨物保持
材用積層板。 - 【請求項２】無機充填材が、砥粒であることを特徴とす
る請求項１記載の被研磨物保持材用積層板。 - 【請求項３】厚さ方向中央の弾性率が、表面の弾性率よ
り小さいことを特徴とする請求項１又は２記載の被研磨
物保持材用積層板。 - 【請求項４】厚さ方向中央の弾性率の低い層が、可撓性
樹脂を含有した熱硬化性樹脂で構成されていることを特
徴とする請求項３記載の被研磨物保持材用積層板。 - 【請求項５】可撓性樹脂がゴム成分である請求項４記載
の被研磨物保持材用積層板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8332587A JPH10175163A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 被研磨物保持材用積層板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8332587A JPH10175163A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 被研磨物保持材用積層板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10175163A true JPH10175163A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18256611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8332587A Pending JPH10175163A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 被研磨物保持材用積層板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10175163A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008254149A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP8332587A patent/JPH10175163A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008254149A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7374474B2 (en) | Polishing pad for CMP, method for polishing substrate using it and method for producing polishing pad for CMP | |
| JP5585081B2 (ja) | 研磨パッド | |
| US20060026905A1 (en) | Preparation of coated abrasive disk | |
| WO2001045899A1 (fr) | Tampon a polir, procede et appareil de polissage | |
| KR20050084239A (ko) | 운모 시트 및 테이프 | |
| KR20050052513A (ko) | 평탄화를 위한 윈도를 가진 연마 패드 | |
| EP0566360A1 (en) | Process for the production of substrate for printed wiring | |
| JPH11309667A (ja) | 被研磨物保持材及び被研磨物の製造法 | |
| JP2011166040A (ja) | 銅張樹脂複合セラミックス板の製造方法 | |
| JPH10175163A (ja) | 被研磨物保持材用積層板 | |
| JP2004114208A (ja) | 研磨用キャリア材 | |
| JPH10166266A (ja) | 被研磨物保持材用積層板 | |
| JP3528507B2 (ja) | 被研磨物保持材用積層板 | |
| JP2004311731A (ja) | 研磨用パッド及びそれを用いた被研磨物の研磨方法 | |
| JP5003256B2 (ja) | 被研磨物保持材用積層板および被研磨物保持材 | |
| JP2006298988A (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JP2001105304A (ja) | ディスク保持用キャリアー材 | |
| JPH047115B2 (ja) | ||
| JP2002103210A (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JP2002009025A (ja) | 研磨パッド | |
| JPH11104953A (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JPH11156705A (ja) | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート | |
| JPH06152086A (ja) | プリント配線用基板の製造法 | |
| JP7275902B2 (ja) | 熱伝導シートおよびその製造方法 | |
| JPH08283434A (ja) | 積層板の製造法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040203 |