JP6470976B2 - 被研磨物保持材 - Google Patents
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Description
しかし、上記のようなガラス繊維を用いた被研磨物保持材は、切削加工性には優れるが、ガラス粉により、被研磨物の表面にスクラッチが発生するという問題があった。
また、特許文献2に記載された、外層に全芳香族ポリエステル繊維織物、中間層に、ガラス繊維織物を用いた被研磨物保持材は、ガラス繊維が含まれているため、スクラッチ抑制効果が不十分である。
また、本発明の目的は、金属元素含有量が少ない被研磨物保持材を提供することにある。
(1)総繊度が50〜450dtexの全芳香族ポリエステルマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。
(a)総繊度が50〜450dtexのアラミドマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。
(b)繊度が1.0〜10dtexのアラミドモノフィラメントからなる、厚みが80〜140μm、目付が50〜100g/m2の不織布。
また、チタン、マグネシウム、アルミニウム又はケイ素の金属元素含有量が少ないことから、被研磨物保持材の表面のスクラッチの発生が殆ど無い。
(1)総繊度が50〜450dtexの全芳香族ポリエステルマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。
(2)繊度が1.0〜10dtexの全芳香族ポリエステルモノフィラメントからなる、厚みが80〜140μm、目付が50〜100g/m2の不織布。
(a)総繊度が50〜450dtexのアラミドマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。
(b)繊度が1.0〜10dtexのアラミドモノフィラメントからなる、厚みが80〜140μm、目付が50〜100g/m2の不織布。
繊維基材が40質量%未満では、熱硬化性樹脂が多くなり、機械強度が不十分で耐久性が悪くなる傾向にある。一方、繊維基材が80質量%を超えると、熱硬化性樹脂が少なくなり、積層板の成形が難しくなる傾向にある。
繊維基材中、全芳香族ポリエステル繊維からなる繊維基材が10質量%未満では、機械強度が上がらず、厚み精度も不十分となる傾向にある。
全芳香族ポリエステル系ポリマーは、芳香族ジカルボン酸、芳香族ジオール及び/又は芳香族ヒドロキシカルボン酸やこれらの誘導体からなるもので、場合により、これらと、脂環族ジカルボン酸、脂環族ジオール、脂肪族ジオールやこれらの誘導体との共重合体も含まれる。ここで芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、イソフタル酸、4,4’−ジカルボキシジフェニル、2,6−ジカルボキシナフタレン、1,2−ビス(4−カルボキシフェノキシ)エタン等や、これらのアルキル、アリール、アルコキシ、ハロゲン基の核置換体が挙げられる。芳香族ジオールとしては、ヒドロキノン、レゾルシン、4,4’−ジヒドロキシジフェニル、4,4’−ジヒドロキシベンゾフェノン、4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジヒドロキシジフェニルエタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン、4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、2,6−ジヒドロキシナフタレン、1,5−ジヒドロキシナフタレン等やこれらのアルキル、アリール、アルコキシ、ハロゲン基の核置換体が挙げられる。芳香族ヒドロキシカルボン酸としては、p−ヒドロキシ安息香酸、m−ヒドロキシ安息香酸、2−ヒドロキシナフタレン−6−カルボン酸、1−ヒドロキシナフタレン−5−カルボン酸等やこれらのアルキル、アリール、アルコキシ、ハロゲン基の核置換体が挙げられる。脂環族ジカルボン酸としては、トランス−1,4−ジカルボキシシクロヘキサン、シス−1,4−ジカルボキシシクロヘキサン等やこれらのアルキル、アリール、ハロゲン基の核置換体が挙げられる。脂環族及び脂肪族ジオールとしては、トランス−1,4−ジヒドロキシシクロヘキサン、シス−1,4−ジヒドロキシシクロヘキサン、エチレングリコール、1,4−ブタンジオール、キシリレンジオール等が挙げられる。
本発明において、溶融紡糸に適した芳香族ポリエステルの「流動開始温度」は、305〜325℃が好適である。
総繊度が50dtex未満または450dtexを超えると、目標とする厚み、目付の織物にするには極端に密度を増やす、または減らす等が必要となり、織物の製造が難しくなる。
繊度が1.0dtex未満であると、繊維が細く機械特性、特に耐摩耗性に欠け、繊度が10dtexを超えると、繊維同士が絡まりにくくなり不織布の製造が難しくなる。
また、伸度は、5.0%以下が好ましく、3.5%以下がより好ましい。
更に、弾性率は、400cN/dtex以上が好ましく、500cN/dtex以上がより好ましい。
厚みが50μm未満では積層枚数が多くなりすぎて生産性が悪くなる傾向にあり、300μmを超えると厚み精度が悪くなる。
また、目付が30g/m2未満では、繊維基材の機械強度が劣り、繊維強化樹脂シートの補強効果が不十分となる。一方、200g/m2を超えると、繊維基材の空隙が少なく、熱硬化樹脂の含浸が難しくなり、繊維強化樹脂シートとして積層した際、他の繊維強化樹脂シートとの剥離が生じ、耐久性に劣るものとなる。
また、織組織は、平織物が好適である。
厚みが80μm未満では、積層枚数が多くなりすぎて生産性が悪くなる傾向にあり、140μmを超えると、厚み精度が悪くなる。
また、目付が50g/m2未満では、繊維基材の機械強度が劣り、繊維強化樹脂シートの補強効果が不十分となる。一方、100g/m2を超えると、繊維基材の空隙が少なく、熱硬化樹脂の含浸が難しくなり、繊維強化樹脂シートとして積層した際、他の繊維強化樹脂シートとの剥離が生じ、耐久性に劣るものとなる。
パラ系アラミド繊維としては、ポリp−フェニレンテレフタラミド繊維とポリp−フェニレンジフェニールエーテルテレフタラミド繊維が市販されており、これらが一般的である。
総繊度が50dtex未満または450dtexを超えると、目標とする厚み、目付の織物にするには極端に密度を増やす、または減らす等が必要となり、織物の製造が難しくなる。
繊度が1.0dtex未満であると、繊維が細く機械特性、特に耐摩耗性に欠け、繊度が10dtexを超えると、繊維同士が絡まりにくくなり不織布の製造が難しくなる。
また、伸度は、5.0%以下が好ましく、3.5%以下がより好ましい。
更に、弾性率は、400cN/dtex以上が好ましく、500cN/dtex以上がより好ましい。
厚みが50μm未満では積層枚数が多くなりすぎて生産性が悪くなる傾向にあり、300μmを超えると厚み精度が悪くなる。
また、目付が30g/m2未満では、繊維基材の機械強度が劣り、繊維強化樹脂シートの補強効果が不十分となる。一方、200g/m2を超えると、繊維基材の空隙が少なく、熱硬化樹脂の含浸が難しくなり、繊維強化樹脂シートとして積層した際、他の繊維強化樹脂シートとの剥離が生じ、耐久性に劣るものとなる。
また、織組織は、平織物が好適である。
厚みが80μm未満では、積層枚数が多くなりすぎて生産性が悪くなる傾向にあり、140μmを超えると、厚み精度が悪くなる。
また、目付が50g/m2未満では、繊維基材の機械強度が劣り、繊維強化樹脂シートの補強効果が不十分となる。一方、100g/m2を超えると、繊維基材の空隙が少なく、熱硬化樹脂の含浸が難しくなり、繊維強化樹脂シートとして積層した際、他の繊維強化樹脂シートとの剥離が生じ、耐久性に劣るものとなる。
上記金属元素が各々20ppmを超えると、被研磨物を汚染し、製品歩留りを低下させる傾向にある。
具体的には、熱硬化性樹脂を用いる場合、熱硬化性樹脂を溶剤に溶解した樹脂組成物を調製し、それを前記繊維構造体に塗布後、バーコーターやクリアランスロールなどを用いて余分な樹脂組成物を掻き取ることにより、繊維強化シートを調製することができる。
実施例及び比較例で作製した積層板の特性は、以下の方法により評価した。
積層板を1000mm×1000mmに成形し、周縁部8箇所と中央部1箇所の計9点をマイクロメーターで測定し、最大値と最小値の差で評価した。
積層板を1000mm×1000mmに成形し、水平板上に平置きしたときの端部の浮き上がり量の最大値で評価した。
繊維基材を白金るつぼ中で炭化後、電気炉で灰化させ炭酸ナトリウム(Na2CO3)にてアルカリ融解させたものを超純水で定容し測定試料とした。ICP発光分光分析装置(AMETEK社製、CIROS CCD)を用い、各金属元素の含有量を測定した。
1000mm×1000mmに成形した積層板を、直径11インチの円盤状に加工すると共にその外周に複数枚の歯を形成し、更に直径3.5インチの保持孔を4個貫通加工して被研磨物保持材を作成した。ついで、この被研磨物保持材の保持孔に、被研磨物として直径3.5インチのアルミニウムハードディスクを嵌め込んだ状態で研磨装置に装着し、研磨装置を稼働させて研磨を行った。研磨を100回繰り返し、計2000枚の被研磨物の研磨を行った。
研磨試験後の被研磨物の表面状態を観察し、スクラッチの発生有無を調べ、不良率を求めた。
研磨試験時の被研磨物保持材の摩耗の程度で評価した。すなわち、使用可能な摩耗程度における使用可能なバッチ数を調べ、下記比較例3における使用可能なバッチ数を100としたときの指数で表した。
1)基材1:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、220dtex/48f)、厚さ150μm、目付60g/m2の平織織布)
2)基材2:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、560dtex/48f)、厚さ350μm、目付250g/m2の平織織布)
3)基材3:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維不織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、2.3dtex×3mm)、厚さ100μm、目付70g/m2の湿式不織布)
4)基材4:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維不織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、0.8dtex×3mm)、厚さ50μm、目付35g/m2の湿式不織布)
5)基材5:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維不織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、2.3dtex×3mm)、厚さ100μm、目付180g/m2の湿式不織布)
6)基材6:全芳香族ポリエステル(LCP)繊維不織布(LCP繊維(KBセーレン社製、商品名:Zxion、11.7dtex×3mm)、厚さ200μm、目付150g/m2の湿式不織布)
7)基材7:アラミド繊維不織布(アラミド繊維(東レ・デュポン社製、商品名:Kevler29、1.7dtex×3mm)、厚さ100μm、目付75g/m2の不織布)
8)基材8:アラミド繊維不織布(アラミド繊維(東レ・デュポン社製、商品名:Kevler29、1.7dtex×3mm)、厚さ200μm、目付160g/m2の不織布)
9)基材9:ガラス繊維織布(ガラス繊維(旭シュエ―ベル社製、商品名:A2116/AS450)、厚さ180μm、目付209g/m2の平織織布)
10)樹脂ワニス:硬化剤としてジシアンジアミド、硬化促進剤として2−エチル−4−メチルイミダゾールを配合したビスフェノールA型エポキシ樹脂ワニス
基材1に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグAを得た。
得られたプリプレグAを8枚積層し、2枚の鏡面板に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板1を得た。
基材3に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグBを得た。
得られたプリプレグBを12枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板2を得た。
基材7に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグCを得た。
両外層にプリプレグCを3枚ずつ、中間層にプリプレグAを4枚、計10枚のプリプレグを2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板3を得た。
両外層にプリプレグCを3枚ずつ、中間層にプリプレグBを6枚、計12枚のプリプレグを2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板4を得た。
基材8に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグDを得た。
両外層にプリプレグDを2枚ずつ、中間層にプリプレグBを4枚、計8枚のプリプレグを2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板5を得た。
基材2に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグEを得た。
プリプレグEを4枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板6を得た。
基材4に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグFを得た。
プリプレグFを30枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板7を得た。
基材6に樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグGを得た。
プリプレグGを6枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板8を得た。
基材5に樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグHを得た。
プリプレグHを11枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板9を得た。
基材8に、樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグIを得た。
両外層にプリプレグIを2枚ずつ、中間層にプリプレグGを2枚、計6枚のプリプレグを2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板10を得た。
基材9に樹脂ワニスを塗布し、含浸後、乾燥により半硬化を行い、プリプレグJを得た。
プリプレグJを6枚積層し、2枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度2.0℃/分、硬化温度175℃×60分、圧力3.0MPaで加熱加圧成形を行い、積層板11を得た。
一方、比較例の積層板は、厚み精度、反り量、耐久性、スクラッチの発生すべてを満足するものではなかった。特に、比較例4の積層板は、使用により、剥離が生じ、耐久性に劣るものであった。
Claims (4)
- 繊維基材に熱硬化性樹脂を含浸してなる繊維強化樹脂シートを複数枚積層してなる被研磨物保持材であって、前記繊維強化樹脂シートが、下記(1)を繊維基材として用いた繊維強化樹脂シートを含有するものであり、 被研磨物保持材中、チタン、マグネシウム、アルミニウム又はケイ素の含有量が各々20ppm以下であることを特徴とする被研磨物保持材。
(1)総繊度が50〜450dtexの全芳香族ポリエステルマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。 - 前記繊維強化樹脂シートが3枚以上積層されてなり、その外層の繊維強化樹脂シートが、下記(a)または(b)を繊維基材として用いた繊維強化樹脂シートであることを特徴とする請求項1に記載の被研磨物保持材。
(a)総繊度が50〜450dtexのアラミドマルチフィラメントからなる、厚みが50〜300μm、目付が30〜200g/m2である織物。
(b)繊度が1.0〜10dtexのアラミドモノフィラメントからなる、厚みが80〜140μm、目付が50〜100g/m2の不織布。 - 被研磨物保持材中、繊維基材が40〜80質量%であり、かつ、繊維基材中の全芳香族ポリエステル繊維からなる繊維基材が10質量%以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の被研磨物保持材。
- 熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、環状オレフィン系重合体樹脂の中から選択されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の被研磨物保持材。
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