JP2010099767A - 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被研磨物のスクラッチ発生を抑制し、使用寿命が長く、かつ加工性が良好な被研磨物保持材を提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維とポリアリレート長繊維を組み合わせて加熱加圧成形してなる被研磨物保持材であって、該被研磨物保持材を構成する全繊維の体積に対する上記ガラス長繊維の体積比率が４０％以上であることを特徴とする被研磨物保持材及び研磨物の製造方法である。
【選択図】なし

Description

本発明は、シリコンウエハ、ハードディスクなどの被研磨物を回転研磨する研磨工程において、前記被研磨物を保持するための被研磨物保持材、及びこの被研磨物保持材を用いた研磨物の製造方法に関する。

シリコンウエハ、ハードディスクなどの製造工程には、これらの表面を研磨する工程があり、この研磨工程では、シリコンウエハ、ハードディスクなどの被研磨物を保持するための被研磨物保持材が用いられている。この被研磨物保持材は、駆動用のギアを周囲に形成した円板に、被研磨物保持用の貫通孔を１個又は複数個あけた構造を有する。前記貫通孔に被研磨物を嵌め込んで研磨装置に装着し、被研磨物保持材を平面で駆動させることにより被研磨物の研磨が行われる。
従来、被研磨物保持材として、電気絶縁用積層板を加工したものが用いられていた。この電気絶縁用積層板は、熱硬化性樹脂を含浸、乾燥させたシート状基材（プリプレグ）の層を加熱加圧成形したものである。電気絶縁用積層板としては、例えば、綿布基材フェノール樹脂積層板、ガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維不織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維織布基材とガラス繊維不織布基材を複合したコンポジットエポキシ樹脂積層板などがある。この中で、綿布基材フェノール樹脂積層板とガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板が、被研磨物保持材として多用されている。

被研磨物保持材に要求される特性は、耐摩耗性，板厚精度，反り特性，寸法安定性などである。また、近年、研磨物に要求される品質や性能が高くなるに伴い、被研磨物におけるスクラッチ（研磨傷）の発生が抑制された被研磨物保持材が求められている。従来、被研磨物保持材に使用されている積層板は、本来、電気絶縁用であるため、被研磨物保持材に要求される特性、特に研磨物におけるスクラッチ発生の抑制の点で不充分であった。
これらの改善のため、被研磨物にスクラッチを発生させない被研磨物保持材を形成する材料として、アラミド系繊維、特に高強度であるパラ系アラミド繊維が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
有機繊維であるアラミド繊維は、ガラス繊維等の無機繊維と比較すると硬度が低い。このため、アラミド繊維基材で構成した被研磨物保持材を用いると、ガラス繊維基材等の無機繊維基材で構成した被研磨物保持材を用いた場合よりも、被研磨物に対するスクラッチの深さが浅いので、得られた研磨物が不良となる割合が減少する。
また、パラ型アミド系重合体からなるアラミド繊維（以下、「パラ型アラミド繊維」と称することがある。）は、メタ型アミド系共重合体からなるアラミド繊維（以下、「メタ型アラミド繊維」と称することがある。）よりも繊維自体の引張り強度など力学的物性値が高く、吸湿性もメタ型アラミド繊維より小さいので、水分のある研磨環境に好適である。パラ型アラミド繊維としては、ポリｐ−フェニレンテレフタラミド繊維とポリｐ−フェニレンジフェニールエーテルテレフタラミド繊維が市販されており、従来、これらが一般的に用いられていた。
しかしながら、近年、被研磨物保持材に対するさらなる耐摩耗性の向上が求められている。また、基板の薄肉化に伴って、被研磨物保持材に対する、反りや板厚精度のよい被研磨物保持材が求められている。
その様な改善のために高強度繊維であるポリアリレート繊維を基材として用いるものもあるが、その改善の余地は大きい（例えば、特許文献２〜５）。
特許文献２では、ガラス繊維織布を用いた場合におけるガラスの摩耗粉の発生を防ぐという目的でポリアリレート繊維不織布にエポキシ樹脂ワニスを含浸させたプリプレグの硬化物を研磨用テンプレート材料に用いることが提案されているが、短繊維を使用しているため、機械的強度の点で改善の必要性がある。
特許文献３では、最外層の繊維強化樹脂シートとして、アラミド繊維、ＰＢＯ繊維又は全芳香族ポリエステル繊維からなる短繊維をランダムに分散させ基材紙に熱硬化性樹脂を含浸させたシートを配置した被研磨物保持のためのキャリア材が提案されているが、短繊維を使用しているため、機械的強度の点で改善の必要性がある。
また、特許文献４では、高強度有機繊維基材の一つとしてポリアリレート（芳香族ポリエステル）繊維を用い、チタン酸カリウム短繊維の含有量を工夫することにより、研磨中のクラッシュの発生を回避し、耐スクラッチ性を保持し、耐摩耗性に優れ使用寿命が長いという被研磨物保持材が提案されているが、短繊維の含有量がかなり多いため、機械的強度の点で問題がある。
さらに、特許文献５では、エポキシ樹脂ワニス、ＰＰＯ樹脂ワニス（ポリフェニレンオキサイド樹脂ワニス）、ポリイミド樹脂ワニス等を含浸させたポリアリレート（芳香族ポリエステル）繊維を主として中間層に用い、同ワニスを含浸させたガラス基材織布、アラミド基材不織布、ポリエステル不織布等を外層として用いた研磨用キャリア材が提案されているが、クラッシュの発生の点で未だ充分ではない。

特開平１１−３０９６６７号公報 特開平１０−１４６７５４号公報 特開２００１−３８６０９号公報 特開２００３−６２７４９号公報 特開２００４−１１４２０８号公報

本発明は上記事情に鑑みなされたもので、繊維基材として短繊維からなる基材を使用せずに、被研磨物保持材における強度を改善し、被研磨物に対する被研磨物保持材の反りが低減するとともに、被研磨物におけるスクラッチの発生が抑制され、耐摩耗性が良好で、板厚精度（寸法精度）及び耐久性が向上し、かつ経済的に有利な被研磨物保持材を提供することを目的とするものである。

本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維からなる基材とポリアリレート長繊維からなる基材とを特定の比率で組み合わせて用い、それを加熱加圧成形してなる層を有する被研磨物保持材により、前記目的が達成されることを見出した。
本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。
すなわち、本発明は、以下
（1）熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維とポリアリレート長繊維を組み合わせて加熱加圧成形してなる被研磨物保持材であって、該被研磨物保持材を構成する全繊維の体積に対する上記ガラス長繊維の体積比率が４０％以上であることを特徴とする被研磨物保持材、
（2）前記熱硬化性樹脂を前記ポリアリレート長繊維に体積比率で４０〜７０％含浸させたプリプレグＡからなる表層および前記熱硬化性樹脂を前記ガラス長繊維に体積比率で６０％以下含浸させたプリプレグＢからなる中間層を加熱加圧成形してなる上記（1）に記載の被研磨物保持材、
（3）前記ポリアリレート長繊維の経糸密度が１インチ当たり２５〜５０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜５０本、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる１種類である上記（1）または（2）に記載の被研磨物保持材、
（4）前記ガラス長繊維の経糸密度が１インチ当たり２５〜６０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜６０本、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる１種類である上記（1）〜（3）のいずれかに記載の被研磨物保持材、
（5）前記熱硬化性樹脂が１１０℃以上のガラス転移温度を有する熱硬化性樹脂である上記（1）〜（4）のいずれかに記載の被研磨物保持材、
（6）前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂である上記（1）〜（5）のいずれかに記載の被研磨物保持材、および
（7）周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通孔を設け、当該貫通孔に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上記（1）〜（6）のいずれかに記載の被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法を提供するものである。

本発明によれば、被研磨物に対する反りが低減するとともに、板厚精度及び耐久性が向上し、かつ経済的に有利な被研磨物保持材を提供することができる。研磨物の製造に際して本発明の被研磨物保持材を用いると、研磨物におけるスクラッチが低減され、研磨物の製造歩留まりの向上を図ることができるため、研磨物のコスト低減が可能となる。
また、本発明によれば、従来の汎用品であるガラス繊維基布からなる被研磨物保持材に対して、表層に熱硬化性樹脂を含浸したポリアリレート長繊維を配することにより、表面平滑性と耐摩耗性に優れ、ポリアリレート長繊維とガラス長繊維からなる基材に熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグで構成されることから、板厚精度に優れた、反りの少ない被研磨物保持材を得ることが可能となる。

本発明の被研磨物保持材は、熱硬化性樹脂をポリアリレート長繊維からなる織布に含浸させた複数枚のプリプレグＡとガラス長繊維からなる織布に熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のプリプレグＢを重ねて、加熱加圧成形してなるものが好ましい。
なお、本発明でいう「長繊維」とは繊維の長さが通常５０ｃｍ以上、好ましくは１００ｃｍ以上、さらに好ましくは３００ｃｍ以上のものとする。
ポリアリレートは、全芳香族ポリエステルからなる溶融液晶ポリマーであり、紡糸時に高配向するため、紡糸された糸が超高強力・高耐熱性である。具体的には、芳香族ジカルボン酸および多価フェノールから得られる芳香族ポリエステルであり、中でも、芳香族ジオール、芳香族ジカルボン酸、芳香族ヒドロキシカルボン酸の反復構成単位を主成分とし、分子鎖が繊維軸方向に高度に配向し、高強度・高弾性率である溶融紡糸した異方性芳香族ポリエステル繊維（例えば、特開２００６−２９９４７４号公報、特開２００６−３３６１４７号公報等参照）が好ましく用いられる。

本発明においては、被研磨物保持材全体の繊維体積に占めるガラス長繊維の体積比率が４０％以上であることを要する。４０％以上とすることにより、反りや板厚精度を損なうのを防止する。ガラス摩耗粉によるスクラッチの影響を防止するという観点からガラス長繊維の体積比率の上限値は８５％程度である。主として、表層として用いられる、熱硬化性樹脂を含浸させたポリアリレート長繊維からなる織布を用いるプリプレグＡにおいては、樹脂分の体積比率は４０〜７０％であることが好ましい。
熱硬化性樹脂分の体積比率を４０％以上とすることによりポリアリレート長繊維からなる織布に未含浸部分が生じ、ボイドやカスレが生じるのを防止し、また、７０％を超えると厚みのばらつきが大きくなって、均一な硬化物を得ることが困難になるのを防止する。
また、その織布は、機械的強度の観点から、ポリアリレート長繊維の経糸密度が１インチ（２．５４ｃｍ）当たり２５〜５０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜５０本であり、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる織布であることが好ましい。ポリアリレート長繊維からなる織布の厚みは、５０〜２００μｍであれば熱硬化性樹脂の含浸工程において好適に使用することができる。
また、主として、中間層として用いられるガラス長繊維からなる織布を用いるプリプレグＢは、反りや板厚精度の観点から、樹脂分が体積比率６０％以下であることが好ましく、ガラス長繊維織布の経糸密度は、機械的強度の観点から、１インチ当たり２５〜６０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜６０本、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる織布で、機械的強度および不必要に厚くならないようにして熱硬化性樹脂の含浸工程において好適に使用することができるようにするため、ガラス長繊維からなる織布の厚みは３０〜２００μｍであることが好ましい。
本発明で用いるガラス長繊維からなる織布は、上記の条件を満たせば、種類は特に限定されることなく使用することができるが、ＩＰＣ−ＥＧ−１４０に規定される平織りＥガラス長繊維からなる織布等を使用することが好ましく、可撓性をもたせるためには、例えば、旭シェーベル社製のＥガラス長繊維からなる織布（商品名Ａ２１１６／ＡＳ４５０、目付１０６ｇ／ｍ²、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）等が特に好ましい。

本発明において使用される前記ポリアリレート長繊維およびガラス長繊維は、後で述べる熱硬化性樹脂との濡れ性や接着性などを良好とするために、表面処理剤で予め処理しておいてもよい。この表面処理剤としては、例えば、シラン系、チタネート系、アルミニウム系、クロム系、ジルコニウム系、ボラン系カップリング剤などが挙げられる。これらの中でシラン系カップリング剤及びチタネート系カップリング剤が好ましく、特に、シラン系カップリング剤が好適である。
このシラン系カップリング剤としては、例えば、トリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン及びγ−クロロプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。

本発明で用いる、プリプレグＡおよびＢに含浸する熱硬化性樹脂としては、１１０℃以上のガラス転移温度を有する熱硬化性樹脂が好ましく用いられる。ガラス転移温度が１１０℃以上を有するものは耐久性の点で優れている。これら熱硬化性樹脂は、特に限定されるものではなく、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、メラミン樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂などから選ばれる一種又は二種以上を用いることができる。
中でも、１１０℃以上のガラス転移温度を有するものを得易いという観点から、エポキシ樹脂または変性ポリイミド樹脂を用いることが好ましい。
本発明で好ましく用いられるエポキシ樹脂としては、その種類は特に限定されない。例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型ノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、サリチルアルデヒドノボラック型エポキシ樹脂、二官能フェノール類のジグリジルエーテル化物、二官能アルコール類のジグリシジルエーテル化物が挙げられる。これらのハロゲン化物、水素添加物なども使用できる。これらの何種類かを併用してもよい。

ポリイミド樹脂はパラアリーレンジアミンと芳香族多塩基酸との重縮合で得られる樹脂であり、本発明においてはガラス転移温度が１１０℃以上のものであれば、特に限定されずに用いることができる。変性ポリイミド樹脂はイミド構造を有するポリイミド樹脂中のハードセグメントに、ポリブタジエンジオール等からなるソフトセグメントが導入された樹脂である。

さらに、熱硬化性樹脂の脆さを改善するために、ゴム成分などの可撓性成分（エラストマー成分）を加えることができる。
エラストマー成分の配合量は熱硬化性樹脂１００質量部に対して１〜５０質量部であることが好ましく、１０〜３０質量部であることがより好ましい。エラストマー成分は、常温でゴム状弾性を有するものであればよく、例えば、アクリロニトリルブタジエンゴム、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム、ビニル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム、ブタジエンゴム等が挙げられ、これらは単独又は２種以上混合して使用することができる。

前記熱硬化性樹脂には、ジシアンジアミド、酸無水物、アミン類、イミダゾール類などの硬化剤を添加することができる。硬化剤の使用量は、熱硬化性樹脂１００質量部に対して、通常０．１〜１０質量部程度である。
前記エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂に上記硬化剤を配合して溶媒に溶解し、固形分３０〜８０質量％程度、好ましくは５０〜７０質量％のワニスを調製してポリアリレート長繊維からなる織布またはガラス長繊維からなる織布に含浸させた後、乾燥による半硬化を行なうことにより、プリプレグＡおよびＢを作製することができる。溶媒としては、メチルエチルケトン／セロソルブ、メチルエチルケトン／トルエン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン等が挙げられる。

本発明の被研磨物保持材は、公知の電気絶縁用積層板等の成形と同様に行うことにより、製造することができる。すなわち、ポリアリレート長繊維からなる織布とガラス長繊維からなる織布に熱硬化性樹脂を含むワニスを含浸させてなるプリプレグ複数枚を離型フィルムで被覆して鏡面板に挟み込み、プレス熱盤間で加熱加圧成形する。加熱加圧成形は通常、温度１７０〜２００℃、圧力５〜５０ＭＰａで、９０〜１５０分程度で行われる。
プリプレグの使用枚数はシリコンウエハ、ハードディスクなど被研磨物の種類や研磨条件により調整されるが、主として中間層として用いられる、熱硬化性樹脂を含むワニスをガラス長繊維からなる織布に含浸させた後、乾燥による半硬化を行なったプリプレグＢ中の熱硬化性樹脂の体積比率を６０％以下に調整することが肝要である。
本発明者らが検討した結果、熱硬化性樹脂を含むワニスをポリアリレート長繊維からなる織布に含浸させた後、乾燥による半硬化を行なったプリプレグＡ中の熱硬化性樹脂の体積比率を、４０％〜７０％にして、さらに表層に配することにより研磨物におけるスクラッチ発生、反り及びコストなどを抑制すると共に板厚精度などの観点から、有利であることが分かった。

本発明の被研磨物保持材の厚みは、これを使用する被研磨物の種類や研磨条件に応じて適宜選択され、通常０．３〜２．０ｍｍ程度、好ましくは０．４〜１．０ｍｍである。
本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において好適に使用される。被研磨物保持材の形態としては、キャリアディスクなどが挙げられる。
本発明は、周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通孔を設け、当該貫通孔に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上述した被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法をも提供する。

次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。

〔実施例１〕
熱硬化性樹脂としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂のエピコート１００１（油化シェルエポキシ株式会社製、商品名）７０質量部およびクレゾールノボラックエポキシ樹脂のＹＤＣＮ−７０４Ｐ（東都化成株式会社製、商品名）３０質量部、硬化剤としてジシアンジアミド３質量部および２Ｅ４ＭＺ（四国化成工業株式会社製の２−エチルー４−メチル−イミダゾール）０．０７質量部からなる混合物に溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニス１を調製した。このワニス１の硬化物のガラス転移温度（ＤＭＡ法）を測定したら１４０℃であった。
ポリアリレート長繊維「ベクトラン ＨＴタイプ」（クラレ社製）を４０本束ねて１本の糸としたものを、経糸密度が１インチ当たり３５本、緯糸密度が１インチ当たり３５本で平織りし、６２ｇ／ｍ²、厚さ０．１ｍｍのポリアリレート長繊維からなる織布１を得た。
前記ポリアリレート長繊維からなる織布１に前記ワニス１を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行い、樹脂分が体積比率６０％（質量比率６０％）のプリプレグ１（プリプレグＡ）を得た。
同様に、前記ワニス１を、汎用のＥガラスの長繊維からなる織布１（旭シェーベル社製、商品名Ａ２１１６／ＡＳ４５０、目付１０６ｇ／ｍ²、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）に塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行い、樹脂分が体積比率５７％（質量比率４３％）のプリプレグ２（プリプレグＢ）を得た。
両表層それぞれにプリプレグ１を１枚ずつ、中間層にプリプレグ２を６枚、計８枚のプリプレグを２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行い、積層板１を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は７４％であった。

〔実施例２〕
前記プリプレグ２を４枚重ね、さらにその両表層にプリプレグ１を各２枚、重ね合わせて、合計８枚のプリプレグを組み合わせた以外は実施例１と同様に行ない、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．８ｍｍの積層板２を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は４９％であった。

〔実施例３〕
前記ポリアリレート長繊維からなる織布１に、熱硬化性樹脂として京セラケミカル社製の変性ポリイミドワニス２（商品名 ＴＥＹ９９１６Ｇ、硬化物のガラス転移温度２１０℃、溶媒（メチルエチルケトン/メチルセロソルブアセテート＝体積比１/１）、固形分６０質量％、ビスマレイミドをエポキシ樹脂で変性したもの）を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行なった以外は実施例１と同様に行ない、樹脂分が体積比率６０％（質量比率６０％）のプリプレグ３（プリプレグＡ）を得た。
同様に、前記変性ポリイミドワニス２を、前記Ｅガラス長繊維からなる織布１（旭シェーベル社製、商品名 Ａ２１１６／ＡＳ４５０、繊維径７μｍ、目付１０６ｇ／ｍ²、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）に塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行なった以外は実施例１と同様に行ない、樹脂分が体積比率５７％（質量比率４３％）のプリプレグ４（プリプレグＢ）を得た。
両表層それぞれにプリプレグ３を１枚ずつ、中間層にプリプレグ４を６枚、計８枚のプリプレグを２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行なった以外は実施例１と同様に行ない、積層板３を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は７４％であった。

〔実施例４〕
前記ポリアリレート長繊維からなる織布１に、前記ワニス１を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行ない、樹脂分が体積比率４０％のプリプレグ７（プリプレグＡ）を得た。前記プリプレグ２を６枚重ね、さらにその両表層にプリプレグ７を各２枚重ね合わせて合計１０枚のプリプレグを組み合わせた以外は実施例１と同様に行ない、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７０℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．８ｍｍの積層板８を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は５９％であった。

〔実施例５〕
前記ポリアリレート長繊維からなる織布１に、前記ワニス１を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行ない、樹脂分が体積比率７０％のプリプレグ８（プリプレグＡ）を得た。前記プリプレグ２を６枚重ね、さらにその両表層にプリプレグ７を各１枚重ね合わせて合計８枚のプリプレグを組み合わせた以外は実施例１と同様に行ない、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７０℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．８ｍｍの積層板９を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は７４％であった。

〔実施例６〕
ポリアリレート長繊維「ベクトラン ＨＴタイプ」（クラレ社製）を４０本束ねて１本の糸としたものを、単位面積当たりの繊維量が３２ｇ/ｍ²になるように複数本を一方向に引き揃え、ボンディングシートＴＦＡ−８８０ＣＡ−１５〔京セラケミカル社製、接着剤厚さ１５μｍ〕を重ね合わせ、表裏に離型フィルム〔藤森化学社製〕を配して、ラミネーターを用いて１２０℃の熱ロール間に挟み込み、０.５ＭＰａの圧力で加熱加圧成形を行い、樹脂分４０％のプリプレグ９（プリプレグＡ）を得た。
前記プリプレグ２を６枚重ね、さらにその両表層にプリプレグ９を各３枚重ね合わせて合計１２枚のプリプレグを組み合わせた以外は実施例１と同様に行ない、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７０℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．８ｍｍの積層板１０を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は６４％であった。

〔比較例１−ガラス長繊維の体積比率（％）が範囲外の保持材使用〕
両表層それぞれにプリプレグ１を３枚ずつ、中間層にプリプレグ２を２枚、計８枚のプリプレグを２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行なった以外は実施例１と同様に行ない、積層板４を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は２４％であった。

〔比較例２−アラミド長繊維からなる織布を使用〕
アラミド長繊維「ケブラー２９」（デュポン社製）を４０本束ねて１本の糸としたものを、経糸密度が１インチ当たり３５本、緯糸密度が１インチ当たり３５本で平織りし、６２ｇ／ｍ²、厚さ０．１ｍｍのアラミド長繊維からなる織布４を得た。
前記アラミド長繊維からなる織布４に前記ワニス１を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行なった以外は実施例１と同様に行ない、樹脂分が体積比率６０％（質量比率５８％）のプリプレグ５（プリプレグＡ）を得た。
両表層それぞれにプリプレグ５を１枚ずつ、中間層にプリプレグ２を６枚、計８枚のプリプレグを２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行なった以外は実施例１と同様に行ない、積層板５を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は７４％であった。

〔比較例３−ポリアリレート短繊維からなる不織布使用〕
ポリアリレート短繊維「ベクトラン ＨＴタイプ」（クラレ社製）を用いた目付６２ｇ／ｍ²の不織布３に前記ワニス１を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行い、樹脂分が体積比率６０％（質量比率６０％）のプリプレグ６（プリプレグＡ）を得た。
両表層それぞれにプリプレグ６を１枚ずつ、中間層にプリプレグ２を６枚、計８枚のプリプレグを２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行なった以外は実施例１と同様に行ない、積層板６を得た。
ガラス長繊維／全繊維の体積比率は７４％であった。

〔比較例４―ガラス長繊維からなる織布にエポキシ樹脂を含浸させたもの単体使用〕
プリプレグ２の８枚を２枚の鏡面板の間に挟み、熱盤間に１０セット仕込み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃×６０分、圧力３．０ＭＰａで加熱・加圧成形を行なった以外は実施例１と同様に行ない、積層板７を得た。

実施例１〜３および比較例１〜４で得られた積層板１〜７をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ〔ＤＰ（ダイヤメトラルピッチ）１２ｍｍ、歯数１３４、外径２８７．８６ｍｍ〕の外周形状と、５０ｍｍφの孔１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。なお、上記１２Ｂとは、歯車用語であって「１２インチ区分のサイズの、Ｂ仕様区分」を意味する。

上記実施例及び比較例で得られた積層板１〜７から作製したキャリアディスクの特性を、以下に示す方法により評価した。
（１）反り
キャリアディスクを平盤に平置きしてその浮き上がり値を測定した。
（２）傷発生率（研磨試験）
キャリアディスクで厚さ０．８ｍｍのアルミニウムウエハを１０サイクル研磨した後、アルミニウムウエハの表面状態を観察し、傷発生率を算出した。
（３）耐摩耗性
キャリアディスクのギア部の摩耗の程度で評価した。すなわち、使用可能な摩耗程度における使用可能なバッチ数を調べ、比較例４における使用可能なバッチ数を１００としたときの指数で表した。
（４）板厚精度
同一キャリアディスクの２０点の板厚を測定し、最大値と最小値の差を算出した。
（５）表面平滑性
キャリアディスクの表面を表面粗さ計で測定した。
（６）クラッシュ発生回数
上記研磨試験後のクラッシュが発生した回数を調べた
上記特性評価の結果を表１に示す。

研磨物の製造に際して本発明の被研磨物保持材を用いると、被研磨物におけるスクラッチが低減され、研磨物の製造歩留まりの向上を図ることができるため、研磨物のコスト低減が可能となる。本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において、キャリアディスクなどの形態で好適に使用される。

Claims (7)

1. 熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維とポリアリレート長繊維を組み合わせて加熱加圧成形してなる被研磨物保持材であって、該被研磨物保持材を構成する全繊維の体積に対する上記ガラス長繊維の体積比率が４０％以上であることを特徴とする被研磨物保持材。
2. 前記熱硬化性樹脂を前記ポリアリレート長繊維に体積比率で４０〜７０％含浸させたプリプレグＡからなる表層および前記熱硬化性樹脂を前記ガラス長繊維に体積比率で６０％以下含浸させたプリプレグＢからなる中間層を加熱加圧成形してなる請求項１に記載の被研磨物保持材。
3. 前記ポリアリレート長繊維の経糸密度が１インチ当たり２５〜５０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜５０本、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる１種類である請求項１または２に記載の被研磨物保持材。
4. 前記ガラス長繊維の経糸密度が１インチ当たり２５〜６０本、緯糸密度が１インチ当たり２５〜６０本、目付３０〜３００ｇ／ｍ²であり、平織、又は平織の変化織から選ばれる１種類である請求項１〜３のいずれかに記載の被研磨物保持材。
5. 前記熱硬化性樹脂が１１０℃以上のガラス転移温度を有する熱硬化性樹脂である請求項１〜４のいずれかに記載の被研磨物保持材。
6. 前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂である請求項１〜５のいずれかに記載の被研磨物保持材。
7. 周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通孔を設け、当該貫通孔に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として請求項１〜６のいずれかに記載の被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法。