JP2016036872A - 研磨物保持用基材 - Google Patents

Abstract

【課題】薄肉でありながら、機械的強度や耐摩耗性に優れ、被研磨物表面にスクラッチが発生することを防止できる経済的な研磨物保持用基材を提供すること。
【解決手段】耐熱有機繊維と熱可塑性樹脂とを含む研磨物保持用基材であって、耐熱有機繊維が短繊維であり、熱可塑性樹脂が短繊維形状の熱可塑性樹脂を溶融して得たものであり、耐熱有機繊維の含有量が１０〜７０重量％の範囲である研磨物保持用基材。さらには、耐熱有機繊維の繊維長が２０〜１５０ｍｍの範囲であることや、耐熱有機繊維が、芳香族ポリアミド繊維、ポリオキシベンザゾール繊維、全芳香族ポリエステル繊維、ポリフェニレンスルフィド繊維から選ばれる少なくとも一種からなるものであることや、２５０℃以上の耐熱温度を有するものであることが好ましい。また、熱可塑性樹脂が、ポリプロプピレン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン樹脂から選ばれる少なくとも一種からなるものであることや、耐熱有機繊維の耐熱温度以下であるものであること、熱可塑性樹脂を溶融する工程がプレス工程であることが好ましい。
【選択図】なし

Description

本発明は研磨物保持用基材に関し、特にはシリコンウェハなどの薄板状の被研磨物を研磨する治具に最適な研磨物保持用基材に関する。

近年、電子機器の発達に伴い多種多様の電子部品が製造される中で、電子機器の薄型化ないし小型化を図るために電子部品を微小なチップに形成する技術が発達してきた。チップ部品の製造に用いるシリコンウェハの表面は非常に高度の平面度が要求され、例えばラッピングマシーンを用いる精密仕上げ加工によって仕上げられている。これら精密加工を実施するためには、研磨物保持用基材により、これらの被研磨物を保持することが必須である。

もともとこのような研磨物保持用基材としては、ＳＫ鋼（炭素工具鋼）やステンレス鋼等の金属板から成る金属製が多く使用されていた。しかしながら、金属製では研磨加工中に生成する金属粉が最終製品の半導体等に悪影響を与えるため、ガラス繊維を用いた繊維強化樹脂シートが広く使用されるようになった。特に薄肉の被研磨材に対しては機械的強度が優れているガラス繊維を基材とする研磨物保持用基材が用いられている。
ところが、ガラス繊維を基材とする研磨物保持用基材は、研磨時に表面に作用する物理的な力によりガラス繊維と樹脂との境界面で剥離が生じ易く、剥離したガラス繊維が細かく破砕されて被研磨物の表面にスクラッチと呼ばれる研磨傷を発生させるという問題があった。

そこで特許文献１では、問題解決のためにガラス繊維に代わって、繊維が柔らかくかつ破砕されにくいアラミド繊維などの有機繊維を紙状に成形した基材に、エポキシ樹脂などに代表される熱硬化樹脂を含浸した多層の研磨保持用基材を用いることが提案された。
しかし、マトリックス樹脂として熱硬化性樹脂を用いる場合、未硬化の段階では粘度が低いという問題があった。繊維シートへの樹脂の含浸こそ行いやすいものの、熱硬化性樹脂を有機溶剤に溶解させ、繊維シートに付与し、プリプレグシートとし、さらに熱処理する長い工程が必要であった。さらに有機溶剤の取扱い性や硬化反応時間の長さという問題もあった。
またガラス繊維などの無機繊維を用いた研磨物保持用基材に比べると、有機繊維を用いた場合は、機械的強度、特に剛性が低く、薄い用途には使用しにくいという問題があった。

特開平１１−３０９６６７号公報

本発明はこのような技術的課題を解決し、薄肉でありながら、機械的強度や耐摩耗性に優れ、被研磨物表面にスクラッチが発生することを防止できる経済的な研磨物保持用基材を提供することにある。

本発明の研磨物保持用基材は、耐熱有機繊維と熱可塑性樹脂とを含む研磨物保持用基材であって、耐熱有機繊維が短繊維であり、熱可塑性樹脂が短繊維形状の熱可塑性樹脂を溶融して得たものであり、耐熱有機繊維の含有量が研磨物保持用基材の全体重量の１０〜７０重量％の範囲であることを特徴とする。
さらには、耐熱有機繊維の繊維長が２０〜１５０ｍｍの範囲であることや、耐熱有機繊維が、芳香族ポリアミド繊維、ポリオキシベンザゾール繊維、全芳香族ポリエステル繊維、ポリフェニレンスルフィド繊維から選ばれる少なくとも一種からなるものであること、耐熱有機繊維が２５０℃以上の耐熱温度を有するものであることが好ましい。

また、熱可塑性樹脂が、ポリプロプピレン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン樹脂から選ばれる少なくとも一種からなるものであることや、熱可塑性樹脂の融点が耐熱有機繊維の耐熱温度以下であるものであること、熱可塑性樹脂を溶融する工程がプレス工程であることが好ましい。
熱可塑性樹脂を溶融する際に、耐熱有機繊維の短繊維と熱可塑性樹脂の短繊維とが、不織布形状に混合されてなることや、その不織布が乾式不織布であることが好ましい。

本発明によれば、薄肉でありながら、機械的強度や耐摩耗性に優れ、被研磨物表面にスクラッチが発生することを防止できる経済的な研磨物保持用基材が提供される。

本発明の研磨物保持用基材は、耐熱有機繊維と熱可塑性樹脂とを含む研磨物保持用基材であって、耐熱有機繊維が短繊維であり、熱可塑性樹脂が短繊維形状の熱可塑性樹脂を溶融して得たものであることを必須とする。
ここで本発明の研磨物保持用基材に用いられる耐熱有機繊維としては、耐熱性を有する有機繊維であれば特に限定されるものではない。しかし中でも、芳香族ポリアミド繊維（以下「アラミド繊維」という）、ポリオキシベンザゾール繊維、全芳香族ポリエステル繊維、ポリフェニレンスルフィド繊維の中から選ばれる繊維であることが好ましい。なお本発明においてはこのような耐熱性有機繊維が一種以上含まれていれば良く、物性を調整するために複数の繊維を用いても良い。

特には本発明の研磨物保持用基材に最適に用いられる耐熱性有機繊維としては、アラミド繊維であることが好ましく、とりわけ耐摩耗性に優れた基材となる。より具体的にアラミド繊維について述べると、使用するポリマーとしては、芳香族ジカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分、もしくは芳香族アミノカルボン酸成分から構成される芳香族ポリアミド、またはこれらの芳香族共重合ポリアミドからなるポリマーであることが好ましい。例えばポリパラフェニレンテレフタルアミド、コポリパラフェニレン・３，４’−オキシジフェニレンテレフタルアミド、ポリメタフェニレンイソフタルアミドなどが例示できる。特に芳香族共重合ポリアミドを用いることが耐衝撃性の点から好ましく、中でもコポリパラフェニレン・３，４’−オキシジフェニレンテレフタルアミドを用いることが好ましい。

また本発明で用いる耐熱有機繊維としては、２５０℃以上の耐熱温度を有する繊維であることが好ましい。ここで耐熱温度とは、融点、軟化点、または熱分解開始温度のうち最も低い温度がその温度以上であることをいう。さらには耐熱温度としては２５０から３５０℃の範囲にあることが好ましい。

またこの耐熱性繊維は短繊維であることが必要である。短繊維形状で用いることにより多方向に繊維が配向し、等方性に優れた研磨物保持用基材となる。繊維長は２０ｍｍ以上であることが好ましく、上限としては１５０ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは３０〜８０ｍｍ、さらには３５〜６０ｍｍの範囲であることが好ましい。繊維長が短すぎる場合には、平面方向には等方性の確保は可能だが厚さ方向には繊維が配向せず、十分な強度や剛性を発揮させることが困難となる。また繊維長が短すぎると繊維に捲縮を掛けることができずに乾式不織布化することが困難となり、十分な絡合を行うことができなくなる傾向にある。また耐熱有機繊維の繊維直径としては５〜１００μｍの範囲であることが好ましく、さらには８〜５０μｍの範囲であることが好ましい。さらにこの耐熱性の短繊維は捲縮を有することもこのましく、捲縮数は３個／２５ｍｍ〜２０個／２５ｍｍの範囲であることが好ましい。このような短繊維を用いることにより高い剛性を確保することが可能になった。

本発明の研磨物保持用基材においては、耐熱性有機繊維の割合は研磨物保持用基材の全重量に対し１０％〜７０％であることが必要である。さらには２０％〜６０％であることが好ましい。耐熱性有機繊維の割合が１０％よりも少ないと、耐摩耗性が悪化する。逆に７０％を超えると、樹脂成分が不足し、平滑な表面を得られないとともに、樹脂と強化繊維の接着が悪く、研磨時に剥離が生じる。
さらに本発明の研磨物保持用基材は、上記のような耐熱有機繊維と共に熱可塑性樹脂を含むのであるが、さらにこの熱可塑性樹脂は短繊維形状の熱祖青性樹脂を溶融して得たものであることが必要である。

用いられる熱可塑性樹脂としては、ポリプロプピレン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン樹脂から選ばれる少なくとも一種からなるものであることが好ましい。中でもポリカーボネート樹脂、ナイロン樹脂が好ましく、研磨物保持用基材の剛性を確保することがより容易となる。
耐熱性有機繊維の重量に対する、この熱可塑性樹脂の重量の比としては、耐熱性有機繊維：熱可塑性樹脂＝１０：９０〜７０：３０の範囲が好ましく、さらには２０：８０〜６０：４０の範囲であることが好ましい。

本発明に用いられる熱可塑性樹脂は、一旦このような熱可塑性樹脂を原料とし、一般的な溶融紡糸法により紡糸される繊維状物の形状とした後に、最終的に基材中では溶融して研磨物保持用基材の耐熱有機繊維の周辺に配置される。このような熱可塑性樹脂の融点は、耐熱有機繊維の耐熱温度以下であることが好ましい。

このような樹脂のメルトボリュームフローレイトは、１２〜６０ｃｍ^３／１０分の範囲であるものが好ましい。ここでメルトボリュームフローレイトは、ＩＳＯ １１３３に準拠して３００℃、荷重１．２ｋｇにて測定した値である。さらには１６〜４０ｃｍ^３／１０分、特には１８〜３０ｃｍ^３／１０分の範囲であることが好ましい。中でもこのような物性のポリカーボネート樹脂を用いることが好ましい。このような溶融特性を有することにより、特に熱可塑樹脂を繊維化した後に溶融し含浸する際、耐熱有機繊維の繊維間に、熱可塑性樹脂が十分に含浸し、最終的に得られる基材の剛性や耐衝撃性を確保することが容易となる。

またこの熱可塑性樹脂は一旦短繊維とした後に溶融するのであるが、この熱可塑性樹脂を溶融する工程はプレス工程であることが好ましい。さらには熱可塑性樹脂を溶融する際には、耐熱有機繊維の短繊維と、溶融前の熱可塑性樹脂の短繊維とが、不織布形状に混合されていることが好ましく、不織布としては特には乾式不織布であることが好ましい。

このように本発明の研磨物保持用基材では、熱可塑性樹脂を一旦短繊維とした後に溶融して得たものであるために、耐熱有機繊維を予めマトリックス樹脂となる熱可塑性の短繊維と混合することが可能となり、より均一な基材を作成可能となる。例えば従来は一旦フィルム状とした熱可塑性樹脂を用いることがあったが、どうしても厚さ方向の含浸斑が発生する傾向にあった。本発明では耐熱有機繊維と熱可塑性繊維を混合し繊維強化プラスチックの基材としているため、溶解前から均一分散することができ、最終製品である研磨物保持用基材は、より均一な基材となった。特にポリカーボネート樹脂のような溶融時の粘度が高い樹脂である場合に効果的であり、強化繊維でもある耐熱有機繊維の近傍に、マトリックス樹脂となる熱可塑性の短繊維を存在させることが可能となり、耐熱有機繊維とマトリックス樹脂が密着した基材とすることができるのである。

熱可塑性樹脂を溶融する前の形態としては、シート状の基布であることが好ましく、特には不織布の形態であることが好ましい。ここで乾式不織布、湿式不織布のいずれもが使用可能であるが、本発明では繊維長の長いことが有益であるため、乾式不織布法にて作成することがより好ましい。剛性、耐摩耗性を特に優れた研磨物保持用基材となる。
乾式不織布として用いる場合には、繊維は開繊機、カードなどの工程により一方向に引き揃えられたのち、複数の方向性を持って積層させることが好ましい。得られた基材の等方性が増し、反りの抑制された研磨物保持用基材となる。

研磨物保持用基材の目付としては、５０〜５００ｇ／ｃｍ^２の範囲であることが好ましい。さらには７０〜４００ｇ／ｃｍ^２、特には１００〜３００ｇ／ｃｍ^２の範囲とすることが好ましい。厚さとしては２〜４０ｍｍ、特には２〜２０ｍｍの範囲であることが好ましい。必要に応じて、成型プレスの前に予備的に加圧処理を行い、厚みを低減することが望ましい。また研磨物保持用基材の線膨張係数が５０ｐｐｍ以下であることが好ましく、３０ｐｐｍ以下であることが特に好ましい。

通常、有機繊維や熱可塑性繊維を用いた場合にはこの線膨張係数は大きくなる傾向にあるが、本発明の研磨物保持用基材は、耐熱有機繊維が短繊維であり、熱可塑性樹脂が一旦短繊維とした後に溶融して用いているために、熱可塑性樹脂の含浸性に優れ、薄物であっても必要な硬度や物性を確保することが可能となった。またこのようなシートを複数枚積層したものであることも好ましく、より高い硬度の研磨物保持用基材となる。

このような本発明の研磨物保持用基材は、所定寸法に裁断し、この保持用基材に被研磨物を保持するための１ないし複数個の穴をあけることにより、被研磨物保持材が得られる。該被研磨物保持材を用いて研磨を行なうときは、前記保持材を研磨機にセットし、前記穴には被研磨物を嵌め合せて保持する。そして、保持材を駆動させると、これに伴って、穴に保持した被研磨物も駆動され、被研磨物は、これに当接している研磨材によって表面を研磨される。

このような本発明の研磨物保持用基材は、次のような製造方法により得ることが可能である。すなわち、例えば耐熱有機繊維と熱可塑性樹脂からなるシートであって、耐熱有機繊維が短繊維であり、耐熱有機繊維の含有量が１０〜７０重量％の範囲であるシートをプレス成形する製造方法である。
この場合成形前のシートは、先にも述べたように耐熱有機繊維と共に熱可塑性樹脂も短繊維であることが好ましく、特には不織布であることが好ましい。

そのように耐熱有機繊維と共に熱可塑性樹脂も短繊維である場合、強化繊維となる耐熱有機繊維と熱可塑性繊維とが、少なくとも一部で交絡していることが好ましい。ここで、交絡とは、２本以上の繊維が互いに絡み付いている状態をいう。かかる交絡の存在により、基材の取扱いが容易になり、かつ、立体成形性においても有利な構造となる。
このような交絡を得るためには、あらかじめ耐熱性短繊維や熱可塑性樹脂からなる短繊維が、捲縮を有することが好ましい。捲縮数としては、捲縮数は３個／２５ｍｍ〜２０個／２５ｍｍの範囲であることが好ましい。

耐熱有機繊維と熱可塑性繊維と交絡数は、基材表面において、好ましくは１〜５０ケ／ｃｍ^２の範囲であり、より好ましくは１〜２０ケ／ｃｍ^２以上である。交絡数が多いほど一体感は向上するが、あまり交絡数が多すぎると、基布が硬くなる傾向にある。なお、この交絡は、ニードルパンチ不織布の場合は針の打ち込み密度により、ウォーターニードルの場合は水柱の密度により、湿式不織布の場合は繊維の水中への分散、撹拌の条件の調整により上記範囲とすることが可能である。

なお、交絡の状態としては、耐熱有機繊維と熱可塑性繊維が交絡していることが好ましいが、さらには耐熱有機繊維同士が不織布形状として互いの繊維が交絡していることが好ましい。耐熱有機繊維同士が互いに交絡することにより、高い物性を確保可能となる。
このような成形前のシートをニードルパンチ不織布とする場合は、打ち込み密度を、２００〜８００本／ｃｍ^２とすることが好ましく、さらには３００〜７００本／ｃｍ^２とすることが好ましい。打ち込み密度が少なすぎると、十分に繊維同士を交絡させることができず、成形前のシートの形態維持性が低下し、最終的に成型する際に、目付の変動が起こりやすくなる。一方、打ち込み密度が高すぎると、基材が硬くなり易い傾向にある。

また、成形前シートにおける基材の１枚の目付は、５０〜５００ｇ／ｃｍ^２の範囲であることが好ましい。より好ましくは７０〜４００ｇ／ｃｍ^２、特には１００〜３００ｇ／ｃｍ^２とすることが好ましい。目付が小さすぎると取扱い性が悪くなる傾向があり、大きすぎると単層の最小基材厚みが高くなるため、最終製品となる研磨物保持用基材の薄様化への対応が困難となる。この基材を用いて研磨物保持用基材を成形する際は、基材を１枚または複数積層して用いることもできる。

研磨物保持用基材の成型方法としては、プレス成型、スタンパブル成型などが好適例として示されるが、一般的な熱圧成型法は全て適用可能である。この際、熱可塑性繊維の融点または軟化点以上の温度で加熱または加熱加圧を行うことで、研磨物保持用基材を成形することができる。
成型方法としては他にプルトリュージョン法や樹脂含浸法も一般的だが、最初から溶融した樹脂を用いるため、取扱い性の自由度が低い。また本発明のような繊維を使用せずにフィルムを使用するフィルム積層法も知られているが、繊維シートと樹脂フィルムが完全に分離しており、均一な含浸を行うことが困難である。

このような製造方法にて得られる本発明の研磨物保持用基材は、熱可塑性樹脂が繊維の形状で他の繊維間に存在し、さらには好ましくは交絡している。そして熱可塑性樹脂を溶融させ、好ましくは加熱加圧を行うことにより、熱可塑樹脂が溶融して十分に耐熱性有機繊維からなる強化繊維の隙間に浸透する。この時熱可塑性樹脂は流動性に優れることから、強化繊維と熱可塑性樹脂の分布が均一となり、得られる研磨物保持用基材の反りを、大幅に抑制する。特に近年、高品質の薄様な研磨保持材が必要とされており、本発明の研磨物保持用基材は、最適に活用できる。
また柔軟な耐熱性有機繊維からなる短繊維と、熱可塑性樹脂から構成されているために、シートの機械物性が優れているにも関わらず被研磨物へのあたりが柔らかく、スクラッチが非常に少ないという効果を発揮する。

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。

（１）繊維長、繊度
ＪＩＳ Ｌ １０１５に準拠して測定した。

（２）繊径
キーエンス社製光学顕微鏡ＤＥＧＩＴＡＬ ＭＩＣＲＯＳＣＯＰＥ ＶＨＸ−１０００を用い１０００倍で繊維断面の直径を１０本測定し、その平均値とした。

（３）繊維の引張強度、伸度、弾性率
ＡＳＴＭ Ｄ８８５に準拠して測定した。

（４）ポリカーボネート樹脂のメルトボリュームフローレイト
ＩＳＯ １１３３に準拠して３００℃、荷重１．２ｋｇにて測定した。

（５）各繊維の融点、軟化点、熱分解開始温度
株式会社リガク社製示差熱分析装置ＴＡＳ２００にて窒素雰囲気下、昇温速度１０℃／分にて測定し算出した。

（６）研磨物保持用基材の反り
厚さ０．８ｍｍの研磨物保持用基材（繊維で強化されたプラスチック板）を成形し、該平板を平置きした際の浮き上がり値にて示した。

（７）研磨物保持用基材の線膨張係数
熱分析装置を用いて、昇温速度５℃／分、窒素雰囲気下、室温から１００℃までの測定温度にて測定した。

（８）繊維交絡数
厚さ方向に切断した不織布の切断面を、走査型電子顕微鏡（倍率：１２倍）にて観察し、不織布の厚さの半分以上の長さにわたって、厚さ方向（厚さ方向に対し、４５°以内の方向を含む）に配列している５本以上の短繊維が集束した繊維束の本数を数えて、１ｃｍあたりの本数で表わした。

（９）研磨物保持用基材の耐摩耗性
簡易試験として、ＪＩＳ Ｋ ７２１８によるスラスト摩耗試験において、相手材をアルミＡ５０５２、加圧力２５ｋｇ／ｃｍ^２、速度３．６ｍ／分、測定時間３０分にて、試験片の摩耗量と相手材の摩耗量を測定した。

［実施例１］
耐熱有機繊維として、繊維径１２μｍのアラミド繊維（ポリパラフェニレンテレフタルアミド、コポリパラフェニレン・３，４’−オキシジフェニレンテレフタルアミド繊維）（帝人テクノプロダクツ製 テクノーラ（商標）、引張強度３４００ＭＰａ）に捲縮を掛け、５１ｍｍにカットした耐熱有機繊維を準備した。このものの捲縮数は６個／２５ｍｍであった。一方、ポリカーボネート樹脂（帝人化成製 パンライトＬ−１２２５Ｌ メルトボリュームフローレイト １８ｃｍ^３／１０分間）を２９０℃にて溶融押し出しし、直径３０μｍのフィラメントを得て、得られたフィラメントに捲縮を掛け、５１ｍｍにカットし、熱可塑性樹脂からなる短繊維とした。このものの捲縮数は６個／２５ｍｍであった。

耐熱有機繊維（短繊維）と熱可塑性樹脂短繊維を重量比で４０：６０に混合し、開繊機にて混合した後、カード工程を通過させることにより、繊維の引き揃え性を向上させたウェブを作成した。このようにして得られた繊維ウェブをニードルパンチ機により３８番針にて針深度１０ｍｍ、打ち込み密度を５００本／ｃｍ^２条件で、目付２００ｇ／ｍ^２の成形前シートを得た。上記基材を５枚積層したものを予め離型処理を施したステンレス板で挟み、ホットプレス熱盤上にセットした後、同じく予め離型処理を施した鋼製スペーサーを使用して、成型圧力５ＭＰａ、成型温度が３００℃にて約０．８ｍｍ厚の研磨物保持用基材を作成した。
反り、線膨張係数、耐摩耗性等を評価し、表1に示す。

［実施例２、３］
実施例１のアラミド繊維の配合量を４０％から表記載の配合量に変更した以外は、実施例１と同様の処理を行い、研磨物保持用基材を作成、評価し、表１に併せて示した。

［実施例４〜６］
実施例１〜３のポリカーボネート樹脂（熱可塑性樹脂）からなる短繊維を、直径１８μｍのポリプロピレン樹脂からなる短繊維に変更し、プレス成型の温度を２２０℃とした以外は実施例１〜３と同様の処理を実施し、研磨物保持用基材を作成、評価し、表１に併せて示した。

［実施例７〜９］
実施例１〜３のポリカーボネート樹脂（熱可塑性樹脂）からなる短繊維を、直径１０μｍのナイロン６樹脂からなる短繊維に変更し、プレス成型の温度を２６０℃とした以外は実施例１〜３と同様の処理を実施し、研磨物保持用基材を作成、評価し、表１に併せて示した。

［比較例１、２］
実施例１のアラミド繊維の配合量を４０％から表記載の配合量に変更した以外は、実施例１の場合と同様の処理をし、研磨物保持用基材を作成、評価し、表１に併せて示した。

［比較例３］
従来型の研磨物保持用基材として、ガラスクロス（目付１０７ｇ／ｍ^２）にビスフェノール型エポキシ樹脂を含浸し、板状熱硬化型プラスチックを作成した。これを研磨物保持用基材として評価し、結果を表１に併せて示した。

Claims (9)

1. 耐熱有機繊維と熱可塑性樹脂とを含む研磨物保持用基材であって、耐熱有機繊維が短繊維であり、熱可塑性樹脂が短繊維形状の熱可塑性樹脂を溶融して得たものであり、耐熱有機繊維の含有量が研磨物保持用基材の全体重量の１０〜７０重量％の範囲であることを特徴とする研磨物保持用基材。
2. 耐熱有機繊維の繊維長が２０〜１５０ｍｍの範囲である請求項１記載の研磨物保持用基材。
3. 耐熱有機繊維が、芳香族ポリアミド繊維、ポリオキシベンザゾール繊維、全芳香族ポリエステル繊維、ポリフェニレンスルフィド繊維から選ばれる少なくとも一種からなるものである請求項１または２記載の研磨物保持用基材。
4. 耐熱有機繊維が、２５０℃以上の耐熱温度を有するものである請求項１〜３のいずれか１項記載の研磨物保持用基材。
5. 熱可塑性樹脂が、ポリプロプピレン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン樹脂から選ばれる少なくとも一種からなるものである請求項１〜４のいずれか１項記載の研磨物保持用基材。
6. 熱可塑性樹脂の融点が、耐熱有機繊維の耐熱温度以下であるものである請求項１〜５のいずれか１項記載の研磨物保持用基材。
7. 熱可塑性樹脂を溶融する工程が、プレス工程である請求項１〜６のいずれか１項記載の研磨物保持用基材。
8. 熱可塑性樹脂を溶融する際に、耐熱有機繊維の短繊維と熱可塑性樹脂の短繊維とが、不織布形状に混合されてなる請求項１〜７のいずれか１項記載の研磨物保持用基材。
9. 不織布が乾式不織布である請求項８記載の研磨物保持用基材。