JP2008215969A - 荷電粒子線応用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料上における一次ビームの配置を可変とし、さらに、試料の特性を元に、最適な検査仕様で高速に検査を行うためのビーム配置を抽出する。また、また、多数の光学パラメータおよび装置パラメータを最適化する。さらに、抽出された一次ビームの特性を測定し、調整する。
【選択図】 図1
Description
選択された一次ビーム102dおよび102fはレンズアレイ110によって個別に集束される。レンズアレイ110は、それぞれ複数の開口を有する3枚の電極からなり、このうち中央の電極に電圧を印加することにより、開口部を通過する一次ビームに対してアインツェルレンズとして作用するものである。
発明が解決しようとする課題の項で述べたように、半導体検査装置においては、試料であるウェハの品種や工程によって、最適な検査仕様が変化する。ここで、検査仕様は、検出信号により形成される画像の分解能、一次ビームの試料入射時のエネルギーおよび電流密度、試料表面における電界強度などの仕様パラメータによって決定される。これらの、検査の効果を直接的に決定するパラメータを以下、仕様パラメータと呼ぶ。
401―正常に形成されたパターン、402―形成不良パターン、403―正常に形成されたパターンに相当するピーク、404―形成不良パターンに相当するピーク、405―閾値、
601―ビーム配置表示領域、602―検査速度表示領域、603―測定結果タブ、604―光学パラメータタブ。
Claims (10)
- 同一の荷電粒子線源で発生した荷電粒子線を複数の一次ビームに分離して試料に照射し、発生する二次ビームを検出して得られる検出信号を処理することにより、当該試料の検査または計測を行う機能を備えた荷電粒子線応用装置において、
前記複数の一次ビームを形成して前記試料上に走査する一次光学系と、
該複数の一次ビーム照射により発生する二次ビームを各々分離して検出する二次光学系と、
前記荷電粒子線応用装置の制御手段とを備え、
該制御手段は、前記試料の特性に応じて前記複数の一次ビームの少なくとも一部を選択して前記試料上に走査させるよう前記一次光学系を動作させることを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記制御手段は、前記試料に到達させる一次ビームの本数と配置に対応した二次ビームの検出分解能と検査速度あるいは計測速度とを計算し、
前記試料の検査または計測を行うために必要な検出分解能を満たす配置で、最も前記検査速度ないし計測速度が高くなる配置を選択することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記一次光学系は、前記複数の一次ビームのうち任意のビームを前記試料上に到達させる手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記検出信号から前記走査領域の画像情報を形成する画像処理手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記試料を載置する試料台と、当該試料台を前記一次ビームの照射位置に対して任意の位置に移動する試料ステージとを有し、
前記制御手段は、前記試料の特性を元に当該試料ステージの移動速度を決定することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記一次光学系は、前記複数の一次ビームを試料上に集束させる第一のレンズと、前記試料台にリターディング電位を印加する手段と、該試料表面における電界強度を調整するための電極と、前記複数の一次ビームを前記試料上で走査する走査偏向器とを備え、
前記制御手段は、前記第一のレンズの焦点距離、前記電極への印加電圧、前記試料に印加される電圧、前記走査偏向器の荷電粒子線に対する走査幅または当該偏向器の走査速度のいずれかを、前記試料の特性に応じて変更することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記二次光学系は、前記一次ビーム照射により発生する二次ビームの検出器と、当該二次ビームを検出器に導くための二次光学系とを備え、
前記制御手段は、当該検出器での信号検出のタイミングを決定するクロック信号の周波数または前記形成画像の画素サイズのいずれかを、前記試料の特性に応じて決定することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項7に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記二次光学系は、第二のレンズまたはアライナーと、
該第二のレンズまたはアライナの調整手段とを備え、
前記抽出手段により抽出された荷電粒子線の照射により、前記試料から発生した二次荷電粒子線を前記検出系により個別に検出するために、前記第二のレンズまたは前記アライナーを調整する手段を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項5から7のいずれか1項に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記試料の特性として、品種、工程、パターンを形成する膜の材質、パターンを形成する膜の厚さ、パターンの形状、パターンサイズのいずれかを用いることを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線応用装置において、
前記試料上に到達した一次ビームのビーム径及びビーム電流量を測定する測定手段と、
当該測定手段の測定結果を元に前記一次ビームの電流量を調整する手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010053040A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線式基板検査装置 |
WO2010137257A1 (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置及び試料観察方法 |
JP2011192498A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置および検査方法 |
US8907278B2 (en) | 2010-12-15 | 2014-12-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam applied apparatus, and irradiation method |
KR101575117B1 (ko) | 2013-03-13 | 2015-12-07 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 멀티 빔의 전류 조정 방법 |
JP2017151155A (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置及び検査方法 |
JP2019053976A (ja) * | 2017-07-13 | 2019-04-04 | アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー | 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム影響装置、および荷電粒子ビーム装置を動作させる方法 |
JP2022525153A (ja) * | 2019-03-29 | 2022-05-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | シングルビームモードを備えたマルチビーム検査装置 |
JP2023516114A (ja) * | 2020-03-05 | 2023-04-18 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | マルチビーム検査システム用のビーム・アレイ・ジオメトリ最適化装置 |
JP7409946B2 (ja) | 2020-04-13 | 2024-01-09 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム照射装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5103033B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2012-12-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
JP5292412B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-09-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
US8294125B2 (en) * | 2009-11-18 | 2012-10-23 | Kla-Tencor Corporation | High-sensitivity and high-throughput electron beam inspection column enabled by adjustable beam-limiting aperture |
US9702695B2 (en) * | 2010-05-27 | 2017-07-11 | Hitachi High-Technologies Corporation | Image processing device, charged particle beam device, charged particle beam device adjustment sample, and manufacturing method thereof |
JP5686710B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2015-03-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
TWI524461B (zh) | 2012-02-14 | 2016-03-01 | 愛發科股份有限公司 | 離子束照射裝置 |
EP2654068B1 (en) * | 2012-04-16 | 2017-05-17 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Switchable multi perspective detector, optics therefore and method of operating thereof |
EP2879155B1 (en) * | 2013-12-02 | 2018-04-25 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Multi-beam system for high throughput EBI |
US9767986B2 (en) | 2014-08-29 | 2017-09-19 | Kla-Tencor Corporation | Scanning electron microscope and methods of inspecting and reviewing samples |
NL2013411B1 (en) * | 2014-09-04 | 2016-09-27 | Univ Delft Tech | Multi electron beam inspection apparatus. |
JP6677657B2 (ja) * | 2015-02-05 | 2020-04-08 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
JP2017032365A (ja) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンの計測方法および計測装置 |
JP6641011B2 (ja) * | 2015-11-30 | 2020-02-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 複数の荷電粒子ビームの装置 |
US10276346B1 (en) * | 2016-03-09 | 2019-04-30 | Kla-Tencor Corporation | Particle beam inspector with independently-controllable beams |
US10242839B2 (en) * | 2017-05-05 | 2019-03-26 | Kla-Tencor Corporation | Reduced Coulomb interactions in a multi-beam column |
US10347460B2 (en) | 2017-03-01 | 2019-07-09 | Dongfang Jingyuan Electron Limited | Patterned substrate imaging using multiple electron beams |
JP6959880B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2021-11-05 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
JP2019220559A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びそのビーム評価方法 |
JP2020187876A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
WO2022192207A1 (en) * | 2021-03-11 | 2022-09-15 | University Of Florida Research Foundation, Incorporated | Aberration corrected optical assembly |
US11848173B1 (en) * | 2023-01-31 | 2023-12-19 | Integrated Dynamic Electron Solutions, Inc. | Methods and systems for event modulated electron microscopy |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002267623A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 電子ビーム欠陥検査装置 |
JP2002373612A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Nikon Corp | 電子線装置及びその装置を用いたデバイスの製造方法 |
JP2004134503A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5892224A (en) * | 1996-05-13 | 1999-04-06 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for inspecting wafers and masks using multiple charged-particle beams |
AU2001239801A1 (en) * | 2000-02-19 | 2001-08-27 | Ion Diagnostics, Inc. | Multi-beam multi-column electron beam inspection system |
JP3943022B2 (ja) * | 2000-12-01 | 2007-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 基板検査装置 |
US6953938B2 (en) * | 2002-10-03 | 2005-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Deflector, method of manufacturing deflector, and charged particle beam exposure apparatus |
US7425703B2 (en) * | 2004-02-20 | 2008-09-16 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus, a device manufacturing method using the same apparatus, a pattern evaluation method, a device manufacturing method using the same method, and a resist pattern or processed wafer evaluation method |
US7285779B2 (en) * | 2004-06-21 | 2007-10-23 | Applied Materials Israel, Ltd. | Methods of scanning an object that includes multiple regions of interest using an array of scanning beams |
US7385197B2 (en) * | 2004-07-08 | 2008-06-10 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus and a device manufacturing method using the same apparatus |
JP4171479B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2008-10-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置及び荷電粒子線応用方法 |
US8067732B2 (en) * | 2005-07-26 | 2011-11-29 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus |
JP4914604B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2012-04-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線検査装置を用いたパターン欠陥検査方法及びそのシステム、並びに写像投影型又はマルチビーム型電子線検査装置 |
KR100943589B1 (ko) * | 2006-03-20 | 2010-02-23 | 삼성전자주식회사 | 통신 시스템에서 신호 송수신 장치 및 방법 |
JP4878501B2 (ja) | 2006-05-25 | 2012-02-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
JP5064723B2 (ja) | 2006-05-25 | 2012-10-31 | パナソニック株式会社 | 燃料電池の運転方法 |
JP5227512B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2013-07-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線応用装置 |
JP5103033B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2012-12-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
JP5292412B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-09-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
-
2007
- 2007-03-02 JP JP2007052166A patent/JP5103033B2/ja active Active
-
2008
- 2008-02-26 US US12/037,623 patent/US7906761B2/en active Active
-
2011
- 2011-02-22 US US13/032,050 patent/US8193493B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002267623A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 電子ビーム欠陥検査装置 |
JP2002373612A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Nikon Corp | 電子線装置及びその装置を用いたデバイスの製造方法 |
JP2004134503A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010053040A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線式基板検査装置 |
WO2010137257A1 (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置及び試料観察方法 |
US8552373B2 (en) | 2009-05-27 | 2013-10-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device and sample observation method |
JP5498488B2 (ja) * | 2009-05-27 | 2014-05-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置及び試料観察方法 |
JP2011192498A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置および検査方法 |
US8907278B2 (en) | 2010-12-15 | 2014-12-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam applied apparatus, and irradiation method |
KR101575117B1 (ko) | 2013-03-13 | 2015-12-07 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 멀티 빔의 전류 조정 방법 |
JP2017151155A (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置及び検査方法 |
JP2019053976A (ja) * | 2017-07-13 | 2019-04-04 | アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー | 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム影響装置、および荷電粒子ビーム装置を動作させる方法 |
JP2022525153A (ja) * | 2019-03-29 | 2022-05-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | シングルビームモードを備えたマルチビーム検査装置 |
US11594396B2 (en) | 2019-03-29 | 2023-02-28 | Asml Netherlands B.V. | Multi-beam inspection apparatus with single-beam mode |
JP7271704B2 (ja) | 2019-03-29 | 2023-05-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | シングルビームモードを備えたマルチビーム検査装置 |
JP2023516114A (ja) * | 2020-03-05 | 2023-04-18 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | マルチビーム検査システム用のビーム・アレイ・ジオメトリ最適化装置 |
JP7423804B2 (ja) | 2020-03-05 | 2024-01-29 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | マルチビーム検査システム用のビーム・アレイ・ジオメトリ最適化装置 |
JP7409946B2 (ja) | 2020-04-13 | 2024-01-09 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム照射装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110139985A1 (en) | 2011-06-16 |
US7906761B2 (en) | 2011-03-15 |
US8193493B2 (en) | 2012-06-05 |
US20080230697A1 (en) | 2008-09-25 |
JP5103033B2 (ja) | 2012-12-19 |
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