JP2022525153A - シングルビームモードを備えたマルチビーム検査装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図3A
Description
[0001] 本出願は、2019年3月29日に出願された米国特許出願第62/826,731号、及び2020年2月25日に出願された米国特許出願第62/981,462号の優先権を主張するものであり、これらの特許出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1.複数の動作モードをサポートするサンプルを検査するための荷電粒子ビーム装置であって、
一次光軸に沿って荷電粒子ビームを放射するように構成された荷電粒子ビーム放射源と、
上記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを形成するように構成された第1のアパーチャプレートと、
第1の位置と第2の位置との間で移動可能な第2のアパーチャプレートと、
回路を有し、上記装置の構成を変更して第1のモードと第2のモードとの間で切り替わるように構成された、コントローラと、を含み、
上記第1のモードでは、
上記第2のアパーチャプレートは上記第1の位置に配置され、
上記第1のアパーチャプレート及び上記第2のアパーチャプレートは、上記複数の荷電粒子ビームレットのうちの第1の荷電粒子ビームレットが通過できるように構成され、
上記第2のモードでは、
上記第2のアパーチャプレートは上記第2の位置に配置され、
上記第1のアパーチャプレート及び上記第2のアパーチャプレートは、上記複数の荷電粒子ビームレットのうちの上記第1の荷電粒子ビームレット及び第2の荷電粒子ビームレットが通過できるように構成される、荷電粒子ビーム装置。
2.上記第1のモードはシングルビームモードであり、上記第2のモードはマルチビームモードである、条項1に記載の装置。
3.上記第1の荷電粒子ビームレットは上記一次光軸に対してオンアクシスビームレットであり、上記第2の荷電粒子ビームレットは上記一次光軸に対してオフアクシスビームレットである、条項1~2の何れか一項に記載の装置。
4.上記第2のアパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第2の荷電粒子ビームレットを遮断するように構成される、条項1~3の何れか一項に記載の装置。
5.上記第1のアパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記荷電粒子ビーム放射源と上記第2のアパーチャプレートとの間に配置される、条項1~4の何れか一項に記載の装置。
6.上記複数の荷電粒子ビームレットの経路を変更して、像面に上記荷電粒子ビーム放射源の複数の像を形成するように構成された集光レンズ、を更に含む、条項1~5の何れか一項に記載の装置。
7.上記第2のアパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第1のアパーチャプレートと上記集光レンズとの間に配置される、条項6に記載の装置。
8.上記集光レンズは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第1のアパーチャプレートと上記第2のアパーチャプレートとの間に配置される、条項6に記載の装置。
9.上記集光レンズは第1の偏向器及び第2の偏向器を含み、上記第2のアパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第1の偏向器と上記第2の偏向器との間に配置される、条項6に記載の装置。
10.上記第2のアパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記荷電粒子ビーム放射源と上記第1のアパーチャプレートとの間に配置される、条項1~4の何れか一項に記載の装置。
11.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第1のモード又は上記第2のモードのいずれかで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、を更に含む、条項1~10の何れか一項に記載の装置。
12.上記コントローラは、
上記第1のモード又は上記第2のモードのいずれかで、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御するための回路を含み、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されている、条項11に記載の装置。
13.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第2のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第2の電子検出デバイスと、を更に含む、条項1~10の何れか一項に記載の装置。
14.上記コントローラは、
上記第2のモードでは、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されており、
上記第1のモードでは、上記ビームセパレータを無効にして、上記二次電子が上記第2の電子検出デバイスに向けて移動できるようにする、ための回路を含む、条項13に記載の装置。
15.上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されている、条項14に記載の装置。
16.上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第3の位置に配置されて上記二次電子を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、この第4の位置では、上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項14に記載の装置。
17.上記コントローラは、
上記第2のモード中に、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されており、
上記第1のモード中に、上記二次電子を上記第2の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第2の電子検出デバイスは第2の二次光軸と整列されている、ための回路を含む、条項13に記載の装置。
18.上記第1の二次光軸及び上記第2の二次光軸は、上記一次光軸に対して対称である、条項17に記載の装置。
19.上記第2の電子検出デバイスは、上記二次電子を検出するための電子検出器と、後方散乱電子の検出を強化するための上記電子検出器の前方にあるエネルギーフィルタと、を含む、条項17及び18の何れか一項に記載の装置。
20.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第2のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子の第1の部分を検出するように構成された第2の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子の第2の部分を検出するように構成された第3の電子検出デバイスと、を更に含む、条項1~10の何れか一項に記載の装置。
21.上記二次電子の上記第2の部分は、上記二次電子の上記第1の部分の電子よりも高いエネルギーを有する電子を含む、条項20に記載の装置。
22.上記二次電子の上記第2の部分は、上記二次電子の上記第1の部分の電子よりも大きな放射角度を有する電子を含む、条項20に記載の装置。
23.上記二次電子の上記第2の部分は、上記サンプルから放射される後方散乱電子を含む、条項20~22の何れか一項に記載の装置。
24.上記第2の電子検出デバイス及び上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されている、条項20~23の何れか一項に記載の装置。
25.上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されて、上記二次電子の上記第2の部分を検出し、
上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第3の位置に配置されて上記二次電子の上記第1の部分を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、この第4の位置では、上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項20~23の何れか一項に記載の装置。
26.上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されて、上記二次電子の上記第1の部分を検出し、
上記第3の電子検出デバイスは、第5の位置と第6の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第3の電子検出デバイスは、上記第5の位置に配置されて上記二次電子の上記第2の部分を検出し、この第5の位置では、上記第3の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第3の電子検出デバイスは、上記第6の位置に配置され、この第6の位置では、上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項20~23の何れか一項に記載の装置。
27.上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記第3の電子検出デバイスは、第5の位置と第6の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは上記第3の位置に配置されて上記二次電子の上記第1の部分を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、また、上記第3の電子検出デバイスは、上記第5の位置に配置されて上記二次電子の上記第2の部分を検出し、この第5の位置では、上記第3の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、上記第3の電子検出デバイスは、上記第6の位置に配置され、これらの位置では、上記第2及び上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項20~23の何れか一項に記載の装置。
28.上記第2の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含むか、上記第3の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含むか、又は、上記第2及び第3の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含む、条項20~27の何れか一項に記載の装置。
29.上記第2のアパーチャプレートは第1のアパーチャを含み、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第1の位置に配置され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸から離れて配置されるように、上記第2の位置に配置される、条項1~28の何れか一項に記載の装置。
30.上記第2のアパーチャプレートは、上記第1のアパーチャよりも大きな第2のアパーチャを更に含み、
上記装置が第3のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャは第5の位置に配置され、それにより、上記第2のアパーチャが上記一次光軸と整列されて、上記第2の荷電粒子ビームレットを遮断し、且つ、上記第1のアパーチャよりもより高い電流プローブスポットを上記サンプル上に生成する、条項29に記載の装置。
31.上記第2のアパーチャプレートは第1のアパーチャ及び第2のアパーチャを含み、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第1の位置に配置され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャプレートは、上記第2のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第2の位置に配置される、条項1~28の何れか一項に記載の装置。
32.上記第2のアパーチャは上記第1のアパーチャよりも大きい、条項31に記載の装置。
33.上記第2のアパーチャプレートは、円形プレートである、条項1~32の何れか一項に記載の装置。
34.上記第2のアパーチャプレートは、上記一次光軸の周りを回転する、条項33に記載の装置。
35.荷電粒子ビーム放射源によって放射される荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを形成するように構成された第1のアパーチャプレートを含む荷電粒子ビーム装置を使用して、サンプルを検査する方法であって、
第2のアパーチャプレートを第2の位置から第1の位置に移動させること、を含み、
上記第2のアパーチャプレートを上記第1の位置に配置すると、上記荷電粒子ビームの単一の荷電粒子ビームレットが、上記第1及び上記第2のアパーチャプレートの組み合わせを通過できるようになり、
上記第2のアパーチャプレートを上記第2の位置に配置すると、上記荷電粒子ビームの複数の荷電粒子ビームレットが、上記第1及び上記第2のアパーチャプレートの組み合わせを通過できるようになる、方法。
36.第2のアパーチャプレートを上記第1の位置から上記第2の位置に移動させること、を更に含む、条項35に記載の方法。
37.上記シングル荷電粒子ビームレットは、一次光軸に対してオンアクシスの荷電粒子ビームレットである、条項35及び36の何れか一項に記載の方法。
38.上記第2のアパーチャプレートは、上記第1の位置に配置されると、オフアクシス荷電粒子ビームレットを遮断するように構成される、条項35~37の何れか一項に記載の方法。
39.複数の動作モードをサポートするサンプルを検査するための荷電粒子ビーム装置であって、
一次光軸に沿って荷電粒子ビームを放射するように構成された荷電粒子ビーム放射源と、
第1の位置と第2の位置との間で移動可能な可動アパーチャプレートと、
回路を有し、上記装置の構成を変更して第1のモードと第2のモードとの間で切り替わるように構成された、コントローラと、を含み、
上記第1のモードでは、
上記可動アパーチャプレートは、上記第1の位置に配置され、上記荷電粒子ビームから引き出された複数の荷電粒子ビームレットのうちの第1の荷電粒子ビームレットが通過できるように構成され、
上記第2のモードでは、
上記可動アパーチャプレートは、上記第2の位置に配置され、上記複数の荷電粒子ビームレットのうちの上記第1の荷電粒子ビームレット及び第2の荷電粒子ビームレットが通過できるように構成される、荷電粒子ビーム装置。
40.上記第1のモードはシングルビームモードであり、上記第2のモードはマルチビームモードである、条項39に記載の装置。
41.上記第1の荷電粒子ビームレットは上記一次光軸に対してオンアクシスビームレットであり、上記第2の荷電粒子ビームレットは上記一次光軸に対してオフアクシスビームレットである、条項39~40の何れか一項に記載の装置。
42.上記可動アパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第2の荷電粒子ビームレットを遮断するように構成される、条項39~41の何れか一項に記載の装置。
43.事前ビームレット形成アパーチャプレートを更に含み、上記事前ビームレット形成アパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記荷電粒子ビーム放射源と上記可動アパーチャプレートとの間に配置される、条項39~42の何れか一項に記載の装置。
44.上記複数の荷電粒子ビームレットの経路を変更して、像面に上記荷電粒子ビーム放射源の複数の像を形成するように構成された集光レンズ、を更に含む、条項39~43の何れか一項に記載の装置。
45.上記可動アパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記事前ビームレット形成アパーチャプレートと上記集光レンズとの間に配置される、条項44に記載の装置。
46.上記集光レンズは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記事前ビームレット形成アパーチャプレートと上記可動アパーチャプレートとの間に配置される、条項44に記載の装置。
47.上記集光レンズは第1の偏向器及び第2の偏向器を含み、上記可動アパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記第1の偏向器と上記第2の偏向器との間に配置される、条項44に記載の装置。
48.事前ビームレット形成アパーチャプレートを更に含み、上記可動アパーチャプレートは、上記装置が上記第1のモードで動作する場合、上記荷電粒子ビーム放射源と上記事前ビームレット形成アパーチャプレートとの間に配置される、条項39~42の何れか一項に記載の装置。
49.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第1のモード又は上記第2のモードのいずれかで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、を更に含む、条項39~48の何れか一項に記載の装置。
50.上記コントローラは、
上記第1のモード又は上記第2のモードのいずれかで、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御するための回路を含み、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されている、条項49に記載の装置。
51.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第2のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第2の電子検出デバイスと、を更に含む、条項39~48の何れか一項に記載の装置。
52.上記コントローラは、
上記第2のモードでは、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されており、
上記第1のモードでは、上記ビームセパレータを無効にして、上記二次電子が上記第2の電子検出デバイスに向けて移動できるようにする、ための回路を含む、条項51に記載の装置。
53.上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されている、条項52に記載の装置。
54.上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第3の位置に配置されて上記二次電子を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、この第4の位置では、上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項52に記載の装置。
55.上記コントローラは、
上記第2のモード中に、上記二次電子を上記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されており、
上記第1のモード中に、上記二次電子を上記第2の電子検出デバイスに向けて偏向させるように上記ビームセパレータを制御し、ここで、上記第2の電子検出デバイスは第2の二次光軸と整列されている、ための回路を含む、条項51に記載の装置。
56.上記第1の二次光軸及び上記第2の二次光軸は、上記一次光軸に対して対称である、条項55に記載の装置。
57.上記第2の電子検出デバイスは、上記二次電子を検出するための電子検出器と、後方散乱電子の検出を強化するための上記電子検出器の前方にあるエネルギーフィルタと、を含む、条項55及び56の何れか一項に記載の装置。
58.上記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
上記装置が上記第2のモードで動作する場合に上記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子の第1の部分を検出するように構成された第2の電子検出デバイスと、
上記装置が上記第1のモードで動作する場合に上記二次電子の第2の部分を検出するように構成された第3の電子検出デバイスと、を更に含む、条項39~48の何れか一項に記載の装置。
59.上記二次電子の上記第2の部分は、上記二次電子の上記第1の部分の電子よりも高いエネルギーを有する電子を含む、条項58に記載の装置。
60.上記二次電子の上記第2の部分は、上記二次電子の上記第1の部分の電子よりも大きな放射角度を有する電子を含む、条項58に記載の装置。
61.上記二次電子の上記第2の部分は、上記サンプルから放射される後方散乱電子を含む、条項58~60の何れか一項に記載の装置。
62.上記第2の電子検出デバイス及び上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されている、条項58~61の何れか一項に記載の装置。
63.上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されて、上記二次電子の上記第2の部分を検出し、
上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第3の位置に配置されて上記二次電子の上記第1の部分を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、この第4の位置では、上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項58~62の何れか一項に記載の装置。
64.上記第2の電子検出デバイスは、上記一次光軸と整列されて、上記二次電子の上記第1の部分を検出し、
上記第3の電子検出デバイスは、第5の位置と第6の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第3の電子検出デバイスは、上記第5の位置に配置されて上記二次電子の上記第2の部分を検出し、この第5の位置では、上記第3の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第3の電子検出デバイスは、上記第6の位置に配置され、この第6の位置では、上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項58~62の何れか一項に記載の装置。
65.上記第2の電子検出デバイスは、第3の位置と第4の位置との間で移動可能であり、
上記第3の電子検出デバイスは、第5の位置と第6の位置との間で移動可能であり、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは上記第3の位置に配置されて上記二次電子の上記第1の部分を検出し、この第3の位置では、上記第2の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、また、上記第3の電子検出デバイスは、上記第5の位置に配置されて上記二次電子の上記第2の部分を検出し、この第5の位置では、上記第3の電子検出デバイスは上記一次光軸と整列され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記第2の電子検出デバイスは、上記第4の位置に配置され、上記第3の電子検出デバイスは、上記第6の位置に配置され、これらの位置では、上記第2及び上記第3の電子検出デバイスは、上記一次光軸から離れて配置される、条項58~62の何れか一項に記載の装置。
66.上記第2の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含むか、上記第3の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含むか、又は、上記第2及び第3の電子検出デバイスが複数の検出セグメントを含む、条項58~65の何れか一項に記載の装置。
67.上記可動アパーチャプレートは第1のアパーチャを含み、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記可動アパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第1の位置に配置され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記可動アパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸から離れて配置されるように、上記第2の位置に配置される、条項39~66の何れか一項に記載の装置。
68.上記可動アパーチャプレートは、上記第1のアパーチャよりも大きな第2のアパーチャを更に含み、
上記装置が第3のモードにあるように構成される場合、上記第2のアパーチャは第5の位置に配置され、それにより、上記第2のアパーチャが上記一次光軸と整列されて、上記第2の荷電粒子ビームレットを遮断し、且つ、上記第1のアパーチャよりもより高い電流プローブスポットを上記サンプル上に生成する、条項67に記載の装置。
69.上記可動アパーチャプレートは第1のアパーチャ及び第2のアパーチャを含み、
上記装置が上記第1のモードにあるように構成される場合、上記可動アパーチャプレートは、上記第1のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第1の位置に配置され、
上記装置が上記第2のモードにあるように構成される場合、上記可動アパーチャプレートは、上記第2のアパーチャが上記一次光軸と整列されるように、上記第2の位置に配置される、条項39~66の何れか一項に記載の装置。
70.上記第2のアパーチャは上記第1のアパーチャよりも大きい、条項69に記載の装置。
71.上記可動アパーチャプレートは、円形プレートである、条項39~70の何れか一項に記載の装置。
72.上記可動アパーチャプレートは、上記一次光軸の周りを回転する、条項71に記載の装置。
Claims (15)
- 複数の動作モードをサポートするサンプルを検査するための荷電粒子ビーム装置であって、
一次光軸に沿って荷電粒子ビームを放射するように構成された荷電粒子ビーム放射源と、
前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを形成するように構成された第1のアパーチャプレートと、
第1の位置と第2の位置との間で移動可能な第2のアパーチャプレートと、
回路を有し、前記装置の構成を変更して第1のモードと第2のモードとの間で切り替わるように構成された、コントローラと、を含み、
前記第1のモードでは、
前記第2のアパーチャプレートは前記第1の位置に配置され、
前記第1のアパーチャプレート及び前記第2のアパーチャプレートは、前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの第1の荷電粒子ビームレットを通過させるように構成され、
前記第2のモードでは、
前記第2のアパーチャプレートは前記第2の位置に配置され、
前記第1のアパーチャプレート及び前記第2のアパーチャプレートは、前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの前記第1の荷電粒子ビームレット及び第2の荷電粒子ビームレットを通過させるように構成される、荷電粒子ビーム装置。 - 前記第1のモードはシングルビームモードであり、前記第2のモードはマルチビームモードである、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の荷電粒子ビームレットは前記一次光軸に対してオンアクシスビームレットであり、前記第2の荷電粒子ビームレットは前記一次光軸に対してオフアクシスビームレットである、請求項1に記載の装置。
- 前記第2のアパーチャプレートは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記第2の荷電粒子ビームレットを遮断するように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のアパーチャプレートは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記荷電粒子ビーム放射源と前記第2のアパーチャプレートとの間に配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の荷電粒子ビームレットの経路を変更して、像面に前記荷電粒子ビーム放射源の複数の像を形成するように構成された集光レンズをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記第2のアパーチャプレートは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記第1のアパーチャプレートと前記集光レンズとの間に配置される、請求項6に記載の装置。
- 前記集光レンズは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記第1のアパーチャプレートと前記第2のアパーチャプレートとの間に配置される、請求項6に記載の装置。
- 前記集光レンズは第1の偏向器及び第2の偏向器を含み、前記第2のアパーチャプレートは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記第1の偏向器と前記第2の偏向器との間に配置される、請求項6に記載の装置。
- 前記第2のアパーチャプレートは、前記装置が前記第1のモードで動作する場合、前記荷電粒子ビーム放射源と前記第1のアパーチャプレートとの間に配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
前記装置が前記第1のモード又は前記第2のモードのいずれかで動作する場合に前記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、をさらに含む、請求項1に記載の装置。 - 前記コントローラは、
前記第1のモード又は前記第2のモードのいずれかで、前記二次電子を前記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように前記ビームセパレータを制御するための回路を含み、前記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されている、請求項11に記載の装置。 - 前記サンプルから生成された二次電子を偏向させるように構成されたビームセパレータと、
前記装置が前記第2のモードで動作する場合に前記二次電子を検出するように構成された第1の電子検出デバイスと、
前記装置が前記第1のモードで動作する場合に前記二次電子を検出するように構成された第2の電子検出デバイスと、をさらに含む、請求項1に記載の装置。 - 前記コントローラは、
前記第2のモードでは、前記二次電子を前記第1の電子検出デバイスに向けて偏向させるように前記ビームセパレータを制御し、前記第1の電子検出デバイスは第1の二次光軸と整列されており、
前記第1のモードでは、前記ビームセパレータを無効にして、前記二次電子を前記第2の電子検出デバイスに向けて移動させる、ための回路を含む、請求項13に記載の装置。 - 荷電粒子ビーム放射源によって放射される荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを形成するように構成された第1のアパーチャプレートを含む荷電粒子ビーム装置を使用して、サンプルを検査する方法であって、
第2のアパーチャプレートを第2の位置から第1の位置に移動させること、を含み、
前記第2のアパーチャプレートを前記第1の位置に配置すると、前記荷電粒子ビームの単一の荷電粒子ビームレットが、前記第1及び前記第2のアパーチャプレートの組み合わせを通過することを可能にし、
前記第2のアパーチャプレートを前記第2の位置に配置すると、前記荷電粒子ビームの複数の荷電粒子ビームレットが、前記第1及び前記第2のアパーチャプレートの組み合わせを通過することを可能にする、方法。
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