TW202420456A - 用於影像擾動補償之系統和方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種系統、設備及方法，其包括：基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號；產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號；自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料；使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位；組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。

Description

用於影像擾動補償之系統和方法

本文中之描述係關於檢測系統之領域，且更特定言之，係關於用於影像擾動補償之系統。

在積體電路(IC)之製造程序中，檢測未完成或已完成電路組件以確保其係根據設計而製造且無缺陷。利用光學顯微鏡之檢測系統通常具有低至幾百奈米之解析度；且解析度受光之波長限制。隨著IC組件之實體大小不斷減小直至低於100或甚至低於10奈米，需要相比於利用光學顯微鏡之檢測系統能夠具有較高解析度之檢測系統。

能夠具有直至小於一奈米之解析度之帶電粒子(例如電子)射束顯微鏡，諸如掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)，充當用於檢測具有低於100奈米之特徵大小之IC組件之切實可行的工具。在運用SEM的情況下，單一初級電子射束之電子或複數個初級電子射束之電子可聚焦於受檢測晶圓之所關注位置處。初級電子與晶圓相互作用且可反向散射或可使晶圓發射次級電子。包含反向散射電子及次級電子之電子射束之強度可基於晶圓之內部及外部結構之屬性而變化，且藉此可指示晶圓是否具有缺陷。

本發明之實施例提供用於影像擾動補償之設備、系統及方法。在一些實施例中，系統及方法可包括：基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號；產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號；自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料；使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位；組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。

在一些實施例中，系統及方法可包括：基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號；產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號；自根據該掃描產生之一影像提取一影像擾動之一頻率分佈；基於該參考信號及該經提取頻率分佈產生一經校準信號；使用該經校準信號及該參考信號產生一補償信號；將與該補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標；及使用該補償信號之該等偏轉驅動器座標以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。

現在將詳細地參考例示性實施例，其實例繪示於隨附圖式中。以下描述參考隨附圖式，其中除非另有表示，否則不同圖式中之相同數字表示相同或相似元件。例示性實施例之以下描述中所闡述之實施方案並不表示符合本發明之所有實施方案。代替地，其僅僅為符合與所附申請專利範圍中所敍述之主題相關之態樣的設備及方法之實例。舉例而言，儘管一些實施例係在利用電子射束之內容背景中予以描述，但本發明不限於此。可相似地應用其他類型之帶電粒子射束。此外，可使用其他成像系統，諸如光學成像、光偵測、x射線偵測、極紫外線檢測、深紫外線檢測或其類似者，其中該等成像系統產生對應類型之影像。

電子裝置由形成於被稱為基板之矽塊上之電路構成。許多電路可一起形成於同一矽塊上且被稱為積體電路或IC。此等電路之大小已顯著地減小，使得該等電路中之更多電路可裝配於基板上。舉例而言，智慧型手機中之IC晶片可與拇指甲一樣小且仍然可包括超過20億個電晶體，各電晶體之大小小於人類毛髮大小之1/1000。

製造此等極小IC為經常涉及數百個個別步驟之複雜、耗時且昂貴的程序。甚至一個步驟中之錯誤亦可能在成品IC中導致缺陷，從而致使成品IC無用。因此，製造程序之一個目標係避免此類缺陷以最大化在該程序中製造之功能IC之數目，亦即改良該程序之總體良率。

改良良率之一個組分為監測晶片製造程序以確保其正生產足夠數目個功能IC。一種用以監測該程序之方式係在晶片電路結構之形成之各種階段檢測晶片電路結構。可使用掃描電子顯微鏡(SEM)進行檢測。SEM可用以對此等極小結構進行成像，實際上拍攝晶圓之結構之「圖像」。影像可用以判定結構是否被適當地形成，且亦判定結構是否形成於適當位置處。若結構有缺陷，則可調整程序，使得缺陷較不可能再現。缺陷可能在半導體處理之各種階段期間產生。出於上述原因，重要的係儘可能早地準確且高效地發現缺陷。

SEM之工作原理與攝影機相似。攝影機藉由接收及記錄自人或物件反射或發射之光之亮度及顏色來拍攝圖像。SEM藉由接收及記錄自結構反射或發射之電子之能量或數量來拍攝「圖像」。在拍攝此類「圖像」之前，可將電子射束提供至結構上，且當電子自該等結構反射或發射(「射出」)時，SEM之偵測器可接收及記錄彼等電子之能量或數量以產生影像。為了拍攝此類「圖像」，一些SEM使用單一電子射束(被稱為「單射束SEM」)，而一些SEM使用多個電子射束(被稱為「多射束SEM」)來拍攝晶圓之多個「圖像」。藉由使用多個電子射束，SEM可將更多電子射束提供至結構上以用於獲得此等多個「圖像」，從而引起更多電子自結構射出。因此，偵測器可同時接收更多射出電子，且以較高效率及較快速度產生晶圓之結構之影像。

系統電力線誘發性影像擾動為檢測系統中影像擾動之主要關鍵源中之一者。具體言之，來自系統電力線之週期性電磁擾動(例如具有週期性圖案之影像上之擾動)為影像擾動之關鍵源。此等電力線誘發性影像擾動可由任何電模組、纜線、機架直通信號、接地、空間中之電磁場等造成且應被補償以產生準確影像(例如在檢測期間)。

然而，典型的檢測系統受到約束。典型的檢測系統可使用基於純軟體之方法以補償影像擾動。然而，基於純軟體之補償方法係不可靠且不充分的，此係因為其可僅辨識或特性化一些影像擾動圖案，但未能辨識或特性化其他影像擾動圖案(例如其不能補償點、孔等之影像擾動)。

所揭示實施例中之一些提供藉由使用基於硬體之方法以補償影像擾動來解決此等缺點中之一些或全部的系統及方法。所揭示實施例可包括自影像提取影像擾動之量值及相位，產生補償信號，及將補償信號提供至偏轉驅動器，藉此補償任何類型之圖案之電力線誘發性影像擾動。

圖式中之組件之相對尺寸可出於清楚起見而被誇示。在以下圖式描述內，相同或類似的附圖標號係指相同或類似的組件或實體，且僅描述相對於個別實施例之差異。

如本文中所使用，除非另有特定陳述，否則術語「或」涵蓋所有可能組合，惟不可行的情況除外。舉例而言，若陳述組件可包括A或B，則除非另有特定陳述或不可行，否則組件可包括A，或B，或A及B。作為第二實例，若陳述組件可包括A、B或C，則除非另有特定陳述或不可行，否則組件可包括A，或B，或C，或A及B，或A及C，或B及C，或A及B及C。

在不限制本發明之範疇的情況下，一些實施例可在利用電子射束之系統中提供偵測器及偵測方法之內容背景中予以描述。然而，本發明不限於此。可相似地應用其他類型之帶電粒子射束。此外，用於偵測之系統及方法可用於其他成像系統中，諸如光學成像、光子偵測、x射線偵測、離子偵測等。

圖 1繪示符合本發明之實施例的例示性電子射束檢測(EBI)系統100。EBI系統100可用於成像。如 圖 1中所展示，EBI系統100包括主腔室101、裝載/鎖定腔室102、電子射束工具104及裝備前端模組(EFEM) 106。電子射束工具104位於主腔室101內。EFEM 106包括第一裝載埠106a及第二裝載埠106b。EFEM 106可包括額外裝載埠。第一裝載埠106a及第二裝載埠106b收納含有待檢測晶圓(例如半導體晶圓或由其他材料製成之晶圓)或待檢測樣本之晶圓前開式單元匣(FOUP) (晶圓及樣本可被可互換地使用)。一「批次」為可被裝載以用於作為批量進行處理之複數個晶圓。

EFEM 106中之一或多個機械臂(圖中未示)可將晶圓輸送至裝載/鎖定腔室102。裝載/鎖定腔室102連接至裝載/鎖定真空泵系統(圖中未示)，其移除裝載/鎖定腔室102中之氣體分子以達到低於大氣壓力之第一壓力。在達到第一壓力之後，一或多個機械臂(圖中未示)可將晶圓自裝載/鎖定腔室102輸送至主腔室101。主腔室101連接至主腔室真空泵系統(圖中未示)，其移除主腔室101中之氣體分子以達到低於第一壓力之第二壓力。在達到第二壓力之後，由電子射束工具104對晶圓進行檢測。電子射束工具104可為單射束系統或多射束系統。

控制器109電子地連接至電子射束工具104。控制器109可為經組態以執行EBI系統100之各種控制之電腦。雖然控制器109在 圖 1中被展示為在包括主腔室101、裝載/鎖定腔室102及EFEM 106之結構外部，但應瞭解，控制器109可為該結構之部分。

在一些實施例中，控制器109可包括一或多個處理器(圖中未示)。處理器可為能夠操縱或處理資訊之通用或特定電子裝置。舉例而言，處理器可包括以下各者中之任何數目者之任何組合：中央處理單元(或「CPU」)、圖形處理單元(或「GPU」)、光學處理器、可程式化邏輯控制器、微控制器、微處理器、數位信號處理器、智慧財產(IP)核心、可程式化邏輯陣列(PLA)、可程式化陣列邏輯(PAL)、通用陣列邏輯(GAL)、複合可程式化邏輯裝置(CPLD)、場可程式化閘陣列(FPGA)、系統單晶片(SoC)、特殊應用積體電路(ASIC)，及能夠進行資料處理之任何類型電路。處理器亦可為虛擬處理器，其包括橫越經由網路耦接之多個機器或裝置分佈之一或多個處理器。

在一些實施例中，控制器109可進一步包括一或多個記憶體(圖中未示)。記憶體可為能夠儲存可由處理器存取(例如經由匯流排)之程式碼及資料之通用或特定電子裝置。舉例而言，記憶體可包括以下各者中之任何數目者之任何組合：隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、光碟、磁碟、硬碟機、固態硬碟、隨身碟、安全數位(SD)卡、記憶棒、緊湊型快閃(CF)卡，或任何類型之儲存裝置。程式碼可包括作業系統(OS)及用於特定任務之一或多個應用程式(或「app」)。記憶體亦可為虛擬記憶體，其包括橫越經由網路耦接之多個機器或裝置分佈之一或多個記憶體。

本發明之實施例可提供單帶電粒子射束成像系統(「單射束系統」)。相較於單射束系統，多帶電粒子射束成像系統(「多射束系統」)可經設計以針對不同掃描模式最佳化產出率。本發明之實施例提供多射束系統，該多射束系統具有藉由使用具有不同幾何形狀之射束陣列並適應於不同產出率及解析度要求而針對不同掃描模式最佳化產出率的能力。

現在參看 圖 2A，其為繪示符合本發明之實施例的例示性電子射束工具104的示意圖，該例示性電子射束工具包括為 圖 1之EBI系統100之部分之多射束檢測工具。在一些實施例中，電子射束工具104可操作為單射束檢測工具，該單射束檢測工具為 圖 1之EBI系統100之部分。多射束電子射束工具104 (在本文中亦稱為設備104)包含電子源201、庫侖孔徑板(或「槍孔徑板」) 271、聚光透鏡210、源轉換單元220、初級投影系統230、機動載物台209，及由機動載物台209支撐以固持待檢測樣本208 (例如晶圓或光罩)之樣本固持器207。多射束電子射束工具104可進一步包含次級投影系統250及電子偵測裝置240。初級投影系統230可包含物鏡231。電子偵測裝置240可包含複數個偵測元件241、242及243。射束分離器233及偏轉掃描單元232可定位於初級投影系統230內部。

電子源201、庫侖孔徑板271、聚光透鏡210、源轉換單元220、射束分離器233、偏轉掃描單元232及初級投影系統230可與設備104之主光軸204對準。次級投影系統250及電子偵測裝置240可與設備104之副光軸251對準。

電子源201可包含陰極(圖中未示)及提取器或陽極(圖中未示)，其中，在操作期間，電子源201經組態以自陰極發射初級電子且初級電子由提取器及/或陽極提取或加速以形成初級電子射束202，該初級電子射束形成初級射束交越點(虛擬或真實) 203。初級電子射束202可被觀測為自初級射束交越點203發射。

源轉換單元220可包含影像形成元件陣列(圖中未示)、像差補償器陣列(圖中未示)、射束限制孔徑陣列(圖中未示)及預彎曲微偏轉器陣列(圖中未示)。在一些實施例中，預彎曲微偏轉器陣列偏轉初級電子射束202之複數個初級細射束211、212、213以正交地進入射束限制孔徑陣列、影像形成元件陣列及像差補償器陣列。在一些實施例中，設備104可操作為單射束系統，使得產生單一初級細射束。在一些實施例中，聚光透鏡210經設計以將初級電子射束202聚焦成為平行射束且正交地入射至源轉換單元220上。影像形成元件陣列可包含複數個微偏轉器或微透鏡以影響初級電子射束202之複數個初級細射束211、212、213且形成初級射束交越點203之複數個平行影像(虛擬或真實)，初級細射束211、212及213中之各者一個平行影像。在一些實施例中，像差補償器陣列可包含場彎曲補償器陣列(圖中未示)及像散補償器陣列(圖中未示)。場彎曲補償器陣列可包含複數個微透鏡以補償初級細射束211、212及213之場彎曲像差。像散補償器陣列可包含複數個微像差補償器以補償初級細射束211、212及213之像散像差。射束限制孔徑陣列可經組態以限制個別初級細射束211、212及213之直徑。 圖 2A展示三個初級細射束211、212及213作為實例，且應瞭解，源轉換單元220可經組態以形成任何數目個初級細射束。控制器109可連接至 圖 1之EBI系統100之各種部件，諸如源轉換單元220、電子偵測裝置240、初級投影系統230或機動載物台209。在一些實施例中，如下文更詳細地所解釋，控制器109可執行各種影像及信號處理功能。控制器109亦可產生各種控制信號以控管帶電粒子射束檢測系統之操作。

聚光透鏡210經組態以聚焦初級電子射束202。聚光透鏡210可經進一步組態以藉由使聚光透鏡210之聚焦倍率變化來調整源轉換單元220下游之初級細射束211、212及213之電流。替代地，可藉由更改射束限制孔徑陣列內之對應於個別初級細射束之射束限制孔徑之徑向大小來改變電流。可藉由更改射束限制孔徑之徑向大小及聚光透鏡210之聚焦倍率兩者來改變電流。聚光透鏡210可為可經組態使得其第一主平面之位置可移動的可調整聚光透鏡。可調整聚光器透鏡可經組態為磁性的，此可引起離軸細射束212及213以旋轉角照明源轉換單元220。旋轉角隨著可調整聚光透鏡之聚焦倍率或第一主平面之位置而改變。聚光透鏡210可為反旋轉聚光透鏡，其可經組態以在改變聚光透鏡210之聚焦倍率時使旋轉角保持不變。在一些實施例中，聚光透鏡210可為可調整反旋轉聚光透鏡，其中當聚光透鏡之聚焦倍率及其第一主平面之位置變化時，旋轉角不會改變。

物鏡231可經組態以將細射束211、212及213聚焦至用於檢測之樣本208上，且在當前實施例中可在樣本208之表面上形成三個探測光點221、222及223。庫侖孔徑板271在操作中經組態以封堵初級電子射束202之周邊電子以減少庫侖效應。庫侖效應可增大初級細射束211、212、213之探測光點221、222、223中之各者之大小，且因此使檢測解析度劣化。

射束分離器233可例如為韋恩濾光器，其包含產生靜電偶極場及磁偶極場( 圖 2A中未示)之靜電偏轉器。在操作中，射束分離器233可經組態以由靜電偶極場對初級細射束211、212及213之個別電子施加靜電力。靜電力與由射束分離器233之磁偶極場對個別電子施加之磁力在量值上相等但在方向上相反。初級細射束211、212及213可因此以至少實質上零偏轉角至少實質上筆直地傳遞通過射束分離器233。

偏轉掃描單元232在操作中經組態以偏轉初級細射束211、212及213以使探測光點221、222及223橫越樣本208之表面之區段中之個別掃描區域進行掃描。回應於初級細射束211、212及213或探測光點221、222及223入射於樣本208上，電子自樣本208出射且產生三個次級電子射束261、262及263。次級電子射束261、262及263中之各者通常包含次級電子(具有≤50 eV之電子能量)及反向散射電子(具有在50 eV與初級細射束211、212及213之著陸能量之間的電子能量)。射束分離器233經組態以使次級電子射束261、262及263朝向次級投影系統250偏轉。次級投影系統250隨後將次級電子射束261、262及263聚焦至電子偵測裝置240之偵測元件241、242及243上。偵測元件241、242及243經配置以偵測對應次級電子射束261、262及263且產生對應信號，該等信號被發送至控制器109或信號處理系統(圖中未示)，例如以建構樣本208之對應經掃描區域之影像。

在一些實施例中，偵測元件241、242及243分別偵測對應次級電子射束261、262及263，且將對應強度信號輸出(圖中未示)產生至影像處理系統(例如控制器109)。在一些實施例中，各偵測元件241、242及243可包含一或多個像素。偵測元件之強度信號輸出可為由偵測元件內之所有像素產生之信號的總和。

在一些實施例中，控制器109可包含影像處理系統，該影像處理系統包括影像獲取器(圖中未示)、儲存器(圖中未示)。影像獲取器可包含一或多個處理器。舉例而言，影像獲取器可包含電腦、伺服器、大型電腦主機、終端機、個人電腦、任何種類之行動計算裝置，及其類似者，或其組合。影像獲取器可經由諸如以下各者之媒體通信地耦接至設備104之電子偵測裝置240：電導體、光纖纜線、攜帶型儲存媒體、IR、藍牙、網際網路、無線網路、無線電，以及其他，或其組合。在一些實施例中，影像獲取器可自電子偵測裝置240接收信號且可建構影像。影像獲取器可因此獲取樣本208之影像。影像獲取器亦可執行各種後處理功能，諸如產生輪廓、將指示符疊加於所獲取影像上，及其類似者。影像獲取器可經組態以執行所獲取影像之亮度及對比度等之調整。在一些實施例中，儲存器可為諸如以下各者之一儲存媒體：硬碟、隨身碟、雲端儲存器、隨機存取記憶體(RAM)、其他類型之電腦可讀記憶體，及其類似者。儲存器可與影像獲取器耦接，且可用於保存所掃描之原始影像資料以作為原始影像，及經後處理影像。

在一些實施例中，影像獲取器可基於自電子偵測裝置240接收之一成像信號獲取一樣本之一或多個影像。一成像信號可對應於用於進行帶電粒子成像之一掃描操作。所獲取影像可為包含複數個成像區域之單一影像。該單一影像可儲存於儲存器中。該單一影像可為可被劃分成複數個區之一原始影像。該等區中之各者可包含含有樣本208之一特徵之一個成像區域。所獲取影像可包含在一時間序列內被取樣多次的樣本208之單一成像區域的多個影像。該等多個影像可儲存於儲存器中。在一些實施例中，控制器109可經組態以運用樣本208之同一位置之多個影像執行影像處理步驟。

在一些實施例中，控制器109可包括量測電路系統(例如類比至數位轉換器)以獲得經偵測次級電子之一分佈。在一偵測時間窗口期間收集之電子分佈資料與入射於晶圓表面上之初級細射束211、212及213中之各者之對應掃描路徑資料結合可用以重建構受檢測晶圓結構之影像。經重建構影像可用以顯露樣本208之內部或外部結構之各種特徵，且藉此可用以顯露可能存在於晶圓中之任何缺陷。

在一些實施例中，控制器109可控制機動載物台209以在樣本208之檢測期間移動樣本208。在一些實施例中，控制器109可使機動載物台209能夠在一方向上以恆定速度連續地移動樣本208。在其他實施例中，控制器109可使機動載物台209取決於掃描程序之步驟而隨時間來改變樣本208之移動速度。

儘管 圖 2A展示設備104使用三個初級電子射束，但應瞭解，設備104可使用一個、兩個或更多數目個初級電子射束。本發明並不限制用於設備104中之初級電子射束之數目。在一些實施例中，設備104可為用於微影之一SEM。在一些實施例中，電子射束工具104可為一單射束系統或一多射束系統。

舉例而言，如 圖 2B中所展示，電子射束工具100B (在本文中亦被稱為設備100B)可為符合本發明之實施例的用於EBI系統10中之一單射束檢測工具。設備100B包括由機動載物台134支撐以固持一待檢測晶圓150之一晶圓固持器136。電子射束工具100B包括一電子發射器，其可包含一陰極103、一陽極121及一槍孔徑122。電子射束工具100B進一步包括一射束限制孔徑125、一聚光透鏡126、一柱孔徑135、一物鏡總成132及一偵測器144。在一些實施例中，物鏡總成132可為經修改SORIL透鏡，其包括極片132a、控制電極132b、偏轉器132c及激磁線圈132d。在成像程序中，自陰極103之尖端發出之電子射束161可由陽極121電壓加速，傳遞通過槍孔徑122、射束限制孔徑125、聚光透鏡126，並由經修改SORIL透鏡聚焦成探測光點170且照射至晶圓150之表面上。可由諸如偏轉器132c或SORIL透鏡中之其他偏轉器的偏轉器使探測光點170橫越晶圓150之表面進行掃描。次級或散射初級粒子，諸如自晶圓表面發出之次級電子或散射初級電子，可由偵測器144收集以判定射束之強度，且因此可重建構晶圓150上之所關注區域之影像。

亦可提供影像處理系統199，該影像處理系統包括影像獲取器120、儲存器130及控制器109。影像獲取器120可包含一或多個處理器。舉例而言，影像獲取器120可包含電腦、伺服器、大型電腦主機、終端機、個人電腦、任何種類之行動計算裝置，及其類似者，或其組合。影像獲取器120可經由諸如以下各者之媒體與電子射束工具100B之偵測器144連接：電導體、光纖纜線、攜帶型儲存媒體、IR、藍牙、網際網路、無線網路、無線電，或其組合。影像獲取器120可自偵測器144接收信號且可建構影像。影像獲取器120可因此獲取晶圓150之影像。影像獲取器120亦可執行各種後處理功能，諸如產生輪廓、將指示符疊加於所獲取影像上，及其類似者。影像獲取器120可經組態以執行所獲取影像之亮度及對比度等之調整。儲存器130可為儲存媒體，諸如硬碟、隨機存取記憶體(RAM)、雲端儲存器、其他類型之電腦可讀記憶體，及其類似者。儲存器130可與影像獲取器120耦接，且可用於保存作為原始影像之經掃描原始影像資料，及經後處理影像。影像獲取器120及儲存器130可連接至控制器109。在一些實施例中，影像獲取器120、儲存器130及控制器109可一起整合為一個電子控制單元。

在一些實施例中，影像獲取器120可基於自偵測器144接收之成像信號獲取樣本之一或多個影像。成像信號可對應於用於進行帶電粒子成像之掃描操作。所獲取影像可為包含可含有晶圓150之各種特徵之複數個成像區域之單一影像。單一影像可儲存於儲存器130中。可基於成像圖框執行成像。

電子射束工具之聚光器及照明光學器件可包含電磁四極電子透鏡或由電磁四極電子透鏡補充。舉例而言，如 圖 2B中所展示，電子射束工具100B可包含第一四極透鏡148及第二四極透鏡158。在一些實施例中，四極透鏡用於控制電子射束。舉例而言，可控制第一四極透鏡148以調整射束電流，且可控制第二四極透鏡158以調整射束光點大小及射束形狀。

圖 2B繪示帶電粒子射束設備，其中檢測系統可使用可經組態以藉由與晶圓150相互作用而產生次級電子之單一初級射束。偵測器144可沿著光軸105置放，如在 圖 2B中所展示之實施例中。初級電子射束可經組態以沿著光軸105行進。因此，偵測器144可在其中心處包括孔，使得初級電子射束可傳遞通過以到達晶圓150。

現在參看 圖 3A，其展示符合本發明之實施例的在電子射束檢測系統(例如 圖 1之EBI系統100)中實施之偏轉結構300 (例如 圖 2A之偏轉掃描單元232、 圖 2B之偏轉器132c)之說明性實施例的平面圖。電子射束檢測系統可包括單射束或多射束系統。在一些實施例中，偏轉結構400可為待實施於電子射束檢測系統之掃描偏轉系統中之若干偏轉結構中之一者。偏轉結構400可用以操縱電子射束。

偏轉系統可包括偏轉結構及驅動器系統。偏轉結構可包括多極結構。如 圖 3A中所展示，偏轉結構300包括多極結構310、第一驅動器系統301y及第二驅動器系統302x。多極結構310包括第一組對置電極311A至311B及第二組對置電極312A至312B，其可經組態以基於施加至各組之輸出狀態在各偏轉方向(諸如x方向或y方向)上偏轉電子射束。輸出狀態可對應於施加至電極之電壓。包含多組電極311A至311B及312A至312B之多極結構310可基於施加至電極311A至311B及312A至312B之電壓充當動態偏轉器。舉例而言，當第一驅動器系統301y將0 V施加至電極311A及311B，第二驅動器系統302x將V1施加至電極312A並將-V1施加至電極312B時，電子射束在x方向上偏轉。作為另外實例，當第一驅動器系統301y將V2施加至電極311A並將-V2施加至電極311B，且第二驅動器系統302x將0 V施加至電極312A及312B時，電子射束在y方向上偏轉。當V1及V2增大時，電子射束之偏轉角亦增大。 圖 3A展示以多極結構310組態之四個電極作為實例，且應瞭解，多極結構310可經組態以形成多於四個電極。此外， 圖 3A展示以多極結構310組態之兩組對置電極311A至311B及312A至312B作為實例，且應瞭解，多極結構310可經組態以形成任何數目組對置電極(包括一組)。

在一些實施例中，多組電極311A至311B及312A至312B可形成於基板中且在基板中包括多個射束操縱器。舉例而言，各射束操縱器可藉由以絕緣材料(例如CVD氧化物)填充之圓形溝槽與其他射束操縱器電隔離。在圓形區域內，可例如藉由蝕刻偏轉器孔及電極之間的任何隔離溝槽並藉由遍及應形成有電極之位置濺鍍金屬層而形成操縱器。金屬層可形成多組電極311A至311B及312A至312B，且該等層中之一些可用於第一組電極且其他層可用於第二組電極。

第一驅動器系統301y電連接至第一組對置電極311A至311B且經組態以將複數個離散輸出狀態提供至第一組對置電極311A至311B，且第二驅動器系統302x電連接至第二組對置電極312A至312B且經組態以將複數個離散輸出狀態提供至第二組對置電極312A至312B。如上文關於多極結構310所論述，驅動器系統301y及302x中之各者經組態以藉由將複數個離散輸出狀態提供至對應組對置電極而使一組對置電極(諸如311A至311B及312A至312B)能夠在一方向上偏轉電子射束。驅動器系統301y及302x中之各者可包括複數個電力供應器及複數個開關。開關可指在開關模式中操作之主動裝置。

電力供應器可經組態以提供複數個離散輸出狀態。或，複數個電力供應器中之各者可經組態以提供離散輸出狀態。舉例而言，驅動器301y可經組態有提供-100 V、0 V及+100 V之電力供應器。作為另外實例，驅動器301y可經組態有提供-100 V、-50 V、0 V、+50 V及+100 V之電力供應器。

複數個開關可由控制器組態並將傳入離散輸出狀態自電力供應器傳輸至對應組對置電極。控制器(例如 圖 1中之控制器109)可傳輸數位信號以施加數位信號以開啟或關斷開關以傳輸傳入離散輸出狀態或阻止輸出狀態。舉例而言，三個開關可連接與電力供應器相關聯之三個分接點及第一組對置電極，且控制器可傳輸數位信號以選擇三個開關中之一者以自電力供應器傳輸對應於所選擇開關之所要輸出狀態。複數個開關可為使得能夠對輸出狀態進行快速轉變之MOS驅動器。

現在參看 圖 4A，其展示符合本發明之實施例的驅動器(諸如驅動器系統301y)的圖解表示。驅動器系統301y可經組態以提供複數個輸出狀態。輸出狀態可對應於例如-100 V、0 V及100 V。驅動器系統301y可包括多輸出驅動器340。多輸出驅動器340可具有第一輸出341、第二輸出342及第三輸出343。輸出341、342、343可分別對應於-100 V、0 V及100 V。驅動器系統301y亦可包括開關單元350。開關單元350可包括複數個單獨開關。開關單元350可經組態以操作，使得一次僅允許一個連接。開關單元350包括第一開關351、第二開關352及第三開關353。在 圖 4A中所展示之狀態下，僅連接第三開關353。因此，至電極311A之輸出可為由第三輸出343提供之輸出。

控制信號可被提供至驅動器系統301y之組件。如 圖 4A中所展示，控制器50可經組態以控制驅動器系統301y。控制器50可連接至多輸出驅動器340且可經組態以指示多輸出驅動器340操作。控制器50可連接至開關單元350且可經組態以指示開關單元350操作。舉例而言，控制器50可指示多輸出驅動器340供應電力並指示開關單元350選擇開關351、352、353中之一者以待連接，使得輸出狀態被提供至電極311A。

在一些實施例中，第一驅動器系統301y及第二驅動器系統302x中之各者可包含複數個實體驅動器。複數個實體驅動器中之各者可包含提供離散輸出之電力供應器及與上文所描述之開關相似的開關。實體驅動器可經組態以將離散輸出狀態提供至對應電極(諸如電極311A至311B及312A至312B)。

現在參看 圖 4B，其展示符合本發明之實施例的複數個驅動器的圖解表示。驅動器系統301y可經組態以藉由提供各自產生輸出之單獨驅動器而提供複數個輸出狀態。各單獨驅動器可經組態以提供其自身輸出。驅動器系統301y可包括第一驅動器361、第二驅動器362及第三驅動器363。驅動器361、362及363中之各者可經組態以按預定輸出供應電力。驅動器361、362及363分別連接至開關351、352及353。控制器50可經組態以單獨地操作開關351、352及353。控制器50可經組態以單獨地操作驅動器361、362及363。控制器50可經組態以操作開關，使得一次僅連接一個開關。在 圖 4B中所展示之狀態下，僅連接第三開關353。因此，至電極311A之輸出可僅由第三驅動器363提供。

現在參看 圖 3B，其展示符合本發明之實施例的可在電子射束檢測系統中使用之偏轉系統350之說明性實施例的橫截面圖。偏轉系統350包括偏轉結構350A至350D，其中各結構在一對應層中。各偏轉結構350A至350D包含操縱器或多極結構(310A至310D)及複數個驅動器系統(301yA至301yD及302xA至302xD)。在一些實施例中，複數個驅動器系統(301yA至301yD及302xA至302xD)及多極結構(310A至310D)可實施於單獨層中。偏轉結構350A至350D可充當實施於 圖 2A之偏轉掃描單元232中之偏轉器，或 圖 2B之偏轉器132c，以及其他。複數個驅動器系統(301yA至301yD及302xA至302xD)中之各者電連接至實施於多極結構(310A至310D)中之一組對置電極且經組態以將複數個離散輸出狀態提供至實施於多極結構中之一組對置電極。舉例而言，驅動器301yA可電連接至實施於多極結構310A中之一組對置電極且驅動器302xA可電連接至多極結構310A中之另一組對置電極。偏轉結構350A至350D及偏轉結構300 ( 圖 3A中所描繪)共用相同功能性，諸如操縱電子射束。多極結構310A至310D及多極結構310 ( 圖 3A中所描繪)在被提供有來自驅動器系統之輸出狀態時共用相同功能性以在一方向上偏轉電子射束。驅動器系統301A至301D及302A至302D以及驅動器系統301y及302x ( 圖 3A中描繪)共用相同功能性，從而將離散輸出狀態提供至多極結構以偏轉射束。此外，雖然 圖 3B展示四層偏轉結構350A至350D，但應瞭解，偏轉結構可實施於任何數目個層中。

雖然在 圖 3B之實施例中多個層(例如310A至310D)之各層經設定大小以具有實質上相同尺寸，但各層之大小可由實施於層中之電極之實體尺寸(諸如長度、內徑及外徑)判定並對應於偏轉角。舉例而言，當驅動器系統301yA至301yD及302xA至302xD將實質上相同輸出狀態提供至多極結構310A至310D之電極時，各層中之偏轉結構(諸如350A至350D)可以實質上相同偏轉角偏轉電子射束。在另一實例中，各層中之偏轉結構(諸如350A至350D)可在其對應驅動器系統(例如301yA至301yD及302xA至302xD)將不同輸出狀態提供至其對應多極結構(例如310A至310D)之電極時以不同偏轉角偏轉電子射束。

在一些實施例中，多個層中之一或多者(諸如包括偏轉結構350D之層)可被實施有驅動器系統，驅動器系統包含具有有限輸出電壓擺幅之線性放大器以藉由使實施例能夠將高解析度輸出電壓提供至多層結構之一個層中之電極而提供較精細偏轉控制。舉例而言，當電子射束檢測系統中之掃描偏轉系統經組態而以等效於將155 V施加至具有大小與310A至310D中之一者相同的單一習知多極結構的偏轉來偏轉電子射束時，控制器可組態連接至多極結構(諸如350A至350C中之一者)之開關以自實施於各偏轉結構中之離散電力供應器傳輸50 V。因此， 圖 3B中之四個多極結構中之三者中之電極對可分別連接至-25 V及+25 V。為了達成偏轉之剩餘部分等效於將5 V施加至具有相同大小之習知多極結構，控制器可組態被實施有將-2.5 V及2.5 V供應至多極結構之前述線性放大器之偏轉結構(諸如450D)。然而，由於與現有偏轉器將需要的相比，此線性放大器具有大得多的有限範圍，故相較於與現有偏轉器一起使用之線性放大器，此線性放大器可更易於實施、可較快、可具有較低功率等。

現在參看 圖 5，其繪示符合本發明之實施例的用於影像擾動補償之例示性系統500的示意圖。系統500可為 圖 1之EBI系統100、 圖 2A之電子射束工具104或 圖 2B之電子射束工具100B的部分。

在一些實施例中，系統500可包括校準系統510及補償系統550。雖然不同模組或組件展示於校準系統510及補償系統550中，但應理解，校準系統510及補償系統550之模組及組件不限於 圖 5中所展示之組態。

在一些實施例中，校準系統510可包括連接至系統500 (例如成像系統)之電源之電力線511。在一些實施例中，校準系統510可包括參考產生器512，其可基於來自電力線511之功率輸入產生參考信號。校準系統510可包括掃描信號產生器513，其可產生指示系統500中的樣本之掃描之開始的信號。舉例而言，所產生掃描信號可被傳輸至補償系統550之偏轉驅動器553 (例如 圖 2A之偏轉掃描單元232之偏轉驅動器； 圖 2B之偏轉器132c之偏轉驅動器； 圖 3A、 圖 4A及 圖 4B之第一驅動器系統301y； 圖 3A之第二驅動器系統302x； 圖 3B之驅動器系統301yA至301yD； 圖 3B之驅動器系統302xA至302xD)以在系統500中起始影像之掃描及產生。在一些實施例中，所產生影像可為具有線圖案之樣本之影像，但所產生影像中之線圖案可包括具有由電力線511誘發之週期性圖案(例如 圖 6B之線圖案620)之擾動。舉例而言，所產生影像上之特徵之擾動圖案可由相位及量值而非直線(例如 圖 6A之線圖案610)特性化。

在一些實施例中，校準系統510可包括x掃描提取模組514及y掃描提取模組515。x掃描提取模組514可提取所產生影像中之擾動圖案在第一方向(例如「x」方向)上之量值及相位，而模組y掃描提取模組515可提取所產生影像中之擾動圖案在第二方向(例如「y」方向)上之量值及相位。在一些實施例中，模組x掃描提取模組514及模組y掃描提取模組515可使用對影像之擾動圖案之影像振動分析來提取擾動圖案在第一方向及第二方向上之相位。在一些實施例中，影像振動分析可包括特性化影像之擾動圖案(例如辨識影像之擾動圖案之形狀或圖案特性)。在一些實施例中，影像振動分析可包括應用影像線圖案邊緣提取演算法以獲得影像振動信號以用於在時域及頻域中之分析。

在一些實施例中，校準系統510可包括校準模組516。校準模組516可組合自參考產生器512傳輸之參考信號、自掃描信號產生器513傳輸之掃描信號、自x掃描提取模組514傳輸之第一方向量值及相位與來自模組y掃描提取模組515之第二方向量值及相位以產生經校準信號。在一些實施例中，經校準信號可藉由對準掃描信號與參考信號以獲得掃描信號與參考信號之間的相位關係而產生。在一些實施例中，相較於參考信號，經校準信號可包括擾動圖案之頻率、量值及相位(例如經校準信號可包括擾動圖案與參考信號之間的頻率、量值及相位之差異)。在一些實施例中，經校準信號可包括擾動圖案在第一方向上之頻率、量值及相位以及擾動圖案在第二方向上之頻率、量值及相位。

在一些實施例中，補償系統550可包括補償信號產生器551，其可藉由組合自校準模組516傳輸之經校準信號與自參考產生器512傳輸之參考信號而產生補償信號。所產生補償信號可包括用於在第一方向上調整所產生影像之影像座標及用於在第二方向上調整所產生影像之影像座標。

在一些實施例中，補償系統550可包括座標變換器552，其可將與自補償信號產生器551傳輸之補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標。在一些實施例中，座標變換器552可將包括偏轉驅動器座標之補償信號傳輸至偏轉驅動器553。補償信號可用以基於功率輸入控制用於操縱帶電粒子以掃描樣本以用於產生具有減少影像擾動之影像(例如產生不具有影像擾動之影像)的偏轉驅動器553。在一些實施例中，偏轉驅動器座標可包括在第一方向上之座標及在第二方向上之座標。在一些實施例中，系統500可一次產生一校準信號及一補償信號達某一時段(例如達某一數目個樣本掃描)。

現在參看 圖 6A及 圖 6B，其為符合本發明之實施例的在樣本上之線圖案之例示性的所產生影像。 圖 6A之所產生影像600A及 圖 6A之所產生影像600B可為樣本的俯視圖，其中第一方向為「x」且第二方向為「y」。

如 圖 6A中所展示，線圖案610之所產生影像600A可包括線612，其不具有電力線誘發性影像擾動。與此對比， 圖 6B展示可包括線622的線圖案620之所產生影像600B。線622包括具有週期性圖案之電力線誘發性影像擾動。舉例而言，所產生影像600B中之線622之擾動圖案可由相位及量值而非直線特性化。

現在參看 圖 7，其為繪示符合本發明之實施例的影像擾動補償之例示性程序700的流程圖。出於說明之目的，方法700之步驟可由在計算裝置之特徵(例如 圖 1之控制器109、 圖 5之系統500，或其任何組件)上執行或以其他方式使用該等特徵之系統(例如 圖 5之系統500)執行。應瞭解，所繪示方法700可經更改以修改步驟次序且包括可由系統執行之額外步驟。

在步驟701處，組件(例如 圖 5之參考產生器512)可基於來自電力線(例如 圖 5之電力線511)之功率輸入產生參考信號，且組件(例如 圖 5之掃描信號產生器513)可產生指示樣本之掃描之信號(例如在 圖 5之系統500中)。舉例而言，所產生掃描信號可被傳輸至偏轉驅動器( 圖 2A之偏轉掃描單元232之偏轉驅動器； 圖 2B之偏轉器132c之偏轉驅動器； 圖 3A、 圖 4A及 圖 4B之第一驅動器系統301y； 圖 3A之第二驅動器系統302x； 圖 3B之驅動器系統301yA至301yD； 圖 3B之驅動器系統302xA至302xD)以起始樣本之掃描以用於產生影像。在一些實施例中，所產生影像可為具有線圖案之樣本之影像，但所產生影像中之線圖案可包括具有由電力線誘發之週期性圖案之擾動。舉例而言，所產生影像上之特徵之擾動圖案可由相位及量值而非直線特性化。

在步驟703處，組件(例如 圖 5之x掃描提取模組514及y掃描提取模組515)可自根據掃描產生之影像提取第一及第二擾動資料。在一些實施例中，第一擾動資料可包括所產生影像中之擾動圖案在第一方向(例如「x」方向)上之量值及相位，且第二擾動資料可包括所產生影像中之擾動圖案在第二方向(例如「y」方向)上之量值及相位。在一些實施例中，組件可使用對影像之擾動圖案之影像振動分析來提取擾動圖案在第一及第二方向上之相位。在一些實施例中，影像振動分析可包括特性化影像之擾動圖案(例如辨識影像之擾動圖案之形狀或圖案特性)。在一些實施例中，影像振動分析可包括應用影像線圖案邊緣提取演算法以獲得影像振動信號以用於在時域及頻域中之分析。

在步驟705處，組件(例如 圖 5之校準模組516)可組合參考信號、掃描信號、第一方向量值及相位與第二方向量值及相位以產生經校準信號。在一些實施例中，經校準信號可藉由對準掃描信號與參考信號以獲得掃描信號與參考信號之間的相位關係而產生。在一些實施例中，相較於參考信號，經校準信號可包括擾動圖案之頻率、量值及相位(例如經校準信號可包括擾動圖案與參考信號之間的頻率、量值及相位之差異)。在一些實施例中，經校準信號可包括擾動圖案在第一方向上之頻率、量值及相位以及擾動圖案在第二方向上之頻率、量值及相位。

在步驟707處，組件(例如 圖 5之補償信號產生器551)可藉由組合經校準信號與傳輸之參考信號而產生補償信號。所產生補償信號可包括用於在第一方向上調整所產生影像之影像座標及用於在第二方向上調整所產生影像之影像座標。

在步驟709處，一組件(例如 圖 5之座標變換器552)可將與補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標且使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描樣本之複數個偏轉驅動器。在一些實施例中，偏轉驅動器座標可包括在第一方向上之座標及在第二方向上之座標。

可提供符合本發明中之實施例的一非暫時性電腦可讀媒體，其儲存用於一控制器(例如 圖 1之控制器109)之一處理器之指令以用於控制其他系統及伺服器或其組件之電子射束工具或其他系統(例如 圖 5之校準系統510、 圖 5之補償系統550)。此等指令可允許一或多個處理器實施影像擾動補償、影像處理、資料處理、細射束掃描、圖形顯示、一帶電粒子射束設備或另一成像裝置之操作，或其類似者。在一些實施例中，可提供該非暫時性電腦可讀媒體，其儲存用於一處理器之指令以執行程序700之步驟。非暫時性媒體之常見形式包括例如一軟碟、一可撓性磁碟、硬碟、固態硬碟、磁帶，或任何其他磁性資料儲存媒體、一緊密光碟唯讀記憶體(CD-ROM)、任何其他光學資料儲存媒體、具有孔圖案之任何實體媒體、一隨機存取記憶體(RAM)、一可程式化唯讀記憶體(PROM)及可抹除可程式化唯讀記憶體(EPROM)、一FLASH-EPROM或任何其他快閃記憶體、非揮發性隨機存取記憶體(NVRAM)、一快取記憶體、一暫存器、任何其他記憶體晶片或卡匣，及其網路化版本。

可使用以下條項進一步描述實施例： 1. 一種方法，其包含： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料； 使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位； 組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及 使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 2. 如條項1之方法，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 3. 如條項2之方法，其中產生該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位包含特性化該圖案。 4. 如條項2至3中任一項之方法，其中該圖案係週期性的。 5. 如條項1至4中任一項之方法，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 6. 如條項1至5中任一項之方法，其中該第一擾動資料包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位，且該第二擾動資料包含一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 7. 如條項6之方法，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 8. 如條項7之方法，其進一步包含將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器。 9. 一種方法，其包含： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取一影像擾動之一頻率分佈； 基於該參考信號及該經提取頻率分佈產生一經校準信號； 使用該經校準信號及該參考信號產生一補償信號； 將與該補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標；及 使用該補償信號之該等偏轉驅動器座標以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 10. 如條項9之方法，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 11. 如條項10之方法，其中產生該經校準信號包含特性化該圖案。 12. 如條項10至11中任一項之方法，其中該圖案係週期性的。 13. 如條項9至12中任一項之方法，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 14. 如條項9至13中任一項之方法，其中該影像擾動之該頻率分佈包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位以及一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 15. 如條項14之方法，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 16. 如條項15之方法，其進一步包含將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器。 17. 一種非暫時性電腦可讀媒體，其包括一組指令，該組指令可由一設備之一或多個處理器執行以使該設備執行一方法，該方法包含： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料； 使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位； 組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及 使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 18. 如條項17之非暫時性電腦可讀媒體，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 19. 如條項18之非暫時性電腦可讀媒體，其中產生該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位包含特性化該圖案。 20. 如條項18至19中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中該圖案係週期性的。 21. 如條項17至20中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 22. 如條項17至21中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中該第一擾動資料包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位，且該第二擾動資料包含一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 23. 如條項22之非暫時性電腦可讀媒體，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 24. 如條項23之非暫時性電腦可讀媒體，其中可由一計算裝置之至少一個處理器執行以使該計算裝置進一步執行將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器的該組指令。 25. 一種非暫時性電腦可讀媒體，其包括一組指令，該組指令可由一設備之一或多個處理器執行以使該設備執行一方法，該方法包含： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取一影像擾動之一頻率分佈； 基於該參考信號及該經提取頻率分佈產生一經校準信號； 使用該經校準信號及該參考信號產生一補償信號； 將與該補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標；及 使用該補償信號之該等偏轉驅動器座標以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 26. 如條項25之非暫時性電腦可讀媒體，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 27. 如條項26之非暫時性電腦可讀媒體，其中產生該經校準信號包含特性化該圖案。 28. 如條項26至27中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中該圖案係週期性的。 29. 如條項25至28中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 30. 如條項25至29中任一項之非暫時性電腦可讀媒體，其中該影像擾動之該頻率分佈包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位以及一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 31. 如條項30之非暫時性電腦可讀媒體，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 32. 如條項31之非暫時性電腦可讀媒體，其中可由一計算裝置之至少一個處理器執行以使該計算裝置進一步執行將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器的該組指令。 33. 一種系統，其包含： 一或多個處理器，其經組態以執行指令以使該系統執行： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料； 使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位； 組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及 使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 34. 如條項33之系統，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 35. 如條項34之系統，其中產生該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位包含特性化該圖案。 36. 如條項34至35中任一項之系統，其中該圖案係週期性的。 37. 如條項33至36中任一項之系統，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 38. 如條項33至37中任一項之系統，其中該第一擾動資料包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位，且該第二擾動資料包含一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 39. 如條項38之系統，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 40. 如條項39之系統，其中該至少一個處理器經組態以執行指令以使該系統進一步執行： 將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器。 41. 一種系統，其包含： 一或多個處理器，其經組態以執行指令以使該系統執行： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取一影像擾動之一頻率分佈； 基於該參考信號及該經提取頻率分佈產生一經校準信號； 使用該經校準信號及該參考信號產生一補償信號； 將與該補償信號相關聯之影像座標變換成偏轉驅動器座標；及 使用該補償信號之該等偏轉驅動器座標以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。 42. 如條項41之系統，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。 43. 如條項42之系統，其中產生該經校準信號包含特性化該圖案。 44. 如條項42至43中任一項之系統，其中該圖案係週期性的。 45. 如條項41至44中任一項之系統，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。 46. 如條項41至45中任一項之系統，其中該影像擾動之該頻率分佈包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位以及一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。 47. 如條項46之系統，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。 48. 如條項47之系統，其中該一或多個處理器經組態以執行指令以使該系統執行： 將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器。

應瞭解，本發明之實施例不限於已在上文所描述及在隨附圖式中所繪示之確切構造，且可在不脫離本發明之範疇的情況下作出各種修改及改變。

50:控制器 100:電子射束檢測(EBI)系統 100B:電子射束工具 101:主腔室 102:裝載/鎖定腔室 103:陰極 104:電子射束工具/設備 105:光軸 106:裝備前端模組(EFEM) 106a:第一裝載埠 106b:第二裝載埠 109:控制器 120:影像獲取器 121:陽極 122:槍孔徑 125:射束限制孔徑 126:聚光透鏡 130:儲存器 132:物鏡總成 132a:極片 132b:控制電極 132c:偏轉器 132d:激磁線圈 134:機動載物台 135:柱孔徑 136:晶圓固持器 144:偵測器 148:第一四極透鏡 150:晶圓 158:第二四極透鏡 161:電子射束 170:探測光點 199:影像處理系統 201:電子源 202:初級電子射束 203:初級射束交越點 204:主光軸 207:樣本固持器 208:樣本 209:機動載物台 210:聚光透鏡 211:初級細射束 212:初級細射束 213:初級細射束 220:源轉換單元 221:探測光點 222:探測光點 223:探測光點 230:初級投影系統 231:物鏡 232:偏轉掃描單元 233:射束分離器 240:電子偵測裝置 241:偵測元件 242:偵測元件 243:偵測元件 250:次級投影系統 251:副光軸 261:次級電子射束 262:次級電子射束 263:次級電子射束 271:庫侖孔徑板/槍孔徑板 300:偏轉結構 301y:第一驅動器系統 301yA:驅動器系統 301yB:驅動器系統 301yC:驅動器系統 301yD:驅動器系統 302x:第二驅動器系統 302xA:驅動器系統 302xB:驅動器系統 302xC:驅動器系統 302xD:驅動器系統 310:多極結構 310A:多極結構 310B:多極結構 310C:多極結構 310D:多極結構 311A:電極 311B:電極 312A:電極 312B:電極 340:多輸出驅動器 341:第一輸出 342:第二輸出 343:第三輸出 350:開關單元 350A:偏轉結構 350B:偏轉結構 350C:偏轉結構 350D:偏轉結構 351:第一開關 352:第二開關 353:第三開關 361:第一驅動器 362:第二驅動器 363:第三驅動器 500:系統 510:校準系統 511:電力線 512:參考產生器 513:掃描信號產生器 514:x掃描提取模組 515:y掃描提取模組 516:校準模組 550:補償系統 551:補償信號產生器 552:座標變換器 553:偏轉驅動器 600A:所產生影像 600B:所產生影像 610:線圖案 612:線 620:線圖案 622:線 700:程序/方法 701:步驟 703:步驟 705:步驟 707:步驟 709:步驟

圖 1為繪示符合本發明之實施例的例示性電子射束檢測(EBI)系統的示意圖。

圖 2A為繪示符合本發明之實施例的為 圖 1之例示性帶電粒子射束檢測系統之部分之例示性多射束系統的示意圖。

圖 2B為繪示符合本發明之實施例的為 圖 1之例示性帶電粒子射束檢測系統之部分之例示性單射束系統的示意圖。

圖 3A為符合本發明之實施例的在電子射束檢測系統中實施之偏轉結構之說明性實施例的平面圖。

圖 3B為符合本發明之實施例的可用於電子射束檢測系統中之偏轉系統之說明性實施例的橫截面圖。

圖 4A為符合本發明之實施例的驅動器的圖解表示。

圖 4B為符合本發明之實施例的複數個驅動器的圖解表示。

圖 5為符合本發明之實施例的用於影像擾動補償之例示性系統的示意圖。

圖 6A及 圖 6B為符合本發明之實施例的在樣本上之線圖案之例示性的所產生影像。

圖 7為繪示符合本發明之實施例的影像擾動補償之例示性程序的流程圖。

500:系統

510:校準系統

511:電力線

512:參考產生器

513:掃描信號產生器

514:x掃描提取模組

515:y掃描提取模組

516:校準模組

550:補償系統

551:補償信號產生器

552:座標變換器

553:偏轉驅動器

Claims (15)

1. 一種非暫時性電腦可讀媒體，其包括一組指令，該組指令可由一設備之一或多個處理器執行以使該設備執行一方法，該方法包含： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料； 使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位； 組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及 使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。
2. 如請求項1之非暫時性電腦可讀媒體，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。
3. 如請求項2之非暫時性電腦可讀媒體，其中產生該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位包含特性化該圖案。
4. 如請求項2之非暫時性電腦可讀媒體，其中該圖案係週期性的。
5. 如請求項1之非暫時性電腦可讀媒體，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。
6. 如請求項1之非暫時性電腦可讀媒體，其中該第一擾動資料包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位，且該第二擾動資料包含一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。
7. 如請求項6之非暫時性電腦可讀媒體，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。
8. 如請求項7之非暫時性電腦可讀媒體，其中可由一計算裝置之至少一個處理器執行以使該計算裝置進一步執行將該補償信號之該等影像座標變換成偏轉驅動器座標以控制該複數個偏轉驅動器的該組指令。
9. 一種系統，其包含： 一或多個處理器，其經組態以執行指令以使該系統執行： 基於用於一成像系統之一功率輸入產生一參考信號； 產生指示一樣本之一掃描之一掃描信號； 自根據該掃描產生之一影像提取第一及第二擾動資料； 使用該等經提取第一及第二擾動資料、該參考信號及該掃描信號產生影像擾動之一經校準頻率、量值及相位； 組合該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位與該參考信號以產生一補償信號；及 使用該補償信號以控制用於操縱帶電粒子以掃描該樣本之複數個偏轉驅動器。
10. 如請求項9之系統，其中該影像擾動包含該所產生影像中之一特徵之一圖案。
11. 如請求項10之系統，其中產生該影像擾動之該經校準頻率、量值及相位包含特性化該圖案。
12. 如請求項10之系統，其中該圖案係週期性的。
13. 如請求項9之系統，其中操縱帶電粒子以掃描該樣本會減少由該功率輸入造成的影像擾動。
14. 如請求項9之系統，其中該第一擾動資料包含一影像擾動在一第一方向上之一量值及一相位，且該第二擾動資料包含一影像擾動在一第二方向上之一量值及一相位。
15. 如請求項14之系統，其中該補償信號包含該所產生影像在該第一方向上之影像座標及該所產生影像在該第二方向上之影像座標，其中該所產生影像之該等影像座標缺乏用於控制該複數個偏轉驅動器之座標。