JP2008166635A - 回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 - Google Patents
回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008166635A JP2008166635A JP2007000021A JP2007000021A JP2008166635A JP 2008166635 A JP2008166635 A JP 2008166635A JP 2007000021 A JP2007000021 A JP 2007000021A JP 2007000021 A JP2007000021 A JP 2007000021A JP 2008166635 A JP2008166635 A JP 2008166635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit pattern
- substrate
- electron beam
- scanning
- irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
検査対象である回路パターンの構造または材質に応じて、帯電状態を制御することで、欠陥検査性能が向上した回路パターンの検査装置を提供する。
【解決手段】
回路パターンが形成された基板に電子線を照射して発生する二次電子を検出し、前記回路パターンの異常を検出する回路パターンの検査装置であって、基板を載置し連続的に移動するステージと、該ステージの移動中に該移動方向に対して略直角方向に電子線を繰り返し走査させる走査信号を走査偏向器へ与える走査信号発生器と、走査信号の繰り返しのうちの1回当りの走査時間を、回路パターンの構造または材質に応じて変更した制御信号を走査信号発生器へ送信する制御回路とを備える。
【選択図】図1
Description
48,全体制御部49から構成されている。記憶部45に記憶された信号は画像処理回路46で画像化されるとともに、特定位置はなれた画像同士の位置合わせ,信号レベルの規格化,ノイズ信号を除去するための各種画像処理を施し、画像信号を比較演算する。演算部48は比較演算された差画像信号の絶対値を所定のしきい値と比較し、所定のしきい値よりも差画像信号レベルが大きい場合に欠陥候補と判定し、インターフェース6にその位置や欠陥数等を送る。全体制御部49はこれらの画像処理や演算を制御し、状況を補正制御回路61へ送信する。
pAオーダーの電子線電流の電子線を低速で走査したり、多数回の走査及び各々の画像の重ね合せは行わない。また、絶縁材料への帯電を抑制するためにも、電子線走査は高速で一回あるいは数回程度にする必要がある。そこで本実施例では、通常のSEMに比べ約
100倍以上の、例えば100nAの大電流電子線を一回のみ走査することにより画像を形成する構成とした。また、走査幅は例えば100μmとし、1画素は0.1μm□ とし、1回の走査を1μsで行うようにした。
「ユーティリティ」の各モードを選択できる。「レシピ作成」モードは自動検査の条件を設定するモードである。「ユーティリティ」モードは、他のモードには現れない補助機能を呼び出すモードであり、通常は使用しない。
(b)のB部の拡大図、図3(d)は一次電子線19の走査時間とX方向の位置との関係を表わす関係図である。
104と呼ばれる回路が複数個並んでいる状況を示したものである。一次電子線19は、サンプリング(1),サンプリング(2),サンプリング(3)というように順番にセル103を走査し、発生した二次電子信号が同時に検出され、画像化される。
(a)および図6(b)は、図3(c)および図3(d)と同じく、走査時間T1で一次電子線19の照射を繰り返しながら発生する二次電子信号検出をサンプリング周期T1で実行する。検査対象が高アスペクトレシオの深いプラグ104である場合に帯電しにくく、背景とのコントラストが大きくならない場合がある。このような場合には、一次電子線19による照射エネルギーを増やして帯電を促進すれば、背景とプラグ104とのコントラストを大きくすることができる。一次電子線19による照射エネルギーを増やすには、一次電子線19の1回の走査当りの走査時間を長くする、電流量を増やす、照射回数を増やすことが考えられる。
2 検査室
3 電子光学系カラム
4 光学顕微鏡室
5 画像処理部
6 インターフェース
7 二次電子検出部
8 試料室
9 被検査基板
43 走査信号発生器
45 記憶部
46 画像処理回路
47 欠陥データバッファ
49 全体制御部
55 マップ表示部
56 画像表示部
61 補正制御回路
101 検査ストライプ
102 チップ
103 セル
104 プラグ
Claims (7)
- 回路パターンが形成された基板に電子線を照射して発生する二次電子を検出し、前記回路パターンの異常を検出する回路パターンの検査装置において、
前記基板を載置し連続的に移動するステージと、
該ステージの移動中に該移動方向に対して略直角方向に前記電子線を繰り返し走査させる走査信号を走査偏向器へ与える走査信号発生器と、
前記走査信号の繰り返しのうちの1回当りの走査時間を、前記回路パターンの構造または材質に応じて変更した制御信号を前記走査信号発生器へ送信する制御回路とを備えたことを特徴とする回路パターン検査装置。 - 請求項1の記載において、前記制御信号は、前記1回当りの走査時間に走査を停止する待ち時間を加算したものであることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記制御信号は、前記1回当りの走査時間を変更前よりも長くしたものであることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 回路パターンが形成された基板の表面に電子線を照射する照射カラムと、
該照射カラムの照射によって前記基板から発生する信号を検出する検出部と、
該検出部によって検出された信号から画像化された画像を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された画像を、該画像と同一形状であって他の部位の画像と比較する比較部と、
該比較部での比較結果から前記基板の欠陥の有無を判別する判別部と、
前記照射カラムによる前記電子線を前記基板に照射する照射間隔を前記回路パターンの構造または材質に応じて変更する制御ユニットとを備え、
前記検出部は、前記基板から発生する信号を検出する検出間隔を、前記照射間隔の変更に応じて変更することを特徴とする回路パターンの検査装置。 - 請求項4の記載において、
前記制御ユニットは、前記電子線の照射間隔を変更前よりも長くして欠陥検査を行うことを特徴とする回路パターンの検査装置。 - 回路パターンが形成された基板の表面に電子線を照射し、
該照射によって前記基板から発生する信号を検出し、
該検出された信号から画像化された画像を記憶し、
該記憶された画像を、該画像と同一形状であって他の部位の画像と比較し、該比較結果から前記基板の欠陥の有無を判別するとともに、
前記電子線を前記基板に照射する照射間隔を前記回路パターンの構造または材質に応じて変更し、
前記基板から発生する信号を検出する検出間隔を、前記照射間隔の変更に応じて変更することを特徴とする回路パターンの検査方法。 - 請求項6の記載において、
前記電子線の照射間隔は変更前よりも長くして欠陥検査を行うことを特徴とする回路パターンの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000021A JP2008166635A (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | 回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000021A JP2008166635A (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | 回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008166635A true JP2008166635A (ja) | 2008-07-17 |
Family
ID=39695689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007000021A Pending JP2008166635A (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | 回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008166635A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010147104A1 (ja) * | 2009-06-16 | 2010-12-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子顕微鏡装置及び荷電粒子ビーム制御方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6312146A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Nec Corp | パタ−ン寸法計測方法 |
JP2000314710A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
JP2000331635A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-30 | Matsushita Electronics Industry Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2005175333A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 回路パターン検査方法とその装置 |
-
2007
- 2007-01-04 JP JP2007000021A patent/JP2008166635A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6312146A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Nec Corp | パタ−ン寸法計測方法 |
JP2000314710A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
JP2000331635A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-30 | Matsushita Electronics Industry Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2005175333A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 回路パターン検査方法とその装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010147104A1 (ja) * | 2009-06-16 | 2010-12-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子顕微鏡装置及び荷電粒子ビーム制御方法 |
JP2011003276A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子顕微鏡装置及び荷電粒子ビーム制御方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4997076B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置における画像生成方法 | |
JP4248382B2 (ja) | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 | |
JP5103033B2 (ja) | 荷電粒子線応用装置 | |
JP4564728B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
JP4795883B2 (ja) | パターン検査・計測装置 | |
JP3791095B2 (ja) | 回路パターンの検査方法及び検査装置 | |
US7696487B2 (en) | Circuit pattern inspection apparatus | |
US8134697B2 (en) | Inspection apparatus for inspecting patterns of substrate | |
JP4154282B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
JP2001313322A (ja) | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 | |
JP4528317B2 (ja) | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 | |
JP4537891B2 (ja) | 回路パターンの検査装置および検査方法 | |
JP2006216611A (ja) | パターン検査装置 | |
JP4746659B2 (ja) | 回路パターンの検査方法 | |
US20090261251A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
JP4274247B2 (ja) | 回路パターンの検査方法及び検査装置 | |
JP4230899B2 (ja) | 回路パターン検査方法 | |
JP3765988B2 (ja) | 電子線式外観検査装置 | |
JP2008166635A (ja) | 回路パターンの検査装置、および、回路パターンの検査方法 | |
JP2009016356A (ja) | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 | |
JP4603448B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
JP2004157135A (ja) | 回路パターンの検査方法及び検査装置 | |
JP4090173B2 (ja) | 回路パターン検査装置 | |
JP2005223355A (ja) | 回路パターン検査装置 | |
JP2010282810A (ja) | 基板検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120214 |