JP2008212794A - 石英管洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英管3の汚れを洗浄する洗浄液5(又は9)を入れた洗浄槽7(又は11)と、前記洗浄槽7(又は11)で洗浄された石英管3をリンスするリンス液13を入れたリンス槽15と、を備えた石英管洗浄装置1において、前記洗浄槽7(又は11)内で前記石英管3を回転可能に載置する少なくとも2対のローラ19と、この2対のローラ19に載置された石英管3を正転と逆転方向に交互に繰り返して回転せしめる正逆回転駆動装置21を設けてなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
前記洗浄槽内で前記石英管を回転可能に載置する少なくとも2対のローラと、この2対のローラに載置された石英管を正転と逆転方向に交互に繰り返して回転せしめる正逆回転駆動装置を設けてなることを特徴とするものである。
3 石英管
5 第1洗浄液(HF;フッ酸)
7 第1洗浄槽
9 第2洗浄液(HF+NHO3;フッ硝酸)
11 第2洗浄槽
13 リンス液(純水)
15 リンス槽
7A,11A,15A 液体供給管路
7B,11B,15B 液体排出管路
7C,11C,15C 循環ポンプ
17 装置本体
19 ローラ
21 正逆回転駆動モータ(正逆回転駆動装置)
23 伝達ギア機構(正逆回転駆動装置)
25 回転駆動軸(正逆回転駆動装置)
29 石英管搬送装置
31 フック部
33 吊りアーム部
35 可動ベース部
37 ガイドレール
39 Y軸モータ
41 Y軸ボールねじ
43 ナット部材
45 支柱部
47 LMガイドアクチュエータ(石英管昇降駆動装置)
57 Z軸モータ
Claims (3)
- 石英管の汚れを洗浄する洗浄液を入れた洗浄槽と、この洗浄槽で洗浄された石英管をリンスするリンス液を入れたリンス槽と、を備えた石英管洗浄装置において、
前記洗浄槽内で前記石英管を回転可能に載置する少なくとも2対のローラと、この2対のローラに載置された石英管を正転方向と逆転方向に交互に繰り返して回転せしめる正逆回転駆動装置を設けてなることを特徴とする石英管洗浄装置。 - 前記リンス槽内で前記石英管を回転可能に載置する少なくとも2対のローラと、この2対のローラに載置された石英管を正転方向と逆転方向に交互に繰り返して回転せしめるリンス用の正逆回転駆動装置を設けてなることを特徴とする請求項1記載の石英管洗浄装置。
- 前記2対のローラのうちの少なくとも片方のローラが正逆回転駆動装置で交互に正転方向と逆転方向に回転駆動される構成であることを特徴とする請求項1又は2記載の石英管洗浄装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6171880A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-04-12 | 株式会社日立製作所 | 炉心管の洗浄方法 |
JPH04156988A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-29 | Daruton:Kk | 管洗浄装置 |
JPH05343377A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-12-24 | Nec Corp | 半導体製造ウェット処理装置 |
JP2002100605A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-04-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006108300A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6171880A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-04-12 | 株式会社日立製作所 | 炉心管の洗浄方法 |
JPH04156988A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-29 | Daruton:Kk | 管洗浄装置 |
JPH05343377A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-12-24 | Nec Corp | 半導体製造ウェット処理装置 |
JP2002100605A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-04-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006108300A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102211881A (zh) * | 2011-05-10 | 2011-10-12 | 浙江桑乐数字化太阳能有限公司 | 带烘干的全玻璃真空太阳集热管内管清洗机 |
JP2018178230A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | 山田 榮子 | 鋼線材の表皮溶削におけるコイルの転動装置 |
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