JP4731377B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4731377B2 JP4731377B2 JP2006093277A JP2006093277A JP4731377B2 JP 4731377 B2 JP4731377 B2 JP 4731377B2 JP 2006093277 A JP2006093277 A JP 2006093277A JP 2006093277 A JP2006093277 A JP 2006093277A JP 4731377 B2 JP4731377 B2 JP 4731377B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- supply nozzle
- liquid supply
- processing liquid
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
したがって、第1の処理液の雰囲気が拡散することを確実に防止できる。その結果、第1の処理液の雰囲気と第2の処理液の雰囲気とが反応して反応物が生じることが確実に防止される。
図1は、本実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
図2は、本実施の形態に係る基板処理装置100の洗浄処理部5a〜5dの構成を説明するための図である。
続いて、酸性の薬液を供給する第2の薬液供給ノズル70の一部を覆う第2のカバー74の構成について説明する。
次に、第1の薬液供給ノズル50または第2の薬液供給ノズル70の他の構成について説明する。本実施の形態では、第1の薬液供給ノズル50または第2の薬液供給ノズル70は、以下に示す二流体ノズルであってもよい。
本実施の形態では、基板Wの表面をエッチングして洗浄する場合には、上述のBHFを薬液として用いることができる。
上述したように、本実施の形態においては、第1の待機ポット60を用いた第1の薬液供給ノズル50のプリディスペンス時、および第2の待機ポット80を用いた第2の薬液供給ノズル70のプリディスペンス時に、第1の薬液供給ノズル50の周囲の一部を覆う第1のカバー55と第2の薬液供給ノズル70の周囲の一部を覆う第2のカバー74とを設けることにより、第1の薬液供給ノズル50により吐出されるアルカリ性の薬液の雰囲気および第2の薬液供給ノズル70により吐出される酸性の薬液の雰囲気が拡散することが防止または抑制される。 この構成によって、アルカリ性の薬液の雰囲気が第2の薬液供給ノズル70近傍まで拡散し、酸性の薬液の雰囲気と反応することにより塩が発生することが防止される。それにより、第2の薬液供給ノズル70に塩が付着することおよび当該塩が成長することが防止される。したがって、ノズルに付着する塩に起因した基板の処理不良が防止される。
上記実施の形態では、第1の薬液供給ノズル50の一部を覆う第1のカバー55、および第2の薬液供給ノズル70の周囲の一部を覆う第2のカバー74を共に設けることとしたが、設置スペースに制限がある場合等には、どちらか一方に設けることとしてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
5a〜5d 洗浄処理部
21 スピンチャック
25 回転軸
50 第1の薬液供給ノズル
51 モータ
52 回動軸
53 アーム
55 第1のカバー
60 第1の待機ポット
60a,60b 開口部
61 溝部
62 配管
63 排気管
70 第2の薬液供給ノズル
71 回動軸
71a モータ
72 アーム
74 第2のカバー
74a 上面部
74b 仕切片
74c 連結部
74d 被覆部
74s 閉塞部材
75 カバー
80 第2の待機ポット
80a,80b 開口部
81 溝部
81a 孔部
82 配管
83 排気管
90 気体供給小室
91 気体供給部
100 基板処理装置
Claims (10)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
第1の処理液を前記基板保持手段に保持された基板に供給する第1の処理液供給ノズルと、
第2の処理液を前記基板保持手段に保持された基板に供給する第2の処理液供給ノズルと、
前記基板保持手段に保持された基板の上方位置と基板の外方の待機位置との間で、前記第1および第2の処理液供給ノズルをそれぞれ移動させる移動手段と、
前記待機位置に配置されるとともに上部に第1の開口部を有し、前記第1の処理液供給ノズルの先端部が前記第1の開口部に挿入された状態で前記第1の処理液供給ノズルの前記先端部から吐出された前記第1の処理液を受け止める第1の待機容器と、
前記待機位置に配置され、前記第2の処理液供給ノズルから吐出された前記第2の処理液を受け止める第2の待機容器と、
前記第1の処理液供給ノズルが少なくとも前記第1の待機容器上に位置するときに前記第1の処理液供給ノズルの周囲の少なくとも一部を取り囲むように設けられた第1のカバー部材と、
前記第1のカバー部材で取り囲まれた空間および前記第1の開口部を通して前記第1の待機容器内に気体を供給する第1の気体供給手段と、
前記第1の気体供給手段により前記第1の待機容器内に供給された気体を排出する排気手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1の待機容器の下部から第1の処理液を廃棄する排液手段をさらに備え、
前記排気手段は、前記第1の待機容器の上部に設けられたことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1のカバー部材は、前記第1の待機容器の上方に固定して配置されることを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記第1のカバー部材は、一側面に開口を有し、
前記移動手段は、前記第1の処理液供給ノズルを水平移動させることにより前記開口を通して前記第1のカバー部材内に前記第1の処理液供給ノズルを進入および退出させることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。 - 前記第1のカバー部材の開口を閉塞する閉塞部材をさらに備え、
前記閉塞部材は、前記第1の処理液供給ノズルとともに移動するように設けられることを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。 - 前記第1のカバー部材は、上面に開口を有し、
前記移動手段は、前記第1の処理液供給ノズルを上下移動させることにより前記開口を通して前記第1のカバー部材内に前記第1の処理液供給ノズルを進入および退出させることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。 - 前記第2の待機容器は、上部に第2の開口部を有し、前記第2の処理液供給ノズルの先端部が前記第2の開口部に挿入された状態で前記第2の処理液供給ノズルの前記先端部から吐出された前記第2の処理液を受け止めるように構成され、
前記第2の処理液供給ノズルが少なくとも前記第2の待機容器上に位置するときに前記第2の処理液供給ノズルの周囲の少なくとも一部を取り囲むように設けられた第2のカバー部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記第2のカバー部材で取り囲まれた空間および前記第2の開口部を通して前記第2の待機容器内に気体を供給する第2の気体供給手段をさらに備えたことを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 前記第1および第2の処理液のうち一方は酸性の液であり、前記第1および第2の処理液のうち他方はアルカリ性の液であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の基板処理装置。
- 基板を処理する基板処理方法であって、
第1の処理液および第2の処理液をそれぞれ基板に供給するための第1および第2の処理液供給ノズルを基板保持手段の外方に設けられた第1および第2の待機容器上にそれぞれ待機させる待機ステップと、
前記第1または第2の処理液供給ノズルを前記第1または第2の待機容器上から前記基板保持手段に保持された基板の上方位置に移動させ、前記第1または第2の処理液供給ノズルから第1または第2の処理液を前記基板保持手段に保持された基板に供給する処理ステップと備え、
前記第1の待機容器は、上部に第1の開口部を有し、
前記待機ステップは、
カバー部材が前記第1の処理液供給ノズルの周囲の少なくとも一部を取り囲むように前記第1の処理液供給ノズルを第1の待機容器上に位置させるステップと、
前記カバー部材で取り囲まれた空間および前記第1の開口部を通して前記第1の待機容器内に気体を供給するステップと、
前記待機容器内に供給された気体を排出するステップとを含むことを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006093277A JP4731377B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006093277A JP4731377B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266553A JP2007266553A (ja) | 2007-10-11 |
JP4731377B2 true JP4731377B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38639203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006093277A Expired - Fee Related JP4731377B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4731377B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6059629B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
JP6914050B2 (ja) * | 2017-02-15 | 2021-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7175122B2 (ja) * | 2018-08-02 | 2022-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、および基板処理方法 |
JP2020035920A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001203151A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-27 | Sony Corp | 半導体製造装置 |
JP2003071363A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布液供給装置および該装置を用いた塗布装置 |
JP2003324063A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-11-14 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP2005277211A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3168612B2 (ja) * | 1991-06-27 | 2001-05-21 | ソニー株式会社 | レジスト塗布装置 |
JPH06267837A (ja) * | 1993-03-16 | 1994-09-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 処理液塗布装置及びその方法 |
JPH0957176A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転塗布装置 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006093277A patent/JP4731377B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001203151A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-27 | Sony Corp | 半導体製造装置 |
JP2003071363A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布液供給装置および該装置を用いた塗布装置 |
JP2003324063A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-11-14 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP2005277211A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007266553A (ja) | 2007-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007258462A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US6357457B1 (en) | Substrate cleaning apparatus and method | |
JP4989370B2 (ja) | ノズルおよびそれを備える基板処理装置 | |
JP5694118B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP2007149892A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4757882B2 (ja) | 基板洗浄装置、基板洗浄方法、基板処理システムならびに記録媒体 | |
JP2007149891A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2008034779A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US20080142051A1 (en) | Recovery cup cleaning method and substrate treatment apparatus | |
JP4912008B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5645796B2 (ja) | 液処理装置及び液処理方法 | |
JP2005512340A (ja) | 1枚又は2枚の基板を処理する装置及び方法 | |
US20070130716A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP6753762B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2017126616A (ja) | 基板処理装置および基板処理装置の洗浄方法 | |
JP7412134B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007123393A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4579138B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4731377B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR100787996B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 상기 장치로부터 처리액을 회수하는방법 | |
JP2005026478A (ja) | 基板処理法及び基板処理装置 | |
US20080163900A1 (en) | Ipa delivery system for drying | |
JP2007123559A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP3876059B2 (ja) | 基板処理装置および周辺部材の洗浄方法 | |
JP2003100688A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110419 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |