JP2008189483A - フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含有する廃液から酸成分を分離・回収する方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【効果】フッ化水素、塩酸、ケイフッ化水素酸を効率よく分離・回収できる。フッ化水素と塩酸を含む水溶液は、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、市販用のケイフッ化水素酸、および、ケイフッ化物の合成原料として再利用できる。
【選択図】図3
Description
それとともに、使用後の廃酸量も増加しており、地球環境保全の観点からその適切な処理、とりわけ廃酸中に残留している未反応酸や反応生成物などの有価物を、効率的に回収・再利用できる技術の確立が望まれている。
しかしながら、これらの文献では、塩酸が共存する場合やケイフッ化水素酸が共存する場合の蒸留特性などについては言及されていない。
(反応式)
SiO2 + 6HF → H2SiF6 + 2H2O (1)
B2O3 + 8HF → 2HBF4 + 3H2O (2)
Al2O3 + 6HF → 2AlF3 + 3H2O (3)
MgO + 2HF → MgF2 + H2O (4)
CaO + 2HF → CaF2 + H2O (5)
SrO + 2HF → SrF2 + H2O (6)
図1は、ケミカルエッチング廃液の蒸留処理のためのベンチプラント図を示す。
ケミカルエッチング廃液を蒸発缶1に約5kgを仕込み、凝縮器3および凝縮器4に冷却水を流す。真空ポンプ9を作動させて系内を80mmHgに保持したのち、蒸発缶1の熱交換器に0.1MPaに減圧したスチームを一定速度で流して加熱して減圧蒸留を開始した。留出物は精留塔2に入り、凝縮器3および4で凝縮される。凝縮液の一部は精留塔2に戻して還流させ、残りは初留受器5、HCl−HF回収槽6、後留受器7の順に抜き出した。蒸留後、真空ポンプ9を停止し、系内を常圧に戻す。初留受器5中の液は酸分が1%以下でありそのまま通常の排水処理を行った。HCl−HF回収槽6中の液はケイフッ化水素酸をほとんど含まずフッ化水素酸と塩酸を主成分として含んでおり、抜き出した後、塩酸とフッ化水素酸濃度を調整してケミカルエッチング液として再利用する。HCl−HF回収槽6中の液は相当量のケイフッ化フッ化水素酸を含んでいるため、好ましくは蒸発缶1に戻して再度蒸留する。蒸発缶1に残った釜残は、フッ化アルミニウム・3水和物を含むスラリーで、濾過器10でフッ化アルミニウム・3水和物を濾別・回収し、塩酸をほとんど含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を主成分として含む濾液を粗製H2SiF6貯槽11に回収する。
ケミカルエッチング廃液の蒸留処理で得られた、塩酸をほとんど含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を主成分として含む粗製H2SiF64.0Kgと硫酸またはリン酸の一種もしくは二種を1.0kgテフロン(登録商標)製熱交換器を備えた蒸発缶13に仕込み、凝縮器15および凝縮器16に冷却水を流す。真空ポンプ20を作動させて系内を80mmHgに保持したのち、蒸発缶13の熱交換器に0.1MPaに減圧したスチームを一定速度で流して加熱して減圧蒸留を開始した。留出物は精留塔14に入り、凝縮器15および16で凝縮される。凝縮液の一部は蒸発缶13に戻して還流させ、残りは初留受器17、H2SiF6回収槽18の順に抜き出した。蒸留後、真空ポンプ20を停止し、系内を常圧に戻す。初留受器17中の液は0.5〜2.0%の塩酸を含んでおり、ケイフッ化水素酸の原料に使用できないため、蒸発缶13に戻しエッチング廃液と共に再蒸留する。H2SiF6回収槽18中の液は塩酸含量0.01%以下であり抜き出してから酸化ケイ素SiO2を加え、共存するフッ化水素酸をケイフッ化水素酸に変換して、ケイフッ化水素酸溶液を調製する。
図1に示す装置を用い、フッ化水素酸6.0%、塩酸2.3%およびケイフッ化水素酸11.5%、ホウフッ化水素酸1.1%などを含むアルミノホウケイ酸ガラスのケミカルエッチング実廃液5.0kgの蒸留試験を、80mmHgの減圧下、50〜70℃の条件で行った。得られた留分および釜残の分析結果を、表2に示す。
表2から分かるように、フッ化水素酸と塩酸の合計濃度が約1%の初留分1,460gと、フッ化水素酸と塩酸の合計濃度が約12%の主留分1,990gおよびケイフッ化水素酸を主成分とする後留および釜残とに分離・回収することができている。このときの釜残液の組成は、塩酸0.2%で、フッ化水素酸10.2%、ケイフッ化水素酸は38.3%と高濃度を有していた。さらに釜残には、スラリー状で高純度のフッ化アルミニウム・3水和物が含まれ、これを通常の濾過操作で27gを容易に回収することができた。
実施例1で得た、釜残5.0kgを図2に示す蒸発缶13に仕込み、80mmHgの減圧下で蒸留した。得られた留分および釜残の分析結果を、表4に示す。
実施例2で得たケイフッ化水素酸よりも塩酸含量を減らす目的で、塩酸の揮発度を増加させるために不揮発酸として98%硫酸500gと実施例1で得た釜残5.0kgを蒸発缶13に仕込み、80mmHgの減圧下で蒸留した。得られた留分および釜残の分析結果を表5に示す。
2 精留塔
3 凝縮器
4 凝縮器
5 初留受器
6 HCl−HF回収槽
7 後留受器
8 バッファータンク
9 真空ポンプ1
10 濾過器
11 粗製H2SiF6貯槽
12 送液ポンプ
13 蒸発缶
14 精留塔
15 凝縮器
16 凝縮器
17 初留受器
18 H2SiF6回収槽
19 バッファータンク
20 真空ポンプ
Claims (8)
- フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収するに当って、前記廃液を常圧もしくは減圧下における蒸留操作によって、酸をほとんど含まない水主体の留分、ケイフッ化水素酸をほとんど含まずフッ化水素酸と塩酸を主成分として含む留分、ならびに塩酸をほとんど含まずフッ化水素酸とケイフッ化フッ化水素酸を主成分として含む釜残とに、順次分離して回収することを特徴とする、フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収する方法。
- 前記塩酸をほとんど含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を主成分として含む釜残に、硫酸またはリン酸の一種もしくは二種を添加して常圧または減圧下で蒸留し、初留分を分離・回収した後、塩酸含有量がさらに少なくフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を主成分として含む留分を分離・回収することを特徴とする、請求項1記載のフッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収する方法。
- 請求項1または2において、分離・回収した、塩酸をほとんど含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を主成分として含む釜残もしくは留分に、酸化ケイ素SiO2を加え、共存するフッ化水素酸をケイフッ化水素酸に変換して、ケイフッ化水素酸を主成分とする溶液を調製することを特徴とする、フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収する方法。
- 請求項1〜3のいずれかにおいて、廃液中にアルミニウムを含有する系で蒸留により濃縮されて発生し釜残に含まれるフッ化アルミニウム・3水和物を濾過して分離・回収することを特徴とする、フッ加水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収する方法。
- 前記フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液が、ガラスのケミカルエッチング廃液である請求項1〜4のいずれかに記載のフッ加水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収する方法。
- 蒸発缶、精留塔、初留受器、フッ化水素酸および塩酸の混合酸回収槽ならびに後留受器を備えることを特徴とする、フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収するための装置。
- 釜残液に含まれる固形物を濾別する手段を備えた、請求項6記載のフッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収するための装置。
- 釜残液に含まれる固形物を濾別する手段の後段に、濾液に硫酸またはリン酸の一種もしくは二種を添加して蒸留する蒸発缶、精留塔、初留受器ならびにケイフッ化水素酸回収槽を備えることを特徴とする、請求項6または7記載のフッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液から酸成分を分離・回収するための装置。
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