JP5661389B2 - 酸の回収方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る酸の回収方法の処理フローを示す図である。図1を参照して本実施形態の酸の回収方法を説明すると、本実施形態では、例えば、ガラス基板をエッチング処理した後の廃液を原液とし、この原液から酸を回収するものである。原液には、少なくともフッ酸(HF)、ケイフッ酸(H2SiF6)が含まれている。
図2は本発明の他の実施形態に係る酸の回収方法の処理フローを示す図である。図2を参照して本実施形態を説明すると、本実施形態では、ガラス基板をエッチング処理した後の廃液を原液とし、この原液から上述の実施形態と同様にフッ酸を回収すると共に、更に、ホウ素を回収するようにしている。
上述の実施形態では、原液に含まれるホウ素をホウ酸として回収したけれども、本発明の他の実施形態として、図3に示すように、ホウ酸ナトリウムとして回収してもよい。
3 濃縮装置
4 凝縮器
6 晶析槽
Claims (4)
- ケイフッ化水素酸およびケイフッ化水素酸以外の酸を含む酸性の廃液からの酸の回収方法であって、
前記廃液の酸性を維持しながら、該廃液から前記ケイフッ化水素酸をケイフッ化塩として除去する除去工程と、
前記ケイフッ化塩を除去した前記廃液を蒸発濃縮することによって生じる蒸気を凝縮させて酸を回収する濃縮工程と、
を含むことを特徴とする酸の回収方法。 - 前記廃液は、ケイフッ化水素酸以外の前記酸としてフッ化水素酸を含み、
前記濃縮工程では、前記蒸気を凝縮させてフッ化水素酸を含む前記酸を回収する、
請求項1に記載の酸の回収方法。 - 前記除去工程では、前記廃液に、アルカリ金属の水酸化物、アルカリ土類金属の水酸化物、アルカリ金属塩およびアルカリ土類金属塩からなる群より選ばれた1種以上の化合物を添加して、前記ケイフッ化水素酸を前記ケイフッ化塩として析出させて除去する、
請求項1または2に記載の酸の回収方法。 - 前記除去工程における前記1種以上の化合物の添加後の前記廃液が酸性である、
請求項3に記載の酸の回収方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010202472A JP5661389B2 (ja) | 2010-09-09 | 2010-09-09 | 酸の回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010202472A JP5661389B2 (ja) | 2010-09-09 | 2010-09-09 | 酸の回収方法 |
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JP2012055841A JP2012055841A (ja) | 2012-03-22 |
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JP (1) | JP5661389B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101506595B1 (ko) | 2013-05-13 | 2015-03-30 | 방산테크놀로지(주) | 에칭공정에서 발생된 폐산으로부터 불산의 회수방법 |
JP6062003B1 (ja) * | 2015-08-13 | 2017-01-18 | 株式会社アイザック | ガラスエッチング廃液からのフッ化水素酸の分離回収法 |
JP6095837B1 (ja) | 2016-04-01 | 2017-03-15 | 佐々木化学薬品株式会社 | アルカリ金属塩含有成型体およびそれを用いた酸性水溶液の再生処理方法 |
CN109248642B (zh) * | 2018-10-17 | 2020-07-28 | 杨松 | 一种制备氟化氢颗粒层移动床过滤器的使用方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3623663B2 (ja) * | 1998-08-26 | 2005-02-23 | 松下電器産業株式会社 | ガラス洗浄用溶液の再生方法と再生装置、および珪酸塩ガラスの洗浄方法と洗浄装置 |
DE102006040830A1 (de) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Aufarbeitung einer Ätzmischung, die bei der Herstellung von hochreinem Silicium anfällt |
JP5143440B2 (ja) * | 2007-02-01 | 2013-02-13 | 森田化学工業株式会社 | フッ化水素酸、塩酸およびケイフッ化水素酸を含有する廃液から酸成分を分離・回収する方法およびその装置 |
JP5255861B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-08-07 | 水ing株式会社 | 合成蛍石回収方法及び回収装置 |
KR20110115151A (ko) * | 2009-02-13 | 2011-10-20 | 가부시키가이샤 신꼬오 간쿄우 솔루션 | 불소 및 규소를 함유하는 배수의 처리 방법, 불화 칼슘의 제조 방법 및 불소 함유 배수 처리 설비 |
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JP2012055841A (ja) | 2012-03-22 |
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