JP2008141010A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板処理装置100は、基板Wを水平に保持するとともに鉛直方向の回転中心線P周りで基板Wを回転させるためのスピンチャック21を備える。スピンチャック21を取り囲むように、カップ10が設けられている。カップ10は、内構成部材11、中構成部材12および外構成部材13からなる。内構成部材11の下方には、一対の第1昇降機構81が設けられている。一対の第1昇降機構81のサーボモータ119は、制御部により互いに同期して駆動される。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略平面図である。図2は、図1の基板処理装置におけるカップの分解斜視図である。図1に示すように、基板処理装置100は略円環状のカップ10を備える。カップ10は、互いに独立して昇降可能な内構成部材11、中構成部材12および外構成部材13からなる。カップ10の内方において、後述のスピンチャックにより基板Wが水平に保持されつつ鉛直方向の回転中心線Pの周りで回転される。
スピンチャック21を取り囲むように、図1および図2に示したカップ10が設けられている。カップ10の内構成部材11は、円環状の底部61を有する。底部61の内側縁部から上方に延びるように円筒状の内壁部62が設けられ、底部61の外側縁部から上方に延びるように円筒状の外壁部63が設けられている。内構成部材11が上昇すると、内壁部62はカバー部材41と鍔状部材42との間に収容される。
内構成部材11の下方には、図1に示した一対の第1昇降機構81が設けられている。各第1昇降機構81は、シャフト111、連結部材112、スペーサ113、ベローズ114、ホルダ115、スプライン軸受116、ボールねじ用ナット117、カップリング118およびサーボモータ119を含む。
次に、基板処理装置100の制御系について説明する。図6は、基板処理装置100の制御系を示すブロック図である。
同期制御装置500a,500b,500cによる同期制御の一例について説明する。ここでは、同期制御装置500aによる一対のサーボモータ119の同期制御について説明するが、同期制御装置500bによる一対のサーボモータ129の同期制御および同期制御500cによる一対のサーボモータ139の同期制御も同様である。図7は同期制御装置500aによる一対のサーボモータ119の同期制御について説明するためのブロック図である。
次に、図7を参照しながら同期制御装置500a,500b,500cによる同期制御の他の例について説明する。ここでは、同期制御装置500aによる一対のサーボモータ119の同期制御について説明するが、同期制御装置500bによる一対のサーボモータ129の同期制御および同期制御500cによる一対のサーボモータ139の同期制御も同様である。
同期制御装置500aは、パルスエンコーダ501から出力される帰還位置パルスPPをカウントし、一定時間間隔ごとのカウント値を積算し、積算値を帰還位置信号として求める。
次に、基板処理装置100の動作について説明する。図8〜図11は、基板処理装置100の動作を説明するための図である。なお、図8〜図11では、図3〜図5に示した第1昇降機構81、第2昇降機構82および第3昇降機構83を簡略化のためブロックで示している。
本実施の形態の基板処理装置100においては、カップ10の内構成部材11が一対の第1昇降機構81により昇降され、中構成部材12が一対の第2昇降機構82により昇降され、外構成部材13が一対の第3昇降機構83により昇降される。各第1昇降機構81、各第2昇降機構82および各第3昇降機構83は、それぞれサーボモータ119,129,139の回転をシャフト111,122,132の鉛直方向の移動に変換することにより内構成部材11、中構成部材12および外構成部材13を昇降させる。
上記実施の形態では、内構成部材11が一対の第1昇降機構81により昇降され、中構成部材12が一対の第2昇降機構82により昇降され、外構成部材12が一対の第3昇降機構83により昇降されるが、内構成部材11、中構成部材12および外構成部材12がそれぞれ3つ以上の第1昇降機構81、第2昇降機構82または第3昇降機構83により昇降されてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
11 内構成部材
12 中構成部材
13 外構成部材
21 スピンチャック
27 裏面ノズル
30 処理ノズル
81 第1昇降機構
82 第2昇降機構
83 第3昇降機構
100 基板処理装置
111,121,131 シャフト
119,129,139 サーボモータ
117,127,137 ボールねじ用ナット
150 制御部
W 基板
Claims (5)
- 基板を保持しつつ回転させる基板保持手段と、
前記基板保持手段により保持された基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第1の飛散防止部材と、
前記第1の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第1の支持部材と、
前記複数の第1の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第1の支持部材を上下方向に駆動する複数の第1の駆動装置と、
前記複数の第1の駆動装置が互いに同期して前記複数の第1の支持部材を駆動するように前記複数の第1の駆動装置を同期制御する制御部とを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記複数の第1の支持部材は、前記第1の飛散防止部材の中心軸に関してほぼ対称に配置されることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記複数の第1の駆動装置の各々は、回転軸を有するモータと、前記モータの回転軸の回転を対応する第1の支持部材の上下動に変換する変換機構とを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記第1の飛散防止部材を取り囲むように設けられた第2の飛散防止部材と、
前記第2の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第2の支持部材と、
前記複数の第2の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第2の支持部材を上下方向に駆動する複数の第2の駆動装置とをさらに備え、
前記制御部は、前記複数の第2の駆動装置が互いに同期して前記複数の第2の支持部材を駆動するように前記複数の第2の駆動装置を同期制御することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記複数の第1の駆動装置および前記複数の第2の駆動装置が互いに同期して前記複数の第1の支持部材および前記複数の第2の支持部材を駆動するように前記複数の第1の駆動装置および前記複数の第2の駆動装置を同期制御することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。
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