JP5662451B2 - 閉じ込めリングの配置を制御する直接駆動装置およびその方法 - Google Patents
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Description
適用例1:基板処理時にプラズマ処理システムの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリングによって囲まれたチャンバ容積である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための直接駆動装置であって、前記直接駆動装置は、前記1組の閉じ込めリングを垂直に移動させることによって前記閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させるように少なくとも構成されている複数のプランジャーアセンブリと、前記複数のプランジャーアセンブリを垂直に移動させ、前記複数のプランジャーアセンブリの複数の設定点位置の値を記録するように少なくとも構成されている複数のモーターアセンブリと、前記複数のモーターアセンブリを駆動し、前記複数のプランジャーアセンブリを移動させて閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させ、前記複数のプランジャーアセンブリを移動させるために前記複数のモーターアセンブリに電源を供給し、前記複数のモーターアセンブリから前記複数の設定点位置の値を受信するように少なくとも構成されている1組の回路と、を備える直接駆動装置。
適用例2:適用例1に記載の直接駆動装置はさらに、前記基板処理時に前記閉じ込め領域内の前記圧容積に関する圧力データを収集するように少なくとも構成されているセンサーと、前記1組の回路から前記複数の設定点位置の値を受信し、前記センサーから前記圧力データを受信し、前記複数のプランジャーアセンブリの1組の新しい設定点位置の値を計算し、1組の新しい設定点位置の値を1組の命令として前記1組の回路に送信するように少なくとも構成される制御モジュールと、を備えている直接駆動装置。
適用例3:適用例2に記載の直接駆動装置において、前記複数のモーターアセンブリの各モーターアセンブリは、前記複数のプランジャーアセンブリのプランジャーアセンブリを移動させるように構成されているモーターと、前記プランジャーアセンブリの設定点位置の値を記録するように構成されているエンコーダと、前記モーターを前記プランジャーアセンブリに接続するように構成されるモーター軸と、を含む直接駆動装置。
適用例4:適用例3に記載の直接駆動装置において、記複数のプランジャーアセンブリの各プランジャーアセンブリは、前記処理チャンバのトッププレートの上側面上に配置されるように構成されているプランジャー本体と、前記トッププレートの前記上側面下に配置されるように構成されている鼻端部と、を含む直接駆動装置。
適用例5:適用例4に記載の直接駆動装置において、前記プランジャー本体は、前記1組の閉じ込めリングを移動させるように少なくとも構成されているプランジャー軸と、前記モーター軸を前記プランジャー軸に少なくとも接続するように構成されている結合器と、前記プランジャー軸が垂直に移動して少なくとも最大距離を規定するように構成されている1対のセンサーであって、前記1対のセンサーはホームセンサーと遠方のセンサーとを含む1対のセンサーと、前記プランジャー軸の上部に装着されているフラグであって、前記フラグが前記ホームセンサーの第1の光学ビームを遮断する際には前記プランジャー軸はホームポジションにあり、前記フラグが前記遠方のセンサーの第2の光学ビームを遮断する際にはアラームが起動され、前記プランジャー軸、前記結合器、前記1対のセンサーおよび前記フラグを含むように少なくとも構成されているハウジング構成要素と、を含む直接駆動装置。
適用例6:適用例5に記載の直接駆動装置において、前記鼻端部は前記プランジャー軸に接続されている軸端アダプターと、前記軸端アダプターは少なくとも前記1組の閉じ込めリングに接続するように構成されているリングアダプターを含み、前記1組の閉じ込めリングは、前記プランジャー軸が前記第1の方向に移動する際に第1の方向に移動し、前記プランジャー軸が垂直に移動する際に前記プランジャー軸を誘導するように少なくとも構成されるブッシング構成要素と、を含む直接駆動装置。
適用例7:前記1組の回路は、3軸ステッピング基板である適用例6に記載の直接駆動装置。
適用例8:前記1組の回路は、前記各プランジャーアセンブリの前記プランジャー軸の前記ホームポジションを確認するように少なくとも構成されているホームポジション監視モジュールと、前記複数の設定点位置の値を監視するように少なくとも構成されているエンコーダ監視モジュールと、前記各モーターアセンブリの前記モーターに流れる電流を監視するように少なくとも構成されている電源監視モジュールと、前記各プランジャーアセンブリの前記遠方のセンサーを監視するように少なくとも構成されている第2のセンサー監視モジュールと、を含む直接駆動装置。
適用例9:適用例8に記載の直接駆動装置において、前記1組の回路は表示装置を含み、前記表示装置は、前記複数の設定点位置の値と、前記複数の設定点位置の値の最大差と、電力利用率と、アラーム通知と、を表示するように少なくとも構成されている直接駆動装置。
適用例10:前記モーターは、2ステッピングモーターである適用例1の直接駆動装置。
適用例11:基板処理時にプラズマ処理システムの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリングによって囲まれたチャンバ容積である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための装置であって、前記閉じ込め領域内の前記圧容積を制御するために前記1組の閉じ込めリングを移動させるように構成されている複数のプランジャー軸と、複数のモーターであって、前記複数のモーターの各モーターは前記複数のプランジャー軸の各プランジャー軸を移動するように少なくとも構成されている複数のモーターと、複数のエンコーダであって、前記複数のエンコーダの各エンコーダは各プランジャー軸の設定点位置の値を記録するように構成されている複数のエンコーダと、複数のモーターを駆動して前記複数のプランジャー軸を移動させ、前記閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させるように少なくとも構成されている1組の回路と、前記圧容積が所定の閾値範囲を越える場合に前記各プランジャー軸の新しい設定点位置を計算するように少なくとも構成されている制御モジュールと、を備える装置。
適用例12:適用例11に記載の装置はさらに、前記各プランジャー軸が垂直に移動する最大距離を少なくとも規定するように構成されている1対のセンサーであって、前記1対のセンサーはホームセンサーと遠方のセンサーとを含む1対のセンサーと、前記各プランジャー軸の上部に装着されているフラグと、前記フラグが前記ホームセンサーの第1の光学ビームを遮断する際には前記各プランジャー軸はホームポジションにあり、前記フラグが前記遠方のセンサーの第2の光学ビームを遮断する際にはアラームが起動すること、を備える適用例11に記載の装置。
適用例13:適用例12に記載の装置はさらに、前記1組の閉じ込めリングに前記各プランジャー軸を接続するように少なくとも構成されているリングアダプターと、前記1組の閉じ込めリングは前記各プランジャー軸が前記第1の方向に移動する際に第1の方向に移動し、前記プランジャー軸が垂直に移動する際に前記各プランジャーを誘導するように少なくとも構成されているブッシング構成要素と、を備える適用例12に記載の装置。
適用例14:前記1組の回路は、3軸ステッピング基板である適用例13に記載の装置。
適用例15:適用例14に記載の装置において、前記1組の回路は、前記各プランジャー軸の前記ホームポジションを確認するように少なくとも構成されているホームポジション監視モジュールと、前記各プランジャー軸の前記設定点位置の値を監視するように少なくとも構成されているエンコーダ監視モジュールと、前記各モーターに流れる電流を監視するように少なくとも構成されている電源監視モジュールと、前記各プランジャー軸の前記遠方のセンサーを監視するように少なくとも構成されている第2のセンサー監視モジュールと、を含む装置。
適用例16:適用例15に記載の装置において、前記1組の回路は表示装置を含み、前記表示装置は、前記各プランジャー軸の前記設定点位置の値と、電力利用率と、アラーム通知と、を表示するように少なくとも構成されている装置。
適用例17:前記各モーターは、2ステッピングモーターである適用例16に記載の装置。
適用例18:基板処理時にプラズマ処理チャンバの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリング間の領域である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための方法であって、複数のプランジャー装置の各プランジャー装置をホームポジションに設定し、前記1組の閉じ込めリングをレシピ初期設定点位置の値に移動させ、前記基板処理時に前記圧容積に関する圧力データを収集し、前記圧力データを、分析のために制御モジュールに送信し、前記圧力データを所定の閾値範囲と比較し、前記圧力データが前記所定の閾値範囲外を通り越す場合には前記各プランジャー装置の新しい設定点位置を求め、前記新しい設定点位置を1組の命令として送信し、前記新しい設定点位置に前記各プランジャー装置を移動すること、を備える方法。
適用例19:適用例18に記載の方法はさらに、前記基板処理前に前記各プランジャー装置を較正することを含み、前記較正は、前記各プランジャー装置への電源を切り、前記1組の閉じ込めリングを初期高さに設定し、前記各プランジャー装置の1対のセンサーを較正し、前記各プランジャー装置を前記ホームポジションに移動させることを含む方法。
適用例20:前記各プランジャー装置のフラグが遠方のセンサーの光学ビームを遮断する場合には前記各プランジャー装置を停止することをさらに含む適用例18に記載の方法。
Claims (20)
- 基板処理時にプラズマ処理システムの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリングによって囲まれたチャンバ容積である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための直接駆動装置であって、前記直接駆動装置は、
前記1組の閉じ込めリングを垂直に移動させることによって前記閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させるように少なくとも構成されている複数のプランジャーアセンブリと、
前記複数のプランジャーアセンブリを垂直に移動させ、
前記複数のプランジャーアセンブリの複数の設定点位置の値を記録するように
少なくとも構成されている複数のモーターアセンブリと、
前記複数のモーターアセンブリを駆動し、
前記複数のプランジャーアセンブリを移動させて閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させ、前記複数のプランジャーアセンブリを移動させるために前記複数のモーターアセンブリに電源を供給し、
前記複数のモーターアセンブリから前記複数の設定点位置の値を受信するように
少なくとも構成されている1組の回路と、を備える直接駆動装置。 - 請求項1に記載の直接駆動装置はさらに、
前記基板処理時に前記閉じ込め領域内の前記圧容積に関する圧力データを収集するように少なくとも構成されているセンサーと、
前記1組の回路から前記複数の設定点位置の値を受信し、
前記センサーから前記圧力データを受信し、
前記複数のプランジャーアセンブリの1組の新しい設定点位置の値を計算し、
1組の新しい設定点位置の値を1組の命令として前記1組の回路に送信するように
少なくとも構成される制御モジュールと、を備えている直接駆動装置。 - 請求項2に記載の直接駆動装置において、
前記複数のモーターアセンブリの各モーターアセンブリは、
前記複数のプランジャーアセンブリのプランジャーアセンブリを移動させるように構成されているモーターと、
前記プランジャーアセンブリの設定点位置の値を記録するように構成されているエンコーダと、
前記モーターを前記プランジャーアセンブリに接続するように構成されるモーター軸と、を含む直接駆動装置。 - 請求項3に記載の直接駆動装置において、
前記複数のプランジャーアセンブリの各プランジャーアセンブリは、
前記処理チャンバのトッププレートの上側面上に配置されるように構成されているプランジャー本体と、
前記トッププレートの前記上側面下に配置されるように構成されている鼻端部と、を含む直接駆動装置。 - 請求項4に記載の直接駆動装置において、
前記プランジャー本体は、
前記1組の閉じ込めリングを移動させるように少なくとも構成されているプランジャー軸と、
前記モーター軸を前記プランジャー軸に少なくとも接続するように構成されている結合器と、
前記プランジャー軸が垂直に移動して少なくとも最大距離を規定するように構成されている1対のセンサーであって、前記1対のセンサーはホームセンサーと遠方のセンサーとを含む1対のセンサーと、
前記プランジャー軸の上部に装着されているフラグであって、前記フラグが前記ホームセンサーの第1の光学ビームを遮断する際には前記プランジャー軸はホームポジションにあり、前記フラグが前記遠方のセンサーの第2の光学ビームを遮断する際にはアラームが起動され、
前記プランジャー軸、前記結合器、前記1対のセンサーおよび前記フラグを含むように少なくとも構成されているハウジング構成要素と、を含む直接駆動装置。 - 請求項5に記載の直接駆動装置において、
前記鼻端部は
前記プランジャー軸に接続されている軸端アダプターと、前記軸端アダプターは少なくとも前記1組の閉じ込めリングに接続するように構成されているリングアダプターを含み、前記1組の閉じ込めリングは、前記プランジャー軸が第1の方向に移動する際に前記第1の方向に移動し、
前記プランジャー軸が垂直に移動する際に前記プランジャー軸を誘導するように少なくとも構成されるブッシング構成要素と、を含む直接駆動装置。 - 前記1組の回路は、3軸ステッピング基板である請求項6に記載の直接駆動装置。
- 請求項7に記載の直接駆動装置において、
前記1組の回路は、
前記各プランジャーアセンブリの前記プランジャー軸の前記ホームポジションを確認するように少なくとも構成されているホームポジション監視モジュールと、
前記複数の設定点位置の値を監視するように少なくとも構成されているエンコーダ監視モジュールと、
前記各モーターアセンブリの前記モーターに流れる電流を監視するように少なくとも構成されている電源監視モジュールと、
前記各プランジャーアセンブリの前記遠方のセンサーを監視するように少なくとも構成されている第2のセンサー監視モジュールと、を含む直接駆動装置。 - 請求項8に記載の直接駆動装置において、
前記1組の回路は表示装置を含み、前記表示装置は、
前記複数の設定点位置の値と、
前記複数の設定点位置の値の最大差と、
電力利用率と、
アラーム通知と、を表示するように少なくとも構成されている直接駆動装置。 - 前記モーターは、2ステッピングモーターである請求項1の直接駆動装置。
- 基板処理時にプラズマ処理システムの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリングによって囲まれたチャンバ容積である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための装置であって、
前記閉じ込め領域内の前記圧容積を制御するために前記1組の閉じ込めリングを移動させるように構成されている複数のプランジャー軸と、
複数のモーターであって、前記複数のモーターの各モーターは前記複数のプランジャー軸の各プランジャー軸を移動するように少なくとも構成されている複数のモーターと、
複数のエンコーダであって、前記複数のエンコーダの各エンコーダは各プランジャー軸の設定点位置の値を記録するように構成されている複数のエンコーダと、
複数のモーターを駆動して前記複数のプランジャー軸を移動させ、前記閉じ込め領域内の前記圧容積を変化させるように少なくとも構成されている1組の回路と、
前記圧容積が所定の閾値範囲を越える場合に前記各プランジャー軸の新しい設定点位置を計算するように少なくとも構成されている制御モジュールと、を備える装置。 - 請求項11に記載の装置はさらに、
前記各プランジャー軸が垂直に移動する最大距離を少なくとも規定するように構成されている1対のセンサーであって、前記1対のセンサーはホームセンサーと遠方のセンサーとを含む1対のセンサーと、
前記各プランジャー軸の上部に装着されているフラグと、前記フラグが前記ホームセンサーの第1の光学ビームを遮断する際には前記各プランジャー軸はホームポジションにあり、前記フラグが前記遠方のセンサーの第2の光学ビームを遮断する際にはアラームが起動すること、を備える請求項11に記載の装置。 - 請求項12に記載の装置はさらに、
前記1組の閉じ込めリングに前記各プランジャー軸を接続するように少なくとも構成されているリングアダプターと、前記1組の閉じ込めリングは前記各プランジャー軸が第1の方向に移動する際に前記第1の方向に移動し、
前記プランジャー軸が垂直に移動する際に前記各プランジャーを誘導するように少なくとも構成されているブッシング構成要素と、を備える請求項12に記載の装置。 - 前記1組の回路は、3軸ステッピング基板である請求項13に記載の装置。
- 請求項14に記載の装置において、
前記1組の回路は、
前記各プランジャー軸の前記ホームポジションを確認するように少なくとも構成されているホームポジション監視モジュールと、
前記各プランジャー軸の前記設定点位置の値を監視するように少なくとも構成されているエンコーダ監視モジュールと、
前記各モーターに流れる電流を監視するように少なくとも構成されている電源監視モジュールと、
前記各プランジャー軸の前記遠方のセンサーを監視するように少なくとも構成されている第2のセンサー監視モジュールと、を含む装置。 - 請求項15に記載の装置において、
前記1組の回路は表示装置を含み、前記表示装置は、
前記各プランジャー軸の前記設定点位置の値と、
電力利用率と、
アラーム通知と、を表示するように少なくとも構成されている装置。 - 前記各モーターは、2ステッピングモーターである請求項16に記載の装置。
- 基板処理時にプラズマ処理チャンバの処理チャンバにおける1組の閉じ込めリング間の領域である閉じ込め領域内の圧容積を制御するための方法であって、
複数のプランジャー装置の各プランジャー装置をホームポジションに設定し、前記各プランジャ装置は、前記1組の閉じ込めリングを垂直方向に移動させることにより前記閉じ込め領域内における前記圧容積を変更するように少なくとも構成されており、
前記1組の閉じ込めリングをレシピ初期設定点位置の値に移動させ、
前記基板処理時に前記圧容積に関する圧力データを収集し、
前記圧力データを、分析のために制御モジュールに送信し、
前記圧力データを所定の閾値範囲と比較し、
前記圧力データが前記所定の閾値範囲外を通り越す場合には前記各プランジャー装置の新しい設定点位置を求め、
前記新しい設定点位置を1組の命令として送信し、
前記新しい設定点位置に前記各プランジャー装置を移動すること、を備える方法。 - 請求項18に記載の方法はさらに、
前記基板処理前に前記各プランジャー装置を較正することを含み、前記較正は、
前記各プランジャー装置への電源を切り、
前記1組の閉じ込めリングを初期高さに設定し、
前記各プランジャー装置の1対のセンサーを較正し、
前記各プランジャー装置を前記ホームポジションに移動させることを含む方法。 - 前記各プランジャー装置のフラグが遠方のセンサーの光学ビームを遮断する場合には前記各プランジャー装置を停止することをさらに含む請求項18に記載の方法。
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