KR20040009245A - 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치 Download PDF

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KR20040009245A KR1020020043119A KR20020043119A KR20040009245A KR 20040009245 A KR20040009245 A KR 20040009245A KR 1020020043119 A KR1020020043119 A KR 1020020043119A KR 20020043119 A KR20020043119 A KR 20020043119A KR 20040009245 A KR20040009245 A KR 20040009245A
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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 이송 위치시키기 위한 웨이퍼 이송장치 구성 중 웨이퍼를 받쳐 지지하는 로봇암 등의 수평 상태를 용이하게 측정 확인할 수 있도록 하는 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 이에 대한 특징적 구성은, 로봇 몸체와; 상기 로봇 몸체의 상부에 구동하는 지지축으로 연결되어 회전과 승·하강 위치되고, 제어기로부터 인가되는 제어신호에 따라 길이 방향으로의 전·후진 구동하는 로봇 암과; 상기 로봇 암의 길이 방향 단부 부위에 고정되어 위치되는 웨이퍼의 저면을 받쳐 지지하도록 형성된 로봇 척을 포함하여 이루어진 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 로봇 몸체, 로봇 암, 로봇 척을 포함하여 수평 상태가 요구되는 각 구성 부위에 수평 레벨러가 구비되어 이루어짐을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하면, 상술한 이송장의 각 구성의 교체함에 있어 각 구성의 수평 상태를 용이하게 확인할 수 있을 뿐 아니라 이상 발생 시에도 각 구성의 수평 상태를 용이하게 화인하며 그 수평 레벨을 조절할 수 있도록 함으로써 설치 및 교체 작업이 용이한 이점이 있다.

Description

레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치{wafer conduction equipment having ter leveler}
본 발명은 웨이퍼를 이송 위치시키기 위한 웨이퍼 이송장치 구성 중 웨이퍼를 받쳐 지지하는 로봇암 등의 수평 상태를 용이하게 측정 확인할 수 있도록 하는 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행함으로써 이루어지고, 이렇게 반도체소자로 형성되기까지의 웨이퍼는 각 공정간의 요구되는 위치로 이송되어 진다.
이러한 웨이퍼의 이송 관계에 있어서, 통상 동일한 공정을 수행하기 위한 복수개의 웨이퍼는 소정 단위 개수로 카세트에 수용되어 각 공정 설비로 이송되고, 이들 각 공정 설비에는 수용된 웨이퍼를 카세트로부터 인출하여 공정 수행 위치로 이송시키는 이송장치가 구비된다.
상술한 이송장치의 구성은 여러 형태의 것이 있으나 여기서는 카세트에 탑재되어 설비 내부에서 위치되는 웨이퍼를 공정 수행 위치로 또는 공정 수행위치에서 다시 카세트로 이송 위치시키도록 하는 웨이퍼 이송장치 구성에 대하여 설명하기로 한다.
종래 기술에 따른 웨이퍼 이송장치(10)의 구성을 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇 몸체(12)의 상부에는 제어기(도면의 단순화를 위하여 생략함)로부터 인가되는 제어신호에 따라 승·하강 및 회전 구동하는 지지축(도면의 단순화를위하여 생략함)이 구비된다.
이러한 지지축 상에는 일측 방향으로 수평한 상태를 이루며 장방형 형상으로 연장되게 설치되어 그 길이 방향으로 전·후진 신축 구동하는 로봇 암(14)이 설치된다.
또한, 로봇 암(14)의 길이 방향 일측 또는 양측 단부에는 위치되는 웨이퍼의 저면을 받쳐 지지하도록 하는 로봇 척(16a, 16b)이 구비되며, 이 로봇 척(16a, 16b)은 상술한 로봇 몸체(12)를 통해 외부의 진공압 제공수단과 연결되어 위치되는 웨이퍼의 저면을 진공압으로 흡착 고정하는 구성을 이룬다.
그리고, 로봇 몸체(12)의 상부 소정 위치에는, 로봇 몸체(12)와 지지축에 의해 지지되는 로봇 암(14)과 로봇 척(16a, 16b)의 수평 상태를 조절하기 위한 레벨 스크루(18)가 소정 간격으로 적어도 두 개 이상 설치된 구성을 이룬다.
이러한 웨이퍼 이송장치(10)에 있어서, 로봇 몸체(12)와 지지축에 지지되는 로봇 암(14) 및 로봇 척(16a, 16b)의 수평 레벨을 맞추기 위하여 수평 확인이 요구되는 부위에 대응하여 수평 레벨러(20)를 위치시켜 이를 기준하여 수평 레벨을 조절하게 된다.
이때 사용되는 수평 레벨러(20)의 구성은, 도 2에 도시된 바와 같이, 소정량의 수용을 수용하는 수용체(22)가 있고, 이 수용체(22)의 상부에는 수용된 수용액과 더불어 공기방울(D)이 밀폐된 분위기 하에 있도록 커버하며, 공기방울(D)의 위치가 확인 가능하도록 하는 돔 형상의 투명체(24)가 기밀 유지되게 구비된다.
또한, 투명체(24) 상에는 수용체(22) 내의 공기방울(D)의 위치됨을 보다 용이하게 확인할 수 있도록 직경을 달리하는 복수의 눈금(S)이 투명체(24)의 중심을 기준하여 배치 형성된다.
그리고, 상술한 수용체(22)의 하측 부위에는 공기방울(D)이 수평한 상태에서 투명체(24)의 상부 중앙에 있도록 그 기준을 제시하는 수평 받침판(26)이 구비된다.
이러한 구성의 수평 레벨러(20)를 이용하여 상술한 웨이퍼 이송장치(10)의 각 구성 부위에 위치시키며, 그 부위에서의 수평 상태를 확인토록 함과 동시에 이를 기준으로 상술한 레벨 스크루(18)를 조절토록 함으로써 웨이퍼 이송장치(10)의 수평을 조절하게 된다.
그러나, 상술한 바와 같이, 수평 레벨러(20)가 위치되는 부위가 각 구성의 수평을 확인할 수 있는 정확한 기준을 제시하지 못하는 경우 전체적인 수평 조절이 이루어지지 않아 웨이퍼 이송 과정에서 충돌 등의 문제를 야기하고, 이에 대하여 그 수평 조절을 다시 시행하게 됨으로써 작업의 번거로움이 있고, 또 그 수평 조절을 신뢰하기 어려운 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제를 해결하기 위한 것으로서, 수평한 상태가 요구되는 각 구성에 대하여 신뢰성 있고, 용이하게 수평 레벨을 조절할 수 있도록 함으로써 웨이퍼의 이송 과정에서 웨이퍼의 손상 및 파손됨을 방지토록 하고, 보다 용이하게 수평 조절이 이루어지도록 하여 그에 따른 작업시간을줄이도록 하는 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계를 개략적으로 나타낸 평면 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 각부 구성에 대하여 그 위치를 이동시키며 수평 상태를 확인하기 위한 레벨러의 구성으 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계를 개략적으로 나타낸 평면 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10, 30: 웨이퍼 이송장치 12: 로봇 몸체
14: 로봇 암 16a, 16b: 로봇 척
18: 레벨 스크루 20: 레벨러
22: 수용체24: 투명체
26: 수평 받침판
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치의 구성은, 로봇 몸체와; 상기 로봇 몸체의 상부에 구동하는 지지축으로 연결되어 회전과 승·하강 위치되고, 제어기로부터 인가되는 제어신호에 따라 길이 방향으로의 전·후진 구동하는 로봇 암과; 상기 로봇 암의 길이 방향 단부 부위에 고정되어 위치되는 웨이퍼의 저면을 받쳐 지지하도록 형성된 로봇 척을 포함하여 이루어진 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 로봇 몸체, 로봇 암, 로봇 척을 포함하여 수평 상태가 요구되는 각 구성 부위에 수평 레벨러가 구비되어 이루어짐을 특징으로 한다.
또한, 상술한 레벨러는 수용액이 소정량 수용되는 수용체와; 상기 수용체 상부에 돔 형상으로 기밀 유지되게 덮어 구비되어 상기 수용액과 더불어 소정 크기의 공기방울의 움직임 위치를 확인할 수 있도록 눈금을 갖는 투명체; 및 상기 수용체 하부를 받쳐 지지하며, 공기방울이 수평 위치에서 투명체의 중심에 있도록 그 기준을 제시하는 수평 받침판을 포함한 구성으로 이루어진다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치의 구성에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계를 개략적으로 나타낸 평면 구성도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하기로 한다.
본 발명에 따른 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치(30)의 구성은, 도 3에 도시된 바와 같이, 로봇 몸체(12)의 상부에는 제어기(도면의 단순화를 위하여 생략함)로부터 인가되는 제어신호에 따라 승·하강 및 회전 구동하는 지지축(도면의 단순화를 위하여 생략함)이 구비된다.
이러한 지지축 상에는 일측 방향으로 수평한 상태를 이루며 장방형 형상으로 연장되게 설치되어 그 길이 방향으로 전·후진 신축 구동하는 로봇 암(14)이 설치된다.
또한, 로봇 암(14)의 길이 방향 일측 또는 양측 단부에는 위치되는 웨이퍼의 저면을 받쳐 지지하도록 하는 로봇 척(16a, 16b)이 구비되며, 이 로봇 척(16a, 16b)은 상술한 로봇 몸체(12)를 통해 외부의 진공압 제공수단과 연결되어 위치되는 웨이퍼의 저면을 진공압으로 흡착 고정하는 구성을 이룬다.
그리고, 로봇 몸체(12)의 상부 소정 위치에는, 로봇 몸체(12)와 지지축에 의해 지지되는 로봇 암(14)과 로봇 척(16a, 16b)의 수평 상태를 조절하기 위한 레벨 스크루(18)가 소정 간격으로 적어도 두 개 이상 설치된 구성을 이룬다.
한편, 상술한 로봇 몸체(12) 상에는 그 제작 과정에서 수평한 상태를 확인할 수 있도록 하는 수평 레벨러(32)가 적어도 하나 이상이 그 확인이 용이한 위치에 각각 구비되어 있다.
여기서, 상술한 수평 레벨러(32)는, 종래 기술 설명에서 언급된 바와 같이, 소정량의 수용을 수용하는 수용체(22)가 있고, 이 수용체(22)의 상부에는 수용된수용액과 더불어 공기방울(D)이 밀폐된 분위기 하에 있도록 커버하며, 공기방울(D)의 위치가 확인 가능하도록 하는 돔 형상의 투명체(24)가 기밀 유지되게 구비된다.
또한, 투명체(24) 상에는 수용체(22) 내의 공기방울(D)의 위치됨을 보다 용이하게 확인할 수 있도록 직경을 달리하는 복수의 눈금(S)이 투명체(24)의 중심을 기준하여 배치 형성된다.
그리고, 상술한 수용체(22)의 하측 부위에는 공기방울(D)이 수평한 상태에서 투명체(24)의 상부 중앙에 있도록 그 기준을 제시하는 수평 받침판(26)이 구비된 것으로서, 상술한 수평 받침판(26)이 로봇 몸체(12) 및 다른 각 구성부의 수평 위치의 기준을 제시할 수 있도록 그 제작 과정에서 밀착되어 설치되어 이루어진다.
이러한 구성에 의하면, 웨이퍼 이송장치(30)의 제작 과정에서 각 구성의 수평 상태를 용이하게 확인할 수 있도록 하는 수평 레벨러(32)를 구비하게 됨으로써 별도의 다른 수평 레벨러(20)를 이용하지 않고도 신뢰성 있게 그 수평 상태를 확인할 수 있으며, 이를 통해 각 구성의 수평 레벨을 용이하게 조절할 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명에 의하면, 상술한 이송장의 각 구성의 교체함에 있어 각 구성의 수평 상태를 용이하게 확인할 수 있을 뿐 아니라 이상 발생 시에도 각 구성의 수평 상태를 용이하게 화인하며 그 수평 레벨을 조절할 수 있도록 함으로써 설치 및 교체 작업이 용이한 이점이 있다.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.

Claims (2)

  1. 로봇 몸체와;
    상기 로봇 몸체의 상부에 구동하는 지지축으로 연결되어 회전과 승·하강 위치되고, 제어기로부터 인가되는 제어신호에 따라 길이 방향으로의 전·후진 구동하는 로봇 암과;
    상기 로봇 암의 길이 방향 단부 부위에 고정되어 위치되는 웨이퍼의 저면을 받쳐 지지하도록 형성된 로봇 척을 포함하여 이루어진 웨이퍼 이송장치에 있어서,
    상기 로봇 몸체, 로봇 암, 로봇 척을 포함하여 수평 상태가 요구되는 각 구성 부위에 그 제작 과정에서 수평 위치를 확인할 수 있도록 하는 수평 레벨러가 구비되어 이루어짐을 특징으로 하는 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상술한 레벨러는 수용액이 소정량 수용되는 수용체와;
    상기 수용체 상부에 돔 형상으로 기밀 유지되게 덮어 구비되어 상기 수용액과 더불어 소정 크기의 공기방울의 움직임 위치를 확인할 수 있도록 눈금을 갖는 투명체; 및
    상기 수용체 하부를 받쳐 지지하며, 공기방울이 수평 위치에서 투명체의 중심에 있도록 그 기준을 제시하는 수평 받침판을 포함한 구성으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 레벨러가 구비된 웨이퍼 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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