KR20010058702A - 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈 - Google Patents

프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR20010058702A
KR20010058702A KR1019990066059A KR19990066059A KR20010058702A KR 20010058702 A KR20010058702 A KR 20010058702A KR 1019990066059 A KR1019990066059 A KR 1019990066059A KR 19990066059 A KR19990066059 A KR 19990066059A KR 20010058702 A KR20010058702 A KR 20010058702A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe card
probe
bridge
carrier
support frame
Prior art date
Application number
KR1019990066059A
Other languages
English (en)
Inventor
한동영
봉태근
허무용
김영선
박범욱
Original Assignee
서성원
(주)아이랩
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서성원, (주)아이랩 filed Critical 서성원
Priority to KR1019990066059A priority Critical patent/KR20010058702A/ko
Publication of KR20010058702A publication Critical patent/KR20010058702A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼를 테스트하기 위한 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈에 관한 것으로, 프로브 카드 교환기와 브리지를 하나의 모듈로 구현하여, 구조가 단순하고, 설치공간을 최소화기 위해, 길이방향으로 평행하게 설치된 지지 프레임; 상기 지지 프레임 상에 장착되는 가이드 수단; 상기 지지 프레임의 일측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여 링 캐리어 상의 프로브 카드를 교환하기 위한 프로브 카드 교환수단; 및 상기 지지 프레임의 타측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여, 반도체 웨이퍼가 고정된 척의 운동을 제어하여, 상기 링 캐리어 상에 장착된 프로브 카드와 척 상의 반도체 웨이퍼를 정렬시키는 수단을 포함한다.

Description

프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈{INTEGRATED MODULE HAVING PROBE CARD CHANGER AND BRIDGE OF PROBE APPARATUS}
본 발명은 반도체 생산라인에서 완성된 반도체 웨이퍼를 테스트하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지에 관한 것으로, 특히 프로브 카드 교환기와 브리지를 일체형으로 구현하여, 구조가 단순하고 설치공간을 최소화할 수 있는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하는 프로브 장치에는, 반도체 웨이퍼의 전기적인 특성을 검사하기 위한 프로브 카드가 착탈가능하게 장착되는 링 캐리어(ring carrier)와, 상기 링 캐리어 상으로 프로브 카드를 이송시키기 위한 프로브 카드 교환기와, 로드 포트로부터 웨이퍼를 이탈시켜 이송시키는 로봇암과, 상기 로봇암에 의해 이송된 상기 테스트될 반도체 웨이퍼를 진공흡착하는 척과, 상기 척의 운동을 제어하여 상기 척 상에 놓여진 반도체 웨이퍼를 정렬시키는 브리지가 구비되어 있다.
종래에는 상기한 프로브 카드 교환기와 브리지가 별도로 구비되어, 프로브 장비의 구조가 복잡하게 되고, 프로브 카드 교환기 및 브리지 모듈의 설치에 큰 공간이 필요하게 되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 프로브 카드 교환기와 브리지를 하나의 모듈로 구현하여, 구조가 단순하고, 설치공간을 최소화한 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈을 제공함에 그목적이 있다.
도1은 본 발명에 따른 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈의 일실시예 구성을 나타낸 평면도.
도2는 도1의 좌측면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 지지 프레임 20 : 가이드 레일
30 : 프로브 카드 교환기 32 : 프로브 카드 장착대
34 : 승강 실린더 36 : 제1캐리어
38 : 제1이송실린더 50 : 브리지
52 : 척 제어기 54 : 제2캐리어
56 : 제2이송실린더
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 길이방향으로 평행하게 설치된 지지 프레임; 상기 지지 프레임 상에 장착되는 가이드 수단; 상기 지지 프레임의 일측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여 링 캐리어 상의 프로브 카드를 교환하기 위한 프로브 카드 교환수단; 및 상기 지지 프레임의 타측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여, 반도체 웨이퍼가 고정된 척의 운동을 제어하여, 상기 링 캐리어 상에 장착된 프로브 카드와 척 상의 반도체 웨이퍼를 정렬시키는 수단을 포함하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈의 바람직한 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지를 일체로 구현하여, 구조가 단순하고, 그 설치공간을 최소화한 것으로, 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 지지 프레임(10)과, 상기 지지 프레임(10)의 서로 대향하도록 구비된 한 쌍의 가이드 레일(20)과, 상기 지지 프레임(10)의 일측부에 구비되며 두 가이드 레일(20) 상에 이동가능하도록 장착된 프로브 카드 교환기(30)와, 상기 지지 프레임(10)의 타측부에 구비되어 상기 가이드 레일(20) 상에 이동가능하도록 장착된 브리지(50)를 포함한다.
상기 프로브 카드 교환기(30)는 프로브 카드가 장착될 수 있도록 형성된 원판 형상의 프로브 카드 장착대(32)와, 상기 프로브 카드 장착대(32)를 상하이동시키는 승강 실린더(34)와, 상기 프로브 카드 장착대(32)를 장착한 상태로 가이드 레일(20) 상에 이동가능하도록 장착되는 제1캐리어(36)와, 상기 제1캐리어(36)에 이송력을 제공하는 제1이송실린더(38)를 구비한다. 상기한 구성의 프로브 카드 교환기(30)는, 제1이송실린더(38)가 동작하면, 상기 제1캐리어(36)가 가이드 레일(20)을 따라 이동하여 프로브 카드 장착대(32) 상의 프로브 카드를 링 캐리어(40)에 장착할 수 있는 위치로 이동시킨다.
또한, 상기 브리지(50)는 링 캐리어(40) 상의 프로브 카드와 척(60) 상에 고정된 반도체 웨이퍼의 정렬상태(예를 들어, 반도체 웨이퍼의 기울어짐과 비틀림 등)를 검사하여 상기 척(60)의 동작을 제어하는 신호를 발생시키는 척 제어기(52)와, 상기 척 제어기(52)를 장착한 상태로 가이드 레일(20) 상에 이동가능하도록 장착되는 제2캐리어(54)와, 상기 제2캐리어(54)에 이송력을 제공하는 제2이송실린더(56)를 구비한다. 상기한 구성으로 이루어진 브리지(50) 역시 프로브 카드 교환기(30)와 마찬가지로 제2이송실린더(56)의 동작에 의해 가이드 레일(20)을 따라 이동하여 링 캐리어(40) 상의 프로브 카드와 척(60) 상의 반도체 웨이퍼의 정렬상태를 검사할 수 있는 위치로 이동된다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈의 동작상태에 대해 설명하면 다음과 같다.
링 캐리어(40) 상의 프로브 카드를 교환할 필요가 있을 경우에는, 링캐리어(40) 상의 프로브 카드를 제거한 후, 제1이송실린더(38)가 동작하여 상기 카드 장착대(32)를 링 캐리어(40)의 하측으로 이동시킨다. 이때, 상기 링 캐리어(40)가 동작하여 카드 장착대(32) 상에 장착된 프로브 카드를 파지하므로써, 상기 프로브 카드의 교환이 이루어지게 된다.
그리고, 상기한 프로브 카드의 교환이 완료되면, 상기 프로브 카드 교환기(30)는 제1이송실린더(38)의 동작에 의해 본래의 위치로 되돌아와 다음작업을 대기한다.
또한, 상기 링 캐리어(40) 상에 장착된 프로브 카드와 척(60) 상에 고정된 반도체 웨이퍼를 정렬시킬 경우에는, 제2이송실린더(56)가 동작하여 척 제어기(52)를 상기 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 정렬상태를 검사할 수 있는 위치로 이동시킨다. 이때, 상기 척 제어기(52)는 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 정렬상태를 검사하고, 상기 척(60) 상의 반도체 웨이퍼와 링 캐리어(40) 상의 프로브 카드가 적절하게 정렬되도록 상기 척(60)을 동작시킨다. 그리고, 상기한 프로브 카드와 반도체 웨이퍼의 정렬이 완료되면, 상기 브리지(50)는 제2이송실린더(56)에 의해 본래의 위치로 되돌아와 다음작업을 대기하게 된다.
한편, 상기한 바와 같이 프로브 카드 교환기와 브리지의 동작시간이 서로 다르므로, 하나의 지지 프레임(10) 상에 장착되어 개별적으로 동작되더라도, 상기 프로브 카드 교환기와 브리지는 서로 충돌하지 않게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.
전술한 본 발명은, 프로브 카드 교환기와 브리지가 일체형으로 구현되므로, 구조가 단순해지고, 설치공간이 최소화되는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 길이방향으로 평행하게 설치된 지지 프레임;
    상기 지지 프레임 상에 장착되는 가이드 수단;
    상기 지지 프레임의 일측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여 링 캐리어 상의 프로브 카드를 교환하기 위한 프로브 카드 교환수단; 및
    상기 지지 프레임의 타측에 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동하여, 반도체 웨이퍼가 고정된 척의 운동을 제어하여, 상기 링 캐리어 상에 장착된 프로브 카드와 척 상의 반도체 웨이퍼를 정렬시키는 수단
    을 포함하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 수단은, 상기 지지 프레임 상에 서로 소정간격 이격되게 장착되는 한 쌍의 가이드 레일을 포함하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 프로브 카드 교환기는,
    상기 프로브 카드가 착탈가능하게 장착되는 프로브 카드 장착대;
    상기 프로브 카드 장착대가 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동가능하도록 구비된 제1캐리어;
    상기 제1캐리어 상에 장착되며, 상기 프로브 카드 장착대를 상하이동시키기 위한 승강수단: 및
    상기 제1캐리어에 이송력을 제공하는 제1이송실린더
    를 포함하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 정렬수단이,
    상기 척 상의 반도체 웨이퍼와 링 캐리어 상의 프로브 카드의 정렬상태를 검사하여, 상기 반도체 웨이퍼가 프로브 카드와 정렬되도록 상기 척의 운동을 제어하는 제어기;
    상기 제어기가 장착되며, 상기 가이드 수단 상에서 이동가능하도록 구비된 제2캐리어; 및
    상기 제2캐리어에 이송력을 제공하는 제2송실린더
    를 포함하는 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈.
KR1019990066059A 1999-12-30 1999-12-30 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈 KR20010058702A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990066059A KR20010058702A (ko) 1999-12-30 1999-12-30 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990066059A KR20010058702A (ko) 1999-12-30 1999-12-30 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20010058702A true KR20010058702A (ko) 2001-07-06

Family

ID=19633211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990066059A KR20010058702A (ko) 1999-12-30 1999-12-30 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20010058702A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030058367A (ko) * 2001-12-31 2003-07-07 (주) 쎄믹스 반도체 웨이퍼 프로버의 프로버 카드 교환 장치
KR100839620B1 (ko) 2007-03-23 2008-06-19 (주) 쎄믹스 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구
WO2016182352A1 (ko) * 2015-05-12 2016-11-17 (주)제이티 소자핸들러
KR102095388B1 (ko) * 2018-11-13 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 웨이퍼 검사 장치의 프로브 카드 교환 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030058367A (ko) * 2001-12-31 2003-07-07 (주) 쎄믹스 반도체 웨이퍼 프로버의 프로버 카드 교환 장치
KR100839620B1 (ko) 2007-03-23 2008-06-19 (주) 쎄믹스 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구
WO2016182352A1 (ko) * 2015-05-12 2016-11-17 (주)제이티 소자핸들러
KR20160133125A (ko) * 2015-05-12 2016-11-22 (주)제이티 소자핸들러
CN107533102A (zh) * 2015-05-12 2018-01-02 宰体有限公司 元件处理器
CN107533102B (zh) * 2015-05-12 2020-09-08 宰体有限公司 元件处理器
KR102095388B1 (ko) * 2018-11-13 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 웨이퍼 검사 장치의 프로브 카드 교환 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100800636B1 (ko) 기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억 매체
JP4123408B2 (ja) プローブカード交換装置
TW439164B (en) Apparatus and method for testing semiconductor devices formed on a semiconductor wafer
KR100479161B1 (ko) 센터링 장치 및 반도체 제조 장치
US9324602B2 (en) Substrate inverting apparatus and substrate processing apparatus
US8294480B2 (en) Inspection apparatus having alignment mechanism
CN110211889B (zh) 检查系统
KR20200120704A (ko) 콘택트 정밀도 보증 방법, 콘택트 정밀도 보증 기구, 및 검사 장치
KR19980063357A (ko) 아이씨 착탈장치 및 그 착탈 헤드
US20200096560A1 (en) Inspection apparatus, inspection system, and aligning method
KR100911337B1 (ko) 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 테스트핸들러
JP2010034482A (ja) 検査装置
US4950982A (en) Electric probing test machine
KR20010058702A (ko) 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈
US7458469B2 (en) Substrate transfer apparatus and method, and storage medium
JP2008235845A (ja) 処理装置
JP2651617B2 (ja) 板状物の載置装置
KR20020036834A (ko) 다수의 단자를 가진 기판의 전기 테스트용 장치
JP4104111B2 (ja) 被処理体の載置台及び被処理体の吸着方法
JPH0373551A (ja) チップトレイ
CN112534343B (zh) 用以在平面面板工具中快速装载基板的方法
KR20160114556A (ko) 어댑터 유닛 내장 로더실
JP4282379B2 (ja) ウエハ検査装置
KR20010043705A (ko) 워크 스테이션간에 웨이퍼당 이송을 위한 웨이퍼 버퍼스테이션과 방법
CN107356860A (zh) 一种电路板移载系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination