KR20160133125A

KR20160133125A - 소자핸들러

Info

Publication number: KR20160133125A
Application number: KR1020150065769A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2015-05-12
Filing date: 2015-05-12
Publication date: 2016-11-22
Also published as: KR102401058B1; TWI601965B; CN107533102A; TW201702618A; SG11201708899UA; WO2016182352A1; CN107533102B

Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 번인보드에 적재하거나 인출하는 소자핸들러에 관한 것이다. 본 발명은, 제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와; 제2소자들이 인출된 빈 자리에 제1소자가 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과; 상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와; 상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부를 포함하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러 {Sorting Apparatus for Semiconductor Device}

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 번인보드에 적재하거나 인출하는 소자핸들러에 관한 것이다.

반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.

이러한 반도체소자에 대한 검사들 중에는 번인테스트(Burn-in Test)가 있는데, 번인테스트는 번인보드에 다수의 소자들을 삽입하고, 이 번인보드를 번인테스트장치 내에 수납시켜 일정시간 동안 열이나 압력을 가한 뒤 소자에 불량이 발생하는지 판별하는 테스트이다.

번인테스트용 소자핸들러는 일반적으로 번인테스트를 마친 소자를 적재하고 있는 번인보드로부터 양품, 불량품 등 각 소자별 검사결과에 따라서 부여된 분류기준에 따라서 소자를 각 트레이로 분류(언로딩)하면서, 소자가 위치하고 있던 번인보드의 비어있는 자리(소켓)에 다시 번인테스트를 수행할 새로운 소자를 삽입(로딩)하는 장치를 말한다.

한편 상기와 같은 소자핸들러의 성능은 단위 시간당 소팅 개수(UPH: Units Per Hour)로 평가되며, UPH는 소자핸들러를 구성하는 각 구성요소 사이에서 소자의 이송, 번인보드의 이송에 소요되는 시간에 따라서 결정된다.

따라서 소자핸들러의 성능인 UPH를 높이기 위하여 각 구성요소의 구조 및 배치를 개선할 필요가 있다.

상기와 같이 UPH를 높이기 위한 소자핸들러로서, 한국 등록특허 제10-1133188호 및 한국 등록특허 제10-1177319호 등이 있다.

그런데 종래의 소자핸들러는, 소팅대상인 소자의 종류, 즉 규격이 달라질 수 있는데 이 경우 로딩부 및 언로딩부의 경우 해당 규격에 대응되는 트레이를 로딩하면 DC테스트부, 번인보드 상의 소켓프레스, 이동버퍼 등 장치 내에 해당 소자규격에 맞춰진 부재들은 사용자의 수작업에 의하여 일일이 교환되어야 하므로 교체작업이 번거로운 문제점이 있다.

특히 중량물이 설치된 장치의 내측으로 사용자가 접근하여 작업하여야 하므로 오작동에 의하여 작업자가 부상을 입을 수 있는 문제점이 있다.

한편 테스트 대상인 소자들 중, 외부 단자와의 결합을 위한 단자로서 측면으로 돌출된 리드 대신에 저면에 복수의 볼들이 설치된 소위, BGA 소자(비지에이 소자)이 있다.

그리고 비지에이 소자에 대한 검사는, 각각의 볼들에 대응되어 접촉되는 복수의 컨택핀, 소위 포고핀들이 설치된 소켓에 삽입되어 수행됨이 일반적이다.

이러한 비지에이 소자에 대한 테스트소켓은, 등록 실용신안 제20-0463425호에 개시되어 있다.

특히, 등록 실용신안 제20-0463425호는, 테스트소켓 상에 비지에이 소자의 로딩시 안내하도록 설치된 어댑터를 추가로 구비함으로써 컨택핀과 볼단자 사이의 정렬 상태를 항상 일정하게 유지하여 그 접속 상태를 일정하게 유지할 수 있어 소자에 대한 정확한 검사가 이루어지는 효과가 있다.

그런데, 등록 실용신안 제20-0463425호에 개시된 어댑터 구조는, 안정적인 소자의 로딩을 위하여 소자의 측면과 어댑터 간에 측면간격을 가져야 하는바, 이러한 측면간격으로 인하여 컨택핀과 볼단자 사이의 정렬 상태가 흐트러지는 문제점이 있다.

또한 테스트소켓으로부터 소자의 언로딩시 소자가 어댑터에 걸려 장치의 작동을 중지시켜 검사작업의 효율성을 저하시키는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 반도체칩과 같은 소자를 안정적으로 번인보드에 적재하거나 인출하는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와; 제2소자들이 인출된 빈 자리에 제1소자가 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과; 상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와; 상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부를 포함하는 소자핸들러를 개시한다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 소자를 안정적으로 신속하게 적재하거나 인출할 수 있는 이점이 있다.

특히 번인보드 등에 설치된 테스트 소켓에 대한 소자의 로딩시 정밀한 안착을 위하여 소켓프레스에 결합된 어댑터부재와 소자와의 오차가 최소화되는 것이 바람직하나, 어댑터부재와 소자와의 오차가 최소화되는 경우 소자의 언로딩시 걸리는 등 소자언로딩에 방해되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명에 따른 소자핸들러는, 소자의 로딩시에 사용되는 어댑터부재와 소자의 언로딩시에 사용되는 어댑터부재를 달리 사용함으로써 소자의 안정적인 로딩 또는 언로딩이 가능하고 신속한 소자의 로딩 또는 언로딩이 가능한 이점이 있다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우, 즉 달라진 규격의 소자가 담긴 트레이가 로딩되는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부, X-Y테이블 상의 소켓프레스, 및 버퍼부를 자동으로 교환하는 키트교환부를 포함함으로써 DC테스트부 등의 교체시간을 단축시킴으로써 처리속도를 현저하게 높일 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 소자핸들러의 일예를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 소자핸들러의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1의 소자핸들러의 제1이동버퍼들 및 제2이동버퍼들의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 1의 소자핸들러에서 X-Y테이블 및 번인보드의 이동과정을 보여주는 배치도이다.
도 5는 도 1의 소자핸들러에서 X-Y테이블 및 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서,
도 5a는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 최초로 번인보드를 교환하기 전의 상태를,
도 5b는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환한 후의 상태를,
도 5c 및 도 5d는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 도면들이다.
도 6은 도 1의 소자핸들러에서 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서,
도 6a는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를,
도 6b는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입되는 중간상태를,
도 6c는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입된 상태를,
도 6d는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출되는 중간상태를,
도 6e는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출된 상태를 보여주는 개념도들이다.
도 7은 보드로더의 구성을 보여주는 측면도이다.
도 8a는 도 1의 소자핸들러에서 변형된 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더를 보여주는 측단면도이다.
도 8b는 도 8a의 보드로더를 보여주는 측면도이다.
도 9는 도 2의 소자검사장치의 변형례를 보여주는 개념도이다.
도 10은 도 2의 소자검사장치에서 교환키트가 테스트부인 경우의 교환과정을 보여주는 개념도이다.
도 11은 도 10의 교환키트의 교환과정을 보여주는 일부 평면도이다.
도 12는, 본 발명의 변형된 제1실시예에 따른 소자핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 13은, 도 12의 소자핸들러의 변형예를 보여주는 평면도이다.
도 14는, 본 발명의 변형된 제2실시예에 따른 소자핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 15a 및 도 15b는, 도 14의 소자핸들러 중 제1이송툴 및 제2이송툴의 이송과정을 보여주는 일부 평면도들이다.

이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩부(100), 언로딩부(200), 소팅부(300) 및 소자(10)들을 이송하기 위한 복수개의 이송툴(510, 520, 530, 540, 550, 560, 570)들을 포함하여 구성된다.

상기 번인보드(20)는 번인테스트장치(미도시)에서 번인테스트를 거칠 수 있도록 제1소자(10)들이 적재되는 보드를 말하며, 고온 하에서 전기특성, 신호특성들에 대한 테스트가 가능하도록 소자(10)들이 각각 삽입되는 소켓들을 구비한다.

상기 번인보드(20)는 소자핸들러에 설치된 X-Y테이블(410)에 탑재되어 번인테스트를 마친 제2소자(10)들이 언로딩됨과 아울러 제1소자(10)들이 적재된다.

상기 X-Y테이블(410)은 제2소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)를 로딩하는 동시에 제1소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)를 언로딩하기 위하여 번인보드(20)를 한 구성으로서, 도 1, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 소자(10)의 교환을 수행할 번인보드(20)를 공급받거나 소자(10)의 교환을 마친 번인보드(20)를 배출하기 위하여 번인보드교환장치(미도시)를 포함한다.

그리고 상기 X-Y테이블(410)은 제1이송툴(530)에 의하여 번인보드(20)의 빈자리에 제1소자(10)들이 삽입되거나 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들이 인출될 수 있도록 X-Y테이블구동부(미도시)에 의하여 구동되어 번인보드(20)를 이동시키도록 구성된다.

상기 X-Y테이블구동부는 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)이 소자(10)들을 번인보드(20)로부터 인출하거나 적재하는데 용이하도록 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)과 연동하여 번인보드(20)가 로딩된 X-Y테이블(410)의 X-Y이동 또는 X-Y-θ이동 등 다양한 구성이 가능하다.

즉, 상기 X-Y테이블구동부는 제2이송툴(540)과 연동하여 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 인출함과 아울러 제1이송툴(530)과 연동하여 제1소자(10)들을 번인보드(20)의 빈자리로 삽입하도록 X-Y테이블(410)을 이동시키고 번인보드(20)에 제1소자(10)들의 삽입이 완료되면, X-Y테이블(410)을 번인보드 교환위치로 이동시키도록 구성될 수 있다.

한편 상기 X-Y테이블(410)은 본 발명에 따른 소자핸들러를 구성하는 본체(40)에 설치되며, 본체(40)는 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)이 소자(10)들을 번인보드(20)로부터 인출하거나 적재하기 위한 개구부(41)가 형성된 상판(42)을 포함할 수 있다.

그리고 상기 X-Y테이블(410)의 상측에는 번인보드(20)에서의 소자인출 및 적재의 편의를 위하여 번인보드(20)에 설치된 소켓을 가압하는 소켓프레스(45)가 설치된다.

상기 소켓프레스(45)는, 번인보드(20)의 소켓에 꼽힌 소자의 인출이 가능하도록 하거나 적재가 가능하도록 하며 번인보드(20)의 소켓 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩부(100)는 번인보드(20)에 적재될 다수개의 제1소자(10)들이 적재된 트레이(30)(이하 '로딩트레이'라 한다)들을 로딩하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

또한 상기 언로딩부(200)는 제2소자(10)들 중 양호한 소자(이하 '양품'이라 한다)들을 트레이(30)(이하 '언로딩트레이'라 한다)에 적재하여 언로딩하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩부(100) 및 언로딩부(200)는 도 2에 도시된 바와 같이, 각각 트레이(30)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일(110, 210)과, 트레이(30)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성됨이 일반적이다.

또한 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(200)는 설계조건에 따라 다양한 배치가 가능하나, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트부(170), 언로딩부(200), 소팅부(300), 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 등이 사이에 설치되도록 서로 평행하게 배치됨이 일반적이나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편 상기 로딩부(100)에서 트레이(30)로부터 제1소자(10)들이 인출된 후 빈 트레이(30)들은 트레이이송부(미도시)에 의하여 제2소자(10)들이 적재될 수 있도록 언로딩부(200)로 전달될 수 있다.

이때 트레이(30)에 소자(10)가 잔존할 수 있는바, 트레이(30)가 로딩부(100)에서 언로딩부(200)로 전달되기 전에 트레이(30)에 잔존하는 소자(10)들을 제거하기 위하여 트레이(30)를 회전시켜 잔존하는 소자(10)를 제거하는 트레이회전부(150)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 트레이회전부(150)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 언로딩부(200) 사이에서 트레이(30)의 이송경로 상에 설치되며 트레이이송부에 의하여 로딩부(100)로부터 트레이(30)를 전달받아 트레이(30)를 회전시킨 후 언로딩부(200)로 트레이(30)를 전달하도록 구성된다.

이때 상기 트레이회전부(150)의 일측에는 소팅부(300) 이외에 소팅부(300), 언로딩부(200) 등으로 빈 트레이(30)를 공급하거나 로딩부(100)로부터 빈 트레이(30)를 임시로 적재할 수 있는 빈트레이부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 양품의 제1소자(10)만을 번인보드(20)에 적재하기 위하여 번인보드(20)에 적재하기 전에 로딩부(100)들로부터 제1소자(10)들을 공급받아 소자(10)에 대한 DC특성과 같은 전기적 특성을 미리 테스트하기 위한 테스트부(170)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 테스트부(170)는 로딩부(100) 및 제1이동버퍼(600) 사이에 설치되어, 제1소자(10)들이 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의 소켓들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하며, 바람직하게는 가로방향으로 트레이(30)의 가로방향 개수와 동일한 수의 소켓들이 설치될 수 있다.

상기 테스트부(170)의 각 제1소자(10)에 대한 테스트결과는 후술하는 소팅부(300)에서 소팅하기 위한 데이터로 활용된다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 테스트부(170)의 테스트결과 불량으로 판정된 제1불량소자(10)들, 제2소자(10)들 중 분류가 필요한 제2불량소자(10)들을 분류하여 적재하기 위한 소팅부(300)를 포함할 수 있다.

상기 소팅부(300)는 그 배치 및 분류기준에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 각 분류기준(양호(Good), 불량1(Contact Reject), 불량2(DC Failure) 등)에 따라서 소자(10)가 적재되는 적정한 수의 트레이(30)-소팅트레이-들을 포함하며, 앞서 설명한 로딩부(100)의 구성과 유사한 구성을 가지거나 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(40)에 고정된 상태로 로딩부(100) 및 언로딩부(200) 사이에 배치될 수 있다.

또한 상기 소팅부(300)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 고정되어 설치되는 구성이외에, 로딩부(100) 및 언로딩부(200)의 구성과 유사하게 각각 트레이(30)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일과, 트레이(30)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 이송툴은 번인보드(20) 및 로딩부(100), 테스트부(170), 언로딩부(200), 소팅부(300), 후술하는 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 사이에서 소자(10)들을 이송하기 위한 구성으로 각 구성의 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 이송툴은 로딩부(100) 및 테스트부(170) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제3이송툴(510)과, 테스트부(170) 및 제1이동버퍼(600) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제4이송툴(520)과, 제2이동버퍼(700) 및 언로딩부(200) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제5이송툴(550) 및 상기 제1이동버퍼(600), 및 제2이동버퍼(700)와 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 하나 이상의 소팅툴(560, 570)을 포함할 수 있다.

또한 상기 이송툴(510, 520, 530, 540, 550, 560, 570)은 제1이동버퍼(600) 및 번인보드(20) 사이에서 로딩부(100)의 트레이(30)에 적재된 소자(10)들을 전달받아 번인보드(20)의 빈자리로 삽입하는 제1이송툴(530)과, 번인보드(20) 및 제2이동버퍼(700) 사이에서 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 이송하는 제2이송툴(540)을 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 번인보드(20)에 적재되는 소자(10)들의 배열은 로딩부(100) 등의 트레이(30)에 적재되는 소자(10)들의 배열과 서로 다르며, 번인보드(20) 상의 배열이 상대적으로 많다.

따라서 상기 번인보드(20)로 소자(10)를 이송하거나 인출하는 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 나머지 이송툴들과는 상대적으로 많은 수의 소자(10)들을 이송하도록 구성됨이 바람직하다. 예를 들면, 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 12×2로하고, 나머지 이송툴들은 8×1, 8×2 등으로 할 수 있다.

상기와 같이 이송툴들을 구성하는 경우 상대적으로 많은 수의 소자(10)들의 이송이 필요한 위치를 제외하고 상대적으로 적은 수의 이송이 필요한 위치에서 적은 수의 소자(10)들을 이송하는 이송툴의 사용이 가능해져 장치의 제조비용을 절감함과 동시에 장치의 크기 및 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.

한편 상기 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 번인보드(20) 상에서 소자(10)의 적재 및 인출이 번갈아 수행됨을 고려하여 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.

상기 제3이송툴(510) 및 제4이송툴(520) 또한 테스트부(170)를 사이에 두고 소자(10)를 이송하게 되므로 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.

또한 상기 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)의 픽커들의 가로방향 개수는 소자(10)의 효율을 고려하여 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)에서 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈(미도시)의 가로방향 개수와 같게 구성될 수 있다.

상기 소팅툴(560, 570)은 하나 또는 복수개로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)에서 불량 등으로 분류될 소자(10)들의 신속한 소팅을 위하여, 소팅툴(560, 570)은 도 1, 도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제1소팅툴(560)과, 제2이동버퍼(700) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제2소팅툴(570)로 구성될 수 있다.

상기 제1소팅툴(560)은, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이를 이동하면서 제1이동버퍼(600)에 담긴 소자(10) 중 DC테스트부(170)에서 불량으로 검사된 소자(10)를 소팅부(300)에 배치된 트레이들 중 DC불량으로 지정된 트레이에 적재하는 등 소팅툴이동영역에서 이동하면서 소자(10)를 이송할 수 있다.

한편, 상기 제1소팅툴(560)은, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이를 이외에, DC테스트부(170)까지 이동되도록 구성됨으로써, DC테스트부(170)에서 불량으로 검사된 소자(10)를 바로 소팅부(300)에 배치된 트레이들 중 DC불량으로 지정된 트레이에 적재할 수 있다.

이때 상기 제4이송툴(520)과의 이동간섭을 고려하여, DC테스트부(170)는 불량으로 검사된 소자(10)를 도면 상에서 하측으로 수평이동됨으로써 제1소팅툴(560)은, 제4이송툴(520)과의 이동간섭없이 소자(10)를 이송할 수 있다.

상기 제2소팅툴(570)은, 제2이동버퍼(700) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제2이동버퍼(700)에 담긴 소자(10)들 중 양품의 소자를 제외한 분류등급에 따라서 소자(10)를 소팅부(300)에 설치된 하나 이상의 트레이에 적재하는 등 소팅툴이동영역에서 이동하면서 소자(10)를 이송할 수 있다.

상기와 같이, 상기 소팅툴(560, 570)이 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)로 구성되면 보다 신속한 소자분류가 이루어질 수 있다.

한편, 상기 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)에 의하여 소팅부(300)의 트레이 상에 소자(10)가 바로 적재되는 경우 소팅부(300)의 트레이들 중 어느 하나의 트레이에 해당 분류등급의 소자가 모두 적재된 경우 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)의 소자 이송이 불가능한 경우가 발생될 수 있다.

이에, 상기 소팅부(300)는, 소팅부(300)의 트레이들 중 어느 하나의 트레이에 해당 분류등급의 소자가 모두 적재된 경우 트레이들 중 임시 적재를 위한 버퍼트레이를 구비하거나, 다른 분류등급의 트레이에 임시로 소자를 적재한 후에 분류등급의 소자가 모두 적재된 트레이가 새로운 트레이로 교체된 후 임시로 적재된 소자를 재적재하도록 구성될 수 있다.

한편 상기 이송툴들은 각각 끝단에 소자(10)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 X-Z, Y-Z 또는 X-Y-Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치를 포함하여 구성될 수 있다.

특히 상기 이송툴들은 픽커들이 일렬로 배치되거나, 12×2 등 복렬로 배치될 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 로딩부(100)로부터 제1소자(10)들을 번인보드(20)에 적재하거나 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 언로딩부(200)로 인출할 때 그 적재 및 인출속도를 향상시킬 수 있도록 로딩부(100) 및 번인보드(20) 사이, 번인보드(20) 및 언로딩부(200) 사이에 각각 설치되어 제1소자(10) 및 제2소자(10)들이 임시적재 및 전달하는 제1이동버퍼(600)들 및 제2이동버퍼(700)들을 포함할 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)는 본체(40)에 이동가능하게 설치되어 번인보드(20)와 소자를 교환하는 소자교환위치③, 로딩부(100) 또는 언로딩부(200)와 소자를 교환하는 소자교환위치① 및 소팅부(300)와 소자를 교환하는 소팅위치②를 이동하면서 소자(10)의 교환이 끊김없이 원활하게 이루어지도록 함으로써 소팅작업속도를 현저하게 향상시킬 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600)는 테스트부(170)로부터 제1소자(10)들을 제2이송툴(540)에 의하여 전달받아 적재하는 로딩위치(소자교환위치) ①과, 제1불량소자(10)들을 소팅부(300)의 소팅트레이(30)로 소팅툴(560, 570)에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제1불량소자(10)들이 제거된 나머지 제1소자(10)들을 후술하는 제3이송툴(510)에 의하여X-Y테이블(410)의 번인보드(20)에 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③으로 이동하도록 구성된다.

상기 제1이동버퍼(600)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 각각 소자(10)들이 적재되는 소자수용부(610)와, 소자수용부(610)를 본체(40)에 이동가능하게 지지하는 가이드부재(620)와, 가이드부재(620)을 통하여 소자수용부(610)를 이동시키는 이동장치(미도시)를 포함하여 구성된다.

상기 소자수용부(610)는 적재위치 ③에서 보다 많은 수의 소자(10)들이 적재될 수 있도록 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수가 트레이(30)에 소자(10)를 적재하기 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수보다 많은 것이 좋다.

여기서 상기 소자수용부(610)는 소자(10)들의 적재를 위한 구성으로서, 소자(10)들이 직접 적재되도록 구성되거나, 소팅 대상인 소자(10)의 종류에 따라서 크기가 달라질 수 있는바 소자수용홈들이 형성된 별도의 수용부재(610a)를 포함할 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600)들은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 각 위치(①, ②, ③)들에서 동시에 과정이 수행될 수 있도록 3개로 구성됨이 바람직하다. 이때 상기 가이드부재(620)는 이동시 다른 가이드부재(620)와 간섭되지 않도록 구성된다.

즉, 상기 제1이동버퍼(600)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(621)에 지지되어 수평 이동하는 제1소자수용부(611)와, 제2가이드부재(622)에 지지되어 수평 이동하는 제2소자수용부(612)와, 제3가이드부재(623)에 지지되어 수평 이동하는 제3소자수용부(613)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들은 각 소자수용부(611, 612, 613)들이 수평이동될 수 있도록 가이드하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(621)는 본체(40)의 설치된 지지부재(640)의 상부, 즉 상단에 설치되고, 제2가이드부재(622)는 지지부재(640)의 중간부분, 즉 중간에 설치되고, 제3가이드부재(623)은 지지부재(640)의 하측, 즉 하단에 또는 본체(40)의 상판(42)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들은 소자수용부(620)을 안정적으로 지지할 수 있도록 쌍을 이루어 구성될 수 있다.

한편 상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들을 수평이동시키는 이동장치(630)는 구동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들을 각각 수평이동시키는 제1 내지 제3이동장치(631, 632, 633)들을 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 내지 제3이동장치(631, 632, 633)들은 각각 회전력을 발생시키는 모터와, 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들과 결합되는 벨트, 특히 타이밍벨트 및 풀리의 조합에 의하여 구성될 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 제1이동버퍼(600)의 작동을 상세히 설명하면 다음과 같다.

상기 제1이동버퍼(600)들은 로딩위치 ①에서, 로딩과정 즉, 테스트부(170)로부터 제1소자(10)들이 소자수용부(610)로 로딩된다. 이때 소자수용부(610)로 로딩되는 제1소자(10)들은 테스트부(170)에서 불량으로 판정된 제1불량소자(10)들이 포함된바 이를 선별할 필요가 있다.

따라서 상기 제1이동버퍼(600)들은 로딩위치 ①에서 소자(10)들의 로딩이 완료된 후에 제1불량소자(10)들을 선별하기 위하여 소팅위치 ②로 이동한다.

상기 제1이동버퍼(600)가 소팅위치 ②에 위치되면, 제1소팅과정 즉, 이송툴에 의하여 제1불량소자(10)들이 소자수용부(610)에서 소팅부(300)로 이송된다. 이때 각 제1불량소자(10)들은 그 불량기준에 따라서 소팅부(300)의 트레이(30)에 적재된다.

여기서 상기 소팅위치 ②에서 소자수용부(610) 중 제1불량소자(10)들이 제거된 자리에는 테스트부(170)의 테스트 결과 양품으로 판정된 소자(이하 '제1정상소자'자라 한다)(10)들이 미리 적재된 제1고정버퍼(미도시)로부터 제1정상소자(10)들로 채워질 수 있다-버퍼링과정.

한편 상기 제1고정버퍼는 본체(40)에 설치되어 테스트 결과 제1정상소자(10)들이 미리 적재되어 있으며, 최초 또는 작동 중에 비워진 경우 제1이동버퍼(600)가 소팅위치 ②에 위치된 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610)에 제1정상소자(10)들이 적재될 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600)에서 제1소팅과정이 모두 완료되면 소팅위치 ②에서 적재위치 ③으로 이동한다. 그리고 제1이동버퍼(600)에 적재된 제1정상소자(10)들은 이송툴에 의하여 번인보드(20)에 적재되는 적재과정이 수행된다.

그리고 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610)가 모두 비워지면 제1소자(10)들이 적재될 수 있도록 적재위치 ③에서 로딩위치 ①로 이동하여 로딩과정이 다시 수행된다.

상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 구성으로서, 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 전달받아 제2이송툴(540)에 의하여 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③과, 제2불량소자(10)들을 소팅부(300)의 트레이(30)-소팅트레이-로 이송툴에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제2불량소자(10)들이 제거된 나머지 제2소자(10)들을 제5이송툴(550)에 의하여 트레이(30)-언로딩트레이-에 적재하는 언로딩위치(소자교환위치) ①로 반복하여 이동하도록 구성된다.

상기와 같은 구성을 가지는 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(700)와 유사한 구성을 가지며, 도 3에 도시된 바와 같이, 소자(10)들이 적재되는 소자수용부(710)와, 소자수용부(710)를 본체(40)에 이동가능하게 지지하는 가이드부재(720)와, 가이드부재(720)를 통하여 소자수용부(710)를 수평이동시키는 이동장치(730)를 포함하여 구성된다.

상기 소자수용부(710)는 적재위치 ③에서 보다 많은 수의 소자(10)들이 적재될 수 있도록 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수가 트레이(30)의 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향 개수보다 많은 것이 좋다.

여기서 상기 소자수용부(710)는 소자(10)들의 적재를 위한 구성으로서, 소자(10)들이 직접 적재되도록 구성되거나, 소팅 대상인 소자(10)의 종류에 따라서 크기가 달라질 수 있는바 소자수용홈들이 형성된 별도의 수용부재(610a)로 구성될 수 있다.

상기 제2이동버퍼(700)는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 각 위치(①, ②, ③)들에서 과정이 수행될 수 있도록 3개로 구성됨이 바람직하다. 이때 상기 가이드부재(720)는 이동시 다른 가이드부재(720)와 간섭되지 않도록 구성된다.

*즉, 상기 제2이동버퍼(700)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(721)에 지지되어 수평 이동하는 제1소자수용부(711)와 제2가이드부재(722)에 지지되어 수평 이동하는 제2소자수용부(712)와 제3가이드부재(723)에 지지되어 수평 이동하는 제3소자수용부(713)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들은 각 버퍼(711, 712, 713)들이 수평 이동될 수 있도록 가이드하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(721)는 본체(40)의 설치된 지지부재(740)의 상부, 즉 상단에 설치되고, 제2가이드부재(722)는 제1가이드부재(721)의 지지부재(740)의 중간부분, 즉 중단에 설치되고, 제3가이드부재(723)는 지지부재(740)의 하부, 즉 하단에 또는 본체(40)의 상판(42)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들은 소자수용부(720)를 안정적으로 지지할 수 있도록 쌍을 이루어 구성될 수 있다.

한편 상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들을 수평이동시키는 이동장치(730)는 구동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들을 각각 수평이동시키는 제1 내지 제3이동장치(731, 732, 733)들을 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 내지 제3이동장치(731, 732, 733)들은 각각 회전력을 발생시키는 모터와, 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들과 결합되는 벨트, 특히 타이밍벨트 및 풀리의 조합에 의하여 구성될 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 방식으로 작동하며, 적재위치 ③에서 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들이 소자수용부(710)에 적재되는 적재과정과, 소팅위치 ②에서 제2불량소자(10)들을 소팅부(300)로 이송하는 제2소팅과정과, 언로딩위치 ①에서 나머지 제2소자(10)들을 언로딩부(200)의 트레이(30)로 이송하는 언로딩과정을 수행하게 된다.

상기 적재과정에서는 제1이동버퍼(600)에서 적재되는 소자(10)들의 개수와 동일한 개수의 소자들, 예를 들면 12×2와 같이 배열된 소자들을 한꺼번에 이송한다.

상기 제2소팅과정에서는 이송툴에 의하여 제2불량소자(10)들이 소자수용부(710)에서 소팅부(300)로 이송된다. 이때 각 제2불량소자(10)들은 그 불량기준에 따라서 소팅부(300)의 트레이(30)에 적재된다.

여기서 상기 소팅위치 ②에서 소자수용부(710) 중 제2불량소자들이 제거된 자리에는 제2정상소자(10)들이 미리 적재된 제2고정버퍼(미도시)로부터 제2정상소자(10)들이 채워질 수 있다-버퍼링과정.

한편 상기 제2고정버퍼는 본체(40)에 설치되어 제2정상소자(10)들이 미리 적재되어 있으며, 최초 또는 작동 중에 비워진 경우 제2이동버퍼(700)가 소팅위치 ②에 위치된 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)에 제2정상소자(10)들이 적재될 수 있다.

도 5는 도 1의 소자핸들러에서 X-Y테이블 및 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서, 도 5a는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를, 도 5b는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환한 후의 상태를 보여주는 도면들이고, 도 6은 도 1의 소자핸들러에서 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서, 도 6a는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를, 도 6b는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입되는 중간상태를, 도 6c는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입된 상태를, 도 6d는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출되는 중간상태를, 도 6e는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출된 상태를 보여주는 개념도들이고, 도 7은 보드로더의 구성을 보여주는 측면도이다.

한편 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)에서 제1소자(10) 및 제2소자(10)의 교환이 완료되면 X-Y테이블(410)은 보드로더(800)와 제2소자(10)들이 적재된 새로운 번인보드(20)와 교환한다.

그런데 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)가 교환될 때, 제1소자(10)의 로딩 및 제2소자(10)의 언로딩이 중지되므로 소자(10)의 로딩 및 언로딩은 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20) 교환시간만큼 지체된다.

따라서 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20) 교환시간을 단축하게 되면 그만큼 소자핸들러의 처리속도, 소위 UPH를 향상시킬 수 있는 바, 본 발명에 따른 소자핸들러는 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20) 및 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 번갈아 임시로 저장하며, X-Y테이블(410)의 제1소자(10)가 삽입된 번인보드(20)를 다수개의 번인보드(20)들이 적재된 보드로더(800)의 제2소자(10)가 삽입된 번인보드(20)와 교환하는 번인보드교환버퍼부(420)를 추가로 포함한다.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800) 및 X-Y테이블(410) 사이에 설치되어 번인보드(20)를 중개하는 구성으로서, 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 장치의 구성에 따라서 본체(40), 특히 X-Y테이블(410)의 이동영역 중 최외단의 일측 또는 보드로더(800)의 내부에 설치될 수 있다.

한편 상기 번인보드(20)의 교환시간을 단축시킬 수 있도록, X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)는 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20) 및 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 동시에 교환하는 것이 바람직하다.

그리고 번인보드(20)의 동시교환을 위하여 상기 X-Y테이블(410)은 상하로 번인보드(20)가 안착되는 한 쌍의 번인보드안착부(411)와, 한 쌍의 번인보드안착부(411) 사이에서 상측 및 하측 중 적어도 일방향으로 번인보드안착부(411)에 안착된 번인보드(10)를 이동시키는 번인보드승강부(412)를 포함하여 구성될 수 있다.

이때, 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)의 번인보드안착부(411)에 대응되어 상하로 번인보드(20)가 안착되는 한 쌍의 번인보드버퍼부(421)들을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 번인보드버퍼부(421)는 번인보드(20)가 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 후술하는 제1핑거부(441), 제2핑거부(442) 등의 이동에 간섭되지 않도록 구성되는 것이 바람직하다.

한편 상기 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420) 사이에서의 번인보드(20)의 이송은 도 5a 내지 도 5d에 도시된 바와 같이, 제1핑거부(441) 및 제2핑거부(442)에 의하여 이루어지며, 제1핑거부(441) 및 제2핑거부(442)의 구성 및 설치 위치는 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능한다.

상기와 같은 구성을 가지는 상기 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420) 사이에서의 번인보드(20)의 교환과정은 각 구성에 따라서 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 그 일례를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

최초에 상기 X-Y테이블(410)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다. 이때 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)가 번인보드(20)가 상하로 배치될 수 있는 구성을 가지는 경우 상측 또는 하측 중 어느 하나에서 X-Y테이블(410)은 번인보드교환버퍼부(420)로부터 번인보드(20)를 공급받을 수 있으며, 특히 도 6d 및 도 6e에 도시된 바와 같이, 상측에서 공급받는 것이 바람직하다.

상기 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받은 X-Y테이블(410)은 개구부(41)를 통하여 제2소자(10)가 언로딩 및 제1소자(10)가 로딩될 수 있도록 X-Y방향으로 구동된다.

상기 제2소자(10)의 언로딩 및 제1소자(10)의 로딩을 위하여 X-Y테이블(410)이 이동할 때 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다.

그리고 제2소자(10)의 언로딩 및 제1소자(10)의 로딩이 완료되면 제1소자(10)가 적재된 번인보드(20)는 도 5c에 도시된 바와 같이, 제2소자(10)들이 적재된 다른 번인보드(20)를 공급받기 위하여 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동한다.

이때 상기 X-Y테이블(410)이 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동하면서 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)는 도 5c에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)와의 번인보드(20) 교환을 위하여 번인보드승강부(412)에 의하여 하측으로 이동한다.

한편 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동한 X-Y테이블(410)은 도 5d에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)의 상측에 위치된 번인보드(20)를 공급받게 되며, 이때 X-Y테이블(410)의 하측에 위치된 번인보드(20)는 번인보드교환버퍼부(420)의 하측에 위치된 번인보드버퍼부(421)로 이동된다.

그리고 X-Y테이블(410) 및 번인보드교환버퍼부(420) 사이의 번인보드(20) 교환은 그 교환시간을 단축시키기 위하여 동시에 이루어지는 것이 바람직하다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 번인보드(20)를 지속적으로 공급받을 수 있도록 일측에 설치된 보드로더(800)를 포함한다.

상기 보드로더(800)는 제2소자(20)들이 삽입된 번인보드(20)들을 적재하여 로딩함과 아울러 제1소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)들을 순차적으로 적재하여 번인테스트로 이송하기 구성, 즉 X-Y테이블(410)과 번인보드(20)를 지속적으로 교환하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 랙(50)들 중 어느 하나의 번인보드(20)들 모두에 제1소자(10)들이 적재되면, 제1소자(10)들의 적재가 완료된 랙(50)은 언로딩될 제2소자(10)들을 적재하고 있는 다른 랙(50)과 교체된다.

그런데 상기 X-Y테이블(410) 등은 보드로더(800)에서 랙(50)이 교체가 완료되어 새로운 번인보드(20)를 공급받을 때까지 대기하여야 하므로 그만큼 소자핸들러의 처리속도가 저하되는 문제점이 있다.

이에 본 발명에 따른 소자핸들러의 보드로더(800)는 도 7에 도시된 바와 같이, 번인보드(20) 상의 소자(10)의 로딩 및 언로딩에 영향을 주지 않고 랙(50)을 교환할 수 있도록, X-Y테이블(410)의 Y축방향으로 배치되어 다수개의 번인보드(20)들이 적재된 랙(50)이 복수개의 단으로 적재되는 한 쌍의 랙적재부(810)와 한 쌍의 랙적재부(810) 사이에 설치되어 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 랙(50)을 상하이동시키는 엘리베이터부(820)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 랙적재부(810)는 랙(50)이 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

특히 상기 랙적재부(810)는 한 쌍으로 구성되어 엘리베이터부(820)를 중심으로 엘리베이터부(820)의 양측에 설치됨이 바람직하다.

상기 엘리베이터부(820)는 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 상하로 이동시키면서 X-Y테이블(410), 번인보드교환버퍼부(420)가 구비된 경우 번인보드교환버퍼부(420)와 번인보드(20)를 교환하도록 구성된다.

한편 상기 보드로더(800)는 한 쌍의 랙적재부(810)에 대응되어 랙적재부(810) 각각에 적재된 랙(50)을 인출하기 위한 한 쌍의 랙인출부(830)를 포함한다.

상기 랙인출부(830)는 랙적재부(810)로부터 엘리베이터부(820)의 지지부(821)로 랙(50)을 인출하거나, 반대로 엘리베이터부(820)로부터 랙적재부(810)로 랙(50)을 적재하도록 구성된다.

상기와 같은 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이에서의 번인보드(20)의 교환과정은 각 구성에 따라서 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 그 일례를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

최초에 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 도 6c 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 보드로더(800)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다. 이때 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)가 번인보드(20)가 상하로 배치될 수 있는 구성을 가지는 경우 상측 또는 하측 중 어느 하나에서 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800)로부터 번인보드(20)를 공급받을 수 있으며, 특히 X-Y테이블(410) 및 번인보드교환버퍼부(420) 사이의 보드교환을 고려하여 상측에서 공급받는 것이 바람직하다.

즉, 상기 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)는 보드로더(800)로부터 인출되어 번인보드교환버퍼부(420)의 상측에 위치된 번인보드버퍼부(421)를 거쳐 X-Y테이블(410)의 상측에 위치된 번인보드안착부(411)로 전달되며, 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20)는 X-Y테이블(410)의 하측에 위치된 번인보드안착부(411)를 거쳐 보드로더(800)로 배출된다.

한편 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)과의 보드교환을 마친 후 보드로더(800)와는 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같은 과정을 거쳐 번인보드(20)를 교환한다.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)로부터 전달받은 번인보드(20), 특히 하측에 위치된 번인보드버퍼부(421)에 안착된 번인보드(20)를 보드로더(800)의 랙(50)의 빈자리로 인입시킨다. 여기서 상기 랙(50)은 번인보드(20)가 인입 또는 인출될 수 있도록 엘리베이터부(820)에 의하여 승하강되며 번인보드(20)의 원활한 교환을 위하여 가장 최상측 또는 최하측 중 적어도 하나는 번인보드(20)가 채워지지 않는 것이 바람직하다.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 제2소자(10)가 적재된 새로운 번인보드(20)를 랙(50)으로부터 인출한다. 여기서 상기 번인보드(20)는 랙(50)으로부터 인출되어, 번인보드교환버퍼부(420), 특히 상측에 위치된 번인보드버퍼부(421)에 안착된다.

상기와 같은 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이의 번인보드(20)의 교환과정은, 도 6a 내지 도 6d에 도시된 바와 같이, 번인보드(20)가 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이에서의 하나 이상의 서브핑거(443, 444)들에 의하여 이송되어 이루어진다.

이때 상기 서브핑거(443, 444)들은 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이의 이동구간을 각 서브핑거(443, 444)들에 대응되는 복수개의 서브이동구간에서 번인보드(20)를 이송하도록 구성될 수 있다.

도 8a는 도 1의 소자핸들러에서 변형된 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더를 보여주는 측단면도이고, 도 8b는 도 8a의 보드로더를 보여주는 측면도이다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 보드로더(800)가 랙(50)을 상하로 이동시키는 엘리베이터부의 구성을 설치하지 않고 랙(50)만이 적재되는 랙적재부(810)만으로 구성하고, 각 랙적재부(810)에 적재된 랙(50)으로부터 번인보드(20)를 인출할 수 있도록 번인보드교환버퍼부(420)가 상하좌우로 이동되도록 구성될 수 있다.

즉, 상기 보드로더(800)은 도 8b에 도시된 바와 같이, 복수개의 랙(50)들, 본 실시예에서는 9개의 랙(50)들이 적재될 수 있는 랙적재부(810)들로 구성될 수 있다.

그리고 본 발명에 따른 소자핸들러는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)의 수직 및 수평이동을 위한 교환버퍼구동부(430)을 추가로 포함할 수 있다.

상기 교환버퍼구동부(430)는 각 랙적재부(810)에 적재된 랙(50)으로부터 번인보드(20)를 인출할 수 있도록 번인보드교환버퍼부(420)가 상하좌우, 즉 수직 및 수평이동을 구동하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 교환버퍼구동부(430)는 그 일예로서, 보드로더(800)에 적재된 랙(50)의 상하를 기준으로 번인보드교환버퍼부(420)의 상하이동을 구동하는 제1구동부(432) 및 보드로더(800)에 랙(50)이 배치된 수평방향을 기준으로 번인보드교환버퍼부(420)의 수평이동을 구동하는 제2구동부(431)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1구동부(432) 및 제2구동부(431)는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)를 지지하도록 설치되어 스크류잭, 또는 선형이동장치 등으로 구성되어 번인보드교환버퍼부(420)가 상하방향 및 수평방향으로 이동하도록 구동한다.

상기와 같은 구성에 의하여 본 발명에 따른 소자핸들러는 랙(50)이 고정된 상태에서 번인보드교환버퍼부(420)를 상하좌우로 이동시켜 번인보드(20)를 인출함으로써 번인보드(20)를 인출시간을 줄여 소자핸들러의 처리속도를 현저히 높일 수 있다.

또한 상기 번인보드교환버퍼부(420)를 상하좌우로 이동시키도록 구성함으로써 보드로더(800)의 구성에서 엘리베이터부의 설치를 요하지 않아 보드로더(800)의 구성을 간단화 할 수 있으며 보드로더(800)에 적재되는 랙(50)의 숫자를 늘려 랙(50)의 교체주기가 길어져 작업효율을 향상시킬 수 있다.

한편 상기 번인보드교환버퍼부(420) 및 교환버퍼구동부(430)는 보드로더(800)와 함께 하나의 보드로더모듈로도 구성이 가능하다.

한편 상기와 같은 구성을 가지는 소자핸들러는, 소팅대상인 소자의 종류, 즉 규격이 달라질 수 있는데 이 경우 로딩부(100) 및 언로딩부(200)의 경우 해당 규격에 대응되는 트레이(30)를 로딩하면 DC테스트부(170), 번인보드(20) 상의 소켓프레스(45), 버퍼부(600, 700) 등 장치 내에 해당 소자규격에 맞춰진 부재들은 사용자의 수작업에 의하여 일일이 교환되어야 하므로 교체작업이 번거로운 문제점이 있다.

이에 본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스(45), 및 버퍼부(600, 700) 등 중 적어도 일부를 자동으로 교환하는 키트교환부(900)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 키트교환부(900)는, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스(45), 및 버퍼부(600, 700) 등 중 적어도 일부를 자동으로 교환하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

여기서 교환대상인 교환키트는, DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스, 및 버퍼부(600, 700) 등이 될 수 있다.

여기서 버퍼부(600, 700)의 경우 교환키트는, 버퍼부전체보다는, 버퍼부의 일부를 구성하는 소자수용부(610, 710), 제1고정버퍼 및 제2고정버퍼 등이 될 수 있다.

상기 키트교환부(900)는, 도 10에 도시된 바와 같이, 구체적인 예로서, 교환될 교환키트의 임시 저장이 가능한 버퍼공간(910)이 설치된 본체부(901)과, 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 버퍼공간(920)에 임시 저장하고 새로운 교환키트로 교환하는 교환부(930)를 포함할 수 있다.

상기 본체부(901)는, 교환될 새로운 교환키트가 하나 이상 적재되며 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 적재할 빈 공간이 포함하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

그리고 상기 본체부(901)는, 교환키트의 교환의 편의를 위하여 상하로 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.

상기 교환부(930)는, 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 버퍼공간(920)에 임시 저장하고 새로운 교환키트로 교환하는 구성으로 교환키트의 종류 및 구성, 교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

이때, 교환키트의 교환의 편의를 위하여 본체(40)에는 교환키트의 선형이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드레일(902)이 설치됨이 바람직하다.

또한 교환키트 중 DC테스트부(170)의 경우 전기적 연결이 필요한바, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, DC테스트부(170)의 이동방향으로 삽입되며 DC테스트부(170)와 전기적 연결을 위한 전기연결부(171)가 본체(40)에 설치될 수 있다.

상기 전기연결부(171)은, DC테스트부(170)에 의한 DC테스트가 가능하도록 DC테스트부(170)와 전기적으로 연결되는 구성으로서, 하나 이상의 단자부재로 구성될 수 있다.

또한 교환키트 중 버퍼부(600, 700)의 경우 버퍼부(600, 700)의 구성 및 위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 버퍼부(600, 700)는, 소자를 임시로 적재하는 구성으로 다양한 위치에 다양한 숫자 및 이동가능 또는 고정된 상태로 본체(40)에 설치될 수 있다.

일예로서, 상기 버퍼부(600, 700)는, 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700), 하나 이상의 고정버퍼 등을 포함할 수 있다.

이때 상기 교환키트는, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710), 하나 이상의 고정버퍼가 될 수 있다.

그리고 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)의 교환은, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)의 선형이동방향을 따라서 각각 이루어지고, 하나 이상의 고정버퍼의 교환(단, 교환버퍼가 설치되지 않은 경우도 있음)은 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(600)의 끝단 중 적어도 어느 하나에서 이루어질 수 있다.

또한 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 및 하나 이상의 고정버퍼(단, 교정버퍼가 설치되지 않을 수 있음)의 교환은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 중 어느 하나의 선형이동방향을 따라서 도입되고, 고정버퍼(고정버퍼가 설치된 경우)를 거쳐 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 중 나머지 하나의 선형이동방향으로 배출될 수 있다.

한편, 상기 키트교환부(900)는, 로딩부(100), 언로딩부(200)의 배치방향을 기준으로 소팅부(300)와 대향되는 위치에서 본체(40)에 인접되어 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.

상기와 같이, 상기 키트교환부(900)가 로딩부(100), 언로딩부(200)의 배치방향을 기준으로 소팅부(300)와 대향되는 위치에서 본체(40)에 인접되어 이동가능하게 설치되는 경우 교환키트의 교환 및 작업자에 의한 교환이 보다 용이해지며 장치가 컴팩트하게 구성될 수 있게 된다.

한편, 소자의 종류가 다양해 지면서, 교환될 교환키트가 복수개 설치됨이 바람직한바 이의 교환을 위하여, 본체부(901)와는 별도로 교환될 복수의 교환키트들이 적재된 교환키트적재부(910)가 소자핸들러에 분리된 상태로 이동가능하게 추가로 설치될 수 있다.

상기 교환키트적재부(910)는, 교환될 교환키트가 복수개 설치됨이 바람직한바 이의 교환을 위하여, 본체부(901)와는 별도로 교환될 복수의 교환키트들이 적재되며 소자핸들러에 분리된 상태로 이동가능하게 추가로 설치됨으로써 키트교환부(900)의 구성을 간소화하면서 장치의 공간사용효율을 극대화할 수 있게 된다.

즉, 상기 키트교환부(900) 및 교환키트적재부(910)는, 교환키트의 교체를 요할 때만 소자핸들러로 이동하여 교환키트를 교환함으로써 전체 구성을 간소화하면서 장치의 공간사용효율을 극대화할 수 있게 된다.

한편, 본 발명은, 도 1에 도시된 소자핸들러의 다양한 변형이 가능하다.

일예로서, 본 발명에 따른 제1변형례에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 소자핸들러의 구성에서, 도 12에 도시된 바와 같이, 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되어 번인보드(20)에 적재될 다수개의 빈 트레이(30)들을 로딩하기 빈트레이공급부(80)를 포함할 수 있다.

여기서 DC테스트부(170)는, 도 12에 도시된 바와 같이, 포함되지 않거나, 도 13에 도시된 바와 같이 포함될 수 있다.

본 발명에 따른 제1변형례에 따른 소자핸들러는, 번인보드(20) 상에 소자(10)를 적재하는 기능만을, 또는 소자(10)를 번인보드(20)로부터 인출하여 트레이(30)에 적재하는 기능만을 수행할 수 있다.

이러한 기능의 수행을 위하여, 로딩부(100) 및 언로딩부(200)는 모두 소자(10)가 적재된 상태의 트레이(30)를 로딩하거나, 소자(10)의 적재를 위하여 빈 상태의 트레이(30)를 로딩하도록 구성된다.

한편, 본 발명에 따른 제1변형례에 따른 소자핸들러가 소자(10)를 번인보드(20)로부터 인출하여 트레이(30)에 적재하는 기능만을 수행하는 경우 검사결과에 따라서 소팅부(300)로 분류될 수 있다.

또한 본 발명에 따른 제1변형례에 따른 소자핸들러는, 테스트소켓 상의 소자로딩만을 또는 소자언로딩만을 수행할 수 있는데 이때 소자로딩 또는 언로딩에 따라서 다른 규격의 어댑터부재가 결합된 소켓프레스가 사용됨이 바람직하다.

소자로딩 또는 언로딩에 따라서 다른 규격의 어댑터부재가 결합된 소켓프레스가 사용되면, 소자로딩시 소자와의 오차가 최소화된 어댑터부재를 사용하여 테스트소켓 상에 정밀한 소자 안착을 수행하고, 소자언로딩시 소자와의 오차가 충분하게 설정되어 언로딩에 방해되지 않도록 할 수 있다.

여기서 소켓프레스는, 번인보드 등에 설치된 테스트소켓을 작동시켜 소자의 적재 또는 인출이 가능하도록 하는 구성으로서 테스트소켓의 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

그리고 상기 소켓프레스는, 소자가 테스트소켓의 정확한 위치, 즉 소자의 단자와 전기적 연결을 위한 단자(포고핀 등)들에 접촉되는 위치에 위치될 수 있도록 가이드하는 어댑터부재가 설치된다.

상기 어댑터부재는, 소자가 테스트소켓 상에 정확한 위치 상에 안착되도록 하는 구성으로 상측에서 보았을 때 경사면을 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.

다른 예로서, 본 발명에 따른 제2변형례에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 소자핸들러의 구성에서, 도 14, 도 15a 및 도 15b에 도시된 바와 같이, 로딩용 소켓프레스(92) 및 언로딩용소켓프레스(91)를 포함하는 소켓프레스부(90)를 구비한 것을 특징으로 한다.

여기서 여기서 DC테스트부(170)는, 선택적 구성으로서 필요에 따라서 설치될 수 있다.

상기 소켓프레스부(90)는, 로딩용 소켓프레스(92) 및 언로딩용소켓프레스(91)를 포함하여 소자의 로딩 또는 언로딩시 테스트소켓(미도시)를 가압하여 소자의 적재 또는 인출을 도와주는 구성으로서 소켓 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩용 소켓프레스(92)는, 소자의 로딩시 번인보드(20)에 설치된 테스트소켓의 정확한 위치에 안착되도록 하기 위한 구성으로서, 내측에 소자의 낙하 후 테스트소켓 상에 정확히 안착되도록 어댑터부재가 설치된다.

특히 상기 어댑터부재는, 소자의 낙하 후 테스트소켓 상에 정확히 안착되도록 소자의 평면크기에 거의 비슷한 크기로 개구(92a)가 형성된다.

상기 언로딩용 소켓프레스(91)는, 소자의 언로딩시 번인보드(20)에 설치된 테스트소켓의 정확한 위치에 안착되도록 하기 위한 구성이다.

상기 언로딩용 소켓프레스(91)는, 소자의 인출이 가능하도록 상하로 개구되며, 그 개구(91a)의 크기는 소자의 언로딩에 방해되지 않도록 앞서 설명한 로딩용 소켓프레스(92)보다 크게 형성됨이 바람직하다.

참고로, 소켓프레스가 단일로 구성된 경우 소자의 정확한 위치로의 로딩을 위하여 소켓프레스에 어댑터부재의 개구가 작게 되면 언로딩시 소자의 인출을 방해하는 문제점이 있다.

그러나, 상기와 같이 소켓프레스부(90)가 로딩용 소켓프레스(92) 및 언로딩용 소켓프레스(91)를 구비함으로써 소자 적재시 보다 정확한 위치에 소자를 안착시키고, 소자 언로딩시 언로딩에 방해받지 않아 소자의 적재 및 인출을 원활하게 수행할 수 있게 된다.

한편 상기 로딩용 소켓프레스(92) 및 언로딩용 소켓프레스(91)는, 도 14에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 언로딩부(200)의 배치방향, 즉 X축방향과 수직인 Y축방향으로 배치됨이 바람직하다.

이때 상기 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)는, 도 14, 도 15a 및 도 15b에 도시된 바와 같이, 로딩용 소켓프레스(92) 및 언로딩용 소켓프레스(91)에 대응되어 Y축방향으로 간격을 두고 설치됨이 바람직하다.

한편, 본 발명에 따른 제2변형례에 따른 소자핸들러는, 제2변형례에 따른 소자핸들러의 구성와 유사하게 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되어 번인보드(20)에 적재될 다수개의 빈 트레이(30)들을 로딩하기 빈트레이공급부(80)를 포함할 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

110: X-Y테이블
210: 로딩부 220: 언로딩부
310: 테스트부 320: 소팅부
600: 제1이동버퍼 700: 제2이동버퍼
510, 520, 530, 540, 550, 560, 570: 이송툴
900 : 키트교환부

Claims

제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와;
제2소자들이 인출된 빈 자리에 제1소자가 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과;
상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와;
상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부를 포함하는 소자핸들러.