KR20210130684A - 핸들러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 핸들러에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 핸들러는 대상물체를 지지할 수 있는 테이블 유닛; 및 이송장치를 포함할 수 있으며, 상기 테이블 유닛은 회전없이 상기 대상물체를 이송시키는 제1 이송모드 및 상기 메인경로의 적어도 일부 구간에서 회전하면서 상기 대상물체를 이송시키는 제2 이송모드 중 어느 하나로 선택적으로 작동될 수 있다.

Description

핸들러{HANDLER}

본 발명은 대상물체를 이송시키는 핸들러에 대한 발명이다.

일반적으로, 반도체소자 테스트용 핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다. 이러한 핸들러는 테스트되어야 할 반도체소자의 종류에 최적화될 수 있도록 하기 위해 다양한 형태로 제작될 수 있다.

이러한 핸들러는 고객트레이로부터 반도체 소자를 공급받고, 공급된 반도체 소자를 테스터로 운송한다. 테스터는 픽앤플레이스 장치가 파지한 다수의 반도체 소자들을 테스트위치에 구비된 테스트 소켓에 한꺼번에 전기적으로 접촉시키도록 구성될 수 있다. 즉, 테스트위치에서 픽앤플레이스 장치가 반도체 소자를 한꺼번에 파지하여 테스터측으로 이동시켜 전기적으로 연결시킨다. 이러한 테스트가 완료되면, 픽앤플레이스장치는 다음으로 테스트되어야 할 새로운 반도체소자들을 테스터측에 전기적으로 연결시키기 위해 테스트가 완료된 반도체 소자들을 언로딩시킨다.

상기와 같이 반도체 소자가 테스터에 공급될 때, 반도체 소자는 그 단자가 테스터의 테스트 소켓과 맞물리도록 핸들러에 배치될 필요가 있다. 따라서, 핸들러의 반도체 소자 수용부는 이러한 테스터의 소켓의 형태를 고려하여 제작된다.

그러나, 테스터 소켓의 구성만이 고려되어 핸들러에서의 반도체 소자의 배치가 결정될 경우, 핸들러에서의 반도체 소자 수용부의 방향은 고객트레이가 핸들러로 반도체 소자를 로딩할 때에 고객트레이가 공급하는 반도체 소자의 방향과 부합하지 않을 수 있다. 예를 들어, 테스터 소켓의 구성을 고려하여 핸들러에서 반도체 소자가 가로방향으로 배치되도록 핸들러를 구성할 경우, 이러한 핸들러는 세로 방향으로 반도체 소자를 공급하는 고객트레이에 부합하지 않는다. 이처럼, 종래의 핸들러는 반도체 소자의 로딩 및 언로딩 방향이 다르게 구성되는 핸들러와 고객트레이를 동시에 만족시키기 어렵다는 문제가 있다.

한편, 이러한 문제를 해결하기 위해 핸들러의 반도체 수용부를 회전시키거나, 반도체 수용부 간의 간격을 조절하는 모듈을 추가하는 것을 고려할 수 있다. 그러나, 이러한 모듈을 추가할 경우 핸들러의 구성이 지나치게 복잡해진다는 문제가 있다. 또한, 이러한 모듈의 추가에 따라 핸들러가 대형화되어 무거워지고, 반도체 수용부 간의 간격을 조절하거나 이를 회전시키기 위하여 넓은 공간(로테이터 존)이 요구되므로, 핸들러의 작동 효율이 떨어지며 반도체 수용부 간의 간격을 작은 범위로 조절하기 어렵다는 문제가 발생한다.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 상대적으로 간소한 구성으로 적재된 대상물체의 배치를 더욱 효과적으로 조절할 수 있는 핸들러를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 대상물체를 지지할 수 있는 테이블 유닛; 및 메인경로를 따라 상기 테이블 유닛을 이송시키는 이송장치를 포함하고, 상기 테이블 유닛은 회전없이 상기 대상물체를 이송시키는 제1 이송모드 및 상기 메인경로의 적어도 일부 구간에서 회전하면서 상기 대상물체를 이송시키는 제2 이송모드 중 어느 하나로 선택적으로 작동되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 제1 이송모드 및 상기 제2 이송 모드 중 어느 하나를 선택적으로 제공하는 이송유닛을 더 포함하고, 상기 이송유닛은, 제1 바디부; 및 상기 제1 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전없이 이송되도록 안내하는 제1 모드 레일, 및 상기 제2 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전되면서 이송되도록 안내하는 제2 모드 레일이 형성된 제2 바디부를 포함하고, 상기 테이블 유닛은, 상기 이송장치에 의한 이송에 의해 회전하도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 테이블 유닛은, 제1 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제1 테이블; 및 제2 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제2 테이블을 포함하고, 상기 테이블 유닛은 상기 제2 이송모드로 이송될 때에 제2 모드 레일에 의해 회전되고, 상기 회전에 의해 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 간격이 조절될 수 있도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 이송유닛은 무빙 프레임을 더 포함하고, 상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제1 테이블의 회전을 안내하는 제1 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제1 회전 가이드 레일에 삽입되는 제1 회전 가이드 팔로워가 구비되고, 상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제2 테이블의 회전을 안내하는 제2 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제2 회전 가이드 레일에 삽입되는 제2 회전 가이드 팔로워가 구비되며, 상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되며, 상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 테이블 유닛은 선형 가이드를 구비하는 테이블 바디를 더 포함하고, 상기 선형 가이드는 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 상기 간격이 조절되도록 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 중 하나 이상이 상기 테이블 바디 상에서 선형 이동하는 것을 안내하는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 무빙 프레임에는 상기 테이블 바디의 회전을 안내하기 위한 메인 캠이 구비되고, 상기 테이블 바디는 상기 무빙 프레임의 상기 메인 캠을 따라 안내되는 캠 팔로워가 구비되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 메인 캠은, 반경의 변화가 없는 원주형의 궤적을 따라 캠 팔로워를 안내하도록 원주형으로 형성되고, 상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나 및 상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 타원형 궤적을 형성되며, 상기 원주형 궤적과 상기 타원형 궤적은 동일한 중심을 가지도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 캠 팔로워는, 상기 제1 이송모드일 때 제1 모드 레일을 따라 이동하고, 상기 제2 이송모드일 때 제2 모드 레일을 따라 이동하도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 제1 바디부는 상기 무빙 프레임이 상기 메인경로를 따라 이동하도록 안내하는 메인레일; 및 상기 무빙 프레임이 상기 메인레일을 따라 소정 구간 이동하는 동안에, 상기 캠 팔로워의 이동을 안내하는 서브레일을 구비하고, 상기 제1 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제1 모드 레일과 연결되고, 상기 제2 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제2 모드 레일과 연결되는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 제1 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과의 간격이 유지되도록 형성되고, 상기 제2 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과 이격되거나 가까워지도록 휘어지는 핸들러가 제공될 수 있다.

또한, 상기 테이블 유닛은 상기 테이블 바디를 선택적으로 회전시키기 위한 회전 구동 유닛을 더 포함하고, 상기 회전 구동 유닛은 상기 제1 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키지 않고, 상기 제2 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키도록 구동되는 핸들러가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 핸들러에 적재된 대상물체를 효과적으로 회전시킬 수 있고, 핸들러에 적재된 대상물체 간의 간격을 효과적으로 조절할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 복수 개의 대상물체 이송 모드를 제공할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면 대상물체가 이송되는 동안 회전하게 되므로, 보다 신속한 이송이 가능하다는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면 픽앤플레이스 모듈이 소형화, 경량화될 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 A-A'에서 바라본 핸들러의 단면도이다.
도 4은 도 2의 핸들러에 대한 분해 사시도이다.
도 5는 도 2의 이송유닛에 대한 분해 사시도이다.
도 6는 도 2의 무빙 프레임의 저면 사시도이다.
도 7은 도 2의 테이블 유닛을 상면에서 바라본 분해사시도이다.
도 8은 도 2의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.
도 9는 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 9의 B-B'에서 바라본 핸들러의 분해도이다.
도 12는 도 10의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 평면도이다.
도 13은 도 11의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.
도 14는 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 평면도이다.
도 15는 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 분해도이다.
도 16은 도 14의 C-C'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.
도 17은 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 평면도이다.
도 18은 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 분해도이다.
도 19는 도 17의 D-D'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.
도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들러의 분해 사시도이다
도 21은 도 20의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.
도 22는 도 20의 핸들러의 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 분해도이다.
도 23은 도 20의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결'된다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 사시도이며, 도 3은 도 2의 A-A'에서 바라본 핸들러의 단면도이고, 도 4은 도 2의 핸들러에 대한 분해 사시도이며, 도 5는 도 2의 이송유닛에 대한 분해 사시도이고, 도 6는 도 2의 무빙 프레임의 저면 사시도이며, 도 7은 도 2의 테이블 유닛을 상면에서 바라본 분해사시도이고, 도 8은 도 2의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.

한편, 이하에서 서술하는 핸들러가 이송하는 대상물체는 반도체소자 등의 전자부품일 수 있으나, 이는 예시에 불과하고, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(10)는 대상물체(11)를 지지하여 제1 위치(P1)과 제2 위치(P2)사이를 이송할 수 있다. 예를 들어, 핸들러(10)는 제1 위치(P1)에서 제1 픽앤 플레이스 장치(21)를 통하여 고객트레이(20)로부터 대상물체(11)를 공급받고, 제2 위치(P2)로 이동할 수 있다. 이후, 핸들러(10)가 제2 위치(P2)로 이동하면, 제2 픽앤 플레이스 장치(31)가 핸들러(10)에 적재된 대상물체(11)를 파지하여 테스터(30)로 공급할 수 있다.

이러한 핸들러(10)는 이송유닛(100) 및 테이블 유닛(200)을 포함할 수 있다.

이송유닛(100)은 제1 구간(D1) 및 제2 구간(D2)을 포함하는 메인경로(C)를 따라 테이블 유닛(200)을 이송시킬 수 있는 이송장치(110), 제1 바디부(120), 제2 바디부(130) 및 레일변환 수단(140)을 포함할 수 있다.

이송유닛(100)은 제1 이송모드 및 제2 이송모드를 선택적으로 제공할 수 있다. 이러한 제1 이송모드는 이송장치(110)에 의해 회전없이 테이블 유닛(200)이 이송되는 모드이며, 제2 이송모드는 이송장치(110)에 의해 테이블 유닛(200)이 회전하면서 이송되는 모드이다. 다시 말해, 이송유닛(100)은 테이블 유닛(200)을 회전시키는 별도의 모듈 없이, 테이블 유닛(200)을 메인경로(C)를 따라 이송시키는 장치(이송장치(110))만으로 테이블 유닛(200)을 회전시키면서 메인경로(C)를 이송할 수 있다. 또한, 이러한 테이블 유닛(200)의 회전은 이송유닛(100)이 제2 이송모드에 놓임으로써 선택적으로 이루어지도록 구성될 수 있다.

이송장치(110)는 테이블 유닛(200)의 이송을 위해 후술하는 무빙 프레임(250)에 구동력을 제공하는 모듈일 수 있다. 또한, 이송장치(110)는 테이블 유닛(200)을 회전시키는 구성을 포함하지 않도록 구성될 수 있다. 이러한 이송장치(110)는 예를 들어, 구동모터, 레일, 벨트, 공압장치 및 유압장치 등을 포함할 수 있으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.

제1 바디부(120)는 메인레일(121) 및 서브레일(122)이 구비된 프레임일 수 있다. 메인레일(121)은 무빙 프레임(250)이 메인경로(C)를 따라 이송되도록 무빙 프레임(250)을 안내한다. 한편, 본 명세서 및 청구항에 기재된 '레일'은 소정의 경로를 따라 연장되어, 부재의 이동을 안내하는 구성을 의미하는 것이며, 홈, 돌기 등의 형태에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시예에 따른 도면에서는 메인레일(121)이 직선으로 구성되는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 곡선형으로 구성될 수도 있다.

서브레일(122)은 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)을 따라 메인경로(C)의 제2 구간(D2)을 이동하는 동안에, 후술하는 캠 팔로워(233)의 이동을 안내할 수 있다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)는 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)의 제2 구간(D2) 상을 이동할 때에는 서브레일(122)에 의해 안내된다. 이송유닛(100)이 제1 이송모드일 때에도 캠 팔로워(233)는 서브레일(122) 상을 이동할 수 있고, 이송유닛(100)이 제2 이송모드일 때에도 캠 팔로워(233)는 서브레일(122) 상을 이동할 수 있다. 또한, 서브레일(122)은 메인레일(121)과 소정간격 이격되어 나란하게 구비될 수 있다. 서브레일(122)은 서브레일(122)과 메인레일(121)간의 간격이 일정하도록 연장될 수 있다.

제2 바디부(130)는 제1 모드 레일(131)과 제2 모드 레일(132)을 구비할 수 있다. 본 실시예에 따른 도면에서는 이러한 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)과 구별되고 제1 바디부(120)에 대해 상대적으로 이동할 수 있는 프레임인 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 모드 레일(131)은 이송유닛(100)이 제1 이송모드일 때 서브레일(122)과 연결되고, 제2 모드 레일(132)는 제2 이송모드일 때 서브레일(122)과 연결될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)을 따라 제1 구간(D1)을 이동하는 동안에, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 의해 안내될 수 있다.

예를 들어, 제1 이송모드일 때 캠 팔로워(233)는 제1 구간(D1)에서 제1 모드 레일(131)에 의해 안내되고, 제2 구간(D2)에서 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 이러한 제1 모드 레일(131)은 메인레일(121)과 소정간격 이격되어 나란하게 연장되도록 구비될 수 있다. 또한, 제1 모드 레일(131)과 메인레일(121) 간의 간격은 제1 모드 레일(131)이 서브레일(122)로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에도 유지될 수 있다. 다시 말해, 서브레일(122)과 메인레일(121) 사이의 간격은 제1 모드 레일(131)과 메인레일(121) 사이의 간격과 동일할 수 있다.

한편, 제2 이송모드일 때 캠 팔로워(233)는 제1 구간(D1)에서 제2 모드 레일(132)에 의해 안내되고, 제2 구간(D2)에서 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 이러한 제2 모드 레일(132)은 서브레일(122) 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에 메인레일(121)과 이격되거나 가까워지도록 휘어질 수 있다. 다시 말해, 제2 모드 레일(132)은, 서브레일(122)로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 간의 간격이 변화하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제2 모드 레일(132)은, 서브레일(122)의 반대측에서의 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 사이의 간격이 서브레일(122) 측에서의 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 사이의 간격 보다 좁게 되도록 형성될 수 있다.

레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)을 연결시키면서 제2 모드 레일(132)과의 연결을 단절시키고, 또한, 제2 이송모드일 때 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)를 연결시키면서 제1 모드 레일(131)과의 연결을 단절시킬 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 이러한 레일변환 수단(140)은 실린더, 피스톤 등으로 구성되는 것으로 나타내었으나, 이는 예시에 불과하고 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되지 않는다.

한편, 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)에 대해 상대적으로 이동할 수 있도록 구성되는 경우, 레일변환 수단(140)은 제2 바디부(130)를 이동시키는 구동장치일 수 있다. 이러한 레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 제2 바디부(130)를 일 방향으로 이동시켜서 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)을 연결시키고, 제2 이송모드일 때 제2 바디부(130)를 일 방향의 반대방향으로 이동시켜서 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)을 연결시킬 수 있다.

한편, 다른 예로, 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)와 일체로 형성되고, 제1 모드 레일(131)와 제2 모드 레일(132)이 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동 가능한 돌출부로 구성될 수 있다. 이 경우, 레일변환 수단(140)은 제1 모드 레일(131)과 제2 모드 레일(132)을 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시키는 구동장치일 수 있다. 이러한 레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 제1 모드 레일(131)를 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시켜 서브레일(122)과 연결하고, 또한, 제2 이송모드일 때 제2 모드 레일(132)를 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시켜 서브레일(122)과 연결시킬 수 있다.

상기와 같은 이송유닛(100)에 의해 테이블 유닛(200)이 이송될 수 있다. 이하에서는 이러한 테이블 유닛(200)의 구성에 대하여 설명한다.

테이블 유닛(200)은 회전없이 메인경로(C)를 따라 이송되거나(제1 이송모드), 회전하면서 메인경로(C)를 따라 이송될 수 있다(제2 이송모드). 테이블 유닛(200)은 무빙 프레임(250), 제1 테이블(210), 제2 테이블(220), 테이블 바디(230) 및 테이블 샤프트(240)를 포함할 수 있다. 이러한 테이블 유닛(200)은 무빙 프레임(250) 위에 탑재되어 지지될 수 있다.

무빙 프레임(250)은 이송장치(110)의 구동력에 의해 메인레일(121) 상을 이동할 수 있는 프레임일 수 있다. 무빙 프레임(250)은 후술하는 테이블 바디(230)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 또한, 테이블 샤프트(240)가 삽입되는 샤프트 홀(255)이 무빙 프레임(250)에 형성될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)은 레일 연결부(251) 및 메인 캠(252)을 구비할 수 있다. 레일 연결부(251)는 메인레일(121)에서 슬라이드 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이러한 레일 연결부(251)는 롤러를 포함할 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

메인 캠(252)은 샤프트 홀(255)을 중심으로 곡률반경이 변하지 않는 원주형의 궤적을 가질 수 있다. 또한, 메인 캠(252)은 후술하는 캠 팔로워(233)가 원주형의 궤적을 따라 이동하도록 캠 팔로워(233)를 안내할 수 있다. 메인 캠(252)은 캠 팔로워(233)를 안내함으로써 테이블 바디(230)의 회전을 안내할 수 있다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 원주형의 궤적을 따라 이동할 때 테이블 바디(230)가 테이블 샤프트(240)를 중심으로 회전할 수 있다. 또한, 캠 팔로워(233)가 서브레일(122) 상에 위치할 때, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 일측에 위치할 수 있는 한편, 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 의해 메인레일(121)에 가까워지거나 이로부터 멀어지도록 이동하였을 때에는 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 의해 이동하여 메인 캠(252)의 타측에 위치할 수 있다. 한편, 이러한 메인 캠(252)은 원주형으로 연장되고, 테이블 유닛(200) 측으로부터 이송유닛(100)을 향하는 방향으로 무빙 프레임(250)을 관통하는 관통홀로 구성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 무빙 프레임(250)에는, 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 어느 하나가 구비되고, 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 어느 하나가 구비될 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)에는 안쪽으로 인입되어 형성된 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)이 테이블 유닛(200)측에 구비될 수 있다. 또한, 이러한 제1 회전 가이드 레일(253)은 일측에서의 제1 반경(R11)이 타측에서의 제2 반경(R12)보다 더 크게 형성되는 타원형 궤적을 가질 수 있으며, 제2 회전 가이드 레일(254)도 일측에서의 제1 반경(R21)이 타측에서의 제2 반경(R22)보다 더 크게 형성되는 타원형 궤적을 가질 수 있다. 한편, 본 명세서에 기재된 '타원형 궤적'은 곡률반경이 변하는 궤적을 포괄적으로 아우르는 의미이므로, 반드시 수학적으로 정의되는 타원형 궤적의 의미에 한정되지 않는다. 또한, 테이블 샤프트(240)의 중심을 원점(O)이라고 하였을 때 제1 회전 가이드 레일(253)과 제2 회전 가이드 레일(254)은 원점(O) 대칭으로 형성될 수 있으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)이 무빙 프레임(250)에 구비되는 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1 회전 가이드 레일(253)이 제1 테이블(210)에 구비되고 제2 회전 가이드 레일(254)이 제2 테이블(210)에 구비되며, 무빙 프레임(250)에 제1 가이드 팔로워(213)와 제2 가이드 팔로워(223)가 구비될 수 있다.

제1 테이블(210)은 제1 그룹의 대상물체(11')를 지지할 수 있다. 또한, 제1 테이블(210)에는 제1 그룹의 대상물체(11')가 수용되기 위한 제1 대상물체 수용부(211)가 구비될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)에 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 어느 하나가 구비될 때, 제1 테이블(210)에는 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 다른 하나가 구비될 수 있다. 이러한 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213)는 서로 맞물려서 제1 테이블(210)이 타원형 궤적을 따라 이동하도록 안내하는 가이드 유닛(제1 회전 가이드 유닛(253, 213))을 구성할 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)의 테이블 유닛(200) 측에 타원형 궤적으로 연장되는 제1 회전 가이드 레일(253)이 형성되고, 제1 테이블(210)의 무빙 프레임(250) 측에 제1 회전 가이드 레일(253) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 형성될 수 있다. 이러한 제1 테이블(210)은 테이블 바디(230) 위에서 이동 가능하게 지지될 수 있다.

제2 테이블(220)은 제2 그룹의 대상물체(11'')를 지지할 수 있다. 또한, 제2 테이블(220)에는 제2 그룹의 대상물체(11'')가 수용되기 위한 제2 대상물체 수용부(221)가 구비될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)에 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 어느 하나가 구비될 때, 제2 테이블(220)에는 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 다른 하나가 구비될 수 있다. 이러한 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 서로 맞물려서, 제2 테이블(220)가 타원형 궤적을 따라 이동하도록 안내하는 가이드 유닛(제2 회전 가이드 유닛(254, 223)) 구성할 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)의 테이블 유닛(200) 측에 타원형 궤적으로 연장되는 제2 회전 가이드 레일(254)이 형성되고, 제2 테이블(220)의 무빙 프레임(250) 측에 제2 회전 가이드 레일(254) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 형성될 수 있다. 이러한 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230) 위에서 이동 가능하게 지지될 수 있다.

또한, 제1 회전 가이드 레일(253) 상에서의 제1 회전 가이드 팔로워(213)의 위치와 제2 회전 가이드 레일(254) 상에서의 제2 회전 가이드 팔로워(223)의 위치는, 메인 캠(252) 상에서의 캠 팔로워(233)의 위치와 연동될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 시계 방향 측으로 이동할 때, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)을 따라 시계 방향 측 부분으로 이동할 수 있고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)도 제2 회전 가이드 레일(254)을 따라 시계 방향 측 부분으로 이동할 수 있다. 또한, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 반시계 방향측으로 이동하면, 제1 회전 가이드 팔로워(213)도 제1 회전 가이드 레일(253)을 따라 반시계 방향 측으로 이동하고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)도 제2 회전 가이드 레일(254)을 따라 반시계 방향 측으로 이동할 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 회전 가이드 레일(253, 254)이 홈으로 구성되고, 회전 가이드 팔로워(213, 223)가 돌기로 구성되는 것으로 예시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 회전 가이드 레일(253, 254)이 돌기의 형상으로 구비되고, 회전 가이드 팔로워(213, 223)가 돌기에 맞물리고 돌기를 따라 이동하는 롤러 또는 홈으로 구성되는 것도 가능하다. 또한, 본 실시예에 따른 도면에서는 제1 그룹의 대상물체(11') 및 제2 그룹의 대상물체(11'')가 각각 4개의 대상물체를 포함하는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1 그룹의 대상물체(11')는 1개의 대상물체로 구성되고, 제2 그룹의 대상물체(11'')는 2개의 대상물체로 구성될 수도 있다.

테이블 바디(230)는 원점(O)을 중심으로 회전하도록 무빙 프레임(250)과 연결될 수 있다. 또한, 테이블 바디(230)는 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)을 지지할 수 있다. 이러한 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220) 간의 간격이 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 테이블 바디(230)에 지지될 수 있다. 또한, 테이블 바디(230)에는 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상의 선형 이동을 안내하기 위하여 선형 가이드(232)가 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 모두 이동 가능하도록 구성될 경우, 제1 테이블(210)은 선형 가이드(232)의 일측에서 이동 가능하게 연결되는 제1 바디 연결부(212)를 포함하고, 제2 테이블(220)은 선형 가이드(232)의 타측에서 이동 가능하게 연결되는 제2 바디 연결부(222)를 포함할 수 있다. 이러한 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)의 이동은 선형 가이드(232)의 중심을 기준으로 대칭적으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210)이 선형 가이드(232)의 일측 단부를 향하여 이동하고, 이와 동시에 제2 테이블(220)이 선형 가이드(232)의 타측 단부를 향하여 이동하도록 구성될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 선형 가이드(232)가 돌출형 레일의 형태인 것으로 나타내었으나, 이는 예시에 불과하고 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 테이블 바디(230)는 캠 팔로워(233)를 더 포함할 수 있다. 이러한 캠 팔로워(233)의 어느 일측은 후술하는 메인 메인 캠(252)을 따라 안내될 수 있고, 캠 팔로워(233)의 다른 일측은 후술하는 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나와 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)는 이송유닛(100)을 향하는 방향으로 연장되고, 그 중간 부분이 메인 캠(252)에 의해 안내되도록 메인 캠(252)을 통과하며, 그 단부가 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 이동 가능하도록 연결될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132)이 홈 레일로 형성되고, 캠 팔로워(233)의 단부가 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 삽입되는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)의 단부에 홈과 롤러가 구비되고, 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132)이 돌출 레일로 구성되어 캠 팔로워(233)의 단부에 삽입되도록 구성되는 것도 가능하다.

테이블 샤프트(240)는 테이블 바디(230)의 회전축으로 기능할 수 있다. 본 실시예에 따른 도면에서는 테이블 샤프트(240)가 테이블 바디(230)로부터 돌출 연장되고 무빙 프레임(250)에 샤프트 홀(255)이 구비되며, 테이블 샤프트(240)가 샤프트 홀(255)에 삽입되는 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 테이블 샤프트(240)가 무빙 프레임(250)으로부터 돌출 연장되고, 테이블 샤프트(240)가 테이블 바디(230)에 구비된 샤프트 홀(255)에 삽입될 수도 있다.

이하에서는 상술한 바와 같은 구성을 갖는 핸들러(10)의 작용 및 효과에 대하여 설명한다.

먼저, 도 9 내지 도 13을 참조하여 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)이 연결된 제1 이송모드를 설명한다. 도 9는 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 사시도이고, 도 10은 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 평면도이며, 도 11은 도 9의 B-B'에서 바라본 핸들러의 분해도이고, 도 12는 도 10의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 평면도이며, 도 13은 도 11의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.

도 9 내지 도 13을 참조하면, 제1 이송모드에서 핸들러(10)는 테이블 유닛(200)이 서브레일(122)로부터 멀리 떨어지도록, 메인레일(121)의 일측에 위치하는 초기상태를 가질 수 있다. 이러한 제1 이송모드의 초기상태에서는 캠 팔로워(233)가 제1 모드 레일(131)에 위치한다. 핸들러(10)가 메인레일(121)의 일측에 위치할 때 대상물체(11)가 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)에 적재될 수 있다. 이후, 테이블 유닛(200)은 이송장치(110)에 의해 메인레일(121)의 일측의 반대편인 타측을 향하여 이동한다. 다시 말해, 테이블 유닛(200)은 제1 구간(D1)으로부터 제2 구간(D2)을 향하여 이동하도록 구동될 수 있다. 테이블 유닛(200)이 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 레일 연결부(251)는 메인레일(121)을 따라 이동하며, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131)을 따라 이동한다.

제1 이송모드에서는 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)이 연결되므로, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 제1 이송모드에서는 메인레일(121)과 서브레일(122) 간의 간격과 메인레일(121)과 제1 모드 레일(131) 간의 간격이 동일하므로, 핸들러(10)에서의 캠 팔로워(233)와 레일 연결부(251) 간의 간격도 유지된다. 다시 말해, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하더라도 캠 팔로워(233)는 메인 캠(252)을 따라 이동하지 않고 핸들러(10)내에서의 상대적인 위치를 유지할 수 있다. 이처럼, 제1 이송모드에서는 이송되는 동안 핸들러(10) 내에서의 캠 팔로워(233)의 상대적인 위치가 변화하지 않으므로, 테이블 바디(230)는 회전하지 않고 유지된다. 또한, 제1 이송모드에서는 테이블 바디(230)가 회전하지 않으므로 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)간의 간격도 변화없이 유지될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(10)는 상기와 같은 제1 이송모드뿐만 아니라, 제2 이송모드를 제공할 수 있다. 제1 이송모드 및 제2 이송모드 간의 전환은 테이블 유닛(200)을 탑재한 무빙 프레임(250)이 제2 위치를 향하여 이동하여 제1 바디부(120) 상에 놓인 후, 레일변환 수단(140)에 의해 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132)을 포함하는 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)에 대해 이동 가능하도록 구성되고, 레인변환 수단(140)이 이러한 제2 바디부(130)를 이동시키는 방식으로 구성될 경우, 레일변환 수단(140)은 제1 바디부(120)의 서브레일(122)이 제2 바디부(130)의 제2 모드 레일(132)과 연결되도록 제2 바디부(130)를 이송시킬 수 있다. 이러한 제1 이송모드 및 제2 이송모드 간의 전환 이전에, 테이블 유닛(200)을 탑재한 무빙 프레임(250)은 제2 위치 측으로 이동하여 제1 바디부(120) 상에 놓일 수 있다.

이하에서는, 도 14 내지 도 19를 참조하여 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결된 제2 이송모드를 설명한다. 도 14는 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 평면도이고, 도 15는 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 분해도이며, 도 16은 도 14의 C-C'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이고, 도 17은 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 평면도이며, 도 18은 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 분해도이고, 도 19는 도 17의 D-D'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.

도 14 내지 도 19를 참조하면, 제2 이송모드에서 핸들러(10)는 테이블 유닛(200)이 서브레일(122)로부터 멀리 떨어지도록, 메인레일(121)의 일측에 위치하는 초기상태를 가질 수 있다. 이러한 제2 이송모드의 초기상태에서는 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 위치한다. 초기상태에서 대상물체(11)가 적재된 후, 테이블 유닛(200)은 이송장치(110)에 의해 메인레일(121)의 일측의 반대편인 타측을 향하여 이동할 수 있다. 핸들러(10)가 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 레일 연결부(251)는 메인레일(121)을 따라 이동하며, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)을 따라 이동한다.

제2 이송모드에서는 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결되어 있으므로, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 제2 이송모드에서는 메인레일(121)과 제2 모드 레일(132) 간의 간격은 제2 모드 레일(132)은 메인경로(C)를 따라 연장되면서 변하도록 구성된다. 다시 말해, 제2 모드 레일(132)은 서브레일(122) 측을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)에 가까워지거나 멀어지도록 구성될 수 있다. 한편, 캠 팔로워(233)는 이러한 제2 모드 레일(132) 상에서 이동하고 레일 연결부(251)는 메인레일(121) 상에서 이동하므로, 메인레일(121)과 제2 모드 레일(132) 간의 간격이 변화함에 따라 핸들러(10)에서의 캠 팔로워(233)와 레일 연결부(251) 간의 간격도 변화하게 된다. 예를 들어, 제2 모드 레일(132)이 서브레일(122) 측을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)에 멀어지도록 구성될 경우, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 서브레일(122)을 향하는 방향으로 이동하는 동안 캠 팔로워(233)는 메인레일(121)로부터 멀어지도록 이동하게 된다.

한편, 메인 캠(252)은 반경이 변하지 않는 원주형의 궤적을 가지며, 캠 팔로워(233)가 원주형의 궤적을 따라 이동하도록 안내한다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)는 메인 캠(252)의 원주형의 궤적을 따라 메인 레일(121)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 일예로, 제2 모드 레일(132)이 서브레일(122)을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)로부터 멀어지도록 휘어질 경우, 캠 팔로워(233)는 서브레일(122)을 향하는 방향으로 이동하면서 메인 캠(252)의 원주형의 궤적을 따라 메인레일(121)로부터 멀어진다. 한편, 캠 팔로워(233)를 안내하는 메인 캠(252)의 궤적이 원주형이고 캠 팔로워(233)가 테이블 바디(230)에 구비되므로, 캠 팔로워(233)의 이동에 의해 테이블 바디(230)가 회전한다. 테이블 바디(230)의 회전 중심은 테이블 샤프트(240)이며, 이러한 테이블 바디(230)의 회전에 의해 테이블 바디(230)와 연결된 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)도 회전하게 된다.

한편, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 회전시 타원형 궤적을 따라 이동하도록 구성될 수 있으므로, 테이블 바디(230)가 회전함에 따라 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 타원형 궤적을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 제1 회전 가이드 유닛(253, 213) 및 제2 회전 가이드 유닛(254, 223)에 의해 모두 타원형 궤적을 따라 이동 가능하게 구성되는 경우, 테이블 바디(230)의 회전에 의해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)은 모두 타원형 궤적을 따라 회전하게 된다. 더욱 상세한 예를 들면, 초기상태에서 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 시계 방향 측에 위치하고, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 시계 방향 측에 위치하며, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 시계 방향 측에 위치할 경우, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132) 상에서의 이동에 의해 원주형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하도록 구성될 수 있으며, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(233)는 타원형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하게 된다.

또한, 타원형의 궤적을 따라 이동하는 동안 제1 테이블(210)의 제1 회전 가이드 팔로워(213)와 원점(O) 간의 거리 및 제2 테이블(220)의 제2 회전 가이드 팔로워(223)와 원점(O) 간의 거리가 변할 수 있으므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 원점(O)에서 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 초기상태에서 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 제2 반경(R12) 부분에 놓이고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 제2 반경(R22) 부분에 놓이는 경우, 제1 회전 가이드 팔로워(213)는 타원형 궤적을 따라 이동하여 제1 회전 가이드 레일(253)의 제1 반경(R11) 부분에 놓이고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 이동하여 제2 회전 가이드 레일(254)의 제1 반경(R21) 부분에 놓일 수 있다. 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)에의 일측의 반경(제1 반경(R11, R21))이 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)의 타측의 반경(제1 반경(R12, R22))보다 크게 구성될 수 있으므로, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 제1 반경(R12, R22)측으로 이동하면서 원점(O)으로부터 멀어지게 된다. 따라서, 이러한 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)의 이동을 통해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230) 상에서 서로 멀어지는 방향으로 이동하게 된다. 또한, 테이블 바디(230)에서의 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)의 이동은 선형 가이드(232)에 의해 안내된다.

다시 말해, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 이동하고, 메인 켐(252)의 이동에 의해 테이블 바디(230)가 회전하게 된다. 또한, 테이블 바디(230)의 회전에 의해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 회전하게 된다. 제1 회전 가이드 유닛(253, 213) 및 제2 회전 가이드 유닛(254, 223)은 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 타원형 궤적을 따라 회전하도록 안내하므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 회전하면서 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 된다.

제2 이송모드에서는 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결되므로, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 이러한 제2 이송모드에서의 제2 구간(D2)상의 이동은 제1 이송모드에서의 제2 구간(D2)상의 이동과 동일할 수 있다.

본 실시예에 따른 핸들러(10)는 회전을 위한 직접적인 동력없이, 경로를 조절함으로써 이송장치에 의한 이송을 통해 테이블(210, 220)이 선택적으로 회전하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러(10)는 테이블(210, 220)이 회전하는 동안 테이블(210, 220)이 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다. 다시 말해, 본 실시예에 따른 핸들러(10)는 적재된 대상물체의 배치가 효과적으로 조절될 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 제2 이송모드에서 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)이 가까워지거나 멀어지는 방향을 따라 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)이 모두 이동하는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니고, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220) 중 어느 하나만 이동하는 것도 가능하다. 예를 들어, 테이블 유닛(200)이 회전하는 동안 제1 테이블(210)만 제2 테이블(220) 측으로 진퇴하고 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230)에 고정되는 것도 가능하다.

한편, 이상의 일 실시예와 달리, 테이블 바디(230)의 회전을 위한 구동력을 제공하는 장치가 테이블 유닛(200)에 구비되는 것도 가능하다. 이하, 도 20 내지 23을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들러의 분해 사시도이고, 도 21은 도 20의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이며, 도 22는 도 20의 핸들러의 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 분해도이고, 도 23은 도 20의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.

본 발명의 다른 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 실시예와 비교하였을 때, 테이블 유닛(200)이 캠 팔로워(233), 및 제1 모드 레일(131) 또는 제2 모드 레일(132)에 연결되는 메인 캠(252) 대신에, 회전 구동 유닛(260)을 더 포함할 수 있다는 점에서 차이가 있으므로, 이러한 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 상술한 실시예들을 원용한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면 제1 바디부(120)과 제2 바디부(130)에는 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 및 서브레일(122)이 구비되지 않고, 메인레일(121)만이 구비되도록 구성될 수 있다. 또한, 테이블 유닛(200)에는 캠 팔로워(233) 및 메인 캠(252)이 구비되지 않을 수 있다.

한편, 테이블 유닛(200)은 회전 구동 유닛(260)을 더 포함할 수 있다. 이러한 회전 구동 유닛(260)은 테이블 유닛(200)의 테이블 바디(230) 및 무빙 프레임(250) 중 하나에 설치될 수 있으며, 테이블 바디(230)를 회전시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 회전 구동 유닛(260)은 모터 및 이를 제어하는 제어부를 포함할 수 있으며, 모터는 시계방향 또는 반시계방향을 따라 360°회전 가능하도록 구성될 수 있다. 모터는 테이블 바디(230)에 직접 연결되거나, 테이블 샤프트(240) 등을 통하여 테이블 바디(230)에 간접 연결될 수 있다. 또한, 회전 구동 유닛(260)은, 다른 예로 시계방향 또는 반시계방향을 따라 미리 결정된 각도를 회전하도록 구성되는 회전 실린더를 포함할 수 있다. 회전 실린더는 회전 모터에 비하여 크기가 작을 수 있다. 또한, 회전 실린더는 테이블 바디(230)에 직접 연결되거나, 테이블 샤프트(240) 등을 통하여 테이블 바디(230)에 간접 연결될 수 있다. 이러한 회전 실린더는 미리 결정된 각도를 회전시키도록 구성되므로 제어부는 회전 실린더의 구동 여부만 제어하도록 구성될 수 있다. 따라서, 회전 실린더 및 그 제어부는 회전 모터 및 그 제어부보다 적은 공간을 차지하여 설치가 용이하다는 장점이 있다. 한편, 회전 실린더의 미리 결정된 각도는 일예로 대략 90°일 수 있으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.

이러한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 테이블 유닛(200)이 제1 이송모드로 작동될 때 회전 구동 유닛(260)은 테이블 바디(230)를 회전시키지 않고 테이블 유닛(200)이 메인 경로를 따라 이동하는 동안 자세를 유지할 수 있다. 한편, 테이블 유닛(200)이 제2 이송모드로 작동될 때에 회전 구동 유닛(260)은 테이블 바디(230)를 회전시키며, 이러한 테이블 바디(230)의 회전은 테이블 유닛(200)이 메인경로(C)의 일부 또는 전부를 이동하는 동안에 이루어질 수 있다. 이처럼, 회전 구동 유닛(260)이 테이블 바디(230)를 회전시키도록 구동되는지 여부에 따라 제1 이송모드로 작동되는지, 제2 이송모드로 작동되는지가 선택적으로 결정될 수 있다.

제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 회전시 타원형 궤적을 따라 이동하도록 구성될 수 있으므로, 제2 이송모드인 경우 테이블 바디(230)가 회전 구동 유닛(260)에 의해 회전함에 따라 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 타원형 궤적을 따라 이동할 수 있다. 예를 들면, 초기상태에서 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 시계 방향 측에 위치하고, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 시계 방향 측에 위치하며, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 시계 방향 측에 위치할 경우, 테이블 바디(230)는 회전 구동 유닛(260)에 의해 반시계 방향으로 회전할 수 있으며, 테이블 바디(230) 상의 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)에 구비되는 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하게 된다.

또한, 타원형의 궤적을 따라 이동하는 동안 제1 테이블(210)의 제1 회전 가이드 팔로워(213)와 원점(O) 간의 거리 및 제2 테이블(220)의 제2 회전 가이드 팔로워(223)와 원점(O) 간의 거리가 변할 수 있으므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 원점(O)에서 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 다시 말해, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 타원형의 제1 회전 가이드 레일(253)와 제2 회전 가이드 레일(254)를 따라 이동함으로써, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)가 서로 가까워질 수도 있고, 멀어질 수도 있다.

이상 본 발명의 실시예에 따른 핸들러의 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.

P1: 제1 위치 P2: 제2 위치
C: 메인경로 D2: 제2 구간
D1: 제1 구간 10: 핸들러
11, 11', 11'': 대상물체 20: 고객트레이
21: 제1 픽앤 플레이스 장치 30: 테스터
31: 제2 픽앤 플레이스 장치
100: 이송유닛 110: 이송장치
120: 제1 바디부 121: 메인레일
122: 서브레일 130: 제2 바디부
131: 제1 모드 레일 132: 제2 모드 레일
R11: 제1 회전 가이드 레일의 제1 반경
R12: 제1 회전 가이드 레일의 제2 반경
R21: 제2 회전 가이드 레일의 제1 반경
R22: 제2 회전 가이드 레일의 제2 반경
200: 테이블 유닛 210: 제1 테이블
211: 제1 대상물체 수용부 212: 제1 바디 연결부
213: 제1 회전 가이드 팔로워 220: 제2 테이블
221: 제2 대상물체 수용부 222: 제2 바디 연결부
223: 제2 회전 가이드 팔로워 230: 테이블 바디
232: 선형 가이드 233: 캠 팔로워
240: 테이블 샤프트
250: 무빙 프레임 251: 레일 연결부
252: 메인 캠 253: 제1 회전 가이드 레일
254: 제2 회전 가이드 레일 255: 샤프트 홀
260: 회전 구동 유닛

Claims (6)

1. 대상물체를 지지할 수 있는 테이블 유닛; 및
   메인경로를 따라 상기 테이블 유닛을 이송시키는 이송장치를 구비하는 이송유닛을 포함하고,
   상기 테이블 유닛은 회전없이 상기 대상물체를 이송시키는 제1 이송모드 및 상기 메인경로의 적어도 일부 구간에서 상하방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전하면서 상기 대상물체를 이송시키는 제2 이송모드 중 어느 하나로 선택적으로 작동되는 핸들러.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 이송유닛은,
   제1 바디부; 및
   상기 제1 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전없이 이송되도록 안내하는 제1 모드 레일, 및 상기 제2 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전되면서 이송되도록 안내하는 제2 모드 레일이 형성된 제2 바디를 포함하고,
   상기 테이블 유닛은, 상기 이송장치에 의한 이송에 의해 회전하도록 구성되고,
   상기 테이블 유닛은,
   제1 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제1 테이블; 및
   제2 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제2 테이블을 포함하고,
   상기 테이블 유닛은 상기 제2 이송모드로 이송될 때에 제2 모드 레일에 의해 회전되고, 상기 회전에 의해 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 간격이 조절될 수 있도록 구성되는 핸들러.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 테이블 유닛은,
   제1 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제1 테이블; 및
   제2 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제2 테이블을 포함하며,
   상기 이송유닛은 무빙 프레임을 더 포함하고,
   상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제1 테이블의 회전을 안내하는 제1 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제1 회전 가이드 레일에 삽입되는 제1 회전 가이드 팔로워가 구비되고,
   상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제2 테이블의 회전을 안내하는 제2 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제2 회전 가이드 레일에 삽입되는 제2 회전 가이드 팔로워가 구비되며,
   상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되며,
   상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되는 핸들러.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 테이블 유닛은 선형 가이드를 구비하는 테이블 바디를 더 포함하고,
   상기 선형 가이드는 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 간격이 조절되도록 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 중 하나 이상이 상기 테이블 바디 상에서 선형 이동하는 것을 안내하는 핸들러.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 무빙 프레임에는 상기 테이블 바디의 회전을 안내하기 위한 메인 캠이 구비되고,
   상기 테이블 바디는 상기 무빙 프레임의 상기 메인 캠을 따라 안내되는 캠 팔로워가 구비되고,
   상기 메인 캠은,
   반경의 변화가 없는 원주형의 궤적을 따라 상기 캠 팔로워를 안내하도록 원주형으로 형성되고,
   상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나 및 상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 타원형 궤적을 형성되며,
   상기 원주형 궤적과 상기 타원형 궤적은 동일한 중심을 가지도록 구성되며,
   상기 제1 바디부는,
   상기 무빙 프레임이 상기 메인경로를 따라 이동하도록 안내하는 메인레일; 및
   상기 무빙 프레임이 상기 메인레일을 따라 소정 구간 이동하는 동안에, 상기 캠 팔로워의 이동을 안내하는 서브레일을 구비하고,
   상기 제1 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제1 모드 레일과 연결되고, 상기 제2 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제2 모드 레일과 연결되며,
   상기 제1 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과의 간격이 유지되도록 형성되고,
   상기 제2 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과 이격되거나 가까워지도록 휘어지는 핸들러.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 테이블 유닛은 상기 테이블 바디를 선택적으로 회전시키기 위한 회전 구동 유닛을 더 포함하고,
   상기 회전 구동 유닛은 상기 제1 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키지 않고, 상기 제2 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키도록 구동되는 핸들러.

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