KR100839620B1 - 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구에 있어서, 세타 및 척을 지지하는 내부버티컬과, 상기 내부버티컬을 상하 이동시키는 구동력을 제공하는 DD모터와, 상기 DD모터의 회전운동을 직선운동으로 전환하는 변환수단과, 상기 변환수단에 연결되어 상하 이동되는 상하이동축과, 상기 상하이동축의 어느 일단을 상기 내부버티컬에 고정하는 고정부재로 구성된다.
본 발명에 의하여, 웨이퍼 프로버 상하 이동기구에서 종래의 모터와 연결된 기어감속을 위한 부재가 생략되어 간단하게 구성되어, 웨이퍼 프로버 장치가 상하 이동 시에, 백래쉬를 줄여 정밀하게 웨이퍼를 테스트할 수 있는 효과가 있다.
웨이퍼, 프로버, 상하이동 기구, DD모터, 볼스크류
Description
도1은 일반적인 웨이퍼 프로버 스테이션을 전체적으로 도시한 구성도이다.
도2은 종래 웨이퍼 프로버의 상하 이동기구를 나타낸 구성도이다.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동기구를 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동 기구를 수직방향으로 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
7 : 내부버티컬
8 : 베이스
9 : 외부버티컬
10 : 가이드레일
21 : 스테이터
22 : 로터
23 : 베어링
25 : DD모터
27 : 브라켓
28 : 볼스크류너트
30 : 볼스크류
32 : 고정부재
34 : 너트
본 발명은 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구에 관한 것으로서, 특히 DD모터를 이용하여 간단한 구조와 좀 더 정밀하게 상하 운동을 제어할 수 있는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 프로버 스테이션(Wafer Prober Station)는 반도체 웨이퍼 위에 만들어진 반도체 칩(chip)을 패키징 하기 전에 웨이퍼 상태의 다이(die)들이 정상적으로 동작하는지를 전기적으로 테스트하기 위해 반도체 웨이퍼 내에 있는 다이에 검사용 탐침을 접촉시키고 전기적 신호를 가하여 테스트하여, 양,불량을 판정하는 반도체 제조 공정중의 EDS 검사 장비의 하나이다. 전술한 웨이퍼 프로버는 웨이퍼의 다이의 패드를 직접 접촉하여 테스트하여 불량 다이를 조기에 제거함으로써, 후속되는 패키징 및 패키징 테스트 공정에서 사용될 원자재 및 시간, 기타의 손실을 절감하기 위한 공정 장비이다.
도 1은 웨이퍼 프로버 스테이션을 전체적으로 도시한 정면도이다. 도 1을 참 조하면, 웨이퍼 프로버 스테이션은 반도체 웨이퍼를 폽(Foup) 또는 카세트(casette)에서 테스트 할 수 있는 위치 또는 척(Chuck)위로 이송하는 웨이퍼 로더(Loader), 웨이퍼를 테스트하기 위하여 정밀하게 이송하여 프로브 카드와 접촉시키는 스테이지(Stage), 및 상기 스테이지위의 척(Chuck)위에 놓여진 웨이퍼를 검사하는 테스터(Tester)으로 이루어져 있다. 상기 테스터의 헤더(Header)에는 프로브 카드(Probe card)가 장착되어 있으며, 상기 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼 상의 칩에 전기적인 신호를 가하고 그 결과를 측정함으로써 각 칩에 대한 이상 유무 또는 불량 여부를 검사한다.
여기서, 상기 스테이지는, 4개의 축으로 구성되는 기구부로서, 상기 4개의 축은, 전후축(X축), 좌우축(Y축), 상하축(Z 축) 및 쎄타로 구성되는데, 전후축 및 좌우축은 각각의 평면을 움직이며, 상하축은 전후축 및 좌우축 위에 설치되어 상하로 움직이고, 쎄타는 상하축 위에서 회전하게 된다.
상기 스테이지 중, 특히 종래의 상하축을 이동시키는 기구는 도 2에 도시된 구조를 갖는다. 종래의 쐐기형 구조의 상하 이동 기구는, 도 2에 도시된 바와 같이, 구동 모터(101)의 구동에 따라 수평 방향으로 직선 이동을 하는 하부 쐐기형 부재(107)의 직선 이동에 상응하여 수직 방향으로 상하 이동을 하는 상부 쐐기형 부재(109)로 구성되어 있다. 그리고, 상부 쐐기형부재 위에는 쎄타(112)가 배치된다.
상기 구동 모터(101)의 축에는 볼나사가 커플링(102)에 의해 연결되어 있고 볼나사는 볼나사 너트가 결합되어 있으며, 볼나사 너트는 하부 쐐기형 부재(107)에 일체로 고정되어 있다.
또한, 상기 하부 쐐기형 부재(107)에는 직선 이동 가이드 블록이 고정되어 있고, 그 가이드 블록은 베이스(108)에 고정된 직선 이동 가이드에 결합되어 있어서, 구동 모터(101)가 구동되면 하부 쐐기형 부재(107)는 상기 가이드 블록과 직선 이동 가이드의 상호 작용을 통해, 모터의 회전 방향에 따라 전후 방향으로 직선 이동된다.
상기 상부 쐐기형 부재(109)의 양측에는 수직 이동 가이드(110)가 고정되어 있고, 그 수직 이동 가이드(110)에는 외부버티컬(108)에 고정되어 있는 가이드 블록(111)이 결합되어 있다.
또, 각 쐐기형 부재(107, 109)의 경사면 사이에는 크로스 롤러 가이드(113)가 설치되어 있다. 따라서, 하부 쐐기형 부재(107)가 직선 이동될 때, 상부 쐐기형 부재(109)는 하부 쐐기형 부재(107)의 전후 이동에 상응하여 상승 또는 하강 이동되며, 크로스 롤러 가이드(113)는 각 쐐기형 부재(107, 109)의 경사면에 접촉되어 쐐기형 부재의 원활한 이동을 보장한다.
이러한 종래의 쐐기형 구조의 상하 이동 기구는 다음과 같은 방식으로 작동한다. 구동 모터(101)가 회전되면, 커플링을 통해 볼나사가 회전된다.
그러면, 상기 볼나사는 하부 쐐기형 부재(107)에 고정된 볼나사 너트와 결합되어 있으므로 볼나사의 회전에 의해 하부 쐐기형 부재(107)는 전진 또는 후진 방향으로 직선 이동된다. 이때, 하부 쐐기형 부재(107)에는 가이드 블록이, 그리고 베이스(108)에는 직선 이동 가이드가 고정되어 있어서, 이들 가이드 블록과 직선 이동 가이드의 상호 작용으로, 하부 쐐기형 부재는 전후 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 상부 쐐기형 부재(109)에는 수직 이동 가이드가, 그리고 이 가이드에는 외부버티컬(108)에 고정된 가이드 블록(111)이 고정되어 있어서, 이들 가이드 블록과 수직 이동 가이드의 상호 작용으로, 상부 쐐기형 부재는 상하 방향으로 이동될 수 있다.
하부 쐐기형 부재(107)가 구동 모터(101)의 회전에 따라 전진하면, 크로스 롤러 가이드(113)의 접촉을 통해 상부 쐐기형 부재(109)가 상승된다. 반대로, 하부 쐐기형 부재(107)가 후진되면, 크로스 롤러 가이드(113)의 접촉을 통해 상부 쐐기형 부재(109)가 하강된다.
그러나 종래 기술에 따르면, 감속기어가 있는 모터를 쓰게되는데, 이러한 감속기가 있는 모터의 단점은 감속기어가 필요하므로 백레쉬(back rush)가 커지므로 정밀도에 떨어진다. 또한 구성부품이 많아지므로 상하운동을 위한 부재를 위한 공간을 확보해야하는 문제점이 있다.
그리고, 감속기어를 사용함으로 인한 기어 마모와 오일교환등의 유지보수를 위한 시간과 비용의 낭비가 생기는 문제점이 있다.
또한 기존 웨찌방식으로 하면 편심을 받을 때 웨찌의 양옆방향보다 앞뒤방향의 처지는 기울기 차가 더 큰 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, DD모터를 이용하여, 상하운동기구에 필요한 공간을 절약하고, 구동을 위해 필요한 연결 부재를 간소화하여, 최근의 큰 강성과 높은 정밀도가 요구되는 반도체 셀검사에 대응하는 웨이퍼 프로버 상하 이동기구를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동기구는, 세타 및 척을 지지하는 내부버티컬과, 상기 내부버티컬을 상하 이동시키는 구동력을 제공하는 DD모터와, 상기 DD모터의 회전운동을 직선운동으로 전환하는 변환수단과, 상기 변환수단에 연결되어 상하 이동되는 상하이동축과, 상기 상하이동축의 어느 일단을 상기 내부버티컬에 고정하는 고정부재로 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 변환수단은 상기 DD모터의 로터에 고정된 브라켓과, 상기 브라켓에 고정된 볼스크류너트로 구성되고, 상기 상하이동축은 상기 볼스크류너트의 회전에 의하여 상하 직선운동하는 볼스크류로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 내부버티컬은 강성보강을 위해서 일체로 형성된 부재인 것을 특징으로 한다. Z축 내부의 구조가 간단해지므로 일체형으로 가공하기 쉬워진다.
또한, 상기 상하이동축 및 고정부재는 적어도 어느 일측에 키홈이 형성되어, 상하이동축과 고정부재가 서로 고정되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 고정부재는 상하이동축과 분리되는 것을 방지하는 나사를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 내부 버티컬에는 외주면에 내부버티컬의 상하이동 경로를 안내하는 복수의 가이드 블록이 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 DD모터는 내측에 배치되는 스테이터와, 스테이터의 외측면으로 배치되는 로터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동기구를 나타낸 구성도이고, 도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동 기구를 수직방향의 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 베이스(8) 위에 부착되어 있다. 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 상기 베이스(8)에 고정된 외부버티컬(9)과, 상하운동을 하는 내부버티컬(7)과, 상기 외부버티컬(9)에 내주면에 고정된 가이드 레일(10)과, 상기 내부버티컬(7)에 고정되어 상기 가이드레일(10)과 대응되게 배치되어 상기 내부버티컬(7)이 직선 상하운동되도록 하는 복수의 가이드블록(11)을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 내부버티컬(7)의 상부에는 척(미도시)을 회전시켜주는 세타(19)가 배치된다.
여기서, 상기 내부버티컬(7)은, 내부에 웨이퍼 프로버 상하 이동기구의 구동부가 위치될 수 있는 챔버(7a)를 갖는데, 강성을 높히기 위하여 내부버티컬(7)은 일체의 원통형으로 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 내부버티컬(7)의 내부의 챔버(7a)에는, 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 베이스(8)에 직접 고정되는 DD모터(Direct Drive Motor)(25)가 배치된다.
여기서, 상기 DD모터(25)는 종래의 모터에 비하여 로터 및 스테이터의 지름을 크게 구성할 뿐만 아니라, 로터 및 스테이터의 티스를 작고 촘촘하게 배치함으로써, 큰 반지름을 갖는 많은 자기사이클을 형성되어 높은 토크를 갖는 회전을 발생시킨다.
이러한 DD모터(25)는 종래의 모터에 비하여 높은 토크를 갖고 회전할 수 있으므로, 기어감속기를 포함하지 않고도, 회전축인 볼스크류(30)에 직접 연결되어 상기 내부버티컬(7)을 상하로 이동시킬 수 있다.
따라서, 상기 DD모터(25)는 기어감속기를 생략함으로써, 회전에너지 전달에 있어서 회전축의 회전속도를 감소시키던 마찰에 따른 손실과 소음을 억제할 수 있고, 모터의 회전에 따른 상하 이동거리의 정밀도가 커진다.
이러한 상기 DD모터(25)는 내측면에 위치하는 스테이터(21)가 상기 베이스(8)에 고정되고, 상기 스테이터(21)의 외측면으로 로터(22)가 베어링(23) 위로 회전되도록 구성된다.
여기서, 상기 DD모터(25)는 베어링(23)이 생략되는 구조를 갖더라도 로터(22)의 회전에는 영향이 없다. 나아가, 상기 DD모터(25)는 모터의 외형을 구성하는 허브(미도시)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 상기 DD모터(25)의 구동으로 회전되는 로터(22)에 고정되는 브라켓(27)과, 상기 브라켓(27)에 고정된 볼스크류너트(28)와, 상기 볼스크류너트(28)과 맞물려 직선 상하운동하는 볼스크류(30)와, 상기 볼스크류(30)의 상단에 결합되어 볼스크류(30)가 상기 내부버티컬(7)의 챔버(7a) 측에 고정되게 하는 고정부재(32)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 볼스크류(30)의 상단에는 키홈(30a)이 형성되어 있고, 또한, 상기 고정부재(32)에는 상기 키홈(30a)과 대응되는 키홈(32a)이 형성된다. 그리고, 상기 볼스크류(30)와 고정부재(32)가 결합될 때에는, 상기 키홈(30a, 32a) 사이에 키(33)가 끼워져, 상기 볼스크류(30)와 고정부재(32)가 서로 고정된다.
그리고, 상기 볼스크류(30)로부터 고정부재(32) 및 키(33)가 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 상기 고정부재(32)는 너트(34)로 결합된다.
나아가, 상기 고정부재(32)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 내부버티컬(7)의 내부의 챔버(7a) 측에 직접 부착될 수 있으나, 상기 볼스크류(30)가 쎄타(9)를 관통하여 쎄타(9)의 상층부에 배치되는 뚜껑부재에 부착되는 구조를 갖을 수도 있다.
한편, 상기 가이드레일(10)은 내부버티컬(7)의 좌우로 상기 외부버티컬(9)의 내주면에 각각 배치되고, 상기 가이드 블록(11)은 내부버티컬(7)이 상기 가이드레일(10) 상에서 상하이동될 수 있도록 위아래 각각 2개씩 배치된다. 그리고, 상기 가이드 블록(11)은 가이드 레일(10)을 따라 상하 직선운동하므로, LM(Linear Motion)가이드로 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 다음과 같이 동작한다.
상기 내부버티컬(7)이 위쪽으로 이동시키기 위한 신호가 입력되면, 상기 DD모터(25)가 작동하고, 상기 스테이터(21)의 외륜부에 위치하는 로터(22)가 상기 내부버티컬(7)을 상승시키는데 충분한 토크로, 상기 베어링(23) 위를 반시계방향으로 회전하고, 상기 로터(22)에 고정된 브라켓(27) 및 볼스크류너트(28)가 함께 회전하게 된다.
상기 볼스크류너트(28)의 회전에 따라, 상기 볼스크류(30)가 상승 이동하고, 상기 볼스크류(30)와 고정된 일체형의 내부버티컬(7)이 상기 가이드블록(11) 및 가이드라인(10)의 안내를 받아 직선으로 상승 이동할 수 있게 된다.
이와 반대로, 상기 내부버티컬(7)이 아래쪽으로 이동시키기 위해서, 상기 DD모터(25)가 이러한 신호에 의해 작동되면, 상기 스테이터(21)의 외륜부에 위치하는 로터(22)가 상기 베어링(23) 위에서 시계방향으로 회전하고, 상기 로터(22)에 고정된 브라켓(27) 및 볼스크류너트(28)가 함께 회전하게 된다.
상기 볼스크류너트(28)의 회전에 따라, 상기 볼스크류(30)가 하강 이동하고, 상기 가이드블록(11) 및 가이드라인(10)의 안내를 받아, 볼스크류(30)와 고정된 일체형의 내부버티컬(7)이 하강하게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함으로 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
따라서, 공지된 DD모터 중 상기 실시예와 다른 구조를 갖는 DD모터를 포함하는 본 발명의 실시는 본 발명의 균등 범위에 속한다고 할 것이다.
그리고, 상기 변환수단은 상기 DD모터의 로터에 고정된 브라켓과, 상기 브라켓에 고정된 볼스크류너트로 구성되고, 상기 상하이동축은 상기 볼스크류너트의 회전에 의하여 상하 직선운동하는 볼스크류로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 내부버티컬은 강성보강을 위해서 일체로 형성된 부재인 것을 특징으로 한다. Z축 내부의 구조가 간단해지므로 일체형으로 가공하기 쉬워진다.
또한, 상기 상하이동축 및 고정부재는 적어도 어느 일측에 키홈이 형성되어, 상하이동축과 고정부재가 서로 고정되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 고정부재는 상하이동축과 분리되는 것을 방지하는 나사를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 내부 버티컬에는 외주면에 내부버티컬의 상하이동 경로를 안내하는 복수의 가이드 블록이 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 DD모터는 내측에 배치되는 스테이터와, 스테이터의 외측면으로 배치되는 로터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동기구를 나타낸 구성도이고, 도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버의 상하 이동 기구를 수직방향의 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 베이스(8) 위에 부착되어 있다. 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 상기 베이스(8)에 고정된 외부버티컬(9)과, 상하운동을 하는 내부버티컬(7)과, 상기 외부버티컬(9)에 내주면에 고정된 가이드 레일(10)과, 상기 내부버티컬(7)에 고정되어 상기 가이드레일(10)과 대응되게 배치되어 상기 내부버티컬(7)이 직선 상하운동되도록 하는 복수의 가이드블록(11)을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 내부버티컬(7)의 상부에는 척(미도시)을 회전시켜주는 세타(19)가 배치된다.
여기서, 상기 내부버티컬(7)은, 내부에 웨이퍼 프로버 상하 이동기구의 구동부가 위치될 수 있는 챔버(7a)를 갖는데, 강성을 높히기 위하여 내부버티컬(7)은 일체의 원통형으로 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 내부버티컬(7)의 내부의 챔버(7a)에는, 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 베이스(8)에 직접 고정되는 DD모터(Direct Drive Motor)(25)가 배치된다.
여기서, 상기 DD모터(25)는 종래의 모터에 비하여 로터 및 스테이터의 지름을 크게 구성할 뿐만 아니라, 로터 및 스테이터의 티스를 작고 촘촘하게 배치함으로써, 큰 반지름을 갖는 많은 자기사이클을 형성되어 높은 토크를 갖는 회전을 발생시킨다.
이러한 DD모터(25)는 종래의 모터에 비하여 높은 토크를 갖고 회전할 수 있으므로, 기어감속기를 포함하지 않고도, 회전축인 볼스크류(30)에 직접 연결되어 상기 내부버티컬(7)을 상하로 이동시킬 수 있다.
따라서, 상기 DD모터(25)는 기어감속기를 생략함으로써, 회전에너지 전달에 있어서 회전축의 회전속도를 감소시키던 마찰에 따른 손실과 소음을 억제할 수 있고, 모터의 회전에 따른 상하 이동거리의 정밀도가 커진다.
이러한 상기 DD모터(25)는 내측면에 위치하는 스테이터(21)가 상기 베이스(8)에 고정되고, 상기 스테이터(21)의 외측면으로 로터(22)가 베어링(23) 위로 회전되도록 구성된다.
여기서, 상기 DD모터(25)는 베어링(23)이 생략되는 구조를 갖더라도 로터(22)의 회전에는 영향이 없다. 나아가, 상기 DD모터(25)는 모터의 외형을 구성하는 허브(미도시)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 상기 DD모터(25)의 구동으로 회전되는 로터(22)에 고정되는 브라켓(27)과, 상기 브라켓(27)에 고정된 볼스크류너트(28)와, 상기 볼스크류너트(28)과 맞물려 직선 상하운동하는 볼스크류(30)와, 상기 볼스크류(30)의 상단에 결합되어 볼스크류(30)가 상기 내부버티컬(7)의 챔버(7a) 측에 고정되게 하는 고정부재(32)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 볼스크류(30)의 상단에는 키홈(30a)이 형성되어 있고, 또한, 상기 고정부재(32)에는 상기 키홈(30a)과 대응되는 키홈(32a)이 형성된다. 그리고, 상기 볼스크류(30)와 고정부재(32)가 결합될 때에는, 상기 키홈(30a, 32a) 사이에 키(33)가 끼워져, 상기 볼스크류(30)와 고정부재(32)가 서로 고정된다.
그리고, 상기 볼스크류(30)로부터 고정부재(32) 및 키(33)가 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 상기 고정부재(32)는 너트(34)로 결합된다.
나아가, 상기 고정부재(32)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 내부버티컬(7)의 내부의 챔버(7a) 측에 직접 부착될 수 있으나, 상기 볼스크류(30)가 쎄타(9)를 관통하여 쎄타(9)의 상층부에 배치되는 뚜껑부재에 부착되는 구조를 갖을 수도 있다.
한편, 상기 가이드레일(10)은 내부버티컬(7)의 좌우로 상기 외부버티컬(9)의 내주면에 각각 배치되고, 상기 가이드 블록(11)은 내부버티컬(7)이 상기 가이드레일(10) 상에서 상하이동될 수 있도록 위아래 각각 2개씩 배치된다. 그리고, 상기 가이드 블록(11)은 가이드 레일(10)을 따라 상하 직선운동하므로, LM(Linear Motion)가이드로 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상하 이동기구는, 다음과 같이 동작한다.
상기 내부버티컬(7)이 위쪽으로 이동시키기 위한 신호가 입력되면, 상기 DD모터(25)가 작동하고, 상기 스테이터(21)의 외륜부에 위치하는 로터(22)가 상기 내부버티컬(7)을 상승시키는데 충분한 토크로, 상기 베어링(23) 위를 반시계방향으로 회전하고, 상기 로터(22)에 고정된 브라켓(27) 및 볼스크류너트(28)가 함께 회전하게 된다.
상기 볼스크류너트(28)의 회전에 따라, 상기 볼스크류(30)가 상승 이동하고, 상기 볼스크류(30)와 고정된 일체형의 내부버티컬(7)이 상기 가이드블록(11) 및 가이드라인(10)의 안내를 받아 직선으로 상승 이동할 수 있게 된다.
이와 반대로, 상기 내부버티컬(7)이 아래쪽으로 이동시키기 위해서, 상기 DD모터(25)가 이러한 신호에 의해 작동되면, 상기 스테이터(21)의 외륜부에 위치하는 로터(22)가 상기 베어링(23) 위에서 시계방향으로 회전하고, 상기 로터(22)에 고정된 브라켓(27) 및 볼스크류너트(28)가 함께 회전하게 된다.
상기 볼스크류너트(28)의 회전에 따라, 상기 볼스크류(30)가 하강 이동하고, 상기 가이드블록(11) 및 가이드라인(10)의 안내를 받아, 볼스크류(30)와 고정된 일체형의 내부버티컬(7)이 하강하게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함으로 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
따라서, 공지된 DD모터 중 상기 실시예와 다른 구조를 갖는 DD모터를 포함하는 본 발명의 실시는 본 발명의 균등 범위에 속한다고 할 것이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구는, 감속기어가 없는 DD모터를 사용함으로서, 백래쉬를 줄이고 분해능이 뛰어나 더욱 정밀하게 웨이퍼 프로버를 제어할 수 있는 이점이 있다.
또한, 종래의 모터를 사용할 때와는 달리, 내부버티컬을 일체로 구성할 수 있으므로, 강성이 좋으며, 잔류진동을 줄임으로 인하여 위치 결정시간을 단축할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 종래의 모터를 사용할 때와는 달리, 감속기어 등의 부품을 사용하지 않음으로서 백레쉬를 줄이고 볼스크류, 볼스크류 너트, 직선운동을 하는 가이드레일을 없앨 수 있어서 구조가 간단해질 뿐만아니라, 내부버티컬 내부의 챔버의 공간을 이용하여 스트로크를 늘릴 수 있는 여유가 생기는 이점이 있다.
또한, 힘에 의한 처짐량에 있어서도, 종래기술에 의한 상하 이동수단과는 달리, 대칭구조로 제작할 수 있으므로 처짐량이 일정하게 되는 이점이 있다.
Claims (7)
- 세타 및 척을 지지하는 내부버티컬과;상기 내부버티컬을 상하 이동시키는 구동력을 제공하는 DD모터와;상기 DD모터의 회전운동을 직선운동으로 전환하는 변환수단과;상기 변환수단에 연결되어 상하 이동되는 상하이동축과;상기 상하이동축의 어느 일단을 상기 내부버티컬에 고정하는 고정부재를 구비하고,상기 DD모터는 내측에 배치되는 스테이터와, 상기 스테이터의 외측면으로 배치되는 로터를 포함하는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 변환수단은 상기 DD모터의 로터에 고정된 브라켓과, 상기 브라켓에 고정된 볼스크류너트로 구성되고,상기 상하이동축은 상기 볼스크류너트의 회전에 의하여 상하 직선운동하는 볼스크류로 구성되는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 내부버티컬은 일체로 형성된 부재인 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 상하이동축 및 고정부재는 적어도 어느 일측에 키홈이 형성되어, 상하이동축과 고정부재가 서로 고정되는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 제 4 항에 있어서,상기 고정부재는 상하이동축과 분리되는 것을 방지하는 나사를 포함하여 구성되는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 내부 버티컬에는 외주면에 내부버티컬의 상하이동 경로를 안내하는 복수의 가이드 블록이 배치되는 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구.
- 삭제
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109366138A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-22 | 武汉精毅通电子技术有限公司 | 一种用于显示面板pin角导通测试的垂直压接装置 |
Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR19990074196A (ko) | 1998-03-07 | 1999-10-05 | 윤종용 | 프로브 카드의 교환 장치 |
| KR20010058702A (ko) | 1999-12-30 | 2001-07-06 | 서성원 | 프로브 장비의 프로브 카드 교환기 및 브리지의 일체형 모듈 |
| KR100369537B1 (ko) | 2001-02-09 | 2003-02-05 | 세크론 주식회사 | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 |
-
2007
- 2007-03-23 KR KR1020070028410A patent/KR100839620B1/ko active IP Right Grant
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