KR101407389B1 - 기판 세정 장치 - Google Patents

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문재권
강병주
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치는, 기판에 대한 세정 공정이 진행되며 내부에는 기판이 로딩되어 회전되는 스핀척이 구비되는 세정 챔버; 및 세정 챔버 내에서 스핀척을 둘러싸도록 구비되며, 기판으로부터 비산되는 세정액을 종류별로 회수하는 복수 개의 회수컵을 구비하는 회수부;를 포함하며, 복수 개의 회수컵은 각각의 구동원에 의해 스핀척에 대해 높이 방향으로 개별 구동됨으로써 스핀척에 로딩된 기판에 대한 회수컵의 상대적인 위치가 선택적으로 조절될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있다.

Description

기판 세정 장치{Apparatus to clean substrate}
기판 세정 장치가 개시된다. 보다 상세하게는, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있는 기판 세정 장치가 개시된다.
일반적으로 반도체 소자는 기판, 예를 들어, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)를 이용하여 증착, 사진 및 식각 공정 등을 반복 수행함으로써 제조될 수 있다. 공정들을 거치는 동안 기판 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기 불순물 등과 같은 오염 물질이 잔존할 수 있다. 오염 물질은 반도체 소자의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에, 반도체 제조 시에는 기판에 잔존하는 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 수행된다.
세정 공정을 위한 세정 방식은 크게 건식(dry) 세정 방식 및 습식(wet) 세정 방식으로 구분될 수 있으며, 이 중에서 습식 세정 방식은 여러 가지 약액을 이용한 세정 방식으로서, 복수의 기판을 동시에 세정하는 배치식(batch type) 기판 세정 장치와, 낱장 단위로 기판을 세정하는 매엽식(single wafer type) 기판 세정 장치로 구분된다.
배치식 기판 세정 장치는 세정액이 수용된 세정조에 복수의 기판을 한번에 침지시켜서 오염 물질을 제거한다. 그러나, 기존의 배치식 기판 세정 장치는 기판의 대형화 추세에 대한 대응이 용이하지 않고, 세정액 사용이 많다는 단점이 있다. 또한 배치식 기판 세정 장치에서 세정 공정 중에 기판이 파손될 경우, 세정조 내에 있는 기판 전체에 영향을 끼치므로 다량의 기판 불량이 발생할 수 있는 우려가 있다.
따라서, 최근에는 매엽식 기판 세정 장치가 선호되고 있는 추세이다.
매엽식 기판 세정 장치는 낱장의 기판 단위로 처리하는 방식으로서, 고속으로 회전시킨 기판 표면에 세정액을 분사함으로써 기판의 회전에 의한 원심력과 세정액의 분사에 따른 압력을 이용하여 오염 물질을 제거하는 스핀 방식으로 세정이 진행된다.
일반적으로 종래의 매엽식 기판 세정 장치는, 기판이 수용되어 세정 공정이 진행되는 챔버와, 기판을 고정시킨 상태로 회전하는 스핀척과, 기판에 약액과 린스액 및 건조가스 등을 포함하는 세정액을 공급하기 위한 노즐 어셈블리를 포함한다. 또한, 챔버 내부에는 기판에서 비산되는 세정액을 포집하는 회수부가 구비되며, 이러한 회수부는 높이 방향으로 마련되는 복수 개의 회수컵을 구비한다.
이러한 구성에 의해서, 복수의 회수컵에 대한 스핀척의 상대적인 높이를 조절하면서 세정 공정이 진행되기 기판에 대한 세정 공정을 원활하게 수행할 수 있다.
그런데, 종래의 기판 세정 장치에 있어서는, 기판이 로딩된 스핀척에 대한 회수컵의 상대적인 높이를 맞추기 위한 구조가 복잡하였으며, 또한 세정 공정 중 분사되는 세정액에 따라 회수컵의 높이를 맞추더라도 비산된 세정액이 다른 회수컵으로 침투할 수 있어 다른 종류의 세정액끼리 혼합될 우려가 있다.
따라서, 스핀척에 로딩된 기판에 대한 회수컵의 위치를 간소한 구조로 정확하게 구현할 수 있으면서도 종류별로 세정액을 회수할 수 있는 기판 세정 장치의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 다른 목적은, 세정액이 해당 회수컵으로 회수될 때 다른 회수컵으로는 세정액이 인입되는 것을 방지할 수 있어 다른 세정액끼리 혼합되는 것을 방지할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 다른 목적은, 회수컵의 위치에 따라 배기가스의 배출 경로도 개별적으로 형성되어 세정 공정 중 발생 가능한 배기가스의 배출을 신뢰성 있게 수행할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치는, 기판에 대한 세정 공정이 진행되며 내부에는 상기 기판이 로딩되어 회전되는 스핀척이 구비되는 세정 챔버; 및 상기 세정 챔버 내에서 상기 스핀척을 둘러싸도록 구비되며, 상기 기판으로부터 비산되는 세정액을 종류별로 회수하는 복수 개의 회수컵을 구비하는 회수부;를 포함하며, 상기 복수 개의 회수컵은 각각의 구동원에 의해 상기 스핀척에 대해 높이 방향으로 개별 구동됨으로써 상기 스핀척에 로딩된 상기 기판에 대한 상기 회수컵의 상대적인 위치가 선택적으로 조절될 수 있으며, 이러한 구성에 의해서, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있다.
상기 복수 개의 회수컵을 통해 각각 회수되는 상기 세정액은 상기 회수컵의 위치에 따라 독립적으로 마련되는 각각의 회수 경로를 따라 각각의 세정액 회수부로 이송될 수 있다.
상기 복수 개의 회수컵 중 상부에 구비되는 일부의 회수컵은 상기 구동원에 의해 직접 전달되는 구동력에 의해 승강 구동되며, 하부에 구비되는 나머지 회수컵은 상기 구동원에 의해 발생되는 구동력이 엘보우 형태의 브라켓을 통해 전달됨으로써 승강 구동될 수 있다.
상기 브라켓은, 상기 구동원에 구비되는 이동축의 단부에서 가로 방향으로 연결되는 연결바아; 및 상기 연결바아의 단부에서 높이 방향으로 연결되어 상기 회수컵에 결합되는 이동바아를 포함하며, 상기 구동원의 구동에 의해 상기 이동축의 승강 시 상기 연결바아에 의해 상기 이동축과 연결되는 상기 이동바아가 승강함으로써 상기 회수컵을 승강 구동시킬 수 있다.
상기 세정액의 종류에 따라 다르게 발생되는 배기가스의 배출을 위해, 상기 회수컵의 위치에 따라 개별적인 배출 라인을 갖는 배기부를 더 포함할 수 있으며, 이로 인해 세정 공정 중 발생 가능한 배기가스의 배출을 신뢰성 있게 수행할 수 있다.
상기 기판을 향하는 상기 회수컵의 단부는 하방으로 경사지게 형성되어 인접한 상기 회수컵들끼리 접근 시 상부의 회수컵의 단부 영역이 하부의 회수컵의 단부 영역을 부분적으로 덮을 수 있으며, 이로 인해 세정액이 해당 회수컵으로 회수될 때 다른 회수컵으로는 세정액이 인입되는 것을 방지할 수 있어 다른 세정액끼리 혼합되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따르면, 세정액이 해당 회수컵으로 회수될 때 다른 회수컵으로는 세정액이 인입되는 것을 방지할 수 있어 다른 세정액끼리 혼합되는 것을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따르면, 회수컵의 위치에 따라 배기가스의 배출 경로도 개별적으로 형성되어 세정 공정 중 발생 가능한 배기가스의 배출을 신뢰성 있게 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 외관을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 내부 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에서 회수컵의 위치가 변경된 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 도 2 및 도 3에서 회수컵의 위치가 변경된 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 구동원에 의해서 회수컵이 작동하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 외관을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 내부 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에서 회수컵의 위치가 변경된 상태를 도시한 도면이며, 도 4는 도 2 및 도 3에서 회수컵의 위치가 변경된 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 도 1에 도시된 구동원에 의해서 회수컵이 작동하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(100)는, 기판(W)이 수용되는 공간을 형성하며 기판(W) 로딩되어 회전되는 스핀척(120)이 구비되는 세정 챔버(110)와, 세정액을 분사하는 노즐부(미도시)와, 개별 구동이 가능한 복수 개의 회수컵(131, 133, 135)을 구비하는 회수부(130)와, 회수컵(131, 133, 135)의 위치에 따라 개별적인 배출 경로가 형성되는 배기부(150)를 포함할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 본 실시예의 세정 챔버(110)는, 기판(W)을 수용하여 세정 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 예를 들면, 세정 챔버(110)는 기판(W)의 둘레를 둘러싸는 보울(bowl) 형태로 마련되며 기판(W)의 출입이 가능하도록 상부가 개방된 형상을 갖는다.
여기서, 세정 대상물인 기판(W)은 반도체 기판이 되는 실리콘 웨이퍼일 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(W)은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel)와 같은 평판 디스플레이 장치용으로 사용하는 유리와 같은 투명 기판일 수 있다. 또한, 기판(W)은 형상 및 크기가 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 원형 및 사각형 플레이트 등 실질적으로 다양한 형상과 크기를 가질 수 있다. 기판(W)의 형상 및 크기에 따라 챔버 및 스핀척의 크기와 형상 역시 변경될 수 있다.
이러한 세정 챔버(110)의 내측벽에는 세정 공정 시 기판(W)으로부터 비산되는 세정액을 종류별로 회수할 수 있는 회수부(130)가 마련될 수 있다.
한편, 본 실시예의 노즐부(미도시)는, 도시하지는 않았지만, 기판(W)의 중앙 영역의 상부에서 기판(W)으로 세정액을 분사하는 부분으로서, 세정된 기판(W)의 세정면과 마주하도록 세정 챔버(110)의 출입구를 통해 세정 챔버(110) 내부로 인입된다.
또한, 세정 챔버(110) 내에는 기판(W)을 직접적으로 지지하는 스핀척(120)이 구비되는데, 이러한 스핀척(120)은 세정 챔버(110) 내에서 기판(W)을 지지한 상태로 회전할 수 있어 세정 공정을 수행할 수 있도록 한다. 자세히 후술하겠지만, 스핀척(120)은 세정 공정이 수행됨에 따라 기판(W)에 분사되는 세정액의 종류에 따라 회수부(130)에 대한 상대적인 높이를 달리 하며, 따라서 여러 종류로 마련되는 세정액이 혼합되는 일 없이 원활하게 회수될 수 있도록 한다.
한편, 본 실시예의 회수부(130)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 것처럼, 세정 챔버(110) 내에서 스핀척(120)을 둘러싸도록 마련되며 높이 방향으로 적층되는 복수 개의 회수컵(131, 133, 135)을 구비한다. 복수 개의 회수컵(131, 133, 135)에는 각각 해당 세정액만이 회수될 수 있으며, 이에 따라 기판(W) 세정 공정에 의한 세정액 회수 시 서로 다른 종류의 세정액이 서로 혼합되는 것을 방지할 수 있다.
부연 설명하면, 본 실시예의 회수부(130)는 총 3개의 회수컵(131, 133, 135)을 높이 방향으로 구비하며, 이에 따라 예를 들면 제1 약액, 제2 약액 및 순수를 각각의 회수컵(131, 133, 135)으로 포집할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제일 하부의 회수컵을 제1 회수컵(131), 그 다음 회수컵을 제2 회수컵(133) 그리고 제일 상부의 회수컵을 제3 회수컵(135)이라 명칭하기로 한다.
이러한 구성의 제1 회수컵(131), 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)은 높이 방향으로 고정된 스핀척(120)에 대해 상대적인 위치를 조절할 수 있도록 개개의 구동원(140; 141, 143, 145)과 연결된다. 즉, 제1 회수컵(131)은 제1 구동원(141)에 의해 구동되고, 제2 회수컵(133)은 제2 구동원(143)에 의해 구동되며, 제3 회수컵(135)은 제3 구동원(145)에 의해 구동될 수 있는 것이다.
따라서, 도 2에 도시된 것처럼, 예를 들면 제1 약액을 회수하고자 하는 경우, 제1 내지 제3 회수컵(131, 133, 135)을 모두 스핀척(120)의 상부로 구동시킬 수 있고, 예를 들면 제2 약액을 회수하고자 하는 경우 도 3에 도시된 것처럼 스핀척(120)에 로딩된 기판(W)이 제1 회수컵(131) 및 제2 회수컵(133)의 사이에 위치하도록 (도 2 기준으로) 제1 회수컵(131)을 하방으로 구동시킬 수 있다. 또한 예를 들면 순수를 회수하고자 하는 경우, 도 4에 도시된 것처럼, 스핀척(120)에 로딩된 기판(W)이 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)의 사이에 위치하도록 (도 3 기준으로) 제2 회수컵(133)을 하방으로 구동시킬 수 있다.
이와 같이, 기판(W)에 분사되는 세정액의 종류에 따라 제1 회수컵(131), 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)을 각각 구동시킬 수 있어, 세정액은 각각의 경로를 따라 세정액 회수부(160)로 이동될 수 있다.
도면을 참조하여 이에 대해 부연 설명하면, 제1 약액을 회수하는 경우, 도 2에 도시된 것과 같은 회수 경로(A1)를 따라 제1 약액은 제1 세정액 회수부(161)로 이동될 수 있고, 제2 약액을 회수하는 경우 도 3에 도시된 회수 경로(A2)를 따라 제2 약액은 제2 세정액 회수부(163)로 이동될 수 있으며, 순수를 회수하는 경우 도 4에 도시된 회수 경로(A3)를 따라 순수는 순수 회수부(165)로 이동될 수 있다.
즉, 제1 회수컵(131), 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)의 위치에 따라 별도의 회수 경로(A1, A2, A3)가 형성되는 것이며, 따라서 세정액은 회수 경로(A1, A2, A3) 상에서도 겹치는 일 없이 이송될 수 있어 세정액이 혼합되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예의 회수부(130)는 해당 회수컵(131, 133, 135)으로 세정액이 회수될 때 다른 회수컵으로 세정액이 침투하는 것을 저지하기 위해, 회수컵(131, 133, 135)들 중 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)의 단부(스핀척(120)을 향하는 단부)는 하방으로 경사지게 형성된다. 따라서, 예를 들어 도 4에 도시된 것처럼 순수를 회수하는 경우, 제2 회수컵(133)의 단부(133a)가 제1 회수컵(131)의 단부(131a)를 부분적으로 덮음으로써, 즉 입구를 봉쇄함으로써 순수가 제1 회수컵(131) 및 제2 회수컵(133)의 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 전술한 것처럼 제1 회수컵(131), 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)은 각각의 구동원(140), 즉 제1 구동원(141), 제2 구동원(143) 및 제3 구동원(145)에 의해 개별적으로 구동된다. 그런데, 여기서, 제1 구동원(141) 및 제2 구동원(143)은 세정 챔버(110) 외부에서 제3 회수컵(135) 및 제2 회수컵(133)으로 구동력을 직접 전달함으로써 제3 회수컵(135) 및 제 2 회수컵(133)을 승강 구동시키는 실린더 타입으로 마련되는 반면에, 제3 구동원(145)은 제1 회수컵(135)에 직접 구동력을 전달하는 것이 아니라 브라켓(146)에 의해 연결되어 브라켓(146)을 통해 구동력을 전달하는 실린더 타입으로 마련된다.
여기서, 제3 구동원(145)의 구동력을 제1 회수컵(131)으로 전달하는 브라켓(146)에 대해 부연 설명하면, 본 실시예의 브라켓(146)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제3 구동원(145)의 이동축(145a)의 단부에서 가로 방향으로 연결되는 연결바아(147)와, 연결바아(147)의 단부에서 높이 방향으로 연결되어 제1 회수컵(131)에 결합되는 이동바아(148)를 포함할 수 있다. 따라서, 제3 구동원(145)의 구동에 의해 이동축의 승강 시 연결바아(147)에 의해 이동축(145a)과 연결되는 이동바아(148)가 승강함으로써 제1 회수컵(131)을 승강 구동시킬 수 있다.
이처럼, 제1 회수컵(131), 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)은 개개의 구동원(141, 143, 145)에 의해 구동되기 때문에 스핀척(120)에 로딩된 기판(W)에 대해 회수컵(131, 133, 135)들의 상대적인 위치를 적절하게 조절할 수 있으며, 따라서 해당 회수컵(131, 133, 135)으로만 세정액이 회수될 수 있다.
한편, 기판(W) 세정 공정 시 배기가스가 배출될 수 있는데, 본 실시예의 경우 회수컵(131, 133, 135)의 위치에 따라 발생되는 배기가스를 각각의 배출 경로로 배출하는 복수 개의 배기부(150)를 더 포함할 수 있다.
즉, 제1 약액의 회수 공정 시, 도 2에 도시된 바와 같이 회수컵(131, 133, 135)들이 스핀척(120)의 상부에 위치하게 되는데, 이 때 발생되는 배기가스는 배기부(150)들 중 제1 배기부(151)를 향하는 배출 경로(B1)를 통해 배출될 수 있다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 회수컵(131) 및 제2 회수컵(133)의 사이로 제2 약액을 배출하는 경우 이 때 발생되는 배기가스를 별도의 배출 경로(B2)를 통해 제2 배기부(153)로 배출할 수 있다.
마찬가지로, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 회수컵(133) 및 제3 회수컵(135)의 사이로 순수를 배출하는 경우 이 때 발생되는 배기가스를 별도의 배출 경로(B3)를 통해 제3 배기부(155)로 배출시킬 수 있다.
이처럼, 해당 세정 공정에 따라 발생되는 배기가스를 별도의 배출 경로(B1, B2, B3)를 통해 배출할 수 있어 세정 챔버(110) 내에 배기가스가 잔존하는 것을 차단할 수 있으며, 따라서 기판(W)에 대한 세정 공정의 신뢰성 향상을 도모할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정액을 회수하는 복수 개의 회수컵(131, 133, 135)이 개별적으로 구동 가능하여 세정액을 종류별로 신뢰성 있게 회수할 수 있으며, 세정액이 해당 회수컵(131, 133, 135)으로 회수될 때 다른 회수컵(131, 133, 135)으로는 세정액이 인입되는 것을 방지할 수 있어 다른 세정액끼리 혼합되는 것을 방지할 수 있고, 아울러 회수컵(131, 133, 135)의 위치에 따라 배기가스의 배출 경로도 개별적으로 형성되어 세정 공정 중 발생 가능한 배기가스의 배출을 신뢰성 있게 수행할 수 있는 장점이 있다.
전술한 실시예에서는, 회수부가 총 3개의 회수컵으로 구성된다고 하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 더 많은 수의 회수컵으로 또는 2개의 회수컵으로 회수부가 구성될 수 있음은 당연하다.
또한, 전술한 실시예에서는 스핀척이 회전만 가능할 뿐 높이 방향으로는 고정된 구조를 갖는다고 하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 스핀척이 승강함으로써 회수컵들에 대한 상대적인 높이를 조절할 수 있음은 당연하다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 세정 장치
110 : 세정 챔버 120 : 스핀척
130 : 회수부 131 : 제1 회수컵
133 : 제2 회수컵 135 : 제3 회수컵
140 : 구동원 141 : 제1 구동원
143 : 제2 구동원 145 : 제3 구동원
150 : 배기부

Claims (7)

  1. 기판에 대한 세정 공정이 진행되며 내부에는 상기 기판이 로딩되어 회전되는 스핀척이 구비되는 세정 챔버;
    상기 세정 챔버 내에서 상기 스핀척을 둘러싸도록 구비되며, 상기 기판으로부터 비산되는 세정액을 종류별로 회수하는 복수 개의 회수컵을 구비하는 회수부; 및
    상기 회수컵의 위치에 따라 개별적인 배출 라인을 가짐으로써 상기 세정액의 종류에 따라 다르게 발생되는 배기가스를 분류하여 배출시키는 복수 개의 배기부;
    를 포함하며,
    상기 복수 개의 회수컵은 각각의 구동원에 의해 상기 스핀척에 대해 높이 방향으로 개별 구동됨으로써 상기 스핀척에 로딩된 상기 기판에 대한 상기 회수컵의 상대적인 위치가 선택적으로 조절되는 기판 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 회수컵을 통해 각각 회수되는 상기 세정액은 상기 회수컵의 위치에 따라 독립적으로 마련되는 각각의 회수 경로를 따라 각각의 세정액 회수부로 이송되는 기판 세정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 회수컵 중 상부에 구비되는 일부의 회수컵은 상기 구동원에 의해 직접 전달되는 구동력에 의해 승강 구동되며, 하부에 구비되는 나머지 회수컵은 상기 구동원에 의해 발생되는 구동력이 엘보우 형태의 브라켓을 통해 전달됨으로써 승강 구동되는 기판 세정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 브라켓은,
    상기 구동원에 구비되는 이동축의 단부에서 가로 방향으로 연결되는 연결바아; 및
    상기 연결바아의 단부에서 높이 방향으로 연결되어 상기 회수컵에 결합되는 이동바아를 포함하며,
    상기 구동원의 구동에 의해 상기 이동축의 승강 시 상기 연결바아에 의해 상기 이동축과 연결되는 상기 이동바아가 승강함으로써 상기 회수컵을 승강 구동시키는 기판 세정 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판을 향하는 상기 회수컵의 단부는 하방으로 경사지게 형성되어 인접한 상기 회수컵들끼리 접근 시 상부의 회수컵의 단부 영역이 하부의 회수컵의 단부 영역을 부분적으로 덮는 기판 세정 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 스핀척은 상기 회수컵과의 상대적인 위치 조절을 위해 승강 가능한 기판 세정 장치.
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