JP2008122254A - 触針式段差計における変位センサ用差動トランス - Google Patents
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Abstract
質量の小さいコアを用い、高い直線性と高い変位分解能が得られるようにした触針式段差計における変位センサ用差動トランスを提供する。
【解決手段】
支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を設け、探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを設け、探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを支持体に取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計における変位センサ用差動トランスにおいて、変位センサの磁性体コアは飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料で円筒形に構成され、円筒形の磁性体コアを通す開口部を備えたコイルボビンに巻かれるコイルは飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料のシールドでシールドされる。
【選択図】 図6
Description
のである。
変位センサの磁性体コアを飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料で円筒形に構成し、
円筒形の磁性体コアを通す開口部を備えたコイルボビンに巻かれるコイルを飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料のシールドでシールドした
ことを特徴としている。
21:コイルボビン
22:端部フランジ
23:端部フランジ
24:中間のフランジ
25:中間のフランジ
26:1次コイル
27:2次コイル
28:2次コイル
29:シールド
29a:円筒体
29b:穴あき円板
Claims (10)
- 支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を設け、探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを設け、探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを支持体に取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計における変位センサ用差動トランスにおいて、
変位センサの磁性体コアを飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料で円筒形に構成し、
円筒形の磁性体コアを通す開口部を備えたコイルボビンに巻かれるコイルを飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料のシールドでシールドした
ことを特徴とする触針式段差計における変位センサ用差動トランス。 - 飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料がパーマロイPBであることを特徴とする請求項1に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- シールドが、コイルの外周を覆う円筒体と、コイルボビンの端面を覆う二枚の穴あき円板とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- コイルボビンに巻かれるコイルを三段型に構成したことを特徴とする請求項1に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- コイルボビンに巻かれるコイルを二段型に構成したことを特徴とする請求項1に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- コイルボビンに巻かれるコイルにおける2次コイルの抵抗値が100Ω程度であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- 1次電圧が、バルクハウゼン雑音を増大させない程度に高く設定されることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- 1次電圧がほぼ1.0V〜2Vの範囲に設定されることを特徴とする請求項7に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- コイルボビンに巻かれるコイルが三段型である場合に、1次電圧がほぼ1.5V〜2Vの範囲に設定されることを特徴とする請求項7に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
- コイルが三段型であり、中段が1次コイルであり、上段及び下段が2次コイルであり、1次コイル及び2次コイルが直径0.09mmの銅線から成ることを特徴とする請求項1〜9の何れか一項に記載の触針式段差計における変位センサ用差動トランス。
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