JP2006226964A - 試料の表面形状の測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】
探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の垂直方向変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することから成る。また、試料の表面形状の測定装置は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段を有する。
【選択図】 図4
Description
1.1×Fr2/I<d2z/dt2<0.9×Fr2/I
を用いることができる。この場合、d2z/dt2を1.1×Fr2/Iより大きくしたのはこの下限値より小さいと応答速度が悪くなり、また係数はd2z/dt2を計算する際のノイズの問題で正確な導出が困難であるために導入され得る。代わりに、かかる条件として
d2z/dt2<0.9×Fr2/I
を用いてもよい。
被測定試料の表面に対して垂直方向に移動可能でしかも被測定試料の表面に沿って相対的に移動可能である探針と;
探針に被測定試料の表面に対して垂直方向に向う針圧を作用させる針圧付加手段と;
探針の垂直方向の変位を検出する検出手段と;
検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段と;
を有することを特徴としている。
いることを特徴とする請求項9に記載の試料の表面形状の測定装置。
差動トランスの二次コイルの出力電圧は、検出回路16で計測され、検出回路16は計測した出力電圧に相応したのアナログ信号をアナログ入出力ボード12を介してコンピュータ装置11に入力し、コンピュータ装置11はこのアナログ信号に基き、既知の感度係数を用いて探針4の針先の垂直方向変位に換算する。これをミリ秒間隔で逐次、繰返し行うことで、ほぼリアルタイムで変位をモニターする。またコンピュータ装置11は、探針4の針先の垂直方向変位を時間徴分して針先のz方向(試料表面に垂直方向)の速度、加速度を算出し、こうして得られた速度及び加速度もリアルタイムでモニターし、探針4のとびを判断する。
F=I/r2 d2z/dt2 (1)
即ち、力Fが働く場での、質量がI/r2の質点の運動とみなすことができる。従って、探針4が跳んでいる間は重力場での質点の自由落下運動とみなすことができ、Fが一定ならd2z/dt2も一定になる。つまり図3におけるzの軌跡は放物線になっている。
h=Iv0 2/2r2F (2)
2t0=2Iv0/r2F (3)
即ち、Iを小さくし、rを大きくすることでhや2t0を小さくできることを示し、その際の依存性も示している。また、v0は走査の速さに比例するので、走査速さととびの関係も分かる。
1.1 × F r2 / I < d2z/dt2 < 0.9 × F r2 / I
を満たすかどうかで判断する(Fは負の値である)。1.1及び0.9の係数を掛けた理由は、後述のようにノイズの問題で正確なd2z/dt2 の導出が困難なためで、不等式により範囲を限定した。
d2z/dt2 < 0.9 × F r2 / I
zの測定値はノイズを含むので、d2z/dt2 を正確に導出するには、ノイズを除去するように移動平均などの処理が必要であり、それを行うには多くのデータ数が必要となり、その分の測定に時間が余計にかかり、とびの判断に時間を要する。また、場合によっては、この方法では上の段から下の段に降りるときにも「とんだ」と判断するが、その場合には力を増す必要はない。つまり、必要がないときにも、力を増してしまう場合がある。
走査速度/2 < dz/dt かつ d2z/dt2 < 0
で判断してもよい。さらには、「走査速度/2 < dz/dt」を満たした後、「d2z/dt2 < 0」を満たすまでの時間は実際には十分短い(図7の例では10から20msであり、その間に進む走査距離は1から2μmと非常に小さい)ので、
走査速度/2 < dz/dt
で判断してもよい。
図3と同じ試料において、探針4に加える力を0.15mgf、走査速度を0.1mm/sという同じ条件で測定を開始し、2msごとにz、dz/dt、d2z/dt2をモニターし、dz/dt>5×10−5mm/ms、かつ、d2z/dt2<0を満たしたときに、針圧付加手段用電源13から針圧付加手段5におけるコイル5bへ流す電流を増加させ、探針4に加える力を1.8mgfに増大した。このときの時間は図7の横軸で約380msである。その後、160msの間、その力を保っている。そして、その後、40msかけて一定の割合で電流値を下げ、図の横軸580msで探針4に加える力を0.15mgf戻している。これにより探針4の飛びを小さく押さえて、飛んでいる時間を短くし、時間の無駄を省き、かつ、試料の端により近い場所での膜厚、段差測定が可能になった。
試料の段差部分でも探針4がとばない程度の強い力で測定を開始し、探針4の針先が軟らかい試料の上に来たら(通常、段差は予めある程度は分かっているので、zのモニタリングにより判断する)力を徐々に弱める方法である。
2:支点
3:揺動支持棒
4:探針
5:針圧付加手段
6:検出手段
7:試料ホルダー
8:走査ステージ
9:被測定試料
10:制御手段
11:コンピュータ装置
12:アナログ入出力ボード
13:針圧付加手段用電源
14:駆動装置
15:汎用インターフェースボード
16:検出回路
Claims (14)
- 探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することを特徴とする試料の表面形状の測定方法。
- 被測定試料が比較的軟らかい材料から成り、探針が軟らかい試料の上に達した時点で探針に加える力を徐々に弱めて、とびを防ぎ、かつ、試料の変形のない状態で表面形状を測定することを特徴とする請求項1に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の被測定試料の表面に垂直な方向の位置をzとするときのd2z/dt2の値が、探針の針圧をF、探針の支点のまわりの慣性モーメントをI、支点から探針の先端までの距離をrとするときのFr2/Iに対して予定の範囲内になった時に探針のとびと判断することを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の被測定試料の表面に垂直な方向の位置をzとするとき、dz/dtの値が設定値より大きくかつd2z/dt2の値が負になった時に探針のとびはじめと判断することを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の被測定試料の表面に垂直な方向の位置をzとするとき、dz/dtの値が探針の走査速度/2〜走査速度/10より大きくなった時に探針のとびと判断することを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の被測定試料の表面に垂直な方向の位置をzとするとき、dz/dtの値が探針の走査速度/2〜走査速度/10より大きくしかもd2z/dt2の値が負なった時に探針のとびと判断することを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の変位のモニターを電気的に行うことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 探針の変位のモニターを光学的に行うことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面形状の測定方法。
- 被測定試料の表面に対して垂直方向に移動可能でしかも被測定試料の表面に沿って相対的に移動可能である探針と;
探針に被測定試料の表面に対して垂直方向に向う針圧を作用させる針圧付加手段と;
探針の垂直方向の変位を検出する検出手段と;
検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段と;
を有することを特徴とする試料の表面形状の測定装置。 - 制御手段は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段からの探針の垂直方向の変位を表す出力信号に基き逐次探針の速度及び(又は)加速度を計算し、得られた探針の加速度の値が予定の負の設定値を超えた時、針圧付加手段に針圧低減信号を供給して針圧を漸減させるように構成したコンピュータ装置を備えていることを特徴とする請求項9に記載の試料の表面形状の測定装置。
- 探針の加速度の設定値が、探針の針圧をF、探針の支点のまわりの慣性モーメントをI、支点から探針の先端までの距離をrとするときFr2/Iに基いて決められることを特徴とする請求項10に記載の試料の表面形状の測定装置。
- 制御手段は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段からの探針の垂直方向の変位を表す出力信号に基き逐次探針の速度及び(又は)加速度を計算し、得られた探針の速度が設定値より大きくかつ加速度の値が負の値である時、針圧付加手段に針圧低減信号を供給して針圧を漸減させるように構成したコンピュータ装置を備えていることを特徴とする請求項9に記載の試料の表面形状の測定装置。
- 探針の速度の設定値が、探針の針圧をF、探針の支点のまわりの慣性モーメントをI、支点から探針の先端までの距離をrとするときFr2/Iに基いて決められることを特徴とする請求項12に記載の試料の表面形状の測定装置。
- 探針の速度の設定値が、探針の走査速度の1/2であることを特徴とする請求項12に記載の試料の表面形状の測定装置。
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