JP2008026128A - 表面追従型測定器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象面(ワーク表面10)に接触して変位する触針14と、該触針14が先端に保持されたスタイラス12と、該スタイラス12の変位を検出するピックアップ18と、測定力Fを検出する手段と、測定力Fを調整するアクチュエータ40とを備え、前記触針14に加わる測定力Fが目標値となるようフィードバック制御しつつ、前記ピックアップ18により触針14の変位を検出する表面追従型測定器において、前記触針14とスタイラス12の間に圧電素子30を挿入し、該圧電素子30により測定力Fを検出してフィードバック制御する。
【選択図】図3
Description
12…スタイラス
14…触針
16…支点
18…ピックアップ
20…測定圧用ばね
30…圧電素子(PZT)
34…電圧増幅回路
36…測定力計算回路
38…アクチュエータ駆動量計算回路
40…アクチュエータ
Claims (1)
- 測定対象面に接触して変位する触針と、
該触針が先端に保持されたスタイラスと、
該スタイラスの変位を検出するピックアップと、
測定力を検出する手段と、
測定力を調整するアクチュエータとを備え、
前記触針に加わる測定力が目標値となるようフィードバック制御しつつ、前記ピックアップにより触針の変位を検出する表面追従型測定器において、
前記触針とスタイラスの間に圧電素子を挿入し、
該圧電素子により測定力を検出してフィードバック制御するようにしたことを特徴とする表面追従型測定器。
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