JP2006349398A - 2軸移動機構および塗膜付着強度・せん断強度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1辺(21)を水平に保って基台(1)に支持され且つ第2辺(22)を第1辺(21)と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング(2)、第1辺(31)を垂直に保って水平用弾性平行リング(2)の第2辺(22)に支持され且つ第2辺(32)を第1辺(31)と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング(3)、水平用弾性平行リング(2)の第2辺(22)の一端に水平力Fhを加えて水平用弾性平行リング(2)を弾性変形させる水平用フォースコイル(6)および垂直用弾性平行リング(3)の第2辺(32)の一端に垂直力Fvを加えて垂直用弾性平行リング(3)を弾性変形させる垂直用フォースコイル(7)を具備する。
【効果】摺動部分がないため、クリアランスがなく、高い位置精度で切刃(5)を水平移動・垂直移動させることが出来る。
【選択図】図1
Description
他方、垂直力を印加するのにフォースコイルを用いた微小硬さ試験機が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
そこで、本発明の第1の目的は、クリアランスがなく、高い位置精度で水平移動・垂直移動させうる2軸移動機構を提供することにある。
また、本発明の第2の目的は、本発明の2軸移動機構を利用し、圧力の安定した検知が可能であり、且つ、水平力が垂直力の測定に影響を与えたり、垂直力が水平力の測定に影響を与えたりすることがない塗膜付着強度・せん断強度測定装置を提供することにある。
上記第1の観点による2軸移動機構では、水平用弾性平行リング(2)と垂直用弾性平行リング(3)とを用いることにより摺動部分をなくしたため、クリアランスがなく、高い位置精度で水平移動・垂直移動させることが出来る。
上記第2の観点による2軸移動機構では、水平用弾性平行リング(2)の内部に垂直用弾性平行リング(3)を収容したため、全体を小型化することが出来る。
上記第3の観点による塗膜付着強度・せん断強度測定装置(100)では、本発明の2軸移動機構を利用するため、高い位置精度で切刃を水平移動・垂直移動させることが出来る。また、ステージの摺動に伴う摩擦抵抗がなく、圧力の安定した検知が可能である。さらに、水平力が垂直力の測定に影響を与えたり、垂直力が水平力の測定に影響を与えたりすることがなく、誤差が生じない。
上記第4の観点による2軸移動機構では、水平用弾性平行リング(2)と垂直用弾性平行リング(3)とを用いることにより摺動部分をなくしたため、クリアランスがなく、高い位置精度で水平移動・垂直移動させることが出来る。
上記第5の観点による2軸移動機構では、垂直用弾性平行リング(3)の内部に水平用弾性平行リング(2)を収容したため、全体を小型化することが出来る。
上記第6の観点による塗膜付着強度・せん断強度測定装置(200)では、本発明の2軸移動機構を利用するため、高い位置精度で切刃を水平移動・垂直移動させることが出来る。また、ステージの摺動に伴う摩擦抵抗がなく、圧力の安定した検知が可能である。さらに、水平力が垂直力の測定に影響を与えたり、垂直力が水平力の測定に影響を与えたりすることがなく、誤差を生じない。
本発明の塗膜付着強度・せん断強度測定装置によれば、本発明の2軸移動機構を利用するため、高い位置精度で切刃を水平移動・垂直移動させることが出来る。また、圧力の安定した検知が可能になる。さらに、水平力が垂直力の測定に影響を与えたり、垂直力が水平力の測定に影響を与えたりすることがなく、誤差を生じない。
この塗膜付着強度・せん断強度測定装置100は、基台1と、第1辺21を水平に保って基台1に支持され且つ第2辺22を第1辺21と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング2と、第1辺31を垂直に保って水平用弾性平行リング2の第2辺22にスペーサ12を介して支持され且つ第2辺32を第1辺31と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング3と、水平用弾性平行リング2の第2辺22の一端に水平ロッド6aを介し水平力Fhを加えて図2の示すように水平用弾性平行リング2を弾性変形させるための水平用フォースコイル6と、垂直用弾性平行リング3の第2辺32の一端に垂直ロッド7aを介して垂直力Fvを加えて図2に示すように垂直用弾性平行リング3を弾性変形させるための垂直用フォースコイル7と、水平変位量を測定するための水平位置センサ9と、垂直変位量を測定するための垂直位置センサ11と、垂直用弾性平行リング3の第2辺32に取付治具4を介して取り付けられた切刃5と、昇降機構13により昇降される昇降台14と、試料Sを固定するために昇降台14に設置された真空チャック15と、垂直力Fv=0のときに取付治具4や切刃5の重量で垂直用弾性平行リング3が弾性変形しないように取付治具4や切刃5の重量を支えるための支点41,天秤42および重り43と、出力インタフェース40aを介して水平用フォースコイル6,垂直用フォースコイル7および昇降機構13を駆動すると共に入力インタフェース40bを介して水平位置センサ9および垂直位置センサ11の出力を読み込み且つ水平用フォースコイル6の駆動信号から水平力Fhを取得し垂直用フォースコイル7の駆動信号から垂直力Fvを取得するパソコン40とを具備している。
この塗膜付着強度・せん断強度測定装置200は、基台1と、第1辺31を垂直に保って基台1に支持され且つ第2辺32を第1辺31と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング3と、第1辺21を水平に保って垂直用弾性平行リング3の第2辺32にスペーサ12を介して支持され且つ第2辺22を第1辺21と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング2と、垂直用弾性平行リング3の第2辺32の一端に垂直ロッド7aを介し垂直力Fvを加えて垂直用弾性平行リング3を弾性変形させるための垂直用フォースコイル7と、水平用弾性平行リング2の第2辺22の一端に水平ロッド6aを介して水平力Fvを加えて水平用弾性平行リング2を弾性変形させるための水平用フォースコイル6と、垂直変位量を測定するための垂直位置センサ11と、水平変位量を測定するための水平位置センサ9と、水平用弾性平行リング2の第2辺22に取付治具4を介して取り付けられた切刃5と、昇降機構13により昇降される昇降台14と、試料Sを固定するために昇降台14に設置された真空チャック15と、垂直力Fv=0のときに水平用弾性平行リング2や取付治具4や切刃5の重量で垂直用弾性平行リング3が弾性変形しないように水平用弾性平行リング2や取付治具4や切刃5の重量を支えるための支点41,天秤42,重り43およびフック部材44と、出力インタフェース40aを介して水平用フォースコイル6,垂直用フォースコイル7および昇降機構13を駆動すると共に入力インタフェース40bを介して水平位置センサ9および垂直位置センサ11の出力を読み込み且つ水平用フォースコイル6の駆動信号から水平力Fhを取得し垂直用フォースコイル7の駆動信号から垂直力Fvを取得するパソコン40とを具備している。
2 水平用弾性平行リング
3 垂直用弾性平行リング
4 取付治具
5 切刃
6 水平用フォースコイル
7 垂直用フォースコイル
9 水平位置センサ
11 垂直位置センサ
21 水平用弾性平行リングの第1辺
22 水平用弾性平行リングの第2辺
31 垂直用弾性平行リングの第1辺
32 垂直用弾性平行リングの第2辺
40 パソコン
100,200 塗膜付着強度・せん断強度測定装置
Claims (6)
- 第1辺(21)を水平に保って基台(1)に支持され且つ第2辺(22)を前記第1辺(21)と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング(2)と、第1辺(31)を垂直に保って前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)に支持され且つ第2辺(32)を前記第1辺(31)と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング(3)と、前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)の一端に水平力Fhを加えて前記水平用弾性平行リング(2)を弾性変形させるための水平変位付与手段(6)と、前記垂直用弾性平行リング(3)の前記第2辺(32)の一端に垂直力Fvを加えて前記垂直用弾性平行リング(3)を弾性変形させるための垂直変位付与手段(7)とを具備したことを特徴とする2軸移動機構。
- 請求項1に記載の2軸移動機構において、前記水平用弾性平行リング(2)の内部空間に前記垂直用弾性平行リング(3)が在ることを特徴とする2軸移動機構。
- 請求項1または請求項2に記載の2軸移動機構と、前記水平力Fhを測定するための水平力測定手段(40)と、水平変位量を測定するための水平変位量測定手段(9)と、前記垂直力Fvを測定するための垂直力測定手段(40)と、垂直変位量を測定するための垂直変位測定手段(11)と、前記垂直用弾性平行リング(3)の前記第2辺(32)に直接または間接的に取り付けられた切刃(5)とを有することを特徴とする塗膜付着強度・せん断強度測定装置。
- 第1辺(31)を垂直に保って基台(1)に支持され且つ第2辺(32)を前記第1辺(31)と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング(3)と、第1辺(21)を水平に保って前記垂直用弾性平行リング(3)の前記第2辺(32)に支持され且つ第2辺(22)を前記第1辺(21)と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング(2)と、前記垂直用弾性平行リング(3)の前記第2辺(32)の一端に垂直力Fvを加えて前記垂直用弾性平行リング(3)を弾性変形させるための垂直変位付与手段(7)と、前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)の一端に水平力Fhを加えて前記水平用弾性平行リング(2)を弾性変形させるための水平変位付与手段(6)とを具備したことを特徴とする2軸移動機構。
- 請求項4に記載の2軸移動機構において、前記垂直用弾性平行リング(3)の内部空間に前記水平用弾性平行リング(2)が在ることを特徴とする2軸移動機構。
- 請求項4または請求項5に記載の2軸移動機構と、前記垂直力Fvを測定するための垂直力測定手段(40)と、垂直変位量を測定するための垂直変位測定手段(11)と、前記水平力Fhを測定するための水平力測定手段(40)と、水平変位量を測定するための水平変位量測定手段(9)と、前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)に直接または間接的に取り付けられた切刃(5)とを有することを特徴とする塗膜付着強度・せん断強度測定装置。
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