JP2016017862A - 3次元微動装置 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、圧電素子上にインピーダンスを利用した位置検出センサを設けた技術が開発されている(特許文献1参照)。そして、このような技術を用いることで、微動部の3つ(3軸)の圧電素子の位置をそれぞれ検出し、微動部上に配置された試料の3次元の位置を算出することが可能である。
一方、走査型プローブ顕微鏡で測定する試料は微細であることが多いため、この試料の位置を直接検出することは困難である。又、試料の位置を測定しようとしても、試料毎にステージ上の位置や試料の形状が異なるために測定条件も個々に異なり、測定条件の調整に多大な時間や労力を要する。
この3次元微動装置によれば、移動体が固定された固定部材の3次元の位置を、移動体の微動に比べて相対的に動かない基体部に固定された移動量検出手段で直接検出することで、固定部材、ひいては移動体の位置を簡易にかつ正確に測定できる。
この3次元微動装置によれば、移動体が固定された固定部材の3次元の位置を、移動体の微動に比べて相対的に動かない3次元粗動部に固定された移動量検出手段で直接検出することで、固定部材、ひいては移動体の位置を簡易にかつ正確に測定できる。
又、移動体の反対側に配置される対象物を3次元粗動部を介して載置した場合、対象物が重いほど、対象物の自重により3次元の粗動位置が大きくドリフトする傾向にある。そこで、3次元粗動部の一軸を対象物と反対側の固定部材側に取り付けることで、上記ドリフトの影響を抑えて3次元粗動させることができる。
この3次元微動装置によれば、例えば検出面として高精度な回折格子(体積型ホログラム格子)を用い、これを回折レーザ光を検出する移動量検出手段で検出することで、移動体の位置をより正確に測定できる。
この3次元微動装置によれば、3次元の各軸の変位を移動量検出手段で検出することで、移動体の位置をより正確に測定できる。
この3次元微動装置によれば、移動体の3次元の位置を正確に制御して高精度に位置決めしたり、移動量を制御しながら、移動体の位置を測定できる。
図1において、走査型プローブ顕微鏡200Aは、先端に探針を保持するカンチレバー1と、カンチレバー取り付け部(斜面ブロック)101と、円筒型のスキャナ111と、走査型プローブ顕微鏡の各構成部分を支持するフレームをなす基体部13と、非接触型センサ130と、非接触型センサ130からの検出信号を受ける検出面132と、3次元粗動部122と、3次元粗動部122上に設置された試料ステージ102と、全体を制御するプローブ顕微鏡コントローラー24及び制御部(コンピュータ)40等とを備える。
コンピュータ40は、走査型プローブ顕微鏡200Aの動作を制御するための制御基板、CPU(中央制御処理装置)、ROM、RAM等の記憶手段、インターフェース、操作部等を有する。
カンチレバー1、カンチレバー取り付け部101、スキャナ111、非接触型センサ130がそれぞれ特許請求の範囲の「移動体」、「固定部材」、「3次元微動部」、「移動量検出手段」に相当する。
一方、コ字状の基体部13のコ字の上側部材の下面にスキャナ111が固定され、スキャナ111の下面にカンチレバー取り付け部101が固定されている。カンチレバー取り付け部101は先端面が斜面状の略四角柱をなし、当該先端面にカンチレバー1が片持ち式に取り付けられている。カンチレバー1は試料300に対向し、カンチレバー1の先端の探針が試料300に接触又は近接して試料300の表面形状や表面の特性を検出するようになっている。
このように、第1の実施形態の走査型プローブ顕微鏡200Aは、カンチレバー1に照射した光の反射光の位置ずれをカンチレバー1(探針)の変位として検出する光テコ方式を採用している。又、走査型プローブ顕微鏡200Aは、カンチレバー1が取り付けられたカンチレバー取り付け部101をスキャンして測定を行うレバースキャン方式の走査型プローブ顕微鏡となっている。
圧電素子は、電界を印加すると結晶がひずみ、外力で結晶を強制的にひずませると電界が発生する素子であり、圧電素子としては、セラミックスの一種であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を一般に使用することができるがこれに限られない。
圧電素子111a〜111cは微動制御回路22に接続され、微動制御回路22に所定の制御信号(電圧)を出力することで、圧電素子111a、111bをそれぞれxy方向へ駆動し、圧電素子111cをz方向へ駆動する。
一方、各非接触型センサ130a〜130cにそれぞれ対向するカンチレバー取り付け部101の3つの面に、それぞれ検出面132a〜132cが設置されている。
なお、非接触型センサ130aは、基体部13のコ字の上下に伸びる部材の内面に取り付けられて水平方向に延びるステー135aの先端に取り付けられている。又、非接触型センサ130b、130cは、それぞれ基体部13の上面に取り付けられて下方に伸びるステー135b、135cの先端に取り付けられている。
このレーザ変位計は、体積型ホログラム格子で回折されるレーザ光を検出するフォトディテクタ、及びレーザ光をS偏光とP偏光に分ける偏光ビームスプリッタ、ミラー等を有し、体積型ホログラム格子が一方向(1軸)に移動したときにレーザ光の干渉状態が変わり、格子1ピッチに応じて干渉光が明暗することにより、1軸での変位を検出する。
従って、例えば図2に示すように、検出面132a、132b、132cを、それぞれx、y、z方向を検出する向きに設置することで、後述するように各非接触型センサ130a〜130cにてカンチレバー取り付け部101のx、y、z方向の変位を検出するようになっている。
まず、3次元粗動部122を動作させ、試料ステージ102を大まかに3次元移動させて試料300をカンチレバー1(探針)に近付ける。さらに、スキャナ111をxy方向に適宜移動させてカンチレバー1と試料300の位置関係を調整し、試料300の任意の場所を測定する。そして、スキャナ111の圧電素子111cにより、カンチレバー1は試料300に接触する位置までz方向に送られる。
このようにして、試料300にカンチレバー1の探針を近接又は接触させ、このとき、上記した光テコ方式によってカンチレバー1の変位を検出し、スキャナ111によりカンチレバー1の高さ(z)方向の変位量を一定に保ちながら試料300の表面(xy)を走査する。そして、カンチレバー1の変位量を一定に保つための制御信号を物性情報として、試料300の表面の物性を測定する。
なお、光テコ方式で変位を検出する際、変位検出器5の電気信号の振幅は、交流−直流変換機構6により直流のレベル信号に変換され、さらにZ制御回路20へ入力される。Z制御回路20は、カンチレバー1の高さ(z)方向の変位量を一定に保つように、微動制御回路22のz信号部へ制御信号を伝達し、z信号部は圧電素子111cをz方向へ駆動する制御信号(電圧)を出力する。すなわち、試料300と探針の間に働く原子間力によって生じるカンチレバー1の高さ(z)方向の変位を上述の機構で検出し、当該変位が一定になるように圧電素子111cを変位させる。そして、この状態で、微動制御回路22にてxy方向に圧電素子111a、111bを変位させて試料300のスキャンを行い、表面の形状や物性値をマッピングする。
よって、カンチレバー取り付け部101に固定されたカンチレバー1の位置、及びカンチレバー1に対向してカンチレバー1に接触又は近接する試料300の位置を正確に測定できるので、カンチレバー1により試料300をスキャンする際の位置決め精度、及び試料300の表面の形状や物性値の測定精度や解像度が向上する。
また、X‐Y平面内の動き(位置)は、非接触型センサ130a〜130cの検出信号に基づくクローズドループ制御を採用し、より高精度な位置決めを行いながらの移動を行わせることもできる。これにより、X‐Y平面内の位置決め誤差をより少なくした制御ができる。
なお、本実施形態で通常の表面形状を観察する場合、Z方向の動き(位置)については、上記検出信号(センサの値)を直接読み込むだけで十分なので、クローズドループ制御を行わなくてもよい。しかしながら、フォースカーブ測定のようにZ方向の移動量を制御する必要がある場合は、非接触型センサ130cのZ方向の検出信号に基づいたクローズドループ制御を行ってもよい。
クローズドループ制御は、プローブ顕微鏡コントローラー24及び制御部40で行うことができる。又、クローズドループ制御は、上記検出信号のデータを制御部40にフィードバックする公知のフィードバック制御である。
走査型プローブ顕微鏡200Bにおいて、3次元粗動部122とスキャナ111との間に粗動ステージ125が配置され、粗動ステージ125は3次元粗動部122の粗動に伴って3次元変位する。そして、スキャナ111は、粗動ステージ125の下面の一部に固定され、粗動ステージ125のうちスキャナ111が固定されていない面には下方に伸びるステー136が固定されている。さらに、ステー136の先端には、カンチレバー取り付け部101の背面に向く非接触型センサ130dが取り付けられている。
なお、第2の実施形態においては、非接触型センサ130dは1つのみ設置され、カンチレバー取り付け部101のz方向の変位を検出するようになっている。さらに、非接触型センサ130dは静電容量センサであり、検出面として第1の実施形態のような回折格子を非接触型センサ130dに対向するカンチレバー取り付け部101の1つの面(背面)に設置する必要はなく、上記背面がそのまま検出面となっている。
なお、図3の例では、3次元粗動部122の3軸(xステージ122a、yステージ122b、zステージ122c)のすべてをカンチレバー取り付け部101側に取り付けたが、図4の走査型プローブ顕微鏡200Cに示すように、3次元粗動部122の3軸のうち少なくとも1軸をカンチレバー取り付け部101側に取り付けてもよい。特に、試料300の自重によるドリフトは上下(z)方向に顕著であるため、少なくともz軸(zステージ122c)をカンチレバー取り付け部101側に取り付けることが好ましい。この場合、3次元粗動部122の2軸(xステージ122a、yステージ122b)は、試料ステージ102と基体部13との間に介装されることになる。
ここで、走査型プローブ顕微鏡200Cにおいて、3次元粗動部122の2軸(xステージ122a、yステージ122b)が、特許請求の範囲の「第2の3次元粗動部」に相当する。
このように、本実施形態の走査型プローブ顕微鏡200Dは、試料300を配置した試料ステージ102をスキャンして測定を行うサンプルスキャン方式の走査型プローブ顕微鏡となっている。
又、走査型プローブ顕微鏡200Dにおいて、基体部13のコ字の上下に伸びる部材の内面には、試料ステージ102の背面に向く非接触型センサ130aが取り付けられている。非接触型センサ130aは試料ステージ102のz方向の変位を検出するようになっている。又、非接触型センサ130aは第1の実施形態と同様のレーザ変位計であり、非接触型センサ130aに対向する試料ステージ102の1つの面(背面)に、回折格子からなる検出面132aを設置している。
ここで、走査型プローブ顕微鏡200Dにおいて、試料300、試料ステージ102が、それぞれ特許請求の範囲の「移動体」、「固定部材」に相当する。
又、移動量検出手段は、固定部材の少なくとも一方向(一軸)の移動量を検出すればよい。
13 基体部
101 固定部材(カンチレバー取り付け部)
102 固定部材(試料ステージ)
111 3次元微動部(スキャナ)
122 3次元粗動部
122a、122b 第2の3次元粗動部(xステージ、yステージ)
130、130a〜130d 移動量検出手段
132、132a〜132c 検出面
200A〜200D 3次元微動装置(走査型プローブ顕微鏡)
300 移動体(試料)
Claims (10)
- 移動体と、
前記移動体が固定される固定部材と、
前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を3次元に微動可能な3次元微動部と、
前記3次元微動部が固定される基体部と、
前記基体部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた3次元微動装置。 - 移動体と、
前記移動体が固定される固定部材と、
前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を3次元に微動可能な3次元微動部と、
前記3次元微動部が固定され、該3次元微動部を3次元のうち少なくとも一軸に、かつ前記3次元微動部よりも大きい移動量で粗動させる3次元粗動部と、
前記3次元粗動部が固定される基体部と、
前記3次元粗動部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた3次元微動装置。 - 前記移動量検出手段は、前記固定部材の検出面を検出する請求項1又は2に記載の3次元微動装置。
- 前記検出面が3次元の各軸に配置され、前記移動量検出手段は前記各軸の検出面毎に設けられて対応する検出面を検出する請求項3に記載の3次元微動装置。
- 前記移動量検出手段は、非接触型センサである請求項1〜4のいずれか一項に記載の3次元微動装置。
- 前記非接触型センサは、静電容量、光干渉又は光回折を使用したセンサである請求項5に記載の3次元微動装置。
- 前記移動体は、試料に接触又は近接するカンチレバーであり、
前記基体に直接、又は第2の3次元粗動部を介して固定されて前記カンチレバーに対向する試料ステージをさらに備え、該試料ステージの表面に前記試料が配置される請求項1〜6のいずれか一項に記載の3次元微動装置。 - 前記第2の3次元粗動部は、前記3次元粗動部が粗動する軸と異なる軸に粗動する請求項7に記載の3次元微動装置。
- 前記移動体は、試料であり、
前記基体に直接、又は間接的に固定されて前記試料に対向するカンチレバー取り付け部をさらに備え、該カンチレバー取り付け部の表面には前記試料に接触又は近接するカンチレバーが配置される請求項1〜6のいずれか一項に記載の3次元微動装置。 - 前記移動体の3次元の位置のうち少なくとも一軸の位置の制御を、前記移動量検出手段が検出した前記移動量に基づいたクローズドループ制御により行うための制御部を備えた請求項1〜9のいずれか一項に記載の3次元微動装置。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3362798A4 (en) * | 2015-10-13 | 2019-05-15 | Sensapex Oy | MICROMECHANICAL POSITIONING APPARATUS AND INTEGRATED MEASUREMENT FOR REAL-TIME TEST CONTROL |
KR101787431B1 (ko) * | 2015-12-31 | 2017-10-19 | 한국표준과학연구원 | 변위전달용 선형구조물 및 이를 이용한 1차원 및 3차원 미세 이동 장치 |
US20190064211A1 (en) * | 2017-08-31 | 2019-02-28 | Oxford Instruments Asylum Research, Inc. | Scanning probe microscope |
CN112255754A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-01-22 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种光学镜头对位机构 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03296612A (ja) * | 1990-04-17 | 1991-12-27 | Seiko Instr Inc | 原子間力顕微鏡 |
JPH0666509A (ja) * | 1992-08-17 | 1994-03-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 形状測定装置 |
JPH08254540A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10213587A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001135561A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2001188035A (ja) * | 1999-03-17 | 2001-07-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2006234507A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡とその測定方法 |
US20110203020A1 (en) * | 2010-02-17 | 2011-08-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Atomic force microscopes and methods of measuring specimens using the same |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5025658A (en) * | 1989-11-28 | 1991-06-25 | Digital Instruments, Inc. | Compact atomic force microscope |
JP3061955B2 (ja) * | 1992-09-08 | 2000-07-10 | キヤノン株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡、メモリー装置及びリソグラフィー装置 |
JPH06174460A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Olympus Optical Co Ltd | スキャナシステム |
US5388452A (en) * | 1993-10-15 | 1995-02-14 | Quesant Instrument Corporation | Detection system for atomic force microscopes |
JP3563247B2 (ja) * | 1997-10-31 | 2004-09-08 | 日立建機株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH11211732A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP4155668B2 (ja) * | 1999-05-17 | 2008-09-24 | 日本分光株式会社 | 距離計 |
US6612160B2 (en) * | 2001-03-09 | 2003-09-02 | Veeco Instruments, Inc. | Apparatus and method for isolating and measuring movement in metrology apparatus |
JP2005037205A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡およびその計測方法 |
JP2005069972A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡の探針移動制御方法 |
CN1303396C (zh) * | 2003-11-28 | 2007-03-07 | 天津大学 | 基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法 |
CN1253285C (zh) * | 2004-02-27 | 2006-04-26 | 哈尔滨工业大学 | 微机械零件三维加工装置 |
JPWO2006019130A1 (ja) * | 2004-08-18 | 2008-05-08 | 日立建機ファインテック株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡の探針走査制御方法および探針走査制御装置 |
JP2006118867A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた計測方法 |
US20070103697A1 (en) * | 2005-06-17 | 2007-05-10 | Degertekin Fahrettin L | Integrated displacement sensors for probe microscopy and force spectroscopy |
JP2008002991A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Sii Nanotechnology Inc | 微動素子及び走査型プローブ顕微鏡 |
CN100470378C (zh) * | 2007-04-27 | 2009-03-18 | 清华大学 | 一种超薄3自由度微动工作台 |
JP2008286518A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Hitachi Ltd | 変位計測方法とその装置 |
WO2009028157A1 (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Nikon Corporation | 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、並びにパターン形成方法及びパターン形成装置 |
TWI348775B (en) | 2008-03-18 | 2011-09-11 | Silicon Touch Tech Inc | Piezoelectric actuator system with position detection and method thereof |
JP5281992B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2013-09-04 | 株式会社日立製作所 | 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた計測方法 |
KR101107511B1 (ko) * | 2010-04-02 | 2012-02-06 | 삼성전자주식회사 | 시료 검사장치 및 그 시료 검사방법 |
JP5277222B2 (ja) * | 2010-09-14 | 2013-08-28 | 株式会社日立製作所 | 走査プローブ顕微鏡及びそれを用いた表面形状計測方法 |
US8644964B2 (en) * | 2012-05-03 | 2014-02-04 | Deere & Company | Method and system for controlling movement of an end effector on a machine |
-
2014
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Patent Citations (8)
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---|---|---|---|---|
JPH03296612A (ja) * | 1990-04-17 | 1991-12-27 | Seiko Instr Inc | 原子間力顕微鏡 |
JPH0666509A (ja) * | 1992-08-17 | 1994-03-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 形状測定装置 |
JPH08254540A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10213587A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001188035A (ja) * | 1999-03-17 | 2001-07-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001135561A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2006234507A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡とその測定方法 |
US20110203020A1 (en) * | 2010-02-17 | 2011-08-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Atomic force microscopes and methods of measuring specimens using the same |
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